JPS61213609A - 光電式測定機器におけるエツジ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野］ この発明は物体の寸法、変位量等を測定するための光電
式測定機器に係り、特に、透過光又は反射光を検出して
、直接的又は間接的に測定対象物の寸法等を測定するた
めの光電式測定機器におけるエツジ検出装置の改良に関
プる。

【従来の技術】

従来この種充電式測定機器、例えば、拡大投影機は、載
物台上の測定対象物を平行な光線により照射して、その
透過光又は反射光に基づきスクリーン上に該測定対象物
の投影機を結像させ、この結像から測定対象物の寸法形
状等を測定するものであるが、スクリーンに投影された
測定対象物の鷹のエツジ（１部）は一般的にいわゆるに
じみがあり、従って、載物台上の測定対象物を移動させ
、そのスクリーン上の結像とヘアラインとの一致から測
定値を正確に読み込むことは困難である。 かかる問題点を解消するために、従来は、結像のエツジ
を受光素子と相対移動させることにより、受光素子の受
光面に投影された像の明部と暗部との面積の割合の変化
から受光素子から出力する電気信号の大きざの変化を、
参照電圧と比較して、投影画像の端部を検出するものが
ある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズの影響が
大きいとともに、受光素子から得られる信号又は参照電
圧の変動による測定精度の低下が大きいという問題点が
ある。 更に、スクリーン上の投影画像の境界（エツジ）に対し
て受光素子を相対移動させ、その時の出力信号を２階微
分して波形信号を得、これと参照電圧との比較によって
エツジを検出するものがあるが、受光素子と投影画像と
の相対移動速度の大小によって、検出されるエツジの位
置が異なることがあり、更に、前記と同様に参照電圧の
変動による測定精度の低下が大きいという問題点がある
。 更に、受光素子を２１１配置して、これを投影画像のエ
ツジに対して相対移動させ、これにより得られた複数の
出力信号から波形の信号を得、これと参照電圧との比較
によってエツジを検出するものがあるが、前記と同様に
受光素子から得られた出力信号と参照電圧との相対変化
、レベル変動等から測定が非常に不安定となり、更に、
照射光線の照度に対する適用範囲が狭く、又、測定！ｇ
様が限定されかつ、センサ一部あるいは回路部分が痩雑
になるという問題点がある。 特に、投影機においては、照射用の光源ランプの疲労、
投影系のレンズ特性、外乱光によりスクリーン上の投影
画像の明るさが変化し、又、投影倍率の切替により投影
画像の明るさが変化したり、更には測定者側の条件とし
て、例えば測定者の瞳の色（人種により異なる）により
作業に好適な明るさが異なるため、これを適宜に選択し
なければならないが、前記のように照射光線の照度に対
する適用範囲が狭いと、結果として投影機の能力を低下
させてしまうことになる。 又、従来のエツジ検出方法では、投影ｍｅのフォーカス
がずれていた場合は、受光素子による出力波形がなだら
かになってしまうので、正確なエツジ検出ができないと
いう問題点があった。 この問題点は、投影機のみならず、一般的に透過光又は
反射光を検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸
法測定等をするための光電式測定機器におけるエツジ検
出に共通の問題である。 これに対して例えば特開昭５８−１７３４０８号に開示
されるように、透過光又は反射光を検出して、直接的又
は間接的に測定対象物の寸法測定をするための光学式測
定機器におけるエツジ検出装置において、前記測定対象
物との相対移動時に生ずる明暗に基づき、少なくとも２
組の位相ずれ信号を発生づるよう移動面と略平行な面内
に配設された４１１！１の受光素子からなるセンサーと
、前記各組の位相ずれ信号の差を演算する第１及び第２
の演算手段と、これら第１及び第２の演算手段の出力信
号の差を演算する第３の演算手段及び和を演算する第４
の演算手段と、この第４の演算手段の出力信号が所定レ
ベルにある間に生じる、前記第３の演算手段の出力信号
と基準レベルのクロス信号を出力する検知手段を設けた
ものが提案されている。 このエツジ検出装置は、測定対象物を照射する光強度、
測定中の外乱光等のノイズ、受光素子の出力信号あるい
は参照電圧の変動による影響を伴なうことなく、しかも
簡単な構成で、測定対象物のエツジを検出することがで
き、又投影機において、投影画像の焦点ずれがあっても
、正確にエツジを検出することができ、更に、受光素子
からのアナログ信号を直接処理することにより、測定対
象物のエツジを検出することができるという利点がある
。 又、特開昭５９−１６２４０４号公報に開示されるよう
に、測定対象物の映像の明領域と暗領域とにある２つの
充電素子の出力信号の差信号と、これらの光電素子の中
間位置にある基準光電素子から出力される基準信号との
交点をもって一致信号を出力する回路手段を設けたもの
がある。 上記特開昭５８−１７３４０８号公報に開示されるエツ
ジ検出装置、及び特開昭５９−１６２４ｏ４号公報に開
示される装置が、例えば、測定対象物の映像をスクリー
ン上に拡大投影するようにした拡大投影機の場合、光源
、光学系あるいは測定対象物の状態、更には作業者の好
みによってスクリーン上の彩画の輝度が変化する。 一方エッジ検出のための受光素子等も経時的変化を生じ
、従って、前記スクリーン上の輝度が高過ぎると受光素
子の出力を演算するための演算器が飽和状態となって精
度を保障し得なくなると共に、低過ぎる場合は、感度低
下となり、エツジ検出が不能となる。 従って、エツジ検出系統の感度を適正なレベルに設定し
なければならないことになる。 即ち、受光素子がスクリーン上の映像のエツジを通過す
るときに発生する出力信号を演算した、Ｓカーブ状の信
号波形のプラス側及びマイナス側のピーク値を、該Ｓカ
ーブ波形の中間の零レベル信号とクロスする部分の直線
性が保障されるべく、適切な範囲に収まるように感度レ
ベルを設定しなければならない。 このための方法としては、例えばセンターゼロタイプの
直流電流計からなる機械式アナログメーターを、前記Ｓ
カーブ状の出力信号のモニターとして用い、投影画像の
エツジが、複数の受光素子からなるセンサの中心を通過
するときに発生するＳカーブ出力に応じて撮れる指針の
左右、又は上下の最大振幅がある一定の範囲内に収まる
ように装置の感度調整をする。この感度１１１ｉは、検
出出力の電圧増幅段の利得調整によってｔテう。 このように、機械式アナログメーターを、機器の感度Ｉ
Ｉｍのモニターとして用いる場合、アナログメーターが
、一般的に可動コイルを用いていて、コイルに流れる電
流と指針の動きにタイムラグがあり、又、電流の急速の
変化に指針が追従できないため該アナログメーターの応
答性が悪いことから作業能率が低下し、又、アナログメ
ーターが撮動、衝撃に弱いことから、零点の狂いが生じ
易く、零点の調整作業を頻繁に行わなければならないと
いう問題点がある。又、アナログメーターの取付は姿勢
に制限があるという問題点もある。

【発明が解決しようとする問題点】

この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって
、機械式アナログメータを用いることなく正確且つ迅速
に感度調整ができるようにしだ光電式測定機器における
エツジ検出装置を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段】

この発明は、透過光又は反射光を検出して、直接的又は
間接的に測定対象物の寸法等を測定するための光電式測
定機器におけるエツジ検出装置において、測定対象物の
映像との相対移動時に生じる受光量変化に基づき、位相
ずれ信号を発生するように、移動面と略平行な面内に配
設された複数の受光素子とを含み出力端子における出力
信号のレベルが調整可能にされた受光センサーと、この
受光センサーの前記出力端子に接続され前記位相ずれ信
号を演算して差動出力信号を出力する差演算器と、４の
差動出力信号とＭ準しベル信号とのクロスポイントを含
む特定領域で領域信号を出力する領域信号発生器と、こ
の領域信号発生器から領域信号が出力されている問に、
前記クロスポイントで、エツジ検出信号を出力する検出
器と、を含んでエツジ検出手段を構成づると共に、舶記
叫域信号発生器から領域信号が出力されている間の前記
差動出力信号の値を複数段階に分割する信号区分器と、
この信号区分器により分割された区分に対応して設けら
れた該区分と同数の表示手段を含み、前記差動出力信号
の鵠が属する区分に対応する表示手段を作動させる接近
表示装置と、からなるモニター装置を漏え、前記表示手
段によりモニターしながら前記受光センサーの出力信号
のレベルを１ｉｉｌ整するようにして上記目的を達成す
るものである。 又この発明は、前記信号区分器を分割すべき区分を前記
クロスポイントを中心として両側に同数形成するように
して上記目的を達成するものである。 又、この発明は前記信号区分器を、前記傾斜信号の値が
、前記基準レベル信号の値に近い区分程その幅を小さく
するように形成することにより上記目的を達成するもの
である。 又、この発明は前記信号区分器を、分割する信号の各区
分における幅を増減調整自在とすることにより上記目的
を達成するものである。 （作用］ この発明においては、複数の受光素子から出力され、且
つ差演算器によって演算されて、零レベル基準信号と交
差する差動出力信号が、測定対象物の映像のエツジに該
当する点を中心として、幅が増減自在の複数の区分に分
割され、且つ、各区分に対応して設け−られた表示手段
が、前記差動出力信号の値が属する区分を表示すること
により、メーターを用いることなく、エツジ検出点の近
傍に差動出力信号があることをモニターして、その範囲
を定量的に捉えることにより、エツジ検出装置の感度の
調整を容易にできるようにしている。

【実施例】

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、本発明を、投影機のエツジ検出装置に適
用したものであり、第１図ないし第４図に示されるよう
に、光源ランプ１０からの光をコンデンサレンズ１２を
介して載物台１４の下方から、あるいは他の光路を介し
て載物台１４の上方から、該載物台１４上の測定対象物
１６を照射して、その透過光又は反射光に基づき、投影
レンズ１８を介してスクリーン２１上に、測定対象物１
６の投影面４４）１６Ａを結像させ、この投影画像１６
Ａにより、間接的に測定対象物１６の寸法測定等をする
ための投影１ＩＩ２０に使用され、前記投影画像１６Ａ
との相対移動時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ信号を
発生するよう移動面と略平行な面内に同芯状に配設され
た第１及び第２受光素子２２Ａ、２２Ｂを含み、両受光
素子２２Ａ、２２Ｂの出力に基づくセンサー出力信号の
センサー出力端子２３Ａ、２３Ｂにおけるレベルが、前
記相対移動時に生ずる明及び暗のそれぞれの時に等値と
なるよう形成された受光センサー２４と、この受光セン
サー２４における前記センサー出力端子２３Ａ、２３Ｂ
に接続され、ここから出力される位相ずれ信号ａ、ｂの
差を演算し、零レベル基準信号と交差する差動出力信号
ｃ　−ａ−ｂを出力する差演算器２６と、この差動出力
信号Ｃと基準レベル信号とのクロスポイントを含む特定
領域で領域信号を出力する領域信号発生器３０と、この
領域信号発生器３０から領域信＠ｊが出力されている間
に、前記クロスポイントで、エツジ検出信号ｍを出力す
る検出器２７と、を含んでエツジ検出手段２８を構成す
ると共に、前記領域信号発生器３０から領域信＠ｊが出
力されている間の前記差動出力信＠Ｃの−を複数段階に
分割する信号区分器３２と、この信号区分器３２により
分割された区分に対応して設けられた該区分と同数の表
示手段を含み、前記差、助出力信号Ｃの値が属する区分
に対応する表示手段を作動させる接近表示装置３４と、
からなるモニター装置２９を備え、前記表示手段をモニ
ターしながら前記受光センサー２４の出力信号のレベル
を調整するようにしたものである。 前記センサー２４の出力信号のレベル調整手段は後述の
アンプ９４Ａ、９４Ｂから構成されている。 前記エツジ検出器２７は、第３図に示されるように、第
１の比較器３６Ａ、これと並列の第２の比較器３６Ｂ及
びこれら第１及び第２の比較器３６Ａ、３６Ｂの出力信
号に、ρが入力されるエクスクル−シブＯＲゲート３８
とから構成されている。 前記第１の比較器３６Ａ及び第２の比較器３６Ｂのプラ
ス側は、抵抗４０Ａ、４０Ｂを介してグランドアースさ
れている。 又、マイナス側には、前記傾斜信号Ｃが入力されるよう
になっている。 更に、これら第１の比較器３６Ａ及び第２の比較器３６
Ｂのプラス側と出力側とは、それぞれダイオード４２Ａ
及び抵抗４４Ａ１ダイオード４２Ｂ及び抵抗４４Ｂを介
して接続されている。 前記第１の比較器３６Ａ側のダイオード４２Ａは、その
出力側の電位がハイレベルｒＨＪのときこれを分圧して
、プラス側の電位をΔＶｒｅｒとするような特性とされ
ている。 又第２の比較器３６Ｂ側のダイオード４２Ｂは、第２の
比較器３６Ｂの出力側の電位に対して、プラス側の電位
をΔＶ　ｒｅｒだけ低くするようにされている。 ここで、前記第１の比較器３６Ａ及び第２の比較器３６
Ｂは、プラス側の入力がマイナス側の入力よりも大きい
ときに、ハイレベルの信号ｒＨＪ、又、両者の差が零以
下の場合ローレベルの信号ｒＬＪを出力するようにされ
ている。 ここで、前記「Ｈ」、ｒＬＪ及びΔＶ　ｒｅｆとの関係
は、次の式に示されるように設定される。 Ｈ−ΔＶｒｅｆ　−１，＋Ｑ 前記領域信号発生器３０は、前記差演算器２６の差動出
力信号Ｃと高位及び低位レベルの参照信号とを比較して
、該差動出力信号Ｃが高位及び低位レベル間にあるとき
ホールド信号ｄ、ｅを形成して、前記センサー出力信号
ａ、ｂのうち一個のセンサー信号すをホールドし、この
ホールドされた高位ホールド信号と低位ホールド信号間
に該出力信号すがあることをもって、前記位相ずれ信号
Ｃの基準レベル信号とのクロスポイントを含む一定領域
で信号を出力するようにされている。 即ち、前記領域信号発生器３０は、前記差演算器２６の
差動出力信号Ｃと高位レベル参照信号とを比較し、該差
動出力信号が高位レベルより低いときホールド信号ｄを
出力する第３の比較器４４Ａと、低位レベルの参照信号
と比較し、該差動出力信号Ｃが低位レベルよりも高いと
きホールド信号ｅを出力する第４の比較器４４Ｂと、前
記第３の及び第４比較器４４Ａ、４４Ｂから入力される
前記ホールド信号ｄ、ｅに基づき前記センサー２４の一
方のセンサー出力信号すをホールドし、且つ、ホールド
信号が入力されないとき該センサー出力信号すをサンプ
リングする第１及び第２のサンプルホールド回路４６Ａ
、４６Ｂと、これら第１及び第２のサンプルホールド回
路４６Ａ、４６Ｂの出力信号「、ｑと前記センサー出力
信号すとを比較し、該出力化＠ｆがセンサー出力信号す
よりも小さいとき信＠ｈを出力する第５の比較器４８Ａ
と、前記出力信号Ｑと前記センサー出力信号すとを比較
し、該出力信号ｇがセンサー出力信号すよりも大きいと
き信号ｉを出力する第６の比較器４８Ｂと、前記第５及
び第６の比較器４８Ａ１４８Ｂの一方のみが信号を出力
するとき領域信号ｊを発生するエクスクル−シブＯＲゲ
ート５０と、を備えて形成されている。 このエクスクル−シブＯＲゲート５０の出力側は、増幅
器５２を介して前記接近表示装置３４に接続されている
。 前記信号区分器３２は、プラス側第１乃至第５比較器５
４Ａ乃至５４Ｅからなるプラス側比較器列５４及びマイ
ナス側第１乃至第５比較器５６Ａ乃至５６Ｅからなるマ
イナス側比較器列５６と、プラスの電圧■９が印加され
るプラス側抵抗列５８及びマイナスの電圧Ｖ−が印加さ
れるマイナス側抵抗列６０とから構成されている。 前記プラス側抵抗列５８は、グランドアース側のプラス
側第１抵抗乃至第５抵抗５８Ａ乃至５８Ｅ及びプラス側
可変抵抗５８Ｆを直列に備えている。 又、同様にマイナス側抵抗列６０もグランドアース側か
ら、マイナス側第１乃至第５抵抗６０Ａ乃至６０Ｅ及び
マイナス側可変抵抗６０Ｆを直列に備えている。 ここで、前記プラス側抵抗列５８及びマイナス側抵抗列
６０における各抵抗の抵抗値は、第１側から第５側に漸
次増大するようにされている。 即ち、第４図（Ａ）に示されるように、信号区分器３２
による信＠ａ　−ａ−ｂの分割区分８５〜Ｓ　＋　、Ｓ
　＋　’　〜Ｓｓ’の幅が、零レベルの基準信号とのク
ロスポイント（エツジ）に近い程小さくなるようにされ
ている。 前記プラス側第１乃至Ｍ５比較１５４Ａ乃至５４Ｅは、
前記プラス側第１抵抗５８Ａ乃至５８Ｅに対応して配置
され、それぞれの抵抗の高電位側が、対応する比較器の
マイナス入力側に接続されている。 又、同様に前記マイナス側第１乃至第５比較器５６Ａ乃
至５６Ｅは、マイナス側第１乃至第５抵抗６０Ａ乃至６
０Ｅに対応して配置され、それぞれの抵抗の高電位側が
対応する比較器のプラス入力側に接続されている。 従って、前記プラス側第１比較器５４Ａから第５比較器
５４Ｅまでは、プラス側抵抗列５８に印加される電圧ｙ
＋の分圧が、プラス側第１比較器５４Ａから、プラス側
第５比較器５４Ｅまで順次高い電位でそれぞれのマイナ
ス入力側に印加されることになる。 同様に、マイナス側第１比較器５６Ａ乃至第５比較器５
６Ｈのプラス入力側には、マイナス側抵抗列６０に印加
される電圧■−が、電位の低い側から順次分圧して印加
される。 前記プラス側及びマイナス側可変抵抗５８Ｆ及び６０Ｆ
は、その抵抗値を変化させることによりプラス側及びマ
イナス側第１乃至第５抵抗５８Ａ〜５８Ｅ、及び６０Ａ
〜６０Ｅに印加される電圧を増減するものであり、感度
調整手段として機能する。 前記プラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至５４Ｅのプ
ラス入力側及び前記マイナス１１１１１１乃至第５比較
器５６Ａ乃至５６Ｅのマイナス入力側には、それぞれ、
前記差演算器２６の差動出力信号である傾斜信号（ｃ　
−ａ　−ｂ　）が入力されるように接続°されている。 前記プラス側第１乃至第５比較器５４Ａ乃至５４Ｅ及び
マイナス側第１乃至第５比較器５６Ａ乃至５６Ｅの出力
側には、それぞれ、プラス側第１乃至第５アナログスイ
ツチ６２Ａ乃至６２Ｅからなるプラス側スイッチ列６２
及びマイナス側第１乃至第５アナログスイツチ６４Ａ乃
至６４Ｅからなるマイナス側スイッチ列６４が接続され
ている。 又、これらのアナログスイッチ６２Ａ乃至６２Ｅ及び６
４Ａ乃至６．４Ｅに対応して、発光ダイオードからなり
、プラス側表示手段列６６を構成するプラス側第１乃至
第５表示手段６６Ａ乃至６６Ｅ及びマイナス側表示手段
列６８を構成するマイナス側第１乃至第５表示手段６８
Ａ乃至６，８Ｅがそれぞれ接続されている。 前記スイッチ列６２．６４及び表示手段列６６．６８は
、前記接近表示装置３４を構成している。 ここで前記プラス及びマイナス側第５表示手段６６ε、
６８Ｅの点灯色はグリーン、第４乃至第１表示手段６６
Ｄ〜６６Ａ及び６８０〜６８Ａの点灯色はアンバーとさ
れている。 前記プラス側第２乃至第５アナログスイツチ６２８７’
）至６２Ｅは、プラス側第１乃至第４比較器５４Ａ乃至
５４Ｄの出力信号が、トリガ信号として入力され、該信
号がハイレベルｒＨＪのときオンされ、ローレベルｒＬ
Ｊのときオフとなるようにされている。 又、前記マイナス側第２乃至第５アナログスイツチ６４
Ｂ乃至６４Ｅは、前記マイナス側第１乃至第４比較器５
６Ａ乃至５６Ｄの出力信号がトリガ信号として入力され
、該出力信号がハイレベルｒＨＪのときオンされ、ロー
レベルＩ”ＬＪのときオフとなるようにされている。 又、前記プラス側第１アナログスイツチ、６２Ａは、Ｎ
ＯＴ回ｒｉ！７０を介して前記第１の比較器３６Ａの出
力側に接続され、該第１の比較器３６Ａの出力信号ｋが
転換された信号に′をトリガ信号として、該信号に′が
ハイレベル信号のときにオンされるようになっている。 即ち、第１の比較器３６Ａの出力が「Ｌ」のとき、ＮＯ
Ｖ回路７０により極性転換されたハイレベル信号ｒＨＪ
が入力されるときにオンされるものである。 又、前記マイナス側第１アナログスイツチ６４Ａは、前
記第６の比較器４８Ｂの出力信号λをトリガ信号として
、該出力信号１がハイレベルのときオンされるようにな
っている。 前記プラス側第１乃至第５表示手段６６Ａ乃至６６Ｅ及
びマイナス側第１乃至第５表示手段６８Ａ乃至６８Ｅは
、抵抗７２を介して前記増幅器５２の出力側に接続され
ている。 又、前記増幅器５２の出力側と、前記エツジ検出装置２
８におけるエクスクル−シブＯＲゲート３８との間には
、抵抗７４を介して赤色の発光ダイオードからなるエツ
ジ表示手段７６が直列に配設されている。 ここで前記各表示手段６６Ｅ〜６６Ａ、７６．６８Ａ〜
６８εは、第４図（Ｃ）に示されるようにこの順で配列
されている。第４図（Ｂ）は、表示手段が点灯される範
囲を示す。 又、第５図に示されるように、前記センサー２４におけ
る前記第１受光素子２２Ａの、外周に隣接する一部は第
１の不感帯７８Ａとされ、且つ、前記第２受光素子２２
Ｂの、前記第１の不感帯７８Ａの径方向外側に隣接する
一部は、内周から外周に亘って第２の不感帯７８Ｂとさ
れると共に、前記第１受光素子２２Ａの信号引出線８０
が、前記第１の不感帯７８Ａにおいて前記第１受光素子
２２Ａに接続されると共に、前記第２の不感帯７８Ｂを
通って前記第２受光素子２２Ｂの外側に導出するように
配置されている。 前記第１の不感帯７８Ａ及び第２の不感帯７８Ｂは、前
記第１受光素子２２Ａの中心から一定角度で放射方向に
拡がる同一の扇形領域の一部として、第１受光素子２２
Ａ及び第２受光素子２２Ｂを切欠いて、その空間部に形
成されたものである。 前記信号引出線８０は、第１の不感帯７８Ａ内において
受光素子２２Ａに接続されると共に、凹部となった第２
の不感帯７８Ｂ内を通り、第２の受光素子２２Ｂの外側
に至るように配線されている。 前記信号引出１８０の第１受光素子２２Ａ側の接続端部
８１は、第６図に示されるように、扇形の第１の不感帯
７８Ａを埋める扇形の接続先端部８１Ａと、この接続先
端部８１Ａの基端側から延在し、前記第２の不感帯７８
Ｂ内を第２受光素子２２Ｂの端部に接触しないように貫
通する細径の引出部８１Ｂからなり、この引出部８１Ｂ
の外端に信号引出線８００本体が接続されている。 第５図、第６図の符号５８は第１受光素子２２Ａ及び第
２受光素子２２Ｂが取付けられているチップ、８４は第
２受光素子２２Ｂの信号引出線をそれぞれ示す。 前記第１受光素子２２Ａと第２受光素子２２Ｂの間の隙
ｌ１１８６は、絶縁材を充填しない状態で、１０μ−程
度あればよい。 又、この実施例において、前記第１受光素子２２Ａ、２
２Ｂの、受光面８８Ａ、８８Ｂは受光センサー２４の中
心軸に対して直交する同一平面上にあるように百−に形
成されている。 更に、これら受光面８８Ａ、８８Ｂは、その有効受光面
積が同一となるようにされている。 前記信号引出［１８０の一部である接続端部８１は、前
記第１受光素子２２Ａ及び第２受光素子２２Ｂの受光面
８８Ａ、８８Ｂよりも引込んだ位置に配置されている。 前記センサーは、第１図に示されるように、投影［２０
のスクリーン２１の上面にこれと平行にかつ周動可能に
載置された透明板９０と一体的に設けられ、これにより
載物台１４の移動に伴なう投影画像１６Ａがセンサー２
４に対して相対移動できるようにされている。 ここで、前記センサー２４は、前記第１及び第２受光素
子２２Ａ、２２Ｂの他に、第１受光素子２２Ａ及び受光
素子２２Ｂの出力を変換するための電流−電圧変換器９
２Ａ、９２Ｂ及びこれらの出力電圧を増幅するための前
記アンプ９４Ａ、９４Ｂを備えている。 これらのアンプ９４Ａ及び９４Ｂは、金曜で、前記第１
及び第２受光素子２２Ａ、２２Ｂの暗電圧をキャンセル
するようにオフセット調整されるとともに、全開で、セ
ンサー出力端子２３Ａ、２３Ｂでの出力が同一レベルと
なるようにゲインの調整がなされている。 検出されたエツジに基づき、自動的に寸法等を記憶する
場合は、前記エクスクル−シブＯＲゲート３８からハイ
レベル信号が出力されたとき、これに基づいてエツジパ
ルス信号を発生するパルス信号発生器９６と、このパル
ス信号発生器９６及び前記領域信号発生器３０の両者か
ら信号が出力されているときのみエツジ検出信号を出力
するＡＮＤゲート９８と、を設ける。このＡＮＤゲート
９８からの出力信号は、載物台１４に運動する変位検出
装置１０ｏのカウンタ１０２にエツジ検出信号を出力す
るようにされている。 この変位検出装置１００は、前記載物台１４に連動して
その移動量に応じてパルス信号を発生するエンコーダ１
０４と、このエンコーダ１０４から出力されるパルス信
号を読取る前記カウンタ１０２とから構成されている。 このカウンタ１０２は、前記ＡＮＤゲート９８からエツ
ジ検出信号が入力されるときに、その読取り値を記憶装
置１０６に出力するようにされている。 次に上記実施例の作用を説明する。 スクリーン２１上に結像された測定対象物１６の投影画
像１６Ａを、センサー２４に対して一方向に相対的に移
動させ、投影画ｆ１１６Ａのエツジがセンサー２４を横
切るようにする。 投影画像１６Ａが、センサー２４に相対的に接近しかつ
これを通過した場合は、第１及び第２受光素子２２Ａ及
び２２Ｂにより得られ、且つ、電流−電圧変換器９２Ａ
、９２Ｂを経てアンプ９４Ａ、９４Ｂにより調整されて
、センサー出力端子２３Ａ、２３Ｂから発生する出力信
号は、第７図（Ａ）に符号ａ及びｂによって示されるよ
うに、振幅の等しい位相ずれ信号となる。これらの出力
信号は、第７図（Ｂ）に示されるように、差演算器２６
によりｃ　−ａ−ｂに演算され、前記ａｍ信号発生器３
０の第３及び第４の比較器４４Ａ及び４４Ｂにそれぞれ
入力される。　　　　　′一方、前記センサー出力端子
２３Ｂからの出力信号すも、前記領域信号発生器３０の
第１及び第２のサンプルホールド回路４６Ａ、４６Ｂに
それぞれ入力される。 第７図（Ｃ）に示されるように、前記第３の比較器４４
Ａは、参照電圧Ｖｒｅｒ＋と入力信号Ｃとを比較して信
＠Ｃがｖｒｅｒ＋よりも小さいときサンプリング信号す
を前記第１のサンプルホールド回路４６Ａに出力する。 又、第７図（Ｄ）に示されるように、前記第４の比較器
４４Ｂは、入力された信号Ｃと参照電圧Ｖｒｅｒ−とを
比較して、信号ＣがＶ　ｒｅｆ−よりも小さい時サンプ
リング信号ｅを第２のサンプルホールド回路４６Ｂに出
力する。なお、前記第３及び第４の比較器４４Ａ、４４
Ｂは、チャタリング防止のため第７図（Ｂ）に示される
如く、ヒステリシス特性を持たせである。 前記第１及び第２のサンプルホールド回路４６Ａ、４６
Ｂは、第３の比較器４４Ａからサンプリング信号ｄが出
力されているとき及び第４の比較器４４Ｂからサンプリ
ング信号ｅが出力されるときセンサー出力信号すのサン
プリングを行うと共に、これらサンプリング信号ｄ及び
ｅが出力されていないときは、各々サンプリングの最終
時点での信号値をホールドするようにされている。 従って、これらサンプルホールド回路４６Ａ１４６Ｂは
、第７図（Ｅ）において破線及び一点鎖線で示されるよ
うにハイホールド信号「及びローホールド信号Ｑをそれ
ぞれ第５の比較器４８Ａ及び第６の比較器４８Ｂに出力
するようにされている。 これら第５の比較器４８Ａ及び第６の比較器４８Ｂは、
第７図（Ｆ）、（Ｇ）に示されるように、入力されたハ
イホールド信号「及びローホールド信号Ｑを前記センサ
ー出力信号ａと比較して、これらハイホールド信号「及
びローホールド信号りがセンサー出力信号すよりも大き
いときにそれぞれ信号をｈ及びｉをエクスクルシーブＯ
Ｒゲート５０に出力する。 このエクスクル−シブＯＲゲート５０は、第５の比較器
４８Ａ及び第６の比較器４８Ｂの一方のみから信号が出
力されている時に、第７図（Ｈ）に示されるように「１
」のデジタル信号ｊを出力する。 一方、前記差演算器２６によって出力される差動出力信
号Ｃは第３図に示されるように、信号区分器３２に入力
される。 この信号区分器３２は、前述の如く、プラス側抵抗列５
８及びマイナス側抵抗列６０を備え、それぞれに印加さ
れた電圧ｙ＋及びＶ−″を分圧して、対応するプラス側
第１乃至第５比較器５４Ａ乃至５４Ｅ及びマイナス側第
１乃至第５比較器５６Ａ乃至５６Ｅに印加する。 前記差動出力信号Ｃはプラス側第１乃至第５比較器５４
Ａ乃至５４Ｅのプラス入力側に、又、マイナス側第１乃
至第５比較器５６Ａ乃至５６Ｅのマイナス入力側にそれ
ぞれ入力される。 差動出力信＠Ｃの値が、例えばプラス側から零の基準レ
ベル信号に接近するときについて説明する。 まず、差動出力信号Ｃの値が第４図（Ａ）におけるＳ５
の区分に到達すると、この値が、プラス側第５比較器５
４Ｅのマイナス側に印加された電圧よりも低くなるため
に、該プラス側第５比較器５４Ｅはローレベルの信号ｒ
ＬＪをプラス側第５アナログスイツチ６２Ｅに出力する
。 このとき、該差動出力信号Ｃの埴は、プラス側第４比較
器５４Ｄのマイナス側に印加された電圧よりも大きいた
めに、該プラス側第４比較器５４Ｄはハイレベル信号ｒ
ＨＪを出力する。 このプラス側第４比較器５４Ｄの出力信号ｒＨＪは、プ
ラス側第５アナログスイツチ６２Ｅのトリガ信号として
作用し、これをオンさせる。 一方、前記プラス側第１乃至第５表示手段６６Ａ乃至６
６Ｅ及びマイナス側第１乃至第５表示手段６８Ａ乃至６
８Ｅにはそれぞれ前記領域信号発生器３０から出力され
る領域信号に基づいて増幅器５２を介して差動信号が出
力されている。 従って、プラス側第５スイツチ６２Ｅのオンにより、こ
れがオン状態になり、且つ、プラス側第５比較器５４Ｅ
の出力がｒＬＪであるために、プラス側第５表示手段６
６Ｅの両端子に電位差が生じ、これによって、該プラス
側表示手段６６Ｅは点灯されることになる。 なおこのとき、プラス側第４乃至第１比較器５４Ｄ乃至
５４Ａの出力がいずれもハイレベルｒＨＪであるので、
プラス側第４乃至第１アナログスイツチ６２Ｄ乃至６２
Ａはいずれもオンとされても、他の表示手段が点灯され
ることはない。 次に、差動出力信号Ｃの値が第４図（Ａ）において区分
Ｓ４に入ると、プラス側第４比較器５４Ｄの出力がｒＨ
ＪからｒＬＪに代わるために、プラス側第５アナログス
イツチ６２Ｅがオフとなり、これに対応するプラス側第
５表示手段６６Ｅが消灯される。 又、プラス側第４アナログスイツチ６２Ｄがオンされて
いて、対応するプラス側第４表示手段６６Ｄが点灯され
る。 このようにして、差動出力信号が零の基準レベル信号に
近づくに従って、区分Ｓ５から８１に対応するプラス側
第５乃至第１表示手段６６Ｅ乃至６６Ａが順次点灯、消
灯する。 ここで、プラス側第１アナログスイツチ６２Ａのトリガ
信号としては、前記エツジ検出手段２８の第１の比較器
３６Ａの出力信号舷がＮＯＴ回路７ｏを介して信＠に′
として入力される。 この第１の比較器３６Ａの出力信号には、マイナス側か
ら入力される前記差動出力信＠Ｃの値がプラスの間は、
Ｏ−レベルｒＬＪであり、これがＮＯＴ回路７０におい
て転換されて、ハイレベル信号１．　ＨＪとなってプラ
ス側第１アナログスイツチ６２Ａに入力される。 なお、センサー２４の感度が過大である場合は、投影面
ｔｉ１６Ａがセンサー２４に近接してもなかなか表示手
段が点灯せず、且つ、点灯後は投影画像１６Ａのわずか
な移動量に対しても第５乃至第１表示手段６６Ｅ〜６６
Ａが短時間で点灯、消灯してしまう。又、センサー２４
の感度が過小の場合は、外側の表示手段６６Ｄから点灯
することもある。 このような場合は、アンプ９４Ａ、９４Ｂを調整して、
センサー２４の感度を適正値にまで増減する。 差動出力信号Ｃの値が零の基準レベル信号と一致するζ
き、第８図（Ｂ）に、示されるように、第１の比較器３
６Ａの出力信号ｋがｒＬＪからｒＨＪになり、ＮＯＴ回
路７０で変換されて信号に′がｒＬＪとなり、プラス側
第１アナログスイツチ６２Ａのトリが信号として入力さ
れることにより、該プラス側第１アナログスイツチ６２
Ａがオフされて、対応するプラス側第１表示手段６６Ａ
が消灯される。 又、同時に、前記第１の比較器３６Ａのハイレベル状態
の出力信号には、エクスクル−シブＯＲゲート３８に出
力される。 一方、第２の比較器３６Ｂは、差動出力信号がプラスの
間は、第８図（Ｃ）に示されるように、その出力信号は
ｒＬＪであり、且つ、ダイオード４２Ｂ及び抵抗４３Ｂ
によって、該第２の比較器３６Ｂのプラス側に入力され
る信号値は、−Δ■ｒｅｆに下げられているので、差動
出力信号Ｃの値が、零の基準レベル信号とクロスしてか
ら、マイナスΔＶｒｅｆになるまでの間、第２の比較器
３６Ｂの出力信号はｒＬＪに維持され、−ΔＶｒｅｒ以
下になってｒＨＪとなる。 従って、第８図（８）に示されるように、第１の比較器
３６Ａの出力信号には、零の基準レベル信号と交差する
までのＩＩＩ　ｒＨＪ　、交差後はｒＬＪとなり又、第
２の比較器３６Ｂの出力信号βは第８図（Ｃ）に示され
るように、差動出力信号Ｃの値が−ΔＶｒｅｆに到達す
るまで「Ｌ」、到達以後はｒＨＪとなり、前者の立下り
及び後者の立上りの開の時間（だけエクスクル−シブＯ
Ｒゲート３８への入力信号が共にｒＬＪとなる。 従って、第８図（Ｄ）に示されるように、この時間

【の
聞だけ、エクスクル−シブＯＲゲート３８の出力−はｒ
ＬＪとなり、該時間【の間だけ、エツジ表示手段７６の
前後に電位差が生じ、この間、第８図（Ｅ）に示される
ように、該エツジ表示手段７６が点灯されることになる
。 又、差動出力信号Ｃがマイナス側から零の基準レベル信
号に到達するときは、前記と逆の順に、マイナス側第５
乃至第１表示手段６８Ｅ乃至６８Ａが順次点灯、消灯し
、基準レベル信号と交差するときに、エツジ表示手段７
６が点灯される。 この場合、第９図（Ａ＞（Ｃ）に示されるように第２の
比較器３６Ｂの出力信号ぶは、差動出力信号Ｃの値がマ
イナスの間、「Ｈ」であり、該第２の比較器３６Ｄのプ
ラス入力側には、そのレベルｒＨＪから、ダイオード４
２Ｂ及び抵抗４３ＢによってΔＶｒｅｆだけ低下された
電位即ち略零に等しい電位が印加されている。 従って、差動出力信号Ｃの値が零の基準レベル信号に交
差する時点で、第２の比較器３６Ｂの出力信号βがｒＨ
ＪからｒＬＪに立下る。 一方、第１の比較器３６Ａ側は、差動出力信号０がマイ
ナスの間、その出力信＠にはｒＨＪであるが、第９図（
Ｂ）に示されるように、該第１の比較器３６Ａの出力側
は、抵抗４３Ａ、ダイオード４２Ａ及び抵抗４０Ａを介
してグランドアースされると共に、ダイオード４２Ａと
抵抗４０Ａとの間で、第２の比較器３６Ａのプラス入力
側に接続されているので、該プラス入力側には、ｒＨＪ
の値の信号のΔＶｒｅｒに相当する分圧が印加されてい
る。 従って、該第１の比較器３６Ａの出力信＠には、差動出
力信号Ｃの値がΔｙｒｅｒになるまでの間ｒＨＪに維持
され、ΔＶｒｅｆに到達するとｒＬＪとなる。 従って、第９図（Ｂ）、（Ｃ）に示されるように、エク
スクル−シブＯＲゲート３８の入力は、差動出力信号Ｃ
の値が零からΔｖｒｅｒの間だけ共にｒＬＪとなり、そ
の前後は一方が「Ｈ」、他方がＩＬ」となり、該エクス
クル−シブＯＲゲート３８の出力鋼は、第９図（Ｄ）に
示されるように、入力信号が共に［Ｌ」の間１時間ｔ）
だけｒＬＪ、その他の問はｒＨＪとなる。 このため、該エクスクル−シブＯＲゲート３８の出力ｍ
がｒＬＪの間、即ち時間ｔの間は、エツジ表示手段７６
の前後に電位差が生じ、該エツジ表示手段７６が点灯さ
れることになる。 即ち、前記エツジ検出手段２８は、差動出力信号Ｃの波
形の傾き如何に拘わらず、常に、差動出力信号が零の基
準レベル信号と一致するときにエツジ表示手段７６を点
灯させ、時間ｔの後に消灯させるように作動する。 以上は投影画像１６Ａのエツジを検出するまでの過程を
述べたものであるが、このエツジ検出の際に、自動的に
測定値を読取る場合は、次のような順序でこれを行う。 即ち、前記エツジ検出手段２８におけるエクスクル−シ
ブＯＲゲート３８の出力−がｒＬＪとなるときに作動さ
れるパルス信号発生器９６からのパルス信号ｐ及び、領
域信号発生器３０のエクスクル−シブＯＲゲート５０の
出力信号が共にＡＮＤゲート９８に入力されるとき、該
ＡＮＤゲート９８の出力に基づいて、変位検出装置１０
０におけるカウンタ１０２を作動させて、該信号が入力
されたときに、該カウンタ１０２における読取り値を記
憶装置１０６に出力して、載物台１４上の測定対象物１
６のエツジの位置を読取る。 なお上記実施例において、信号区分器３２によって分割
された区分は、プラス側抵抗列５８及びマイナス側抵抗
列６０に印加される電圧ｙ＋及びＶ−の値を分圧するこ
とによって形成されるものであるが、各区分の幅を増減
する場合は、これら抵抗列におけるプラス側可変抵抗５
８Ｆ及びマイナス側可変抵抗６０Ｆを調整することによ
って行う。 この実施例においては、機械式アナログメータを用いる
ことなく、発光ダイオードからなる表示手段を含むモニ
ター装置２９によりモニターしながら、センサー２４の
アンプ９４Ａ、９４Ｂを調節することにより、エツジ検
出装置の感度を適正に調整できる。 特に、機械式アナログメータを用いていないので、ハン
チング操作が不要となり、迅速に感度調整をすることが
できると共に、振動＊＊等による狂いが少なく、又取付
は方向にも制限がないという利点がある。 更に、信号区分器３２におけるプラス側可変抵抗５８Ｆ
及びマイナス側可変抵抗６０Ｆ＠調整することによって
も、簡単に感度調整作業ができるという利点がある。 又、エツジ検出も、エツジ表示手段７６によって、タイ
ムラグなく確実に検出できる。 更に、エツジ検出を自動的に行う場合は、パルス信号発
生器９６をエクスクル−シブＯＲゲート３８の出力信号
に基づいて作動させ、ＡＮＤゲート９８及び変位検出装
置１００によって、容易確実に検出することができる。 更に、上記実施例において、信号区分器３２による区分
は、零レベルの基準信号即ちエツジ位置に近い程その幅
が狭くなるように設定されているので、エツジへの接近
状態を把握して、オーバーラン及びその修正のためのハ
ンチング操作を防止できると共に、より正確にエツジを
検出することができるという利点がある。 上記は、正常に測定ができた場合のものであるが、測定
環境によっては、光学的、電気的ノイズや載物台１４の
振動等を原因として、前記差動出力信号Ｃが一時的に変
動を生じることがある。 この場合、従来の検出装置においては、領域信号を発生
できなくなったり、あるいは差動出力信号と基準信号と
のクロスポイント、即ちエツジの位置でない時点で領域
信号が出力されたりするために、エツジの検出が不能と
なることがあった。 上記実施例においては、例えば第１０図に示されるよう
に載物台１４の振動によってセンサー出力信号ａ及びｂ
ｆｆｉｆｆ中心１１０８を中心として１回振動した場合
、これらセンサー出力信号ａ及びｂは第１０図（Ａ）に
示されるようになる。 従来のエツジ検出装置の場合は、差動出力信号等検知す
べき信号自体の振動、変動まで配慮されていないから、
これらセンサー出力信号ａ及びｂが振動中心＄１１０８
の位置において落込んだときに誤って信号が発生される
ことが多い。この実施例の場合、第１０図（Ｅ）に示さ
れるように前記センサー２４の微動によってハイホール
ド信号ｆが変動し、これに応じて、第５の比較器４８Ａ
の出力信号１１が出力され、且つ、エクスクルシーブＯ
Ｒゲート５０からデジタル信号ｊも出力されるが、この
エクスクルシーブＯＲゲート５０がら出力される領域信
号ｊ自体が前記振動によってシフトされることはない。 即ち、差動出力信号の振動等が発生したとしても、これ
に影響されず、クロスポイントを含む領域を確実に特定
できる。 従って、エツジ検出装置２８からの出力信号ｍと重なり
合う時点で領域信号ｊが出力されて、これにより、エツ
ジ表示手段７６が点灯され、且つ、ＡＮＤゲート９８か
らエツジ信号ｍが出力されることになる。 記憶装置１０６に記憶された信号は、他の演算装置に出
力されたり、プリントアウトされたり、あるいは、ディ
スプレイに表示されることになる。 又、この実施例において、第１受光素子２２Ａの信号引
出線８０は、該第１受光素子２２Ａに形成された第１の
不感帯７８Ａにおいて第１受光素子２２Ａに接続されて
いるので、第１受光素子２２Ａと第２受光素子２２Ｂと
の間に、信号引出線８０を接続するためのスペースが不
要となる。 このため、第２受光素子２２Ｂの外径を、その受光面積
を縮小することなく、小さくすることができ、受光セン
サ−２４全体の小型化を図ることができる。 従って、これら第１受光素子２２Ａ及び第２受光素子２
２Ｂが取付けられているチップ８２の大きさは、−辺が
１關の正方形とすることができる。 又、第１及び第２受光素子２２Ａ、２２Ｂの全体の外径
を小さくすることができるので、測定対象物の測定可能
な最小外形寸法を小さくすることができ、測定対象物の
曲率が小さい場合においても、そのエツジ等の検出が可
能となる。 又、上記実施例において、第１受光素子２２Ａの信号引
出線８０は、第２受光素子２２Ｂを切欠いて形成された
第２の不感帯７８Ｂ内を通る引出部８１Ｂを介して外部
に導出されているので、該信号引出１ｉｉ１８０によっ
て第２受光素子２２Ｂの受光面８８Ｂに影が生じること
がなく、従って、センサー出力のＳ／Ｎ比の改善を図る
ことができる。 更には、前記信号引出４１８０を、第２受光素子２２Ｂ
の受光面８８Ｂから浮かせて配線したり、且つ、スクリ
ーン２１と信号引出線３０との干渉を避けるために、第
１及び第２受光素子２２Ａ１２２Ｂの受光面８８Ａ、８
８Ｂと、スクリーン２１との間のクリアランスを大きく
取ったりする必要がないために、第１及び第２受光素子
２２Ａ、２２Ｂの受光面８８Ａ、８８Ｂを、スクリーン
２１により接近させて相対移動させることができ、従っ
て、受光量を増大させて、Ｓ／Ｎ比の改善を図ることが
できる。 ここで、上記実施例において、測定対象物１６が、例え
ば半透明硝子製品からなる、光を完全に遮断できない材
質の場合、第６図（Ａ）及び第７図（Ａ）にそれぞれ示
されるように、暗部におけるセンサー出力信号ａ及びｂ
は該センサー出力信号を明において「１」、全暗におい
て「０」とした場合に、０よりも大きく、「１」に接近
した値となる。 この場合、これらセンサー出力信号ａ又すは自体を参゛
照電圧Ｖｒｅｆ−と比較すると該参照信号Ｖｒｅｒ−と
の交点を得ることができず、このために、領域信号を得
ることができない場合がある。 この実施例においては、領域信号を差演算器２６の差動
出力信号即ちｃ　−ａ−ｂに基づいて形成するようにし
ているので、測定対象物１６が半透明素材の場合であっ
ても、確実に領域信号を得ることができる。 又、この実施例においては、センサー２４を構成する第
１及び第２受光素子２２Ａ、２２Ｂが、向応円状に形成
され、且つこれらによって発生するセンサー出力端子２
３Ａ、２３Ｂにおける信号の出力レベルが等しくされて
いるので、第１及び第２受光素子２２Ａと２２Ｂの境界
線と移動方向が一致することなく、センサー２４の投影
画＠１６Ａに対する相対的移動方向の如何にかかわらず
、均一の出力の信号を得ることができ、従ってセンサー
の、被測定物に対する相対移動方向の制限がなく、高精
度にエツジ検出を行うことができる。 ここで、前記第１不感帯７８Ａ及び第２不感帯７８Ｂの
方向と、センサー２４の移動方向とが一致した場合、セ
ンサー出力の低下があるが、これら第１の不感帯７８Ａ
及び第２の不感帯７８Ｂは、第１受光素子２２Ａの中心
から一方にのみ放射方向に形成されているので、第１及
び第２の不感帯７８Ａ、７８Ｂの反対側部分では受光が
可能であり、従って、センサー２４の移動方向と第１及
び第２の不感帯７８Ａ、７８Ｂの方向とが一致しても、
エツジの検出を行うことができる。 又、前記実施例において、第１及び第２受光素子２２Ａ
、２２Ｂは、その受光面積が等しくされることによって
、センサー出力端子２３Ａ、２３Ｂが等しくなるように
されているが、これは、センサー出力端子２３Ａと２３
８における出力信号が同一レベルとなるものであればよ
く、従って、受光素子２２Ａ、２２Ｂとセンサー出力端
子２３Ａ、２３Ｂとの間にアンプを配置したり、又は、
アンプを設けることなく、両センサー出力端子２３Ａ、
２３Ｂの出力レベルを等しくするようにしてもよい。 なお上記実施例において、信号区分器３２より分割され
た区分の数はクロスポイントを挾んで上下各５個とされ
ているが、本発明はこれに限定されるものではなく、そ
の数及び各区分の幅は限定されるものではない。 又、この信号区分器３２は、差演算器２６の差動出力信
号Ｃを適宜数に区分できるものであればよく、実施例の
構成に限定されない。 更に又、差演算器２６は、第１受光素子２２Ａ及び第２
受光素子２２Ｂの出力信号を演算して、零レベルの基準
信号と交差する傾斜した波形の信号を形成できるもので
あればよく、他の構成であってもよい。従って例えば前
述の特開昭５８−１７３４０８号公報、あるいは特開昭
５９−１６２４０４号公報に開示されるような、３以上
の複数の受光素子の出力信号を演算処理して、零レベル
の基準信号と交差する傾斜した波形の信号を形成するよ
うにしてもよい。 更に又、前記領域信号発生器３０は、傾斜信号と零レベ
ルの基準信号とのクロスポイントを含む一定領域で信号
を発生することができるものであれば、実施例の回路構
成に限定されない。 又、接近表示装置３４についても、信号区分器３２に対
応して設けられて、対応する区分に信号値のあるときに
これを表示するものであれば、実施例に限定されない。 更に前記実施例は、載物台１４を移動させることにより
投影画像１６Ａをセンサー２４に対して移動させるもの
であるが、これは、投影画像１６Ａに対してセンサー２
４を移動させるようにしてもよい。 又、上記実施例は、投影機においてそのスクリーン上の
投影画像のエツジを測定する場合のものであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、透過光又は反射光を
検出して、直接的又は間接的に測定対象物の寸法測定を
するための光電式測定機器におけるエツジ検出装置に一
般的に適用されるものである。 【発明の効果】 本発明は上記のように構成したので、光学機器における
エツジ検出装置の感度を、モニター装置を用いてモニタ
リングして、能率的に確実に調整することができるとい
う優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光電式測定機器におけるエツジ検
出装置を投影機に実施した場合の実施例を示す光学系統
図、第２図は同実施例の構成を示すブロック図、第３図
は同実施例の要部の構成を示すブロック図、第４図は同
実施例における受光素子の差動出力信号と分割区分及び
表示手段との関係を示す線図、第５図は同実施例におけ
る第１及び第２受光素子と信号引出線の関係を示す拡大
平面図、第６図は第５図の、　ＶＩ　−ＶＩ線に沿う断
面図、第７図は同実施例における信号処理の過程を示す
縮図、第８図及び第９図は同実施例における信号処理過
程を示す縮図、第１０図は同実施例のセンサー出力変動
時における信号処理の過程を示す線図である。 １６Ａ・・・投影画像、 ２２Ａ・・・第１受光素子、 ２２Ｂ・・・第２受光素子、 ２４・・・受光センサー、 ２６・・・差演算器、 ２７・・・検出器、 ２８・・・エツジ構出装置、 ２９・・・モニター装置、 ３０・・・領域信号発生器、 ３２・・・信＠区分器、 ３４・・・接近表示装置、 ５８Ｆ・・・プラス側可変抵抗（感度ＩＩ整手段）、６
０Ｆ・・・マイナス側可変抵抗（感度ｌ１１１手段）、
７６・・・エツジ表示手段、 ９４Ａ、９４Ｂ−７ン７（感ｍａｎ手段）。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過光又は反射光を検出して、直接的又は間接的
   に測定対象物の寸法等を測定するための光電式測定機器
   におけるエッジ検出装置において、測定対象物の映像と
   の相対移動時に生じる受光量変化に基づき、位相ずれ信
   号を発生するように、移動面と略平行な面内に配設され
   た複数の受光素子を含み、出力端子における出力信号の
   レベルが調整可能にされた受光センサーと、この受光セ
   ンサーの前記出力端子に接続され、前記位相ずれ信号を
   演算して差動出力信号を出力する差演算器と、この差動
   出力信号と基準レベル信号とのクロスポイントを含む特
   定領域で領域信号を出力する領域信号発生器と、この領
   域信号発生器から領域信号が出力されている間に、前記
   クロスポイントで、エッジ検出信号を出力する検出器と
   、を含んでエッジ検出手段を構成すると共に、前記領域
   信号発生器から領域信号が出力されている間の前記差動
   出力信号の値を複数段階に分割する信号区分器と、この
   信号区分器により分割された区分に対応して設けられた
   該区分と同数の表示手段を含み、前記差動出力信号の値
   が属する区分に対応する表示手段を作動させる接近表示
   装置と、からなるモニター装置を備え、前記表示手段に
   よりモニターしながら前記受光センサーの出力信号のレ
   ベルを調整することを特徴とする光電式測定機器におけ
   るエッジ検出装置。
2. （２）前記信号区分器は、分割すべき区分を前記クロス
   ポイントを中心として、その両側に同数形成するように
   されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
   電式測定機器におけるエッジ検出装置。
3. （３）前記信号区分器は、前記傾斜信号の値が、前記基
   準レベル信号の値に近い区分程その幅を小さくするよう
   に形成されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又
   は第２項記載の光電式測定機器におけるエッジ検出装置
   。
4. （４）前記信号区分器を、分割する信号の各区分におけ
   る幅を増減調整自在とした特許請求の範囲第１項、第２
   項又は第３項記載の光電式測定機器におけるエッジ検出
   装置。