JPS6040310A - 半導体装置の移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、多数個の半導体装置を整列収納したマガジ
ンから１個宛用された半導体装置を、所定間隔をあけて
順次送るようにした、半導体装置の移送装置に関する。

〔従来技術〕 半導体装置のセラミックなどからなるパッケージを、マ
ガジンから１個宛分離しダイスボンディングやワイヤボ
ンディングなどの工程へ移送するため、移送装置が用い
られている。

従来、この種の移送装置として、第１図及び第２図に概
要斜視図及び平面図で示すものがあった。

（１）は半導体装置のセラミックなどからなるパッケー
ジで、半導体素子が装着される前の状態を示す。

（１ａ）はこのパッケージから出された多数のリード線
、（１ｂ）はパッケージ（１）の一端に設けられていて
前後の向きを識別するための切欠きである。（２）は多
数個のパッケージ（１）を整列し収容するＵ字状部が形
成されたベルト、（３）はこのベルトを収納するマガジ
ン、（４）はベルト（２）上のパッケージ（１）の後尾
の分の後端を押し矢印人方向に移動し先頭から押出す押
出し装置、（５）はベルト（２）の延長方向に配設され
、押出されてきたパッケージ（１）が載せられ移送させ
る案内レール、（６）は分離送り装置で１．駆動装置（
図示は略す）によシ移動運動される連結板（７）　Ｋ　
、第１−３の送り爪（８ａ）〜（８Ｃ）が取付はボルト
（９）によシ所定間隔に取付けられている。Ｏｏは案内
レール（５）上のパッケージ（１）の有無を検出する光
電スイッチで、投光器（ｌｏａ）及び受光器（１ｏｂ）
からなる。（５ａ）は投光器（ｌｏａ）からの投射光を
通す透過穴である。

上記従来装置の動作は、次のようになる。

まず、第１図に示すように、パッケージ（１）をベルト
（２）上に一定方向に整列して載せ、マガジン（３）Ｋ
収納しである。次に、第２図に示すように、押出し装置
（４）によシ先頭のパッケージ（１）を案内レール（５
）上に押出す。ついで、案内レール（５）上に押出され
たパッケージ（１）は、光電スイッチ（７）によシ検出
され、押出し装置（４）に停止信号を送るとともに、分
離送り装置（６）に始動信号を送る。

これにより、各送り爪（８ａ）〜（８Ｃ）は矢印Ｂ→Ｃ
＋Ｄ−＋Ｅの順に前後左右の移動作用をする。第１の送
り爪（８ａ）はＢ方向の前進により、先端がリード線（
１ａ）間を通りパッケージ（１）の側面に当接する。続
いて、送り爪（８ａ）のＣ方向の移動によシリード線（
１ａ）を引掛けてパッケージ（１）を案内レール（５）
上で矢印Ｓのように、所定距離だけ移送する。

ついで、送シ爪（８ａ）はＣ方向の後退により先端がリ
ード線（１ａ）間から離れ、Ｅ方向の復帰移動により、
始めの位置に復帰して停止する。

送り爪（４ａ）の３３−＋Ｃ−＋　］）　−＋　Ｅの移
動運動と同時に、移動棒（７）に取付けられた第２．第
３の送り爪（ａｂ）、（４ｃ）も同一の７３　→Ｃ−＋
　］）　−＋　Ｅの移動運動をする。送り爪（４ｂ）は
、送り爪（４ａ）によって所定距離移送されたパッケー
ジ（１）の後端から数ｍｍ離れた位置になるように、移
動棒（７）に取付けである。

また、送り爪（４ｃ）も、送り爪（４ｂ）によって所定
距離移送されたパッケージ（１）の後端から数ｍｍ離れ
た位置になるように、移動棒（７）に取付けである。

こうして、上記のように一連の移動作用を繰返すことに
よシ、ベルト（２）に整列きれマガジン（３）に収納さ
れているパッケージ（１）を、先頭から順次案内レール
（５）上に一定間隔で移送するようにしている０ 上記従来の移送装置は、パッケージ（１）を一定間隔で
移送するのに、送９爪（４ａ）の先端を複数本のリード
線（１ａ）の間をぬって入れ、パッケージ（１）の側面
に当接させなければならず、パッケージ（１）に対する
送り爪（８ａ）の正確な位置制御を要し、調整作業が面
倒であった。また、パッケージ（１）のリード線（１ａ
）のすき間は、通常、１ｍｍ程度で狭く、この間に入れ
る送シ爪（８ａ）の先端部を非常に細くする必要があっ
た。

このように、送り爪（８ａ）の先端部でリード１６　（
ｌａ）を引掛けて移送する際に、押出し装置（４）Ｋよ
って案内レール（５）上に押出されたパッケージ（１）
の行き過ぎによる停止位置のばらつきゃ、パッケージ（
１）から出された各リード線（１ａ）自身の位置のばら
つきなどの集積誤差により、円滑な移送を妨げる欠点が
あった。

このような移送の不具合により、パッケージ（１）Ｋ割
れを生じたり、リードｆ１１！（ｌａ）に傷や曲がりが
できたり、送り爪（８ａ）の先端部が破損したりしてい
た。また、移送の不具合の７こびに、案内し〜ル（５）
上で移送される各パッケージ（１）の一定間隔が狂って
しまうので、装置全体を停止させて各パッケージ（１）
を一定間隔に整列し直さなければならず、処理装置の稼
動率が大幅に低下していた。

さらに、案内レール（５）の送入側にパッケージ（１）
の方向検出手段がなく、ベルト（２）に手作業で一定方
向に整列された複数のパッケージ（１）のうち、誤って
逆方向に整列されたものがあっても、そのままレール（
５）上を移送され、次のダイスボンディング工程や、ワ
イヤボンディング工程へ移送きれてしまい、多数の不良
品の半導体装置ができる欠点があった。

〔発明の概要〕

この発明は、上記従来の装置の欠点を除くため罠なされ
たもので、収納マガジン端から送り側に離して配設した
案内分離装置の可動受は部材をマガジン側に移動し、マ
ガジン内の整列案内体上から押出された半導体装置を１
個載せ、この受け部材を送り方向に所定距離移動し、上
記受は部材には、載せられたパッケージを真空吸着して
おく真空吸着手段と、受は部材上に押出されている半導
体装置が検知位置に至ると信号を出し、押出し装置を停
止させ半導体装置の移動を止めさせる定位置停止手段と
、半導体装置の一端の方向識別の切欠きを検出し信号を
出す方向検出手段を設けてあり、案内分離装置及びこれ
に続く案内レールの側力如定間隔送り装置を配設し、こ
の定間隔送シ装置には送り方向に対し所定間隔に複数の
送り爪を設け、同一の送り運動するようにし、前進によ
りマガジン側の送り爪で受け部材上の半導体装置の後端
側に至り、所定距離の送り移動で半導体装置の後端を押
し案内レール上に送シ、次の送シ爪で同様に始めの送り
爪で送られである半導体装置の後端を押し所定距離送り
、続く送り爪で同様に、前の送り爪で送られである半導
体装置を所定距離送るようにしている。これにより、半
導体装置の移送の不具合をなくし安定した移送ができ、
半導体装置やリード線（リード線を有する場合）の損傷
を防ぎ、半導体装置の方向を検出することで、不良品生
産が防止でき、また、装置の稼動率が向上される半導体
装置の移送装置を提供することを目的としている〇 〔発明の実施例〕 第３図及び第４図はこの発明の一実施例による移送装置
の概要平面図及び案内分離装置部の斜視図であり、（１
）〜（４）　、　（ｌａ）、　（ｌｂ）は上記従来装置
と同一のものである。曽はＵ字状部が形成されたレール
（２）の延長方向に間隔をあけて配設された案内分離装
置で、次のように構成されている。シっけ１対のスライ
ド軸受で、固定部（図示は略す）に取付けられた固定支
持体（イ）と、この支持体に転動体（至）を介し直線方
向処しゆう動自在に支持された可動体（ハ）からなって
いる。に）はこれら１対の可動体上に固定された可動受
は部材で、ベルト（２）」−から押出されたパッケージ
（１）１個を上面忙受ける。（イ）は固定部（図示は略
す）に取付けられた流体圧シリンダで、例えばエアシリ
ンダからなり、可動受は部材（２）に取付けられた連結
金具に）にピストン棒（イ）が連結されておシ、可動受
は部材（ハ）を矢印Ｆ及びＧ方向に所定距離の往復移動
させる。翰は可動受は部材（２）上に移されたパッケー
ジ（１）を吸着しておく真空吸着手段で、可動受は部材
（ハ）の上面から下方に貫通する吸引穴（２５ａ）と、
真空吸引ホース（至）及び、このホースと真空吸引源を
なす真空ポンプ（図示は略す）に連結した配管Ｏｐから
なっている。に）は定位置停止手段で、次のように構成
されている。真空吸着手段の回路に入れられた真空検知
器０１を備えており、可動受は部材（ハ）上にパッケー
ジ（１）が押出されてきて前端が吸引穴（２５ａ）をふ
さぐに至ると、真空検知器（至）から検知信号が出され
る。この信号を継電器（図示は略す）に入れ、パッケー
ジ（１）が吸引穴（２５ａ）を前端がふさいでから受け
部材（ハ）上の所定の位置に達するまでの微少時間だけ
、遅らせた遅延信号を押出し装置（４）に送り停止させ
るようにしている。これによシ受は部材に）上を押され
てきたパッケージ（１）は、切欠き（１ｂ）が透過穴（
２５ｂ）上に至る定位置で停り、真空吸着によりその位
置に維持される。

（財）はパッケージ（１）の方向検出手段で、光電スイ
ッチからなり、定位置に至ったパッケージ（１）に投光
器に）から投光し透過穴（２５ｂ）を通し、光電管を有
する受光器（７）で受ける。パッケージ（１）が正常方
向であれば切欠き（１ｂ）を投射光が通過し、検出信号
が出され正常が確認でき、方向が逆であると投射光が遮
断され、方向の間違いが検知され、処置がとられるよう
にしている。

次に、（ロ）は定間隔送り装置で、駆動装置（図示は略
す）によシ矢印Ｂ−＋Ｃ−＋Ｄ→Ｅのように移動運動す
る連結板（至）に、送り方向に対し所定の間隔で複数の
送り爪（３９ａ　）　ｓ　（３９ｂ　）　＃　（３９ｃ
　）　−−−−一が配設されている。この間隔は、各パ
ッケージ（１）の所要の送シ間隔にしてあシ、送シ爪の
配設個数は、次工程の必要によシ決めである。（イ）は
各送り爪（３９ａ）〜（３９ｃ）−−−−により後端を
押されて間欠移送される各パッケージ（１）を載せ案内
する案内レールである。

上記一実施例の装置の動作は、次のようになる。

レール（２）上にパッケージ（１）を所定の方向に整列
して載せ、マガジン（３）に収納しておく。案内分離装
置（ホ）の受け部材に）は鎖線で示すように、マガジン
（３）側に移動してあシ、真空吸着手段に）を作動して
いる。次に、押出し装置（４）によりレール（２）上の
パッケージ（１）群を押し、先頭のパッケージ（１）を
受け部材に）上に押出していく。ここで、パッケージ（
１）の先端側が真空吸引穴（２５ａ　）上に達しふさぐ
と、真空検知器（イ）が信号を出し、この信号を受け定
位置停止手段に）により遅延信号を押出し装置（４）Ｋ
送り停止させる。これにより、パッケージ（１）は受け
部材に）上の所定位置で止められる。受は部材（ハ）上
のパッケージ（１）は真空吸着手段（イ）により、ずれ
ることなく吸着支持されている。ここで、方向検出手段
■によりパッケージ（１）の前端の切欠き（１ｂ）を検
出して方向判断をし信号を、案内分離装置（ホ）と定間
隔送り装置（ロ）とに送る。

これによシ、流体圧シリンダ（イ）により受け部材に）
は矢印Ｇ方向に送り移動され、各送り爪（３９ａ）〜（
３９ｃ）は矢印Ｂのように前進する。こうして、鎖線で
示すように、送り爪（３９ａ）の先端部は受け部材に）
上のパッケージ（１）の＠　ｉｎ＋後方に至り、送シ爪
（３９ｂ　）の先端部は、既に、送り爪（３９ａ）の前
サイクルの送り運動で案内レールｕＱ上に送シ込まれで
あるパッケージ（１）の数ｍｍ後方に至る。同時に送り
爪（３９（りの先端部は、既に、送り爪（３９ｂ）の前
サイクルの送り運動で所定間隔位置にあるパッケージ（
１）の数ｍｍ後方に至る。つづいて、各送り爪（ｓ９ａ
）〜（３９ｃ）が矢印Ｃ方向に所定距離移動し、送り爪
（３９ａ）は受け部材（ハ）上に真空吸着されているパ
ッケージ（１）を案内レール（ト）上に所定距離移送す
る。同時に、送り爪（３９ｂ）　、　（３９０）も案内
レールに）上の各パッケージ（１）を所定距離移送する
。

すると、真空検知器−による真空検知が解除され、各送
り爪（３９ａ）〜（３９０）は矢印りのように後退し、
矢印Ｅのように原位置に移動復帰する。同時に、受は部
材に）も矢印Ｆのように移動復帰する。

上記のように、押出し装置（４）、案内分離装置（ホ）
及び定間隔送り装置（ロ）が一連の動作をくり返すこと
により、ベルト（２）に整列されマガジン（３）に収納
された多数個のパッケージ（１）を、１個宛分離し順次
案内レールに）上に所定間隔で移送し、次工程にかけら
れる。

第５図はこの発明の他の実施例による案内分離装置の可
動受は部材の要部を示す断面図で、可動受は部材（ロ）
上面にはＵ字状の案内溝（４１ａ）が設けられ、パッケ
ージ（１）を一定方向に案内するようにしている。

なお、上記実施例では、移送する半導体装置として、半
導体素子を装着していないパッケージの場合を説明した
が、半導体素子を装着したパッケージの場合にも適用で
きるものである。また、パッケージから外部に突出する
リード線の有無やＪパッケージの材質に関係なく適用で
きるものである。

さらに、上記実施例では、マガジン内に多数個のパッケ
ージ（１）を整列収容する整列案内体として、Ｕ字状の
ベルトの場合を説明したが、これに限らず、多数個のパ
ッケージ（１）を整列収納し、押出し装置によシ１個宛
押し出されるものであれば、他の構造であっても適用で
きる。

なおまた、上記実施例ではパッケージ（１）の方向検出
手段として、光電スイッチを用いたが、光線の投射によ
りパッケージ端の切欠きの有無を検出するものであれば
、レーザ光線を用いてもよく、あるいは、工業用テレビ
カメラを用いてもよい。

さらにまた、上記実施例では、パッケージ（１）を受け
部材に）上の所定位置に止めるための定位置停止手段と
して、真空検知器に）による真空吸引の信号を継電器に
入れ、遅延信号を押出し装置（４）に送り停止させるよ
うＫしたが、これに限らず、例えば、パッケージ（１）
が所定位置に至るとその前端、又は後端を検出し信号を
出す光電スイッチなどを用い、押出し装置（４）を急速
に停止させるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように１この発明によれば、マガジン内の整列案
内体に整列して収容された複数の半導体装置を、押出し
装置により先頭側から１個宛押出し、案内分離装置の可
動受は部材上に載せ真空吸着し、定位置停止手段により
受け部材上の検知位置に至った半導体装置を検知し、上
記押出し装置を停止させ半導体装置を所定位置に止め、
方向検出器によシ半導体装置の一端の切欠きを検出し正
規方向を確認し、受は部材を送シ方向に所定距離移動し
、送シ方向に配設しである案内レールに接近させ、定間
隔送り装置の送り方向に定間隔配設の複数の送９爪のう
ち、マガジン側の送シ爪で受け部材上の半導体装置の後
端を押し、案内レール上に所定距離移動し、以下各送シ
爪によυ前の送り爪により所定間隔に移動されである各
半導体装置の後端を押し案内レール上を所定間隔で順次
移送するようにしたので、半導体装置が１個宛確実に分
離され定間隔で移送され、リード線を損傷することがな
くなシ、半導体装置の方向が検出され処置をとることが
でき、不良品を生産することが防止され、装置の安定し
た生産作業ができ稼動率が高められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体装置の移送装置の概要斜視図、第
２図は第１図の装置の平面図、第３図はこの発明の一実
施例による半導体装置の移送装置の概要平面図、第４図
は第３図の案内分離装置部をパッケージは外して示す斜
視図、第５図はこの発明の他の実施例を示す可動受は部
材の要部の断面図である。 ｌ・・・半導体装置パッケージ、１ａ・・リード線、ｌ
ｂ・・・切欠き、２・・・Ｕ字状のベルト、３・・・マ
ガジン、４・・・押出し装置、２０・・・案内分離装置
、２５・・・可動受は部材、２５ａ・・・吸引穴、２５
ｂ・・・透過穴、２つ・・・真空吸着手段、３ｏ・・・
真空吸引ボース、３１・・・配管、３２・・・定位置停
止手段、３３・・・真空検知器、３４・・・方向検出手
段、３５・・・投光器、３６・・・受光器、３７・・・
定間隔送シ装置、３８・・・連結板、３９ａ〜３９ｃ・
・・送り爪、４０・・・案内レール、４１・・・可動受
は部材なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示　特願昭５８−１４’１５０２Ｊ＆３、
補正をする者 ５、　補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 ６、　補正の内容 ｆｉｌ　ＩＵ細書第５ページ第１３行の「光電スイッチ
１７１　Ｊ　ｔ　ｒ光電スイッチ（＋ｏ＋　、Ｊに補正
する。 （２）　明細書第６ページ第’７　、１１　、１４行の
「移動棒（７）」を「連結板（７）」に補正する。 （３）明細書第７ページ第１４行の「集積誤差」全「累
積誤差」に補正する。 （４）明細書第１２ページ第１行の「受光器（２）ｊを
「受光器（至）」に補正する。 （６１明細書第１３ページ第５行の「真空検知器Ｑ」を
「真空検知器■」に補正する。 以上

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）マガジンに収納され、上部に複数の半導体装置を
   整列した整列案内体、この整列案内体上の上記半導体装
   置を１個宛先頭から順に押出す押出し装置、上記整列案
   内体に対し押出し方向に配設されてあシ、整列案内体側
   に可動受は部材が移動され、押出されてきた上記半導体
   装置を１個載せ送シ方向に所定距離移動されるようにし
   た案内分離装置、押出されてくる上記半導体装置が上記
   可動受は部材の検知位置に至ると、検知信号を出し上記
   押出し装置を停止させ、上記半導体装置を可動受は部材
   の所定位置に止めさせる定位置停止手段、上記可動受は
   部材の上面から吸引穴が貫通されていて真空吸引源に接
   続されておシ、可動受は部材上の上記半導体装置を真空
   吸着しておく真空吸着手段、上記可動受は部材上の所定
   位置にされた上記半導体装置の一端の方向識別の切欠き
   を検出し信号を送シ、正規方向が確認されるようにする
   方向検出手段、上記可動受は部材に対し送り方向忙配設
   されておシ、上記可動受は部からの上記半導体装置が移
   され送シの案内をする案内レール、及び連結板に複数の
   送シ爪が送シ方向に対し所定間隔に配設されてあシ、上
   記連結板は駆動装置によシ上記案内レール側への前進、
   送り方向への所定距離の送り移動、後退及び原位置への
   復帰移動されるようにしていて、上記各送シ爪が前進に
   より上記可動受は部材上の上記半導体装置の後方と、上
   記案内レール上に定間隔送りされである上記各半導体装
   置の後方に至シ、送り移動により各半導体装置を押して
   案内レール上を所定間隔宛間欠移送する定間隔送り装置
   を備えた半導体装置の移送装置。
2. （２）定位置停止手段は、可動受は部材から真空吸引源
   への回路に接続されておシ、可動受は部材上に押出し移
   動されている半導体装置の前端が吸引穴上に達してふさ
   ぎ、真空吸引状態に至ると検知信号を出す真空検知器と
   、この真空検知器からの信号を所定の微小時間遅らせる
   遅延信号にして出し、押出し装置を停止させるようにし
   た継電器とからなることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の半導体装置の移送装置。
3. （３）定位置停止手段は、可動受は部材上の半導体装置
   が所定位置に至ると、前端又は後端を検出し検出信号を
   出す光電スイッチからなることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の半導体装置の移送装置。
4. （４）方向検出手段は、可動受は部材上の定位置に止め
   られた半導体装置の一端の切欠きを検出し信号を出す光
   電スイッチからなることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の半導体装置の移送装置。