JPS61211218A - 電子部品取り出し機構 - Google Patents
電子部品取り出し機構Info
- Publication number
- JPS61211218A JPS61211218A JP60053861A JP5386185A JPS61211218A JP S61211218 A JPS61211218 A JP S61211218A JP 60053861 A JP60053861 A JP 60053861A JP 5386185 A JP5386185 A JP 5386185A JP S61211218 A JPS61211218 A JP S61211218A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chute
- electronic component
- stopper
- movable
- supply
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/34—Devices for discharging articles or materials from conveyor
- B65G47/44—Arrangements or applications of hoppers or chutes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/88—Separating or stopping elements, e.g. fingers
- B65G47/8876—Separating or stopping elements, e.g. fingers with at least two stops acting as gates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Chutes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は電子部品取り出し機構、特に搬送路に沿って送
られて来た双脚型電子部品の如き電子部品を個別的に分
離して取り出すのに有効な電子部品取り出し機構に関す
る。
られて来た双脚型電子部品の如き電子部品を個別的に分
離して取り出すのに有効な電子部品取り出し機構に関す
る。
一般に、たとえばデュアルインライン型パッケージ（Ｄ
Ｉ Ｐ）よりなる半導体装置（以下ＤＩＰ型ＩＣと称
する。）の製造過程においてＤＩＰ型ＩＣを１つの処理
位置から次の処理位置に移送するような場合、ＤＩＰ型
ＩＣを複数列の移送路を持つ移送シュートに沿って移送
し、シュートの最前端部ではＤＩＰ型ＩＣを１個ずつま
たは複数個の群として取り出すことが行われる。
Ｉ Ｐ）よりなる半導体装置（以下ＤＩＰ型ＩＣと称
する。）の製造過程においてＤＩＰ型ＩＣを１つの処理
位置から次の処理位置に移送するような場合、ＤＩＰ型
ＩＣを複数列の移送路を持つ移送シュートに沿って移送
し、シュートの最前端部ではＤＩＰ型ＩＣを１個ずつま
たは複数個の群として取り出すことが行われる。
そのための電子部品取り出し機構（エスケープメントａ
構）としては、分離して取り出したい最前端すなわち先
頭から第１番目のＤＩＰ型ＩＣの前方に上下動可能なス
トッパを設けると共に、その後方の第２番目のＤＩＰ型
ＩＣを上から押さえ付けて停止させることのできる押さ
え部材をシュート上方に配設することが考えられる。
構）としては、分離して取り出したい最前端すなわち先
頭から第１番目のＤＩＰ型ＩＣの前方に上下動可能なス
トッパを設けると共に、その後方の第２番目のＤＩＰ型
ＩＣを上から押さえ付けて停止させることのできる押さ
え部材をシュート上方に配設することが考えられる。
この電子部品取り出し機構では、押さえ部材で第２番目
のＤＴＰ型ＩＣを押さえたままの状態でストッパを下方
に引っ込めることにより、第１番目のＤＩＰ型１ｃを自
重だけでシュートに沿って滑動させて取り出すものであ
る。
のＤＴＰ型ＩＣを押さえたままの状態でストッパを下方
に引っ込めることにより、第１番目のＤＩＰ型１ｃを自
重だけでシュートに沿って滑動させて取り出すものであ
る。
ところが、ＤＩＰ型ＩＣどうしは移送シュート上で何ら
かの原因により互いにジャミングやくっ付き現象を生じ
る場合があり、またシュートとＤＩＰ型ＩＣとの間には
摩擦が存在するので、単にストッパによる停止力を解放
しただけでは第１番目のＤＩＰ型ＩＣが第２番目のＤＴ
Ｐ型ＩＣから自重のみで分離されない場合が生じる。そ
のため、ＤＩＰ型ＩＣの取り出しが不確実となり、後段
での処理に不具合が生じるおそれがある。また、特にシ
ュートが多数列ある場合には、列間でのＤＩＰ型１ｃの
供給に不揃いを生しる等の問題がある。
かの原因により互いにジャミングやくっ付き現象を生じ
る場合があり、またシュートとＤＩＰ型ＩＣとの間には
摩擦が存在するので、単にストッパによる停止力を解放
しただけでは第１番目のＤＩＰ型ＩＣが第２番目のＤＴ
Ｐ型ＩＣから自重のみで分離されない場合が生じる。そ
のため、ＤＩＰ型ＩＣの取り出しが不確実となり、後段
での処理に不具合が生じるおそれがある。また、特にシ
ュートが多数列ある場合には、列間でのＤＩＰ型１ｃの
供給に不揃いを生しる等の問題がある。
本発明の目的は、簡単な構造で確実に電子部品の分離、
取り出しを行うことのできる電子部品取り出し機構を提
供することにある。
取り出しを行うことのできる電子部品取り出し機構を提
供することにある。
本発明は、供給シュートに沿って送られて来た電子部品
のうち、先頭から第１番目の電子部品と第２番目の電子
部品とをそれぞれ第１および第２の押さえ手段で別々に
押さえておき、その第１番目の電子部品のみを押さえ手
段および可動シュートと共に受取シュート方向に移動さ
せることにより、第１番目の電子部品を第２番目の電子
部品から確実に分離して個々に取り出すことができるも
のである。
のうち、先頭から第１番目の電子部品と第２番目の電子
部品とをそれぞれ第１および第２の押さえ手段で別々に
押さえておき、その第１番目の電子部品のみを押さえ手
段および可動シュートと共に受取シュート方向に移動さ
せることにより、第１番目の電子部品を第２番目の電子
部品から確実に分離して個々に取り出すことができるも
のである。
第１図は本発明による電子部品取り出し機構の一実施例
を示す正断面図、第２図はその側断面図である。
を示す正断面図、第２図はその側断面図である。
この実施例における電子部品取り出し機構は、被移送物
である電子部品としてのＤＩＰ型ＩＣＩを滑走させて移
送するよう供給端から取り出し端に向けて所定角度で下
向きに傾斜した角度固定の上部シュート （供給シュー
ト）２と、この上部シュート２の終端側に設けられた可
動シュート３と、この可動シュート３の移動方向に設け
られた、たとえば旋回可能型の下部シュート（受取シュ
ート）４とを存している。
である電子部品としてのＤＩＰ型ＩＣＩを滑走させて移
送するよう供給端から取り出し端に向けて所定角度で下
向きに傾斜した角度固定の上部シュート （供給シュー
ト）２と、この上部シュート２の終端側に設けられた可
動シュート３と、この可動シュート３の移動方向に設け
られた、たとえば旋回可能型の下部シュート（受取シュ
ート）４とを存している。
前記シュート２．３．４はそれぞれが平面図で見て互い
に一直線をなす同一数の多数列たとえば２０列の移送面
を有しており、上部シュート２の移送面上を滑走して供
給されて来たＤＩＰ型■ｃ１を可動シュート３により各
列毎に１個ずつ分離して取り出して下部シュート４の移
送面上に受け渡すよう構成されている。
に一直線をなす同一数の多数列たとえば２０列の移送面
を有しており、上部シュート２の移送面上を滑走して供
給されて来たＤＩＰ型■ｃ１を可動シュート３により各
列毎に１個ずつ分離して取り出して下部シュート４の移
送面上に受け渡すよう構成されている。
供給シュート２に沿って送られて来たＤＩＦ）型ＩＣＩ
を停止させるため、可動シュート３の先端近くには、該
可動シュート３の搬送面に対して突出および没入可能な
ストッパ５が挿通されている。
を停止させるため、可動シュート３の先端近くには、該
可動シュート３の搬送面に対して突出および没入可能な
ストッパ５が挿通されている。
ストッパ５の突出および没入（または後退）動作はエア
シリンダ６により該ストッパ５の軸方向に行われる。
シリンダ６により該ストッパ５の軸方向に行われる。
また、このストッパ５で可動シュート３上に停止される
ＤＩＰ型電子部品ｌのうち先頭から第１番目のＤＩＰ型
ＩＣ１ａを上方から可動シュート３上に押圧して保持さ
せる第１の押さえ装置７ （第１の押さえ手段）が設け
られている。押さえ装置７はエスケープビーム７ａと、
このエスケープビーム７ａで保持されたエフシリンダ７
ｂと、該エアシリンダ７ｂのピストンロッド先端に設け
られた押さえ片７Ｃとからなる。
ＤＩＰ型電子部品ｌのうち先頭から第１番目のＤＩＰ型
ＩＣ１ａを上方から可動シュート３上に押圧して保持さ
せる第１の押さえ装置７ （第１の押さえ手段）が設け
られている。押さえ装置７はエスケープビーム７ａと、
このエスケープビーム７ａで保持されたエフシリンダ７
ｂと、該エアシリンダ７ｂのピストンロッド先端に設け
られた押さえ片７Ｃとからなる。
一方、前記押さえ装置７の隣接位置には、先頭から第２
番目のＤＴＰ型ＩＣ１ｂを供給シュート２の先端面（終
端面）上に押圧して保持させる第２の押さえ装置８（第
２の押さえ手段）が設けられている。この第２の押さえ
装置８は第１の押さえ装置７と実質的に同一の構造を有
しているもので、エスケープビーム８ａと、エアシリン
ダ８ｂと、押さえ片８Ｃとからなる。
番目のＤＴＰ型ＩＣ１ｂを供給シュート２の先端面（終
端面）上に押圧して保持させる第２の押さえ装置８（第
２の押さえ手段）が設けられている。この第２の押さえ
装置８は第１の押さえ装置７と実質的に同一の構造を有
しているもので、エスケープビーム８ａと、エアシリン
ダ８ｂと、押さえ片８Ｃとからなる。
前記可動シュート３と、該可動シュート３上に第１の押
さえ装置７で保持された先頭から第１番目のＤＩＰ型Ｉ
Ｃ１ａと、ストッパ５と、第１の押さえ装置７と、エア
シリンダ６とは、移動手段としてのエアシリンダ９によ
り、第１図の実線位置から二点鎖線位置まで全体的に移
動され、第１番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａを第２番目のＤＩ
Ｐ型■Ｃ１ｂから分離させて取り出し、可動シュート３
上の第１番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａを受取シュート４上に
受け渡すことができるよう構成されている。
さえ装置７で保持された先頭から第１番目のＤＩＰ型Ｉ
Ｃ１ａと、ストッパ５と、第１の押さえ装置７と、エア
シリンダ６とは、移動手段としてのエアシリンダ９によ
り、第１図の実線位置から二点鎖線位置まで全体的に移
動され、第１番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａを第２番目のＤＩ
Ｐ型■Ｃ１ｂから分離させて取り出し、可動シュート３
上の第１番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａを受取シュート４上に
受け渡すことができるよう構成されている。
これに対し、第２の押さえ装置８および供給シュート２
は搬送方向への移動を行わない。
は搬送方向への移動を行わない。
なお、符号ｌＯはエアシリンダ６を取り付けるためのシ
リンダベース、１１は案内ロッドである。
リンダベース、１１は案内ロッドである。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、処理対象物である電子部品の一例としてのＤＩＰ
型ＩＣＩは供給シェード２の上をその傾斜に沿って滑走
することにより、斜め上方から供給されて来る。その場
合、ストッパ５はエアシリンダ６の作動によって可動シ
ュート３の搬送面よりも左方向に突出しており、一方、
第１および第２の押さえ装置７．８の押さえ片７ｃ、８
ｃは左上方に後退した状態であり、さらに可動シュート
３は供給シュート２と連続する搬送面を形成する位置（
第１図の実線位置）にある。
型ＩＣＩは供給シェード２の上をその傾斜に沿って滑走
することにより、斜め上方から供給されて来る。その場
合、ストッパ５はエアシリンダ６の作動によって可動シ
ュート３の搬送面よりも左方向に突出しており、一方、
第１および第２の押さえ装置７．８の押さえ片７ｃ、８
ｃは左上方に後退した状態であり、さらに可動シュート
３は供給シュート２と連続する搬送面を形成する位置（
第１図の実線位置）にある。
したがって、ＤＩＰ型ＩＣＩはその先頭のＤＩＰ型ＩＣ
１ａの前面がストッパ５に当たることにより各列毎に順
次停止される。
１ａの前面がストッパ５に当たることにより各列毎に順
次停止される。
次に、第１および第２の押さえ装置７．８のエアシリン
ダ７ｂ、８ｂを作動させ、それぞれの押さえ片７ｃ、８
ｃで先頭から第１番目と第２番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａ、
ｌｂをそれぞれ可動シェード３と供給シュート２の搬送
面上に押圧して保持する（第１図参照）、その際、スト
ー／パ５はまだ突出状態のままでよい。
ダ７ｂ、８ｂを作動させ、それぞれの押さえ片７ｃ、８
ｃで先頭から第１番目と第２番目のＤＩＰ型ＩＣ１ａ、
ｌｂをそれぞれ可動シェード３と供給シュート２の搬送
面上に押圧して保持する（第１図参照）、その際、スト
ー／パ５はまだ突出状態のままでよい。
この状態でエアシリンダ９を作動させ、そのピストンロ
ンドを第１図の左下方向に突出させることにより、可動
シュート３、ストッパ５、エアシリンダ６、第１の押さ
え装置７等は第１図の実線位置から二点鎖線位置に移動
され、可動シュート３は供給シュート２から離れて、受
取シュート４と連続する搬送面を形成することになる。
ンドを第１図の左下方向に突出させることにより、可動
シュート３、ストッパ５、エアシリンダ６、第１の押さ
え装置７等は第１図の実線位置から二点鎖線位置に移動
され、可動シュート３は供給シュート２から離れて、受
取シュート４と連続する搬送面を形成することになる。
この時、第２の押さえ装置８は先頭から２番目のＤＩＰ
型ＩＣ１ｂを押さえたままであり、先頭から１番目のＤ
ＩＰ型ＩＣ１ａは２番目のＤＩＰ型ＩＣ１ｂから確実に
引き離される。
型ＩＣ１ｂを押さえたままであり、先頭から１番目のＤ
ＩＰ型ＩＣ１ａは２番目のＤＩＰ型ＩＣ１ｂから確実に
引き離される。
その後、ストッパ５を後退させて可動シュート３の搬送
面から引っ込ませると共に、第１の押さえ装置７のエア
シリンダ７ｂにより押さえ片７Ｃを左上方に後退させる
ことにより、可動シュート３上のＤＩＰ型ＩＣ１ａは保
持力から解放され、その自重で可動シュート３上から受
取シュート４上に滑走して取り出される。
面から引っ込ませると共に、第１の押さえ装置７のエア
シリンダ７ｂにより押さえ片７Ｃを左上方に後退させる
ことにより、可動シュート３上のＤＩＰ型ＩＣ１ａは保
持力から解放され、その自重で可動シュート３上から受
取シュート４上に滑走して取り出される。
このように、本実施例によれば、先頭から第１番目のＤ
ＩＰ型ＩＣ１ａは第１の押さえ装置７で押さえられたま
ま、同じく第２の押さえ装置８で押さえられた第２番目
のＤＩＰ型ＩＣ１ｂから個別的に強制的に分離されて取
り出されるので、各列の先頭から第１番目に位置する個
々のＤＩＰ型ＩＣの確実な分離、取り出しが可能である
。
ＩＰ型ＩＣ１ａは第１の押さえ装置７で押さえられたま
ま、同じく第２の押さえ装置８で押さえられた第２番目
のＤＩＰ型ＩＣ１ｂから個別的に強制的に分離されて取
り出されるので、各列の先頭から第１番目に位置する個
々のＤＩＰ型ＩＣの確実な分離、取り出しが可能である
。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではな（、
他の様々な変形が可能である。
他の様々な変形が可能である。
たとえば、先頭から第１番目の電子部品を第２番目の電
子部品から分離して取り出すためにストッパを第１番目
の電子部品等と共に受取シュート側に移動させる構造に
ついて説明したが、これに限らず、第１番目の電子部品
およびそれを押さえる第１の押さえ手段のみを可動シュ
ートと共に移動させる構成としてもよい。
子部品から分離して取り出すためにストッパを第１番目
の電子部品等と共に受取シュート側に移動させる構造に
ついて説明したが、これに限らず、第１番目の電子部品
およびそれを押さえる第１の押さえ手段のみを可動シュ
ートと共に移動させる構成としてもよい。
搬送路に沿って順次移送されて来た電子部品を個別的に
分離して取り出す機構において、電子部品を供給する供
給シュートと、この供給シュートの終端側に設けられた
可動シュートと、この可動シュートとは所定距離だけ離
れて設けられかつ該可動シュートから電子部品を受け取
る受取シュートと、前記供給シュートに沿って供給され
て来た電子部品を停止させるストッパと、このストッパ
で停止された電子部品のうち先頭から第１番目の電子部
品を押さえる第１の押さえ手段と、先頭から第２番目の
電子部品を押さえる第２の押さえ手段と、前記第１番目
の電子部品、前記可動シュートおよび前記第１の押さえ
手段を前記受取シュートの方向に所定距離だけ移動させ
る移動手段とからなることにより、先頭から第１番目の
電子部品を第２番目の電子部品から個別的に強制的に分
離して取り出すことができるので、電子部品の分離、取
り出しを確実に行うことができる。
分離して取り出す機構において、電子部品を供給する供
給シュートと、この供給シュートの終端側に設けられた
可動シュートと、この可動シュートとは所定距離だけ離
れて設けられかつ該可動シュートから電子部品を受け取
る受取シュートと、前記供給シュートに沿って供給され
て来た電子部品を停止させるストッパと、このストッパ
で停止された電子部品のうち先頭から第１番目の電子部
品を押さえる第１の押さえ手段と、先頭から第２番目の
電子部品を押さえる第２の押さえ手段と、前記第１番目
の電子部品、前記可動シュートおよび前記第１の押さえ
手段を前記受取シュートの方向に所定距離だけ移動させ
る移動手段とからなることにより、先頭から第１番目の
電子部品を第２番目の電子部品から個別的に強制的に分
離して取り出すことができるので、電子部品の分離、取
り出しを確実に行うことができる。
第１図は本発明による電子部品取り出し機構の一実施例
を示す正断面図、第２図はその側断面図である。 １・・・ＤＩＰ型ＩＣ。 ２・・・上部シュート（供給シュート）、３・・・可動
シュート、 ４・・・下部シュート（受取シュート）、５・・・スト
ッパ、 ６・・・エアシリンダ、 ７・・・第１の押さえ装置（第１の押さえ手段）、７ａ
・・エスケープビーム、 ７ｂ・・エアシリンダ、 ７Ｃ・・押さえ片、 ８・・・第２の押さえ装置（第２の押さえ手段）、８ａ
・・エスケープビーム、 ８ｂ・・エアシリンダ、 ８Ｃ・・押さえ片、 ９・・・エアシリンダ、 ｉｏ・・・シリンダベース、 １１・・・案内ロンド。
を示す正断面図、第２図はその側断面図である。 １・・・ＤＩＰ型ＩＣ。 ２・・・上部シュート（供給シュート）、３・・・可動
シュート、 ４・・・下部シュート（受取シュート）、５・・・スト
ッパ、 ６・・・エアシリンダ、 ７・・・第１の押さえ装置（第１の押さえ手段）、７ａ
・・エスケープビーム、 ７ｂ・・エアシリンダ、 ７Ｃ・・押さえ片、 ８・・・第２の押さえ装置（第２の押さえ手段）、８ａ
・・エスケープビーム、 ８ｂ・・エアシリンダ、 ８Ｃ・・押さえ片、 ９・・・エアシリンダ、 ｉｏ・・・シリンダベース、 １１・・・案内ロンド。
Claims (2)
- （１）、搬送路に沿って順次移送されて来た電子部品を
個別的に分離して取り出す機構において、電子部品を供
給する供給シュートと、この供給シュートの終端側に設
けられた可動シュートと、この可動シュートとは所定距
離だけ離れて設けられかつ該可動シュートから電子部品
を受け取る受取シュートと、前記供給シュートに沿って
供給されて来た電子部品を停止させるよう搬送路に対し
て突出および後退可能なストッパと、このストッパで停
止された電子部品のうち先頭から第１番目の電子部品を
押さえる第１の押さえ手段と、先頭から第２番目の電子
部品を押さえる第２の押さえ手段と、前記第１番目の電
子部品、前記可動シュートおよび前記第１の押さえ手段
を前記受取シュートの方向に所定距離だけ移動させる移
動手段とからなる電子部品の取り出し機構。 - （２）、先頭から第１番目の電子部品は、前記ストッパ
が前記第１番目の電子部品を停止させた状態、または前
記ストッパを搬送路から後退させた状態で前記可動シュ
ートおよび前記第１の押さえ手段と共に、前記移動手段
により前記受取シュートの方向に移動されることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の電子部品の取り出し
機構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60053861A JPS61211218A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 電子部品取り出し機構 |
| KR1019850004624A KR940005587B1 (ko) | 1985-03-18 | 1985-06-28 | 전자부품 취출기구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60053861A JPS61211218A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 電子部品取り出し機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61211218A true JPS61211218A (ja) | 1986-09-19 |
Family
ID=12954556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60053861A Pending JPS61211218A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 電子部品取り出し機構 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61211218A (ja) |
| KR (1) | KR940005587B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228828U (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-23 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5539813A (en) * | 1978-09-08 | 1980-03-21 | Okura Yusoki Co Ltd | Shift and carrying device |
| JPS6040310A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の移送装置 |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP60053861A patent/JPS61211218A/ja active Pending
- 1985-06-28 KR KR1019850004624A patent/KR940005587B1/ko not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5539813A (en) * | 1978-09-08 | 1980-03-21 | Okura Yusoki Co Ltd | Shift and carrying device |
| JPS6040310A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の移送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228828U (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940005587B1 (ko) | 1994-06-21 |
| KR860007138A (ko) | 1986-10-08 |
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