JPS61226936A - ワイヤボンデイング方法および装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法および装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の技術分野〕
本発明は金属ｍｉｓにより崖轡体ペレットのＮ極パッド
と外部端子との配線をおこなうワイヤボンディング方法
おＪ、び装置に関ｊる。 〔発明の技術的費用どその問題点〕 近年、「デジタルワイヤホンダ」と呼ばれるワイヤボン
ディング装置が多く用いられている。このワイヤボンデ
ィング装置は、ワイヤクランプどしてソレノイドを用い
、ワイヤクランプおよびボンディング工具を」−上移動
させるために駆動ｔ−タを用いている。これらボンディ
ング■ＪＡ ａ３ にび駆動モータはＸＹテーブルに１
ハ載され、このＸＹテーブルｔｉｔ Ｘ方向の駆動モー
タどＹ方向の駆動モータにより水平方向に移動される。 上下駆動子−タ、Ｘ軸駆動モータ、Ｙ軸駆動モータを動
かすことによりボンディング工具に保持されたボンディ
ングワイヤを半導体ペレッ］−と外部端子にボンデイン
クし、電気的に接続している。 かかるワイヤボンディング装置におりる特にＸＹ方向の
移動に関して次のような問題がある。ワイヤボンディン
グ王具をＸＹ方向に動かすためには、Ｘ方向の駆動モー
タどＹ方向の駆動七−夕を駆動する。例えば第９図に示
づように原点Ｏから目標位置１’（ａ、ｂ）にライ１フ
ボンデイングＦ、Ｈ１を動かす場合は次のようにＸ軸駆
動モータどＹ軸駆動を−９を駆動り゛る。これら上−夕
を同時に駆動開始し、Ｙ方向の位置が目！ｆｆｉ （＋
Ｎ ｂに達したらＹ軸駆動モータを停止り−る。ぞの後
Ｘ方向の位置が目標値ａに達したらＸ軸駆動モータを停
止り−る。 ボンディング工具は第９図の移動軌跡！Ｊ１を描く。 この移動軌跡ρ、は位置Ｑ（ｂ、ｂ）で曲がっているた
め、ボンディング工具はこの位置Ｑ （ｂ。 ｂ）で移動方向を急激に変える。このためボンディング
ニ［貝が保持しＣいるボンディングワイＶが曲がり、望
ましりべ
と外部端子との配線をおこなうワイヤボンディング方法
おＪ、び装置に関ｊる。 〔発明の技術的費用どその問題点〕 近年、「デジタルワイヤホンダ」と呼ばれるワイヤボン
ディング装置が多く用いられている。このワイヤボンデ
ィング装置は、ワイヤクランプどしてソレノイドを用い
、ワイヤクランプおよびボンディング工具を」−上移動
させるために駆動ｔ−タを用いている。これらボンディ
ング■ＪＡ ａ３ にび駆動モータはＸＹテーブルに１
ハ載され、このＸＹテーブルｔｉｔ Ｘ方向の駆動モー
タどＹ方向の駆動モータにより水平方向に移動される。 上下駆動子−タ、Ｘ軸駆動モータ、Ｙ軸駆動モータを動
かすことによりボンディング工具に保持されたボンディ
ングワイヤを半導体ペレッ］−と外部端子にボンデイン
クし、電気的に接続している。 かかるワイヤボンディング装置におりる特にＸＹ方向の
移動に関して次のような問題がある。ワイヤボンディン
グ王具をＸＹ方向に動かすためには、Ｘ方向の駆動モー
タどＹ方向の駆動七−夕を駆動する。例えば第９図に示
づように原点Ｏから目標位置１’（ａ、ｂ）にライ１フ
ボンデイングＦ、Ｈ１を動かす場合は次のようにＸ軸駆
動モータどＹ軸駆動を−９を駆動り゛る。これら上−夕
を同時に駆動開始し、Ｙ方向の位置が目！ｆｆｉ （＋
Ｎ ｂに達したらＹ軸駆動モータを停止り−る。ぞの後
Ｘ方向の位置が目標値ａに達したらＸ軸駆動モータを停
止り−る。 ボンディング工具は第９図の移動軌跡！Ｊ１を描く。 この移動軌跡ρ、は位置Ｑ（ｂ、ｂ）で曲がっているた
め、ボンディング工具はこの位置Ｑ （ｂ。 ｂ）で移動方向を急激に変える。このためボンディング
ニ［貝が保持しＣいるボンディングワイＶが曲がり、望
ましりべ
【いループ形状どなる。 上述した問題を解澗
するため、Ｘ方向おＪ、びＹ方向の移動量が異なる場合
には、短い移動間の方向の移動速庶を遅くして、ボンデ
ィング工具が第９図の移動軌跡９２を描くようにＭ゛る
。このようにすればボンディング工具が途中で移動方向
を変えることがない。移動のため必要な時間はＸ方向の
移動ｍとＹ方向の移動用のうち長い方で定まる。したが
って第９図の位置Ｐ（ａ、ｂ）に達づ−るのに必要な時
間も、位置Ｒ（ａ、ｃ）に達するのに必要な時間も同じ
になる。軌跡ｆＪ２と軌跡、Ｉ１３の距離は異なるため
、位置Ｐ（ａ、ｂ、）に移動する場合と、位置Ｒ（ａ、
Ｃ）に移動する場合と、移動速度が異なる。一方、信頼
性あるワイヤボンディングをおこなうためには、ボンデ
ィング工具の許容される移動速度に限界がある。しかし
、上述の移動制御では、移動方向が異４Ｔるど移動速度
が異なるため、許容限界を超えるおそれがある。ボンデ
ィング工具の１王移動速度が一定であれば、移動速度が
異なるど、ボンディング工具の３次元の移動軌跡も第１
０図に示すように異なるため、ボンディング工具の移動
軌跡により定まるボンディングワイヤのループ形状も異
なる。このため安定したワイヤボンディングがおこなえ
ないおてれがある。 また従来のモータの駆動制御を第１１図に示Ｊ０この駆
動制御は第１１図（Ｃ）に示すように加速度αを加速時
にはα１、減速時には一α１とする、等加３！度の制御
である。この等加速度の制御では速度Ｖは第１１図（ｂ
）に示すように直線的に増加、減少し、変位Ｓは第１１
図＜ａ）に示すように／、ｊる。−Ｆ述のモータ駆動制
御では加速瓜が、急激に変化するため、移動するボンデ
ィングヘッドがａ化部に強いｍ撃を受り、振動するとい
う問題があった。高速移動ずればそれだＧノこの衝撃も
強くなり、安定したスムーズなワイヤボンディングがお
こ＜ｉえないおそれがある。 （発明の目的） 本発明は上記事情を８虞してなされたもので、高速で安
定したワイヤボンディングをすることができるワイヤボ
ンディング方法および装置を捉供することを目的とする
。 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明によるワイヤボンディン
グ方法は、ボンディング■只の上下移動および水平移動
テーブルの水平移動にお【ノる２点間の駆動制御を、前
記２点間の直線距離に応じた、所定の基準駆動パターン
にほぼ相似の駆動パターンに基づいておこなうことを特
徴どする。 ° また本発明によるワイヤボンディング装置のボンデ
ィング工具の上下駆動部と、水平移動テーブルの水平駆
動部は、それぞれ、駆動手段と、所定の基準駆動パター
ンを記憶する記憶部と、移動開始点と移動終了点間の直
線距離に応じた前記所定の基準駆動パターンにほぼ相似
の駆動パターンを生成する駆動パターン発生部と、この
駆動パターン発生部からの駆動パタ一ンに１ルづいて前
記駆動手段を制御する駆動制御部とを有していることを
特徴とする。 （発明の実施例） 第１の実施例 本発明の第１の実施例ににるワイヤボンディング装置を
第１図に示す。Ｙ方向の駆動モータ１とＹ方向の駆動を
一タ２によりＸＹｈ向に制御ＣきるＸＹチー゛プル３に
ボンディングへッドーＪニット４が搭載され、そのボン
ディングヘッド］ニツＩ〜４には、ボンディングワイ髪
７５を通したボンディング工具６が設【プられている。 ボンディング工具６は支点７を中心に揺動覆るボンディ
ングアーム８に取りつ【プられている。支点７を中心に
揺動する揺動アーム９が設置ノられている。駆動モータ
１０で偏芯ピン１１の軸を正逆回転さしすることにより
この揺動アーム９を上下方向すなわちＺ方向に動かすこ
とがＣぎる。揺動アーム９が上下方向に動くと、これに
つながるクランプアーム１２、ボンディングアームロッ
クピン１３、ボンディングアーム８が上下方向に動く。 Ｚ方向の駆動モータ１０には、その回転角を検出するロ
ータリ１ンコーダ（図示せず）が設けられており、その
回転角からボンディング］二貝６の高ざを検知りること
ができる。支点７はボンディングアーム８と揺動アーム
９両方の支点をかねた２重軸になっており、揺動アーム
９の動きは、アーム［１ツクソレノイド１７１にＪ：リ
ボンゲイングアームロツクピン１３に副ボンディングア
ーム１５を押しつ【プることにより、ボンディングアー
ム８に伝えられる。またアームロックソレノイド１４と
は別に副ボンディングアーム１５と揺動アーム９とは、
リニアモータ１６が発生する力により引き゛つ（〕られ
ている。ボンディングアーム８を高速で上下させる際に
は、アームロックソレノイド１４にＪ：リボンディング
アーム８をロックする。ボンディングワイヤ接合時には
、ボンディング工具６がボンディング而に接触してボン
ディングアームロックピン１３から副ボンディングアー
ム１５がはなれる。このとき副ボンディングアーム１５
にはりニアモータ１６により接合に必要な力だ（」が加
えられる。ボンディングワイヤ５をクランプするワイ）
７クランプ１７とクランプソレノイド１８はクランプ）
アーム１２に設けられ、同様のワイ）ツクランプ２５ど
クランプソレノイド２６は固定アーム２７に設【フられ
ている。 次にこのライ１ノボンデイング装首にＪ、るワイヤボン
ディング装置を第２図（ａ）、（【））により説明覆る
。まず、ボンディング工具６から出たワイＶ５の先端に
ボールが形成され（ａ−，５−貞■）、ボンディング工
具６はワイヤクランプ１７どとムに第１ボンディング位
置■まで十ｌｌ￥する。このときワイヤクランプ２５〕
を閉じてワイ翫７５との間に摩擦を生じさけることによ
りボンディング■貝６の′先端にボールをくわえこまＵ
る（時点Ｏ）。第１ボンデイングが終了すると、ボンデ
ィング１［貝６とワイＡ７クランブ１７は共に１−１だ
１）上品し、必要な長さのワイヤをボンディングＴ貝６
がら引き出７１（時点Ｏ）。この間にＸＹテーブル３は
第１ボンディング位置から第２ボンディング位置に移動
する。第１ボンディング位置と第２ボンディング位置と
の間の距Ｍ Ｌからボンディングアーム６の［吊１１が
次式の如く定まる。この１」ど１の関係はＨ＝（１，５
へ−２，０）ｘＬ＋αである。ここでαは経験的に定ま
る値である。次にボンディング■具６は徐々に下降しく
時点■）、第２ボンデインク位置にワイヤ５をボンディ
ングづ−る（時点■）。このとぎワイＡ７クランブ２５
は開じている。 ボンディングが終了するとボンディング■貝は上９１シ
ＣｎＹ点■）、−口停止してソイ１フクランプ１７を閉
じ再び−に貸してワイヤを切断する（時点■）。ボンデ
ィングＴ貝６の上昇が終了するどＨ２Ｏ２トーチまたは
電気トーチ２１によりワイヤの先端にボールが形成され
（時点■）、１回のボンディングが終了する。 本実施例によるワイヤボンディング装置のボンディング
工具６の上下動およびＸＹテーブル３の駆動の概略は上
述の通りであるが、移動「ｙの駆動軌跡が従来のｂのと
は異なる。任意の駆動軌跡で駆動することができる駆動
制御部を第３図に示す。 本実施例ではこの駆動制御部を、揺動アーム９を上下動
させる駆動モータ１０．ＸＹテーブル３を動かすＸ軸駆
動モータ１、Ｙ軸駆動モータ２にそれぞれ設けている。 駆動モータ１，２．１０をモータＭで代表り−る。 またモータＭの回転角度に、このモータＭにより移動す
るボンディング■具６、ＸＹテーブル３の移動距１！１
１が比例するものとする。なお、ボンディングゴー貝６
の十王動の移動距離と駆勤王−夕１０の回転角を比例さ
せる技術については、同じ出願人の特願昭５９−９２０
２５号に記載しである。 モータＭへの電力はサーボアンプ３８より供給される。 モータＭに１．Ｌ回転角度に比例した電圧を発生するり
］ジＩ−ネレータ３５と回転方向と回転角ｌαに応じた
パルスを発生する回転式パルスエンコーダ３６が同軸上
に直結されている。タ：］ジＩネレータ３５からの電圧
出力はサーボアンプ３８に直接負帰還され、独立したリ
ーボルーブが構成される。パルスカウンタ３７はパルス
エンコーダ３６から送られるパルス列を、回転方向を弁
別しながらカウント・ツる。ＣＰＵ３１は所定の時間間
隔でパルスカウンタ３７の内容を読み込み、１１回のカ
ウント値どの差を求め、この差をメ七り３２Ｃ内の旧現
在位置データ（ＥＸＤＴ）に加減紳することに５ノこり
、駆動対象にの新現在位置とり−る。 一方メモリ３２（ｊには駆動対象にの目標位置−１２＝ （ＴＡＲＧ）が格納されており、ＣＰＵ３１はこの目標
位置と新現在位置との差を求め、これを偏差値（トＩＥ
Ｎ）としてメモリ３２ｅに格納ＭるするＣＰＵ３１はｌ
−Ｉ Ｅ Ｎ ＝ Ｔ Ａ ＲＧ −Ｅ Ｘ Ｐ Ｔ
＝ ０となるように、ｌ−Ｉ Ｅ Ｎに応じたアブログ
出力量を所定演算により求め、これをサーボアンプ３８
に出力する。駆動対象Ｋが停止状態にある場合は、Ｔ
Ａ ＲＧ ４＝ Ｅ Ｘ Ｐ Ｔ 、！：なッテおり、
駆動対象Ｋを移動さゼたい場合は目標位置を変化させれ
ばよい。 なお、本実施例では精密制御のため、これらデータ（Ｔ
ＡＲＧ、ＥＸＰＴ、１−ＩＥＮ等）は、パルスエンコー
ダ３５の発生するパルス数どする。 次に駆動対象を距離Ｓだけ動かす場合について説明する
。ＣＰＬＪ３１は、メモリ３２ｂで与えられた移動距＠
Ｓから目標位置の更新回数をｎを求め、目標更新データ
（ΔＳｉ）として第４図に示すようにメモリ３２ｆに格
納する。ここで駆動対象にの移動軌跡は第５図（ａ）に
示すように、例えば次式に示すようなサイクロイダル曲
線になるようにする。 △５＝ＳＸ ・・・・・・ （１） ここでＴ【、１全移動峙間であり、Δ１゛は更新回数ｎ
で全移動時間Ｔを割った駆動単位時間である。メモリ３
２ａに記↑■されたこの式に基づいて１１椋更新データ
（ΔＳｉ）が定められ、メモリ３２ｆに格納される。 標Ｗ軌跡データを（１）式に示すようなリイク「ｌイダ
ル曲線どＭるど、移動軌跡は第５図（ａ）に示ＩＪ、う
になり、速度Ｖは第５図（ｂ）に示すように′／ｆす、
加速度αは第５図（Ｃ）に示すようにイｊる。加速度α
は正弦波状変化をしており、急激に変化しないのでモー
タＭへの負担が少なく、衝撃も少ない。なお、加速度α
が急激に変化しｔｒいｂのであれば、他の駆動曲線ｅも
よい。例えば１１１弦カム曲線、変形台形カム曲線があ
る。 ＣＰ Ｕ ３１は所定のｌｌｉ位時間Δ１の間隔で目標
更新データΔＳ１をメモリ２ｆから順次読み出し、＝
１ ら − これを目標位置に加えていく。最終目標位置を設定後、
現（＋位置（ＥＸＰＴ）がＩＩ目標位置ＴΔＲＧ）にな
るのをまら、駆動対象にの移動を完了する。 本実施例で番、１メモリ３２ａの標準軌跡をメモリ３２
ｂの直線距離Ｓに応じ−Ｃはば相似形に変形することに
なる。なお、メモリ３２ａに数種類の標準軌跡を記憶し
、動作時の目的に合せて選択してもよい。 本実施例にＪ：れば標準軌跡に基づいて駆動制御するこ
とができるので、カム運動理論により、へ速で低衝撃、
低振動の駆動が可能である。 第じと！１笈】１例 次に本発明の第２の実施例にＪ：るワイヤボンディング
装置を第６図に示す。本実施例はボンディング■具が設
番プられたボンディングアームと、ワイヤクランプが設
けられたクランプアームとが独立駆動可能であり、それ
ぞれの駆動部を前述の特願昭５９−９２０２５の技術に
Ｊ：り回転角と移動量が比例するように改良したもので
ある。 ボンディングＴ具２１３を−１−下駆動するためのモー
タ（図示ｌず）の回転軸２０２にロータリーエン」−ダ
（図示けず）と力ｌ＼２０３が取りつけられている。ボ
ンディングアーム２１１は揺動アーム２０６ど向−支軸
２０９で結合され−Ｃいる。 揺動アーム２０６にＩ：Ｌカムフォロワー２０５が設け
られ、このカムフォロワー２０５はカム２０３ど接触し
ている。また１五動アーム２０６には補助アーム２０８
が設けられている。この補助アーム２０８の一端に；ｂ
カムフォロワー２０４が取りつけられている。カムフォ
ロワー２０４と２０５とでカム２０３をはざむ。揺動ア
ーム２０６と補助アーム２０８との間にバネ２１０を設
けて、カムフォロワー２０／１．２０５に一定の予圧を
かけている。 ボンディングアーム２１１は支軸２０９で揺動アーム２
０６と連結されている。ボンディングアーム２１１は、
マグネット２１７とムービン］イル２１６にＪ：り構成
されたボイス−１イルモータとバネ２１８とにより保持
されている。ビン２２３はボンディングアーム２１１の
回転を用止するためにボンディングアーム２１１の端部
２２１近くに設【ノられている。この端部２２１の動き
を検出するための容量レン＋ｊ２２２が設りられている
。 ボンディング工具２１３がボンディング位置に当たると
、ボンディングアーム２１１がわずかに回転し、端部２
２１と客間センリ２２２とのギャップが変化する。この
ギャップ変化を容品レンザ２２２で検出して、ボンディ
ングした時刻を知ることができる。この時刻から超音波
発振を開始し、超音波ボンディングをおこなう。 上クランプ２５２ど下クランプ２５７Ｉを上下駆動する
ためのモータ（図示−ぜず）の回転軸２４２にロータリ
エンコーダ（図示「ず）とカム２４３が取りつけられて
いる。クランプアーム２４６は支軸２４９を中心に回転
づ−る。クランプアーム２４６の一方は２つのアーム２
５１．２５３に分かれておりそれぞれクランプ２５２，
２５４が取りつけられている。クランプアーム２４６の
他端にはカムフォロワー２４５が設けられ、カム２／Ｉ
３と接触している。Ｊ：たクランプ７−ム２／Ｉ６に（
Ｊ補助アーム２／Ｉ８が設けられ、この補助アーム２／
Ｉ８の一端にも力１１）ＡＩＩワー２４４が取りつＩ−
ｊられている。カムフ７１１ワー２４４と：２１５どで
カム２４３を（よさむ。クランプアーム２７Ｉ６ど補助
アーム２４８との間にバネ２５０を設【）て、カムフォ
ロワー２Ａ／１．２４５に一定の予圧をかけている。 スプール（図示Ｕず）から引きだされたボンディングワ
イＡ７２３０は、上クランプ２５２、下クランプ２５４
を通ってボンディング工具２１３の先端から出ている。 上クランプ２５２と下クランプ２５４との間にガイド２
３２が設（）られている。 上クランプ２５２のすぐ上にもガイド２３４が設（）ら
れている。ボンディングワイＡ７２３０を常に一定のテ
ンシヨンでにに引き」−げるため、Ｔアーノズル２３６
からエアーがふきつけられている。 次に本実施例によるワイＸ７ボンデイング方法を第７図
（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。まずボンデイングワ
イ＼７２３０の先端に形成されたボールを、上クランプ
２５２を閉じてボンディング１］具２１３を下降さける
ことにより、ボンデイング工４２１３の先端にくわえ込
む（時点Δ）。次に上クランプ２５２、下クランプ２５
４を聞いた状態にしてボンディング工具２１３だＧノを
軌跡Ｚ１゜Ｚ２に沿って距ｖ ｓ １だ【ノ降下し、直
下の半導体ペレット２２０の第１ボンディング位Ｈにボ
ールを圧着時間の間押しつ【プ超音波ボンディングする
（時点Ｂ）。 次にボンディング工具２１３を少し−に昇してから上ク
ランプ２５４を開じてボンディング工具２１３を第２ボ
ンディング位置から相対的に離間する方向に移動させた
後第２ボンディング位岡へ向う（時点Ｃ）。ここで、第
２ボンディング位回は、半導体ペレット２２０に近接し
Ｃ！ｉｉ！ｆｆ２された外部端子上に設けられている。 ボンディング工具２１３を第２ボンディング位置から相
対的に離す操作はボンディング工具２１３を搭載したＸ
Ｙテーブル２００を移動させておこなう。 次いで、上クランプ２５２を閉じた状態で所定分だ４−
Ｊ降下して、スプール２４９から架設に必要な長さＨ０
分のボンディングワイヤ２３０を引き出す。このボンデ
ィングワイヤ２３０の引き出しに同期してボンディング
工具２３１を所定距離Ｓ だけ軌跡７３に沿って上昇す
る（時点Ｄ）。 次いで、ボンディング工具２１３を軌跡Ｚ４に沿って第
２ボンディング位置の」ニ方に移動さける（時点［）。 ボンディング工具２１３が第２ボンディング位置の上方
に達した時点では、ボンディングＩＵ２１３と第１ボン
Ｙイング位置間には、架設に必要な長ざｔｉ Ｃのボン
ディングワイヤ２３０が供給されている。 上クランプ２５２及び下クランプ２５１１を開いた状態
にしてボンディング工具２１３を第２ボンディング位置
まで軌跡Ｚ５に沿って降下し、ボンディングワイヤ２３
０を引っ張った状態でボンディングワイヤ２３０の接続
を行なう（時点Ｆ）。 次いで、下クランプ２５４を閉じた状態でボンディング
−貝２１３を所定距１ｔｌｌｌｓ だけ軌跡Ｚ６に沿
って上昇しく時点Ｇ）、ボンディング１゛貝−ン Ｕ
− ２１３から次のボールを形成するためのボンデイングワ
イＶ７２３０が突き出した状態になるように、上クラン
プ２５２と下クランプ２５４を上昇させる（時点１−１
）。然る後、ボンディング工具２１３から突き出したボ
ンディングワイヤ２３０の先端にトーチ２５５によりボ
ールを形成する（時点Ｉ）以上の動作において、ボンデ
ィング工具２１３の上下駆動の軌跡ｚ 、ｚ 、ｚ
４．ｚ６に沿つての移動は、第１の実施例と同様、ザイ
クロイダル曲線等のＩｌｉ撃が少なく高速で駆動できる
曲線に従ってなされ、軌跡Ｚ２．Ｚ５に沿っての移動は
低速駆動によりなされる。 ＸＹテーブル２００の移動について第７図、第８図を用
いてさらに詳細に説明する。第１ボンディング位置にボ
ンディング後、ボンディング工具２１３が軌跡Ｚ３に沿
って上昇しはじめる。この上昇開始後時間Ｔ５が経過す
ると、ＸＹテーブル２００が移動を開始し、時間Ｔ１経
過後その移動を終了する。この時間Ｔ１は、第１ボンデ
ィング位置Ｏから第２ボンディング位置Ｑまでの直線距
ＭＩ ＯＱにＪ、す、枕Ｑｌ軌跡データから求められに
基準速度曲線に基づい−（求められる。この時間Ｔ１で
ＸＹテーブル２００のＸ軸方向の距１ｉｌｌＩＳｘｏの
移動、Ｙ軸方向の距Ｉｆ Ｓ 、。の移動が／ｉされる
。このどぎのＸ軸駆動の速度曲線はＶｘｏ（第８図（ｂ
））Ｙ軸駆動の速度曲線）まｖｖｏ（第８図（Ｃ））と
なり、各所要時間下Ｘ。、ＴＶｏは時間Ｔ１と等しい。 したがつＣ第１ボンディング位買Ｏから第２ボンデイン
ゲイ１７置ＱまでのＸＹテーブル２００の移動ｌＩＩ＋
跡は、Ｘｌｌ１ｌｌ、Ｙ軸の移動が合成され直線を描く
。 もし第２ボンディング位置がＰの場合は、Ｘ軸方向の距
に１はＳＹ軸方向の距−１はＳ７．とイｒす、ｙｐ１ 速度曲線はＶｘｐ” ｙｐどなり、所要時間はＴ ｘｐ
’Ｔ どイ↑る。所要時間Ｔｘ、はＴＶ、に等しく、直
線ｐ 距１！ｌｉｔ ＯＰどＯＱどの比に応じて時間Ｔ、より
短い。 ボンディングループを形成するボンディング■貝２１３
の軌跡７３どＺ４に沿っての所要時間Ｔ −＋−７４
は、ＸＹ′７′−プル２００の移動り間Ｔ により定ま
り、距１１１ Ｓ ど肋間Ｔ −＋−Ｔ 、、によ
るリイク「１イダル曲線で１−下方向（７方向）に駆動
される。本実施例では距１１ｉＩＩＳ６とＳ７が、ボン
ディングワイ＼７のループ形状を定めるため、予め定め
られており、これにより所要時間１′５と・Ｔ４が定ま
る。また９［！ ｇｉｌｌ Ｓ ２は第１ボンディング
位置と第２ボンディング位置までの直線距ＩＩＩｔ【こ
より求められる。この距離Ｓ２により距離Ｓ６と８７を
変化さけてムにい。 なお、ボンディングワイヤの形状をにりするため、第１
ボンディング位置から第２ボンディング位置にＸＹテー
ブル２００を移動さける場合に、一度、離れる方向に移
動させたのち第２ボンディング位置へ移動さ１６場合が
ある（特願昭５８−２／１４１２０参照）。このような
一度離れる方向へのＸＹテーブルの移動にも上記制御が
利用できる。 本実施例によればＸＹテーブルの移動を移動方向に関係
なく相似に駆動り−ることができ、イの軌跡を直線にづ
゛ることができる。したがって安定したループ形状が得
られるとともに、移動方向ににる加減速度の差がなくな
り、許容限界まで速度を」−げることができる。また−
１−下方向も同様の制御をおこなうこと（、二より、ボ
ンディングニ「貝の軌跡が相似形どなり、安定した）１
−ブ形状が得られる。 〔発明の効果〕 以上の通り本発明にＪ：れば、基準駆動パターンに相似
の駆動パターンでボンディング■貝の上下駆動、水平駆
動テーブルの水平駆動をおこなうことにしたので、高速
で安定したライ１フボンγイングをおこなうことができ
る。
するため、Ｘ方向おＪ、びＹ方向の移動量が異なる場合
には、短い移動間の方向の移動速庶を遅くして、ボンデ
ィング工具が第９図の移動軌跡９２を描くようにＭ゛る
。このようにすればボンディング工具が途中で移動方向
を変えることがない。移動のため必要な時間はＸ方向の
移動ｍとＹ方向の移動用のうち長い方で定まる。したが
って第９図の位置Ｐ（ａ、ｂ）に達づ−るのに必要な時
間も、位置Ｒ（ａ、ｃ）に達するのに必要な時間も同じ
になる。軌跡ｆＪ２と軌跡、Ｉ１３の距離は異なるため
、位置Ｐ（ａ、ｂ、）に移動する場合と、位置Ｒ（ａ、
Ｃ）に移動する場合と、移動速度が異なる。一方、信頼
性あるワイヤボンディングをおこなうためには、ボンデ
ィング工具の許容される移動速度に限界がある。しかし
、上述の移動制御では、移動方向が異４Ｔるど移動速度
が異なるため、許容限界を超えるおそれがある。ボンデ
ィング工具の１王移動速度が一定であれば、移動速度が
異なるど、ボンディング工具の３次元の移動軌跡も第１
０図に示すように異なるため、ボンディング工具の移動
軌跡により定まるボンディングワイヤのループ形状も異
なる。このため安定したワイヤボンディングがおこなえ
ないおてれがある。 また従来のモータの駆動制御を第１１図に示Ｊ０この駆
動制御は第１１図（Ｃ）に示すように加速度αを加速時
にはα１、減速時には一α１とする、等加３！度の制御
である。この等加速度の制御では速度Ｖは第１１図（ｂ
）に示すように直線的に増加、減少し、変位Ｓは第１１
図＜ａ）に示すように／、ｊる。−Ｆ述のモータ駆動制
御では加速瓜が、急激に変化するため、移動するボンデ
ィングヘッドがａ化部に強いｍ撃を受り、振動するとい
う問題があった。高速移動ずればそれだＧノこの衝撃も
強くなり、安定したスムーズなワイヤボンディングがお
こ＜ｉえないおそれがある。 （発明の目的） 本発明は上記事情を８虞してなされたもので、高速で安
定したワイヤボンディングをすることができるワイヤボ
ンディング方法および装置を捉供することを目的とする
。 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明によるワイヤボンディン
グ方法は、ボンディング■只の上下移動および水平移動
テーブルの水平移動にお【ノる２点間の駆動制御を、前
記２点間の直線距離に応じた、所定の基準駆動パターン
にほぼ相似の駆動パターンに基づいておこなうことを特
徴どする。 ° また本発明によるワイヤボンディング装置のボンデ
ィング工具の上下駆動部と、水平移動テーブルの水平駆
動部は、それぞれ、駆動手段と、所定の基準駆動パター
ンを記憶する記憶部と、移動開始点と移動終了点間の直
線距離に応じた前記所定の基準駆動パターンにほぼ相似
の駆動パターンを生成する駆動パターン発生部と、この
駆動パターン発生部からの駆動パタ一ンに１ルづいて前
記駆動手段を制御する駆動制御部とを有していることを
特徴とする。 （発明の実施例） 第１の実施例 本発明の第１の実施例ににるワイヤボンディング装置を
第１図に示す。Ｙ方向の駆動モータ１とＹ方向の駆動を
一タ２によりＸＹｈ向に制御ＣきるＸＹチー゛プル３に
ボンディングへッドーＪニット４が搭載され、そのボン
ディングヘッド］ニツＩ〜４には、ボンディングワイ髪
７５を通したボンディング工具６が設【プられている。 ボンディング工具６は支点７を中心に揺動覆るボンディ
ングアーム８に取りつ【プられている。支点７を中心に
揺動する揺動アーム９が設置ノられている。駆動モータ
１０で偏芯ピン１１の軸を正逆回転さしすることにより
この揺動アーム９を上下方向すなわちＺ方向に動かすこ
とがＣぎる。揺動アーム９が上下方向に動くと、これに
つながるクランプアーム１２、ボンディングアームロッ
クピン１３、ボンディングアーム８が上下方向に動く。 Ｚ方向の駆動モータ１０には、その回転角を検出するロ
ータリ１ンコーダ（図示せず）が設けられており、その
回転角からボンディング］二貝６の高ざを検知りること
ができる。支点７はボンディングアーム８と揺動アーム
９両方の支点をかねた２重軸になっており、揺動アーム
９の動きは、アーム［１ツクソレノイド１７１にＪ：リ
ボンゲイングアームロツクピン１３に副ボンディングア
ーム１５を押しつ【プることにより、ボンディングアー
ム８に伝えられる。またアームロックソレノイド１４と
は別に副ボンディングアーム１５と揺動アーム９とは、
リニアモータ１６が発生する力により引き゛つ（〕られ
ている。ボンディングアーム８を高速で上下させる際に
は、アームロックソレノイド１４にＪ：リボンディング
アーム８をロックする。ボンディングワイヤ接合時には
、ボンディング工具６がボンディング而に接触してボン
ディングアームロックピン１３から副ボンディングアー
ム１５がはなれる。このとき副ボンディングアーム１５
にはりニアモータ１６により接合に必要な力だ（」が加
えられる。ボンディングワイヤ５をクランプするワイ）
７クランプ１７とクランプソレノイド１８はクランプ）
アーム１２に設けられ、同様のワイ）ツクランプ２５ど
クランプソレノイド２６は固定アーム２７に設【フられ
ている。 次にこのライ１ノボンデイング装首にＪ、るワイヤボン
ディング装置を第２図（ａ）、（【））により説明覆る
。まず、ボンディング工具６から出たワイＶ５の先端に
ボールが形成され（ａ−，５−貞■）、ボンディング工
具６はワイヤクランプ１７どとムに第１ボンディング位
置■まで十ｌｌ￥する。このときワイヤクランプ２５〕
を閉じてワイ翫７５との間に摩擦を生じさけることによ
りボンディング■貝６の′先端にボールをくわえこまＵ
る（時点Ｏ）。第１ボンデイングが終了すると、ボンデ
ィング１［貝６とワイＡ７クランブ１７は共に１−１だ
１）上品し、必要な長さのワイヤをボンディングＴ貝６
がら引き出７１（時点Ｏ）。この間にＸＹテーブル３は
第１ボンディング位置から第２ボンディング位置に移動
する。第１ボンディング位置と第２ボンディング位置と
の間の距Ｍ Ｌからボンディングアーム６の［吊１１が
次式の如く定まる。この１」ど１の関係はＨ＝（１，５
へ−２，０）ｘＬ＋αである。ここでαは経験的に定ま
る値である。次にボンディング■具６は徐々に下降しく
時点■）、第２ボンデインク位置にワイヤ５をボンディ
ングづ−る（時点■）。このとぎワイＡ７クランブ２５
は開じている。 ボンディングが終了するとボンディング■貝は上９１シ
ＣｎＹ点■）、−口停止してソイ１フクランプ１７を閉
じ再び−に貸してワイヤを切断する（時点■）。ボンデ
ィングＴ貝６の上昇が終了するどＨ２Ｏ２トーチまたは
電気トーチ２１によりワイヤの先端にボールが形成され
（時点■）、１回のボンディングが終了する。 本実施例によるワイヤボンディング装置のボンディング
工具６の上下動およびＸＹテーブル３の駆動の概略は上
述の通りであるが、移動「ｙの駆動軌跡が従来のｂのと
は異なる。任意の駆動軌跡で駆動することができる駆動
制御部を第３図に示す。 本実施例ではこの駆動制御部を、揺動アーム９を上下動
させる駆動モータ１０．ＸＹテーブル３を動かすＸ軸駆
動モータ１、Ｙ軸駆動モータ２にそれぞれ設けている。 駆動モータ１，２．１０をモータＭで代表り−る。 またモータＭの回転角度に、このモータＭにより移動す
るボンディング■具６、ＸＹテーブル３の移動距１！１
１が比例するものとする。なお、ボンディングゴー貝６
の十王動の移動距離と駆勤王−夕１０の回転角を比例さ
せる技術については、同じ出願人の特願昭５９−９２０
２５号に記載しである。 モータＭへの電力はサーボアンプ３８より供給される。 モータＭに１．Ｌ回転角度に比例した電圧を発生するり
］ジＩ−ネレータ３５と回転方向と回転角ｌαに応じた
パルスを発生する回転式パルスエンコーダ３６が同軸上
に直結されている。タ：］ジＩネレータ３５からの電圧
出力はサーボアンプ３８に直接負帰還され、独立したリ
ーボルーブが構成される。パルスカウンタ３７はパルス
エンコーダ３６から送られるパルス列を、回転方向を弁
別しながらカウント・ツる。ＣＰＵ３１は所定の時間間
隔でパルスカウンタ３７の内容を読み込み、１１回のカ
ウント値どの差を求め、この差をメ七り３２Ｃ内の旧現
在位置データ（ＥＸＤＴ）に加減紳することに５ノこり
、駆動対象にの新現在位置とり−る。 一方メモリ３２（ｊには駆動対象にの目標位置−１２＝ （ＴＡＲＧ）が格納されており、ＣＰＵ３１はこの目標
位置と新現在位置との差を求め、これを偏差値（トＩＥ
Ｎ）としてメモリ３２ｅに格納ＭるするＣＰＵ３１はｌ
−Ｉ Ｅ Ｎ ＝ Ｔ Ａ ＲＧ −Ｅ Ｘ Ｐ Ｔ
＝ ０となるように、ｌ−Ｉ Ｅ Ｎに応じたアブログ
出力量を所定演算により求め、これをサーボアンプ３８
に出力する。駆動対象Ｋが停止状態にある場合は、Ｔ
Ａ ＲＧ ４＝ Ｅ Ｘ Ｐ Ｔ 、！：なッテおり、
駆動対象Ｋを移動さゼたい場合は目標位置を変化させれ
ばよい。 なお、本実施例では精密制御のため、これらデータ（Ｔ
ＡＲＧ、ＥＸＰＴ、１−ＩＥＮ等）は、パルスエンコー
ダ３５の発生するパルス数どする。 次に駆動対象を距離Ｓだけ動かす場合について説明する
。ＣＰＬＪ３１は、メモリ３２ｂで与えられた移動距＠
Ｓから目標位置の更新回数をｎを求め、目標更新データ
（ΔＳｉ）として第４図に示すようにメモリ３２ｆに格
納する。ここで駆動対象にの移動軌跡は第５図（ａ）に
示すように、例えば次式に示すようなサイクロイダル曲
線になるようにする。 △５＝ＳＸ ・・・・・・ （１） ここでＴ【、１全移動峙間であり、Δ１゛は更新回数ｎ
で全移動時間Ｔを割った駆動単位時間である。メモリ３
２ａに記↑■されたこの式に基づいて１１椋更新データ
（ΔＳｉ）が定められ、メモリ３２ｆに格納される。 標Ｗ軌跡データを（１）式に示すようなリイク「ｌイダ
ル曲線どＭるど、移動軌跡は第５図（ａ）に示ＩＪ、う
になり、速度Ｖは第５図（ｂ）に示すように′／ｆす、
加速度αは第５図（Ｃ）に示すようにイｊる。加速度α
は正弦波状変化をしており、急激に変化しないのでモー
タＭへの負担が少なく、衝撃も少ない。なお、加速度α
が急激に変化しｔｒいｂのであれば、他の駆動曲線ｅも
よい。例えば１１１弦カム曲線、変形台形カム曲線があ
る。 ＣＰ Ｕ ３１は所定のｌｌｉ位時間Δ１の間隔で目標
更新データΔＳ１をメモリ２ｆから順次読み出し、＝
１ ら − これを目標位置に加えていく。最終目標位置を設定後、
現（＋位置（ＥＸＰＴ）がＩＩ目標位置ＴΔＲＧ）にな
るのをまら、駆動対象にの移動を完了する。 本実施例で番、１メモリ３２ａの標準軌跡をメモリ３２
ｂの直線距離Ｓに応じ−Ｃはば相似形に変形することに
なる。なお、メモリ３２ａに数種類の標準軌跡を記憶し
、動作時の目的に合せて選択してもよい。 本実施例にＪ：れば標準軌跡に基づいて駆動制御するこ
とができるので、カム運動理論により、へ速で低衝撃、
低振動の駆動が可能である。 第じと！１笈】１例 次に本発明の第２の実施例にＪ：るワイヤボンディング
装置を第６図に示す。本実施例はボンディング■具が設
番プられたボンディングアームと、ワイヤクランプが設
けられたクランプアームとが独立駆動可能であり、それ
ぞれの駆動部を前述の特願昭５９−９２０２５の技術に
Ｊ：り回転角と移動量が比例するように改良したもので
ある。 ボンディングＴ具２１３を−１−下駆動するためのモー
タ（図示ｌず）の回転軸２０２にロータリーエン」−ダ
（図示けず）と力ｌ＼２０３が取りつけられている。ボ
ンディングアーム２１１は揺動アーム２０６ど向−支軸
２０９で結合され−Ｃいる。 揺動アーム２０６にＩ：Ｌカムフォロワー２０５が設け
られ、このカムフォロワー２０５はカム２０３ど接触し
ている。また１五動アーム２０６には補助アーム２０８
が設けられている。この補助アーム２０８の一端に；ｂ
カムフォロワー２０４が取りつけられている。カムフォ
ロワー２０４と２０５とでカム２０３をはざむ。揺動ア
ーム２０６と補助アーム２０８との間にバネ２１０を設
けて、カムフォロワー２０／１．２０５に一定の予圧を
かけている。 ボンディングアーム２１１は支軸２０９で揺動アーム２
０６と連結されている。ボンディングアーム２１１は、
マグネット２１７とムービン］イル２１６にＪ：り構成
されたボイス−１イルモータとバネ２１８とにより保持
されている。ビン２２３はボンディングアーム２１１の
回転を用止するためにボンディングアーム２１１の端部
２２１近くに設【ノられている。この端部２２１の動き
を検出するための容量レン＋ｊ２２２が設りられている
。 ボンディング工具２１３がボンディング位置に当たると
、ボンディングアーム２１１がわずかに回転し、端部２
２１と客間センリ２２２とのギャップが変化する。この
ギャップ変化を容品レンザ２２２で検出して、ボンディ
ングした時刻を知ることができる。この時刻から超音波
発振を開始し、超音波ボンディングをおこなう。 上クランプ２５２ど下クランプ２５７Ｉを上下駆動する
ためのモータ（図示−ぜず）の回転軸２４２にロータリ
エンコーダ（図示「ず）とカム２４３が取りつけられて
いる。クランプアーム２４６は支軸２４９を中心に回転
づ−る。クランプアーム２４６の一方は２つのアーム２
５１．２５３に分かれておりそれぞれクランプ２５２，
２５４が取りつけられている。クランプアーム２４６の
他端にはカムフォロワー２４５が設けられ、カム２／Ｉ
３と接触している。Ｊ：たクランプ７−ム２／Ｉ６に（
Ｊ補助アーム２／Ｉ８が設けられ、この補助アーム２／
Ｉ８の一端にも力１１）ＡＩＩワー２４４が取りつＩ−
ｊられている。カムフ７１１ワー２４４と：２１５どで
カム２４３を（よさむ。クランプアーム２７Ｉ６ど補助
アーム２４８との間にバネ２５０を設【）て、カムフォ
ロワー２Ａ／１．２４５に一定の予圧をかけている。 スプール（図示Ｕず）から引きだされたボンディングワ
イＡ７２３０は、上クランプ２５２、下クランプ２５４
を通ってボンディング工具２１３の先端から出ている。 上クランプ２５２と下クランプ２５４との間にガイド２
３２が設（）られている。 上クランプ２５２のすぐ上にもガイド２３４が設（）ら
れている。ボンディングワイＡ７２３０を常に一定のテ
ンシヨンでにに引き」−げるため、Ｔアーノズル２３６
からエアーがふきつけられている。 次に本実施例によるワイＸ７ボンデイング方法を第７図
（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。まずボンデイングワ
イ＼７２３０の先端に形成されたボールを、上クランプ
２５２を閉じてボンディング１］具２１３を下降さける
ことにより、ボンデイング工４２１３の先端にくわえ込
む（時点Δ）。次に上クランプ２５２、下クランプ２５
４を聞いた状態にしてボンディング工具２１３だＧノを
軌跡Ｚ１゜Ｚ２に沿って距ｖ ｓ １だ【ノ降下し、直
下の半導体ペレット２２０の第１ボンディング位Ｈにボ
ールを圧着時間の間押しつ【プ超音波ボンディングする
（時点Ｂ）。 次にボンディング工具２１３を少し−に昇してから上ク
ランプ２５４を開じてボンディング工具２１３を第２ボ
ンディング位置から相対的に離間する方向に移動させた
後第２ボンディング位岡へ向う（時点Ｃ）。ここで、第
２ボンディング位回は、半導体ペレット２２０に近接し
Ｃ！ｉｉ！ｆｆ２された外部端子上に設けられている。 ボンディング工具２１３を第２ボンディング位置から相
対的に離す操作はボンディング工具２１３を搭載したＸ
Ｙテーブル２００を移動させておこなう。 次いで、上クランプ２５２を閉じた状態で所定分だ４−
Ｊ降下して、スプール２４９から架設に必要な長さＨ０
分のボンディングワイヤ２３０を引き出す。このボンデ
ィングワイヤ２３０の引き出しに同期してボンディング
工具２３１を所定距離Ｓ だけ軌跡７３に沿って上昇す
る（時点Ｄ）。 次いで、ボンディング工具２１３を軌跡Ｚ４に沿って第
２ボンディング位置の」ニ方に移動さける（時点［）。 ボンディング工具２１３が第２ボンディング位置の上方
に達した時点では、ボンディングＩＵ２１３と第１ボン
Ｙイング位置間には、架設に必要な長ざｔｉ Ｃのボン
ディングワイヤ２３０が供給されている。 上クランプ２５２及び下クランプ２５１１を開いた状態
にしてボンディング工具２１３を第２ボンディング位置
まで軌跡Ｚ５に沿って降下し、ボンディングワイヤ２３
０を引っ張った状態でボンディングワイヤ２３０の接続
を行なう（時点Ｆ）。 次いで、下クランプ２５４を閉じた状態でボンディング
−貝２１３を所定距１ｔｌｌｌｓ だけ軌跡Ｚ６に沿
って上昇しく時点Ｇ）、ボンディング１゛貝−ン Ｕ
− ２１３から次のボールを形成するためのボンデイングワ
イＶ７２３０が突き出した状態になるように、上クラン
プ２５２と下クランプ２５４を上昇させる（時点１−１
）。然る後、ボンディング工具２１３から突き出したボ
ンディングワイヤ２３０の先端にトーチ２５５によりボ
ールを形成する（時点Ｉ）以上の動作において、ボンデ
ィング工具２１３の上下駆動の軌跡ｚ 、ｚ 、ｚ
４．ｚ６に沿つての移動は、第１の実施例と同様、ザイ
クロイダル曲線等のＩｌｉ撃が少なく高速で駆動できる
曲線に従ってなされ、軌跡Ｚ２．Ｚ５に沿っての移動は
低速駆動によりなされる。 ＸＹテーブル２００の移動について第７図、第８図を用
いてさらに詳細に説明する。第１ボンディング位置にボ
ンディング後、ボンディング工具２１３が軌跡Ｚ３に沿
って上昇しはじめる。この上昇開始後時間Ｔ５が経過す
ると、ＸＹテーブル２００が移動を開始し、時間Ｔ１経
過後その移動を終了する。この時間Ｔ１は、第１ボンデ
ィング位置Ｏから第２ボンディング位置Ｑまでの直線距
ＭＩ ＯＱにＪ、す、枕Ｑｌ軌跡データから求められに
基準速度曲線に基づい−（求められる。この時間Ｔ１で
ＸＹテーブル２００のＸ軸方向の距１ｉｌｌＩＳｘｏの
移動、Ｙ軸方向の距Ｉｆ Ｓ 、。の移動が／ｉされる
。このどぎのＸ軸駆動の速度曲線はＶｘｏ（第８図（ｂ
））Ｙ軸駆動の速度曲線）まｖｖｏ（第８図（Ｃ））と
なり、各所要時間下Ｘ。、ＴＶｏは時間Ｔ１と等しい。 したがつＣ第１ボンディング位買Ｏから第２ボンデイン
ゲイ１７置ＱまでのＸＹテーブル２００の移動ｌＩＩ＋
跡は、Ｘｌｌ１ｌｌ、Ｙ軸の移動が合成され直線を描く
。 もし第２ボンディング位置がＰの場合は、Ｘ軸方向の距
に１はＳＹ軸方向の距−１はＳ７．とイｒす、ｙｐ１ 速度曲線はＶｘｐ” ｙｐどなり、所要時間はＴ ｘｐ
’Ｔ どイ↑る。所要時間Ｔｘ、はＴＶ、に等しく、直
線ｐ 距１！ｌｉｔ ＯＰどＯＱどの比に応じて時間Ｔ、より
短い。 ボンディングループを形成するボンディング■貝２１３
の軌跡７３どＺ４に沿っての所要時間Ｔ −＋−７４
は、ＸＹ′７′−プル２００の移動り間Ｔ により定ま
り、距１１１ Ｓ ど肋間Ｔ −＋−Ｔ 、、によ
るリイク「１イダル曲線で１−下方向（７方向）に駆動
される。本実施例では距１１ｉＩＩＳ６とＳ７が、ボン
ディングワイ＼７のループ形状を定めるため、予め定め
られており、これにより所要時間１′５と・Ｔ４が定ま
る。また９［！ ｇｉｌｌ Ｓ ２は第１ボンディング
位置と第２ボンディング位置までの直線距ＩＩＩｔ【こ
より求められる。この距離Ｓ２により距離Ｓ６と８７を
変化さけてムにい。 なお、ボンディングワイヤの形状をにりするため、第１
ボンディング位置から第２ボンディング位置にＸＹテー
ブル２００を移動さける場合に、一度、離れる方向に移
動させたのち第２ボンディング位置へ移動さ１６場合が
ある（特願昭５８−２／１４１２０参照）。このような
一度離れる方向へのＸＹテーブルの移動にも上記制御が
利用できる。 本実施例によればＸＹテーブルの移動を移動方向に関係
なく相似に駆動り−ることができ、イの軌跡を直線にづ
゛ることができる。したがって安定したループ形状が得
られるとともに、移動方向ににる加減速度の差がなくな
り、許容限界まで速度を」−げることができる。また−
１−下方向も同様の制御をおこなうこと（、二より、ボ
ンディングニ「貝の軌跡が相似形どなり、安定した）１
−ブ形状が得られる。 〔発明の効果〕 以上の通り本発明にＪ：れば、基準駆動パターンに相似
の駆動パターンでボンディング■貝の上下駆動、水平駆
動テーブルの水平駆動をおこなうことにしたので、高速
で安定したライ１フボンγイングをおこなうことができ
る。
第１図は本発明の第１の実施例によるワイヤボンディン
グ装置？１の側面図、第２図は同ワイヤボンディング装
置の動作を示寸図、第３図は同ワイヤボンディング装置
の駆動制御部のブロック図、第４図は同駆勅制御部の［
１標更新データメモリのメモリマツプ、第５図は同駆動
制御ＩＰＪｌの動作を示−づ図、 第６図は本発明の第２の実施例によるワイヤボンディン
グ装置の要部の側面図、第７図、第８図は同ワイヤボン
ディング装置の動作を示１図、第９図、第１０図、第１
１図は従来のワイヤボンディング装置の動作を示り図で
ある。 １．２・・・駆動モータ、３・・・ＸＹテーブル、４・
・・ボンディングへッドユニツ］〜、５・・・ボンディ
ングワイヤ、６・・・ボンディング工具、７・・・支点
、８・・・ボンディングアーム、９・・・揺動アーム、
１０・・・駆動Ｅ−夕、１１・・・偏芯ピン、１２・・
・クランプアーム、１３・・・ボンディングアームロッ
クピン、１４・・・アームロックソレノイド、１５・・
・副ボンディングアーム、１６・・・リニアモータ、１
７．２５・・・ワイヤクランプ、１８．２６・・・クラ
ンプソレノイド、１９・・・スプール、２１・・・トー
チ。 出願人代理人 猪 股 清 杆 ＾ ＾−
〇 〇〆−〆） 」コ Ｑ へノ ζノ ”！”Ｒ 手続補正書 昭和６０年 ５ 月 ２０ 許庁長官 志賀 学 殿 事件の表示 昭和６０年 特許願 第６７６０６号 発明の名称 ワイヤボンディング方法および装置 補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 株式会社 東 芝 代 理 人 明細書および図面。 補正の内容
グ装置？１の側面図、第２図は同ワイヤボンディング装
置の動作を示寸図、第３図は同ワイヤボンディング装置
の駆動制御部のブロック図、第４図は同駆勅制御部の［
１標更新データメモリのメモリマツプ、第５図は同駆動
制御ＩＰＪｌの動作を示−づ図、 第６図は本発明の第２の実施例によるワイヤボンディン
グ装置の要部の側面図、第７図、第８図は同ワイヤボン
ディング装置の動作を示１図、第９図、第１０図、第１
１図は従来のワイヤボンディング装置の動作を示り図で
ある。 １．２・・・駆動モータ、３・・・ＸＹテーブル、４・
・・ボンディングへッドユニツ］〜、５・・・ボンディ
ングワイヤ、６・・・ボンディング工具、７・・・支点
、８・・・ボンディングアーム、９・・・揺動アーム、
１０・・・駆動Ｅ−夕、１１・・・偏芯ピン、１２・・
・クランプアーム、１３・・・ボンディングアームロッ
クピン、１４・・・アームロックソレノイド、１５・・
・副ボンディングアーム、１６・・・リニアモータ、１
７．２５・・・ワイヤクランプ、１８．２６・・・クラ
ンプソレノイド、１９・・・スプール、２１・・・トー
チ。 出願人代理人 猪 股 清 杆 ＾ ＾−
〇 〇〆−〆） 」コ Ｑ へノ ζノ ”！”Ｒ 手続補正書 昭和６０年 ５ 月 ２０ 許庁長官 志賀 学 殿 事件の表示 昭和６０年 特許願 第６７６０６号 発明の名称 ワイヤボンディング方法および装置 補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 株式会社 東 芝 代 理 人 明細書および図面。 補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ボンディングワイヤを保持するボンディング工具を
上下駆動しながら、このボンディング工具が搭載された
水平移動テーブルを駆動するこにより、前記ボンディン
グワイヤを半導体ペレットと外部端子にボンディングし
て電気的に接続するワイヤボンディング方法において、 前記ボンディング工具の上下移動および前記水平移動テ
ーブルの水平移動における２点間の駆動制御を、前記２
点間の直線距離に応じた、所定の基準駆動パターンにほ
ぼ相似の駆動パターンに基づいておこなうことを特徴と
するワイヤボンディング方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載の方法において、前記所
定の基準駆動パターンは、移動時間に対する移動量の変
化曲線が単弦カム曲線またはサイクロイドカム曲線また
は変形台形カム曲線であることを特徴とするワイヤボン
ディング方法。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項記載の方法にお
いて、前記水平移動テーブルを互いに直交するＸ軸駆動
およびＹ軸駆動により水平移動する際に、Ｘ軸駆動とＹ
軸駆動をほぼ同時に開始し、ほぼ同時に終了することを
特徴とするワイヤボンディング方法。 ４、ボンディングワイヤを保持するボンディング工具と
、このボンディング工具を上下駆動する上下駆動部と、
このボンディング工具が搭載された水平移動テーブルと
、この水平移動テーブルを水平駆動する水平駆動部とを
備え、前記上下駆動部により前記ボンディング工具を上
下移動しながら前記水平駆動部により前記水平移動テー
ブルを水平移動させることにより、前記ボンディングワ
イヤを半導体ペレットと外部端子にボンディングして電
気的に接続するワイヤボンディング装置において、 前記上下駆動部および前記水平駆動部は、それぞれ、駆
動手段と、所定の基準駆動パターンを記憶する記憶部と
、移動開始点と移動終了点間の直線距離に応じた、前記
所定の基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パターンを生
成する駆動パターン発生部と、この駆動パターン発生部
からの駆動パターンに基づいて前記駆動手段を制御する
駆動制御部とを有していることを特徴とするワイヤボン
ディング装置。 ５、特許請求の範囲第４項記載の装置において、前記所
定の基準駆動パターンは、移動時間に対する移動量の変
化曲線が単弦カム曲線またはサイクロイドカム曲線また
は変形台形カム曲線であることを特徴とするワイヤボン
ディング装置。 ６、特許請求の範囲第４項または第５項記載の装置にお
いて、前記水平駆動部の駆動手段は、互いに直交するＸ
軸駆動手段およびＹ軸駆動手段を有し、前記駆動制御部
は、Ｘ軸駆動およびＹ軸駆動をほぼ同時に開始し、ほぼ
同時に終了するように前記Ｘ軸駆動手段およびＹ軸駆動
手段を制御することを特徴とするワイヤボンディング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60067606A JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60067606A JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61226936A true JPS61226936A (ja) | 1986-10-08 |
| JPH0438136B2 JPH0438136B2 (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=13349757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60067606A Granted JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61226936A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11404393B2 (en) * | 2018-08-23 | 2022-08-02 | Kaijo Corporation | Wire bonding method and wire bonding device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348461A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-01 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| JPS5724026A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
| JPS593850A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管 |
-
1985
- 1985-03-30 JP JP60067606A patent/JPS61226936A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348461A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-01 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| JPS5724026A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
| JPS593850A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11404393B2 (en) * | 2018-08-23 | 2022-08-02 | Kaijo Corporation | Wire bonding method and wire bonding device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438136B2 (ja) | 1992-06-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |