JPS61211896A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPS61211896A JPS61211896A JP60052223A JP5222385A JPS61211896A JP S61211896 A JPS61211896 A JP S61211896A JP 60052223 A JP60052223 A JP 60052223A JP 5222385 A JP5222385 A JP 5222385A JP S61211896 A JPS61211896 A JP S61211896A
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- circuit
- mosfet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、半導体集積回路装置に関するもので、例え
ば、CMO5(相補型MO5>スタティック型RAM
(ランダム・アクセス・メモリ)の周辺回路の一部にバ
イポーラ型トランジスタを紐み込んで構成された半導体
記憶装置に利用して有効な技術に関するものである。
ば、CMO5(相補型MO5>スタティック型RAM
(ランダム・アクセス・メモリ)の周辺回路の一部にバ
イポーラ型トランジスタを紐み込んで構成された半導体
記憶装置に利用して有効な技術に関するものである。
(背景技術〕
CMOSスタティック型RAM (ランダム アクセス
メモリ)をECL (エミッタ カップルド ロジッ
ク)回路により直接アクセスするようにしたCMO3−
ECLコンパチブルRAMが、アイニスニスシー ダイ
ジェスト オブ テクニカル ペイバーズ(ISSCD
IGEST OF TECHNICALPAllB)1
s)誌の1982年、2月号、pp248〜249によ
って公知である。また、CMOSスタティック型RAM
の高速化のために、バイポーラ型トランジスタを用いた
ものが特開昭56−58193号公報、lコ経マグロウ
ヒル社1984年5月21日付r日経エレクトロニスク
」頁198等により提案されている。このように、CM
O5回路とバイポーラ型トランジスタ回路とを組合せた
RAMが種々提案されている。
メモリ)をECL (エミッタ カップルド ロジッ
ク)回路により直接アクセスするようにしたCMO3−
ECLコンパチブルRAMが、アイニスニスシー ダイ
ジェスト オブ テクニカル ペイバーズ(ISSCD
IGEST OF TECHNICALPAllB)1
s)誌の1982年、2月号、pp248〜249によ
って公知である。また、CMOSスタティック型RAM
の高速化のために、バイポーラ型トランジスタを用いた
ものが特開昭56−58193号公報、lコ経マグロウ
ヒル社1984年5月21日付r日経エレクトロニスク
」頁198等により提案されている。このように、CM
O5回路とバイポーラ型トランジスタ回路とを組合せた
RAMが種々提案されている。
本願出願人においては、CMOSスタティック型RAM
の高速化のために、アドレスバ・2フア、アドレスデコ
ーダ及び入出力回路の一部にバイポーラ型トランジスタ
を組み込んで、その高速化を実現したRAMを既に開発
した。このRAMにおいて、高速動作化のために、バイ
ポーラ型トランジスタを用いた差動増幅回路によってセ
ンスアンプを構成した。このようなセンスアンプにあっ
ては、その出力信号振幅が小さいので、CMOSレベル
に変換するレベル変換回路が必要になる。しかしながら
、上記レベル変換回路においては、小さな振幅の信号を
CMOSレベルのように大きな振幅の信号に増幅するた
め、比較的大きな直流電流を流すことになって、RAM
の消費電流を大きくする原因となる。
の高速化のために、アドレスバ・2フア、アドレスデコ
ーダ及び入出力回路の一部にバイポーラ型トランジスタ
を組み込んで、その高速化を実現したRAMを既に開発
した。このRAMにおいて、高速動作化のために、バイ
ポーラ型トランジスタを用いた差動増幅回路によってセ
ンスアンプを構成した。このようなセンスアンプにあっ
ては、その出力信号振幅が小さいので、CMOSレベル
に変換するレベル変換回路が必要になる。しかしながら
、上記レベル変換回路においては、小さな振幅の信号を
CMOSレベルのように大きな振幅の信号に増幅するた
め、比較的大きな直流電流を流すことになって、RAM
の消費電流を大きくする原因となる。
この発明の目的は、高速動作化と低消費電力化を達成し
た半導体集積回路装置を提供することにある。
た半導体集積回路装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、ノイズの低減と回路の簡素化を
図った出力回路を含む半導体集積回路装置を提供するこ
とにある。
図った出力回路を含む半導体集積回路装置を提供するこ
とにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、比較的小さな信号振幅の相補信号を受けて電
源電圧レベルのような大きな信号振幅の信号を形成する
レベル変換回路として、第1導電型の差動増幅MOSF
ETと、電流ミラー形態にされた第2導電型の負荷MO
SFETとからなる2組の差動増幅に上記相補信号を互
いに逆相で供給し、その動作電流を共通のパワースイッ
チMOSFETによって選択的に供給するとともに、上
記2組の差動増幅MOSFETのうち、そのドレインが
電流ミラー形態の入力側MOSFETのドレインに接続
された差動MOSFETのコンダクタンスをそれと対を
なす他方の差動MOSFETに比べて小さく設定するも
のである。
源電圧レベルのような大きな信号振幅の信号を形成する
レベル変換回路として、第1導電型の差動増幅MOSF
ETと、電流ミラー形態にされた第2導電型の負荷MO
SFETとからなる2組の差動増幅に上記相補信号を互
いに逆相で供給し、その動作電流を共通のパワースイッ
チMOSFETによって選択的に供給するとともに、上
記2組の差動増幅MOSFETのうち、そのドレインが
電流ミラー形態の入力側MOSFETのドレインに接続
された差動MOSFETのコンダクタンスをそれと対を
なす他方の差動MOSFETに比べて小さく設定するも
のである。
〔実施例1〕
第1図には、この発明が適用されるスタティック型RA
Mのブロック図が示されている。同図には、記憶容量が
約64にビット、出力が4ビツトのRAMの内部構成を
示している。同図において、破線で囲まれた各回路部は
、半導体集積回路技術によって、1個の単結晶シリコン
のような半導体基板上において形成される。
Mのブロック図が示されている。同図には、記憶容量が
約64にビット、出力が4ビツトのRAMの内部構成を
示している。同図において、破線で囲まれた各回路部は
、半導体集積回路技術によって、1個の単結晶シリコン
のような半導体基板上において形成される。
この実施例のスタティック型RAMは、それぞれが12
8列(ロウ)X128行(カラム)−16384ビツト
(約16にビット)の記憶容量を持つ4つのマトリック
ス(メモリアレイM−ARY1〜M−ARY4)を有し
、これにより合計で約64にビットの記憶容量を持つよ
うにされている。複数のメモリセルMCを有する各メモ
リアレイM−ARY1〜メモリアレイM−ARY4から
所望のメモリセルMCを選択するめのアドレス回路は、
アドレスバッファADB、 ロウアドレスデコーダR
−DCR,カラムアドレスデコーダC−DCR,カラム
スイッチC−3WI〜C−3W4等から構成される。
8列(ロウ)X128行(カラム)−16384ビツト
(約16にビット)の記憶容量を持つ4つのマトリック
ス(メモリアレイM−ARY1〜M−ARY4)を有し
、これにより合計で約64にビットの記憶容量を持つよ
うにされている。複数のメモリセルMCを有する各メモ
リアレイM−ARY1〜メモリアレイM−ARY4から
所望のメモリセルMCを選択するめのアドレス回路は、
アドレスバッファADB、 ロウアドレスデコーダR
−DCR,カラムアドレスデコーダC−DCR,カラム
スイッチC−3WI〜C−3W4等から構成される。
」二記メモリセルMCは、図示しないが、相互において
同じ構成とされており、特に制限されないが、そのデー
1−.ドレ1′フ間が互いに交差結線された一対のNチ
ャンネル記憶MOSFETと、そのFレインにそれぞれ
設けられた情報保持用抵抗、上記記憶M OS F E
Tと−・対の相補データ線り。
同じ構成とされており、特に制限されないが、そのデー
1−.ドレ1′フ間が互いに交差結線された一対のNチ
ャンネル記憶MOSFETと、そのFレインにそれぞれ
設けられた情報保持用抵抗、上記記憶M OS F E
Tと−・対の相補データ線り。
■との間にそれぞれ設けられたNチャンネル伝送ゲー1
〜MOSFETとで構成されている。上記メモリセルM
Cは、上記抵抗の接続点に電源電圧Vccが供給される
ことによって記憶情報を保持する。
〜MOSFETとで構成されている。上記メモリセルM
Cは、上記抵抗の接続点に電源電圧Vccが供給される
ことによって記憶情報を保持する。
上記抵抗は、記憶情報の保持状態におけるメモリセルM
Cの消費電力を減少させるため、例えば、数メグオーム
ないし数ギガオームのような高抵抗値にされる。また、
上記抵抗は、メモリセルの占有面積を減少させるため、
例えば、MOSFETを形成する半導体載板の表面に比
較的厚い厚さのフィールド絶縁膜を介して形成された比
較的高抵抗のポリシリコン層から構成される。
Cの消費電力を減少させるため、例えば、数メグオーム
ないし数ギガオームのような高抵抗値にされる。また、
上記抵抗は、メモリセルの占有面積を減少させるため、
例えば、MOSFETを形成する半導体載板の表面に比
較的厚い厚さのフィールド絶縁膜を介して形成された比
較的高抵抗のポリシリコン層から構成される。
情報の読み出し/書き込みを扱う信号回路は、特に制限
されないが、データ入力回路DIBI〜DIB4.デー
タ出力回路DOB−DOB4..センスアンプ5AI−
5A16から構成される。
されないが、データ入力回路DIBI〜DIB4.デー
タ出力回路DOB−DOB4..センスアンプ5AI−
5A16から構成される。
情報の読み出し/書き込み動作を制御するためのタイミ
ング回路は、特に制限されないが、内部制御信号発生回
路COM−GE、センスアンプ選択回路GSから構成さ
れている。
ング回路は、特に制限されないが、内部制御信号発生回
路COM−GE、センスアンプ選択回路GSから構成さ
れている。
ロウ系のアドレス選択線(ワード線W1〜W128)に
は、アドレス信号AO−A6に基づいて得られる128
通りのデコード出力信号がロウデコーダR−DCRより
送出される。このデコード出力信号は、特に制限されな
いが、ロウアドレスデコーダR−DCRを中心にして左
右に配置された2つづつのメモリアレイM−ARYI、
M−ARY2とメモリアレイM−ARY3.M−ARY
4の上記ワード線W1〜W128に対して共通に供給さ
れる。
は、アドレス信号AO−A6に基づいて得られる128
通りのデコード出力信号がロウデコーダR−DCRより
送出される。このデコード出力信号は、特に制限されな
いが、ロウアドレスデコーダR−DCRを中心にして左
右に配置された2つづつのメモリアレイM−ARYI、
M−ARY2とメモリアレイM−ARY3.M−ARY
4の上記ワード線W1〜W128に対して共通に供給さ
れる。
カラム系のアドレス選択線Y1〜Y128には、アドレ
ス信号A7〜A13に基づいて得られる128通りのデ
コード出力信号がカラムデコーダC−DCRより送出さ
れる。このデコード出力信号は、特に制限されないが、
カラムアトL・スデコーダC−DCRを中心にして左右
に配置された2つづつのカラムスイッチC−3WI、C
−3W2とC−3W3.C−3W4に対して共通に供給
される。
ス信号A7〜A13に基づいて得られる128通りのデ
コード出力信号がカラムデコーダC−DCRより送出さ
れる。このデコード出力信号は、特に制限されないが、
カラムアトL・スデコーダC−DCRを中心にして左右
に配置された2つづつのカラムスイッチC−3WI、C
−3W2とC−3W3.C−3W4に対して共通に供給
される。
アドレスバッファADHは、外部端子から供給された一
?トレス信号AO〜A13を受け、これに基づいた内部
相補アドレス信号−ao−a13を形成する。なお、内
部相補アドレス信号」−0は、アドレス信号AOと同相
の内部アドレス信号aOと、アドレス信号AOに対して
位相反転された内部アドレス信号丁0とに、トリ構成さ
れる。残りの内部相補アドレス信号旦」〜工13につい
ても同様に、同相の内部アドレス信号a1〜,1】3と
位相反転された内部アドレス信号丁1・−丁13とによ
り構成される。
?トレス信号AO〜A13を受け、これに基づいた内部
相補アドレス信号−ao−a13を形成する。なお、内
部相補アドレス信号」−0は、アドレス信号AOと同相
の内部アドレス信号aOと、アドレス信号AOに対して
位相反転された内部アドレス信号丁0とに、トリ構成さ
れる。残りの内部相補アドレス信号旦」〜工13につい
ても同様に、同相の内部アドレス信号a1〜,1】3と
位相反転された内部アドレス信号丁1・−丁13とによ
り構成される。
アドレスバッファADBによって形成された内部相補ア
ドレス信号aO−113のうち、特に制限されないが、
内部相補アドレス信号17〜113は、カラムアドレス
デコーダC−DCRに供給される。カラムアドレスデコ
ーダC−DCRは、これらの内部相補アドレス信号土7
〜a13を解読(デコード)し、デコードによって得ら
れた選択信号(デコード出力信号)を、カラムスイッチ
C−3WI〜C−3W4内のスイッチ用MOSFET(
絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)Q6゜−δ−6〜
Q7.Q7等のゲー1−に供給する。
ドレス信号aO−113のうち、特に制限されないが、
内部相補アドレス信号17〜113は、カラムアドレス
デコーダC−DCRに供給される。カラムアドレスデコ
ーダC−DCRは、これらの内部相補アドレス信号土7
〜a13を解読(デコード)し、デコードによって得ら
れた選択信号(デコード出力信号)を、カラムスイッチ
C−3WI〜C−3W4内のスイッチ用MOSFET(
絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)Q6゜−δ−6〜
Q7.Q7等のゲー1−に供給する。
各メモリアレイM−ARYI〜M−ARY4におけるワ
ード線W1〜W128のうち、外部からのアドレス信号
AO−A6の組み合わせによって指定された1本のワー
ド線が上述し、たロウアドレスデコーダR−DCRによ
って選択され、上述したカラムアドレスデコーダC−D
CHによって、外部からのアドレス信号A7〜A130
組み合わせによって指定された1対の相補データ線が1
28対の相補データ線のなかから選択される。これによ
り、各メモリアレイM −A RY 1〜M −A R
Y4において、選択されたソー1−線と選択された相補
データ線との交点に配置されたそれぞれ1(lliIの
メモリセルMCが選択される。
ード線W1〜W128のうち、外部からのアドレス信号
AO−A6の組み合わせによって指定された1本のワー
ド線が上述し、たロウアドレスデコーダR−DCRによ
って選択され、上述したカラムアドレスデコーダC−D
CHによって、外部からのアドレス信号A7〜A130
組み合わせによって指定された1対の相補データ線が1
28対の相補データ線のなかから選択される。これによ
り、各メモリアレイM −A RY 1〜M −A R
Y4において、選択されたソー1−線と選択された相補
データ線との交点に配置されたそれぞれ1(lliIの
メモリセルMCが選択される。
−に記選択されたメモリセルM Cから読め出された記
憶清帳ば、4対のサブ」モン相補データ線CDI、面1
−CD4.正正4のうらの1つに現れる。すなわち、サ
ブコモン相補データ線CD 1゜(j)l〜CD4.C
I)4は、代表として示されたメモリアレイM−AR’
i’lのように、128対の相補テ゛−タ線が32対つ
・つに分割されたメモリブロックM 1〜M4に対応し
ている。センスアンプSAIないしSA4は、」二記分
別されたサブコモン相補データ線CI) ]、 、
CD I −CI) 4 、 CD 4に対応してそ
れぞれ設けられる。
憶清帳ば、4対のサブ」モン相補データ線CDI、面1
−CD4.正正4のうらの1つに現れる。すなわち、サ
ブコモン相補データ線CD 1゜(j)l〜CD4.C
I)4は、代表として示されたメモリアレイM−AR’
i’lのように、128対の相補テ゛−タ線が32対つ
・つに分割されたメモリブロックM 1〜M4に対応し
ている。センスアンプSAIないしSA4は、」二記分
別されたサブコモン相補データ線CI) ]、 、
CD I −CI) 4 、 CD 4に対応してそ
れぞれ設けられる。
この様にザブコモン相補データ線CDI、CD1〜CI
)4.CD4に分割し、それぞれにセンスアンプSA、
Iないり、 S A 4を設4Jたねらいは、コモン相
;liiデータ線の寄生容量壱分割(低減)し、メモリ
セルからの情報読み出し動作の高速化を図ることるある
。
)4.CD4に分割し、それぞれにセンスアンプSA、
Iないり、 S A 4を設4Jたねらいは、コモン相
;liiデータ線の寄生容量壱分割(低減)し、メモリ
セルからの情報読み出し動作の高速化を図ることるある
。
センスアンプ選択回路GSは、」二記アドレス信号A1
2.A13に基づいて4つの組合せに解読し、センスア
ンプ選択信号m1〜m4を形成する。
2.A13に基づいて4つの組合せに解読し、センスア
ンプ選択信号m1〜m4を形成する。
上記4fllilのセンスアンプSAI〜SA4 (
SA5〜SA8、SA9〜5A12及び5A13〜5A
16)のうち、それぞれカラムスイッチによって選択さ
れた相補データ線に対応した1つのセンスアンプが選択
信号m 1−m 4とタイミング信号ascによって動
作状態にされ、その出力をコモン相補データ線CDL、
CDLに伝える。
SA5〜SA8、SA9〜5A12及び5A13〜5A
16)のうち、それぞれカラムスイッチによって選択さ
れた相補データ線に対応した1つのセンスアンプが選択
信号m 1−m 4とタイミング信号ascによって動
作状態にされ、その出力をコモン相補データ線CDL、
CDLに伝える。
このコモン相補データ線CDI4.CDLは、データ出
力回路DOBの入力端子とデータ入力回路]) I B
の出力端子に結合される。なお、書き込め動作にあって
は、上記分割されたサブコモン相補データ線CDI、C
DI〜CD4.C不−4は、書き込み制御信号weを受
ける伝送ゲー1− M OS FETQI、酊1〜Q5
.Q5によって短絡させられる。
力回路DOBの入力端子とデータ入力回路]) I B
の出力端子に結合される。なお、書き込め動作にあって
は、上記分割されたサブコモン相補データ線CDI、C
DI〜CD4.C不−4は、書き込み制御信号weを受
ける伝送ゲー1− M OS FETQI、酊1〜Q5
.Q5によって短絡させられる。
内部制御信号発生回路COM−GSは、2つの外部制御
信号CS(チップセレクト信号)、WE(ライ1−イネ
ーブル信号)を受&ノて、内部チップ選択信号csl、
sac (センスアンプ動作タイミング信号)、we
(書込み制御信号)、dic(データ入力制御信号)及
びdoc (データ出力制御信号)等を送出する。
信号CS(チップセレクト信号)、WE(ライ1−イネ
ーブル信号)を受&ノて、内部チップ選択信号csl、
sac (センスアンプ動作タイミング信号)、we
(書込み制御信号)、dic(データ入力制御信号)及
びdoc (データ出力制御信号)等を送出する。
第2図には、センスアンプSAとデータ出力回路D O
13の一実施例の回路図が示されている。同図において
、チャンネル部分に直線を付したMOSFETQI 1
等は、PチャンネルMOSFETであり、Nチャンネル
MOSFETQI O等と区別している。このことは、
次に説明する第3図においても同様ある。
13の一実施例の回路図が示されている。同図において
、チャンネル部分に直線を付したMOSFETQI 1
等は、PチャンネルMOSFETであり、Nチャンネル
MOSFETQI O等と区別している。このことは、
次に説明する第3図においても同様ある。
センスアンプSAは、サブコモン相補データ線CD、C
Dにベースが結合された差動のバイポーラトランジスタ
T5.T6と、その共通エミッタと回路の接地電位点と
の間に設けられ、制御信号sac−miによって選択的
に動作電流を流すNチャンネルMOSFETQ21とに
より構成される。この差動トランジスタT5.T6のコ
レクタは、コモン相補データ1nlcDL、CDLにそ
れぞれ結合される。なお、図示しないが、上記コモン相
補データ線CDL、CDLには、残り3(flitの同
様なセンスアンプを構成する差動トランジスタのコレク
タも共通に接続される。
Dにベースが結合された差動のバイポーラトランジスタ
T5.T6と、その共通エミッタと回路の接地電位点と
の間に設けられ、制御信号sac−miによって選択的
に動作電流を流すNチャンネルMOSFETQ21とに
より構成される。この差動トランジスタT5.T6のコ
レクタは、コモン相補データ1nlcDL、CDLにそ
れぞれ結合される。なお、図示しないが、上記コモン相
補データ線CDL、CDLには、残り3(flitの同
様なセンスアンプを構成する差動トランジスタのコレク
タも共通に接続される。
上記コモン相補データ線CDL、CDL4ご現れたセン
スアンプの出力信号は、データ出力回路DOBの初段回
路PDOによって、はW’ECL(エミッタ・カップル
ド・ロジック)のような出力信号に増幅される。上記コ
モン相補データ線CD 1. 。
スアンプの出力信号は、データ出力回路DOBの初段回
路PDOによって、はW’ECL(エミッタ・カップル
ド・ロジック)のような出力信号に増幅される。上記コ
モン相補データ線CD 1. 。
CDLは、ベース接地J、II幅トランジスタT7.T
8のエミッタに結合される。これらのトランジスタT7
.T8の−、−スには、ダイオードD1.D2とその動
作電流を流す定電流源とし7てのMOSFETQ23と
により形成されたバイアス電圧(Vcc−2Vf)が供
給される。なお、Vfは、ダイオードDi、D2の順方
向電圧である。上記トランジスタT7.T8のエミッタ
と回路の接地電位点との間には、そのバイアス電流を流
す定電流源吉してのM OS I・′Yろ”I”Q22
.Q24が設()られる。そし°ζ、に記1〜ランジス
タT7.T8のコレクタには、負荷抵抗R1,R2が設
しノられる。
8のエミッタに結合される。これらのトランジスタT7
.T8の−、−スには、ダイオードD1.D2とその動
作電流を流す定電流源とし7てのMOSFETQ23と
により形成されたバイアス電圧(Vcc−2Vf)が供
給される。なお、Vfは、ダイオードDi、D2の順方
向電圧である。上記トランジスタT7.T8のエミッタ
と回路の接地電位点との間には、そのバイアス電流を流
す定電流源吉してのM OS I・′Yろ”I”Q22
.Q24が設()られる。そし°ζ、に記1〜ランジス
タT7.T8のコレクタには、負荷抵抗R1,R2が設
しノられる。
これらのベース接地型増幅トランジスタT’7.T8の
コレクタ出力は、エミッタフォロワ出力トランジスタT
9.”FloとL・ヘルシソトダイオードD3.1)4
を介して次の出力回路OBに伝えられる。
コレクタ出力は、エミッタフォロワ出力トランジスタT
9.”FloとL・ヘルシソトダイオードD3.1)4
を介して次の出力回路OBに伝えられる。
なお、−L、記出力トランジスタ”]”9.T10のエ
ミッタには、定電流負荷としてのM OS F E T
Q25、Q26が設&Jられる。上記の各定電流源と
して(7)MOSFETQ22〜Q26は、特に制限さ
れないが、内部チップ選択信号csにより選択的に動作
状態にされる。これにより、チップ非選択時に上記MO
SFETQ22〜Q26をオフ状態にして低消費電力化
を図っ°Cいる。
ミッタには、定電流負荷としてのM OS F E T
Q25、Q26が設&Jられる。上記の各定電流源と
して(7)MOSFETQ22〜Q26は、特に制限さ
れないが、内部チップ選択信号csにより選択的に動作
状態にされる。これにより、チップ非選択時に上記MO
SFETQ22〜Q26をオフ状態にして低消費電力化
を図っ°Cいる。
出力回路OBは、パワースイッチMOSFETによって
選択的に動作状態にされ、電流ミラー形態のアクティブ
負荷回路を持つ差動増幅回路によりレベル変換動作と、
出力イネーブル機能を実現するものである。すなわち、
初段回路PDOによって形成された上記E CLレベル
の相補信号は、一方においてPチャンネル型の差動増幅
MOSFETQ28.Q29のゲーI・に供給される。
選択的に動作状態にされ、電流ミラー形態のアクティブ
負荷回路を持つ差動増幅回路によりレベル変換動作と、
出力イネーブル機能を実現するものである。すなわち、
初段回路PDOによって形成された上記E CLレベル
の相補信号は、一方においてPチャンネル型の差動増幅
MOSFETQ28.Q29のゲーI・に供給される。
この差動増幅MOSFETQ2B、Q29の共通化され
たソースと電源電圧Vccとの間には、動作タイミング
信号docを受けるPチャンネル型のパワースイッチM
OSFETQ27が設りられる。上記差動増幅MOSF
ETQ28.Q29のドレインと回路の接地電位点との
間には、電流ミラー形態にされたNチャンネル型のアク
ティブ負荷MOSFETQ31が設けられる。そして、
」二記差動増幅回路の出力であるMOSFETQ29.
Q31の共通化されたドレインと回路の接地電位点との
間には、上記制御信号docを受けるNチャンネルMO
SFETQ34が設けられる。
たソースと電源電圧Vccとの間には、動作タイミング
信号docを受けるPチャンネル型のパワースイッチM
OSFETQ27が設りられる。上記差動増幅MOSF
ETQ28.Q29のドレインと回路の接地電位点との
間には、電流ミラー形態にされたNチャンネル型のアク
ティブ負荷MOSFETQ31が設けられる。そして、
」二記差動増幅回路の出力であるMOSFETQ29.
Q31の共通化されたドレインと回路の接地電位点との
間には、上記制御信号docを受けるNチャンネルMO
SFETQ34が設けられる。
上記ECLレベルの相補信号は、他方において、上記類
似の差動増幅回路(Q36〜Q40)の入力に逆相で供
給される。この差動増幅MOSFETQ36.Q37の
共通化されたソースには、上記バワース・fソチMOS
FETQ27から動作電流が共通に供給される。これに
よって、制御信号docがロウレベルならパワースイッ
チMOSFETQ27がオン状態にされて、2つの差動
増幅回路に動作電流を供給するので、2組の差動増幅回
路からは斤いに逆相のCMOSレベルの出力信列か得ら
れる。一方、制御信号docがハイレベルならパワース
イッチMOSFETQ27がオフ状態にされるので、2
つの差動増幅回路は共に非動作状態にされる。この場合
、上記制御信号d。
似の差動増幅回路(Q36〜Q40)の入力に逆相で供
給される。この差動増幅MOSFETQ36.Q37の
共通化されたソースには、上記バワース・fソチMOS
FETQ27から動作電流が共通に供給される。これに
よって、制御信号docがロウレベルならパワースイッ
チMOSFETQ27がオン状態にされて、2つの差動
増幅回路に動作電流を供給するので、2組の差動増幅回
路からは斤いに逆相のCMOSレベルの出力信列か得ら
れる。一方、制御信号docがハイレベルならパワース
イッチMOSFETQ27がオフ状態にされるので、2
つの差動増幅回路は共に非動作状態にされる。この場合
、上記制御信号d。
CのハイレベルによってNチャンネルMOSFETQ3
4.Q40は共にオン状態にされるので、その出力から
は共にロウレベルの出力信号が得られる。
4.Q40は共にオン状態にされるので、その出力から
は共にロウレベルの出力信号が得られる。
上記制御信号(10Cがロウレベルのレベル変換動作に
おいて、差動増り@Mo5FErQ2a、Q29 (
Q36.Q37)うち、そのドレインが入力端ノミ流ミ
ラーMO3FE’rQ30 (Q3 B)のドレインに
接続された増幅Mo5FETQ2B(Q36)は、その
ゲーl−に供給される信号が口ウレベルの時にオン状態
になってロウレベル側の出力信号を形成するNチャンネ
ルMOSFETQ31(Q39)のゲートをハイレベル
にするだけの動作電流があればよい。すなわち、上記差
動MOSFETQ2B (Q36)は、そのオン状態に
よって直接ハイレベル側の出力信号を形成する他方の差
動MOSFETQ29 (Q37)のように大きな電流
供給能力を必要としない。したがって、パワースイッチ
MOSFETQ27から供給される動作電流は、その入
牢がハイレベルの出力信号を形成する一方の差動増幅回
路に流れ、残りの微少電流がロウレベルの出力信号を形
成J−る他方の差動増幅回路に流れるように分配される
。これによって、この実施例の2組の差動増幅回路にお
いては、その動作電流が効率良く出力信号を形成するた
めに使用されるので、低消費電力のもとるこレベル変換
(増幅)動作を行うことができる。
おいて、差動増り@Mo5FErQ2a、Q29 (
Q36.Q37)うち、そのドレインが入力端ノミ流ミ
ラーMO3FE’rQ30 (Q3 B)のドレインに
接続された増幅Mo5FETQ2B(Q36)は、その
ゲーl−に供給される信号が口ウレベルの時にオン状態
になってロウレベル側の出力信号を形成するNチャンネ
ルMOSFETQ31(Q39)のゲートをハイレベル
にするだけの動作電流があればよい。すなわち、上記差
動MOSFETQ2B (Q36)は、そのオン状態に
よって直接ハイレベル側の出力信号を形成する他方の差
動MOSFETQ29 (Q37)のように大きな電流
供給能力を必要としない。したがって、パワースイッチ
MOSFETQ27から供給される動作電流は、その入
牢がハイレベルの出力信号を形成する一方の差動増幅回
路に流れ、残りの微少電流がロウレベルの出力信号を形
成J−る他方の差動増幅回路に流れるように分配される
。これによって、この実施例の2組の差動増幅回路にお
いては、その動作電流が効率良く出力信号を形成するた
めに使用されるので、低消費電力のもとるこレベル変換
(増幅)動作を行うことができる。
上記2組の差動増幅回路の出力信号は、特に制限されな
いが、外部端子Doutヘハイレベル出力信号を送出す
るバイポーラ型のNPNI−ランジスタにより構成され
たエミッタフォロワ出力トランジスタTllのベースと
、外部端子Doutへロウレベルの出力信号を送出する
Nチャンネル出力MOSFETQ、41のゲートに伝え
られる。なお、外部端子Doutへ送出する出力信号を
]’TLレヘレベに3−るため、上6己トランジスタT
IJのエミッタにはレベルシフト用のダイオードD5が
設けられる。
いが、外部端子Doutヘハイレベル出力信号を送出す
るバイポーラ型のNPNI−ランジスタにより構成され
たエミッタフォロワ出力トランジスタTllのベースと
、外部端子Doutへロウレベルの出力信号を送出する
Nチャンネル出力MOSFETQ、41のゲートに伝え
られる。なお、外部端子Doutへ送出する出力信号を
]’TLレヘレベに3−るため、上6己トランジスタT
IJのエミッタにはレベルシフト用のダイオードD5が
設けられる。
上記スクティソク型RAMの読み出し動作の原tagを
第2図を参照して次に説明J−る。
第2図を参照して次に説明J−る。
このMOSスタティック型R型入7〜MiJる全ての動
作、・つまりアドレス設定動作、読み出し動作、書込み
11作は一方の列部制御信号CSかロウレベルの期間の
み行われる。この際、他方の夕1部制御信号WEがハイ
レー・ルならば読み出し動作を行い、ロウレ・−・ルな
らば書込み動作をおこなう。
作、・つまりアドレス設定動作、読み出し動作、書込み
11作は一方の列部制御信号CSかロウレベルの期間の
み行われる。この際、他方の夕1部制御信号WEがハイ
レー・ルならば読み出し動作を行い、ロウレ・−・ルな
らば書込み動作をおこなう。
アドレス設定動作は、外部制御信号C5がロウレベルで
ある場合、この期間に印加されたアドレス信号に基づい
て常に行われる。逆に外部制御信号C3を?\・rし〜
′ルにし°(おくことによっζ、不確定なアドレス信号
に基づくアドレス設定動作及び読み出し動作を防止でき
る。
ある場合、この期間に印加されたアドレス信号に基づい
て常に行われる。逆に外部制御信号C3を?\・rし〜
′ルにし°(おくことによっζ、不確定なアドレス信号
に基づくアドレス設定動作及び読み出し動作を防止でき
る。
外部制御信号C3がロウレベルになると、ロウデコーダ
R−DCRは、この信号に同期したハイレベルの内部制
御信号cslを受けて動作を開始する。上記ロウデコー
ダ(兼ワードドライバ)R−DCRは7種類の相補アド
レス信号aO・〜互6を解読して1つのワード線を選択
し、これをハイレベルにする。カラムデコーダC−DC
Rは、上記同様にハイレベルの内部制御信号cslを受
けて動作を開始する。上記カラムデコーダC−D CR
は7M類の相補アドレス信号17〜a13を解読し°ζ
1対の相補データ線の選択信号をハイレベルにする。
R−DCRは、この信号に同期したハイレベルの内部制
御信号cslを受けて動作を開始する。上記ロウデコー
ダ(兼ワードドライバ)R−DCRは7種類の相補アド
レス信号aO・〜互6を解読して1つのワード線を選択
し、これをハイレベルにする。カラムデコーダC−DC
Rは、上記同様にハイレベルの内部制御信号cslを受
けて動作を開始する。上記カラムデコーダC−D CR
は7M類の相補アドレス信号17〜a13を解読し°ζ
1対の相補データ線の選択信号をハイレベルにする。
この様にして各メモリアレー(M−ARY1〜M−AR
Y4においてそれぞれ1つのメモリセルの選択(アドレ
ス設定)がなされる。
Y4においてそれぞれ1つのメモリセルの選択(アドレ
ス設定)がなされる。
アドレス設定動作によって選択されたメモリセルの情報
は、分割されたサブコモン相補データ線のうちの1つに
送出されセンスアンプで増幅される。この場合、メモリ
アレイM−ARY1について言えは、4つのセンスアン
プSAIないしSA4のうち、いずれか1つがメモリア
レイ選択信号m1ないしm4によって選択され、選択さ
れた1つのセンスアンプのみがハイレベルの内部制御信
号sacを受けている期間動作する。この様に、4つの
センスアンプ5AI−5A4のうち、使用する必要のな
い残り3つのセンスアンプを非動作状態とすることによ
り低消費電力化を図ることができる。上記非動作状態の
3つのセンスアンプの出力は、ハイインピーダンス(フ
ローティング)状態とされる。
は、分割されたサブコモン相補データ線のうちの1つに
送出されセンスアンプで増幅される。この場合、メモリ
アレイM−ARY1について言えは、4つのセンスアン
プSAIないしSA4のうち、いずれか1つがメモリア
レイ選択信号m1ないしm4によって選択され、選択さ
れた1つのセンスアンプのみがハイレベルの内部制御信
号sacを受けている期間動作する。この様に、4つの
センスアンプ5AI−5A4のうち、使用する必要のな
い残り3つのセンスアンプを非動作状態とすることによ
り低消費電力化を図ることができる。上記非動作状態の
3つのセンスアンプの出力は、ハイインピーダンス(フ
ローティング)状態とされる。
センスアンプの出力信号は、データ出力回路DOBによ
り増幅され、出力データDoutとしてIC外部へ送出
される。
り増幅され、出力データDoutとしてIC外部へ送出
される。
」二記データ出力回路DOBは、ロウレベルの制御出力
「τ1−を受けている期間動作する。すなわち、制御信
号m力くロウレベルの時には、差動増幅回路のPチャン
ネルMOSFETQ27はオン状態に、NチャンネルM
OS FE TQ 34とQ40はオフ状態にされる
。これによって、2組の差動増幅回路の出力にはCMO
Sレベルのハイレベル(Ill ’IIM fi 圧V
ccレベル)とロウレベル(回路の接地電位)とが得
られる。今、トランジスタT11のベースにハイレベル
の増幅出力が供給されると、MOSFETQ41のゲー
トには逆相のロウレベルが供給れるから、トランジスタ
′r11はオン状態に、MOSFET’Q41はオフ状
態になって、出力端子1)c++Lへはソ′電源電圧V
cc2VfのようなTTLハイレベルの出力信号を送出
する(ここで、2Vfは、I・ランジスタTllのベー
ス、エミッタ間電圧とダイオードD5の順方向電圧であ
る)。また、l・ランジスタ′r11のベースにロウレ
ベルの増幅出力が供給されると、MOSFETQ41の
ゲ・−1−には逆相のハイレベルが供給されるから 1
−ランジスク′rllはオフ状態に、MOSFETQ4
1はオン状態になって、出力端子Doutへは一゛回路
の接地電位のようなロウレベルの出力信号を送出する。
「τ1−を受けている期間動作する。すなわち、制御信
号m力くロウレベルの時には、差動増幅回路のPチャン
ネルMOSFETQ27はオン状態に、NチャンネルM
OS FE TQ 34とQ40はオフ状態にされる
。これによって、2組の差動増幅回路の出力にはCMO
Sレベルのハイレベル(Ill ’IIM fi 圧V
ccレベル)とロウレベル(回路の接地電位)とが得
られる。今、トランジスタT11のベースにハイレベル
の増幅出力が供給されると、MOSFETQ41のゲー
トには逆相のロウレベルが供給れるから、トランジスタ
′r11はオン状態に、MOSFET’Q41はオフ状
態になって、出力端子1)c++Lへはソ′電源電圧V
cc2VfのようなTTLハイレベルの出力信号を送出
する(ここで、2Vfは、I・ランジスタTllのベー
ス、エミッタ間電圧とダイオードD5の順方向電圧であ
る)。また、l・ランジスタ′r11のベースにロウレ
ベルの増幅出力が供給されると、MOSFETQ41の
ゲ・−1−には逆相のハイレベルが供給されるから 1
−ランジスク′rllはオフ状態に、MOSFETQ4
1はオン状態になって、出力端子Doutへは一゛回路
の接地電位のようなロウレベルの出力信号を送出する。
また、上記制御信号decがハ・fレベルなら、差動増
幅回路のPヂャンネルMOSFETQ27゜Q35はオ
フ状態に、NチャンネルMOSFETQ34とQ40は
オフ状態にされる。これによって、両増幅出力信号は共
にロウレベルにされるので、上記トランジスタi” 1
1とMO5F’ETQ41は共にオフ状態になって、出
力端子Doutをハイインピーダンス状態にさせる。
幅回路のPヂャンネルMOSFETQ27゜Q35はオ
フ状態に、NチャンネルMOSFETQ34とQ40は
オフ状態にされる。これによって、両増幅出力信号は共
にロウレベルにされるので、上記トランジスタi” 1
1とMO5F’ETQ41は共にオフ状態になって、出
力端子Doutをハイインピーダンス状態にさせる。
なお、書込み動作においては、外部制御信号WEがロウ
レベルになると、これに同期したハイレー・ルの制御信
号weが第1図にボしたサブコモン相補データ線分割用
MOSFET (ul、Ql i・・・;Q5.買−5
)に供給され、コモン相補データ線CD I5.CIJ
Lが共通に結合される。一方、データ入力回路DIBは
、制御信号dicを受けている期間、外部からの人力デ
ータ信号Dinを増幅L7.前記共通に結合されたコモ
ン相補データ線対e 11 L、 CI) Lに送出り
る。上記コモン相補データ線対cr〕t、、cc+を上
の入力データ信号は、アドレス設定動作によって定めら
れたメモリセルM (?、 6ご書き込まれる。
レベルになると、これに同期したハイレー・ルの制御信
号weが第1図にボしたサブコモン相補データ線分割用
MOSFET (ul、Ql i・・・;Q5.買−5
)に供給され、コモン相補データ線CD I5.CIJ
Lが共通に結合される。一方、データ入力回路DIBは
、制御信号dicを受けている期間、外部からの人力デ
ータ信号Dinを増幅L7.前記共通に結合されたコモ
ン相補データ線対e 11 L、 CI) Lに送出り
る。上記コモン相補データ線対cr〕t、、cc+を上
の入力データ信号は、アドレス設定動作によって定めら
れたメモリセルM (?、 6ご書き込まれる。
〔実施例2〕
第3図には、出力回路の他の一実施例の回路図が示され
ている。この実施例では、上記第2図に示したレベル変
換回路によって駆動される出力回路は、PチャンネルM
OSFETQ42とNチャンネルMO8FETQ41か
らなるCMO3rfA路によって構成される。すなわち
、上記第2図に示したバイポーラ型トランジスタTll
に代え、PチャンネルMOSFETQ42を用いるもの
である。これによって、CMOSレヘルレベルを外部端
子・\送出することができる。
ている。この実施例では、上記第2図に示したレベル変
換回路によって駆動される出力回路は、PチャンネルM
OSFETQ42とNチャンネルMO8FETQ41か
らなるCMO3rfA路によって構成される。すなわち
、上記第2図に示したバイポーラ型トランジスタTll
に代え、PチャンネルMOSFETQ42を用いるもの
である。これによって、CMOSレヘルレベルを外部端
子・\送出することができる。
(1)比較的小さな信号振1陥の相補信号をCMOSレ
ベルのような大きな相補信号にレベル変換する増幅回路
として、共通のパワースイッチMOSFETによってそ
の動作が制御される2組の差動増幅回路を用い、入力側
の電流ミラー形態の負荷MOSFETに接続される方の
差動M OS FE 1”のコンダクタンスを小さく設
定することによって、動作電流の大半をハイレベルの出
力信号を形成するために使用できる。これにより、実質
的な消費電流の低減が図られるという効果が得られる。
ベルのような大きな相補信号にレベル変換する増幅回路
として、共通のパワースイッチMOSFETによってそ
の動作が制御される2組の差動増幅回路を用い、入力側
の電流ミラー形態の負荷MOSFETに接続される方の
差動M OS FE 1”のコンダクタンスを小さく設
定することによって、動作電流の大半をハイレベルの出
力信号を形成するために使用できる。これにより、実質
的な消費電流の低減が図られるという効果が得られる。
(2)パワースイッチMOSFETによって、必要なと
きにのみ増幅回路を動作させることによって、低消費電
力化を図るとともに、トライステート機能を持たせるた
めの論理機能をも実現できる。これによって、回路の簡
素化と低消費電力化とを図ることができるという効果が
得られる。
きにのみ増幅回路を動作させることによって、低消費電
力化を図るとともに、トライステート機能を持たせるた
めの論理機能をも実現できる。これによって、回路の簡
素化と低消費電力化とを図ることができるという効果が
得られる。
(3)上記(1)により、レベル変換回路は、パワース
イッチMOSFETから供給される動作電流によって信
号の遷移速度を設定することができる。これにより、出
力回路を駆動する信号レベルの変化速度を比較的緩やか
にできるから、出力端子に付加される比較的大きな負荷
容量(寄生容量)に対する充電/放電を緩やかに行うこ
とができる。これに応じて、半導体集積回路の内部電源
線に発生するノイズレベルの低減を図ることができると
いう効果が得られる。
イッチMOSFETから供給される動作電流によって信
号の遷移速度を設定することができる。これにより、出
力回路を駆動する信号レベルの変化速度を比較的緩やか
にできるから、出力端子に付加される比較的大きな負荷
容量(寄生容量)に対する充電/放電を緩やかに行うこ
とができる。これに応じて、半導体集積回路の内部電源
線に発生するノイズレベルの低減を図ることができると
いう効果が得られる。
(4)パワースイッチMOSFETが1つのデータ出力
回路に1個で構成できるから、回路の簡素化とその入力
容量を低減させることができる。特に、複数ビットの単
位でアクセスするRAMにあっては、複数個のデータ出
力回路が設けられるので、上記パワースイッチMOSF
ETの数の低減により、その制御信号のスイッチングス
ピードの向上が図られ、結果として動作の高速化を図る
ことができろ・という効果が得られる。
回路に1個で構成できるから、回路の簡素化とその入力
容量を低減させることができる。特に、複数ビットの単
位でアクセスするRAMにあっては、複数個のデータ出
力回路が設けられるので、上記パワースイッチMOSF
ETの数の低減により、その制御信号のスイッチングス
ピードの向上が図られ、結果として動作の高速化を図る
ことができろ・という効果が得られる。
以上不発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではな・く、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。例えば、メモリセル
MCは、抵抗に代えてPチャンネルMOSFETを用い
たC M OSフリップフロップ回路を用いるものであ
ってもよい。
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではな・く、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。例えば、メモリセル
MCは、抵抗に代えてPチャンネルMOSFETを用い
たC M OSフリップフロップ回路を用いるものであ
ってもよい。
また、スタティック型1にAMを構成する他の周辺回路
の具体的回路構成は、種々の実施形態を採ることができ
る。
の具体的回路構成は、種々の実施形態を採ることができ
る。
この発明は1.スタティック型RAMの他、比較的小さ
な信号振幅の信号を受けて、比較的小さな信号振幅の相
補信号を電源電圧に従ったレベルの相補出力信号を形成
するレベル変換回路を有する半導体集積回路装置、例え
ばE CLレベルの信号を受りて動作するCMOSスタ
ティック型RAMの入力回路等に広く利用できる。
な信号振幅の信号を受けて、比較的小さな信号振幅の相
補信号を電源電圧に従ったレベルの相補出力信号を形成
するレベル変換回路を有する半導体集積回路装置、例え
ばE CLレベルの信号を受りて動作するCMOSスタ
ティック型RAMの入力回路等に広く利用できる。
昭1面の簡単な説明
第1図は、この発明の一実施例を示すスタティック型R
AMのブロック図、 第2図は、そのセンスアンプとデータ出力回路の一実施
例を示す回路図、 第3図は、データ出力回路の他の一実施例を示す回路図
である。
AMのブロック図、 第2図は、そのセンスアンプとデータ出力回路の一実施
例を示す回路図、 第3図は、データ出力回路の他の一実施例を示す回路図
である。
M−ARYI〜M−ARY4・・メモリアレイ(メモリ
マトリックス)、MC・・メモリセル、GS・・センス
アンプ選択回路、C−DCR・・カラムアドレスデコー
ダ、SAI〜5A16・・センスアンプ、COM−GE
・・内部制御信号発生回路、R−DCR・・ロウアドレ
スデコーダ、ADH・・アドレスハソファ、C−3WI
〜C−3W4・・カラムスイッチ、DIBI 〜DIB
4・・データ入力回路、DOB l〜DOB4・・デー
タ出力回路
マトリックス)、MC・・メモリセル、GS・・センス
アンプ選択回路、C−DCR・・カラムアドレスデコー
ダ、SAI〜5A16・・センスアンプ、COM−GE
・・内部制御信号発生回路、R−DCR・・ロウアドレ
スデコーダ、ADH・・アドレスハソファ、C−3WI
〜C−3W4・・カラムスイッチ、DIBI 〜DIB
4・・データ入力回路、DOB l〜DOB4・・デー
タ出力回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、比較的小さな信号振幅の相補信号を受け、第1導電
型により構成された差動形態の増幅MOSFET28、
Q29と、動作タイミング信号に従って上記MOSFE
TQ28、Q29の共通化されたソースへ動作電流を供
給する第1導電型のパワースイッチMOSFETQ27
と、上記増幅MOSFETQ28、Q29のドレイン側
に設けられ、電流ミラー形態にされた第2導電型のアク
ティブ負荷MOSFETQ30、Q31と、上記構成の
差動増幅回路の出力端子と回路の接地電位点との間に設
けられ、上記タイミング信号により動作が制御される第
2導電型のMOSFETQ34とから成る第1の増幅回
路と、上記第1の増幅回路と類似の回路により構成され
、その動作電流が上記パワースイッチMOSFETQ2
7から供給されるとともにその入力に上記比較的小さな
信号振幅の相補信号が逆相で供給される第2の増幅回路
とを含み、上記2組の差動増幅MOSFETのうち、そ
のドレインが電流ミラー形態の入力側MOSFETのド
レインに接続された差動MOSFETは、そのコンダク
タンスがそれと対をなす他方の差動MOSFETに比べ
て小さく設定されるものであることを特徴すとる半導体
集積回路装置。 2、上記比較的小さな信号振幅の相補信号は、CMOS
スタティック型メモリセルの記憶情報を増幅するバイポ
ーラ型差動トランジスタを含むセンスアンプにより形成
されたECLレベルの信号であることを特徴とする第1
項記載の半導体集積回路装置。 3、上記2組の増幅回路の出力信号は、外部端子へハイ
レベルの出力信号を送出するエミッタフォロワ出力トラ
ンジスタと、外部端子へロウレベルの出力信号を送出す
る第2導電型の出力MOSFETとからなるプッシュプ
ル出力回路の駆動信号であることを特徴とする特許請求
の範囲第1又は第2項記載の半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60052223A JPS61211896A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60052223A JPS61211896A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61211896A true JPS61211896A (ja) | 1986-09-19 |
Family
ID=12908745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60052223A Pending JPS61211896A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61211896A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04268292A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-24 | Nec Corp | 半導体メモリ |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP60052223A patent/JPS61211896A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04268292A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-24 | Nec Corp | 半導体メモリ |
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