JPS61228647A - ウエハ並べ換え装置 - Google Patents
ウエハ並べ換え装置Info
- Publication number
- JPS61228647A JPS61228647A JP60071509A JP7150985A JPS61228647A JP S61228647 A JPS61228647 A JP S61228647A JP 60071509 A JP60071509 A JP 60071509A JP 7150985 A JP7150985 A JP 7150985A JP S61228647 A JPS61228647 A JP S61228647A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- rearranging
- wafers
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0618—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体装置の製造に際し、ウニ・−ロフト
中のクエへのウェハ番号を所定の順序に並べ換えるため
のウェハ並べ換え装置に関するものである。
中のクエへのウェハ番号を所定の順序に並べ換えるため
のウェハ並べ換え装置に関するものである。
１１１３図は従来から人手によりウェハ番号の順序を並
べ換える悪様を示す斜視因で、人間がウェハウェハ ５０番号５ａの順序を目２０で見て、第１のカセット１
から第２のカセット２ヘビンセツト２１を使用して手で
並べ換えていた。
べ換える悪様を示す斜視因で、人間がウェハウェハ ５０番号５ａの順序を目２０で見て、第１のカセット１
から第２のカセット２ヘビンセツト２１を使用して手で
並べ換えていた。
ところで、上記のウェハ５の並べ換えには入閣が介在す
るため半導体装置の製造工程中における搬送の工程を完
全に自動化することができず、また並べ換える時に、作
業者から発生するごみがウェーＳに付着しやすいという
問題点があった。
るため半導体装置の製造工程中における搬送の工程を完
全に自動化することができず、また並べ換える時に、作
業者から発生するごみがウェーＳに付着しやすいという
問題点があった。
この発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、クエへの並べ換えの自動化を完全に行うウェハ並べ
換え装置を提供することを目的とする。
で、クエへの並べ換えの自動化を完全に行うウェハ並べ
換え装置を提供することを目的とする。
この発明ｋかかるウニ６並べ換え装置は、ウェハが収納
される第１のカセットと、クエへがそのウェハ番号を所
定の順序に並ぺ換えて収納される＃！２０カセットと、
ウニへのウェハ番号を読取るカメラと、このカメラの被
写体となる位置に前記ウェハを位置させる７ライメント
手段と、第１のカセットに収納されているウェハな１枚
ずつ取出しウェハホルダで保持して１Ｉ２０カセツトへ
移動させる左右方向並べ換え手段と、クエへを前後方向
に移動して＃Ｉ２のカセットへカメラで読取ったウェハ
番号が所定の順序になるように並べ換えて収納する前後
方向並べ換え手段とからなるものである。
される第１のカセットと、クエへがそのウェハ番号を所
定の順序に並ぺ換えて収納される＃！２０カセットと、
ウニへのウェハ番号を読取るカメラと、このカメラの被
写体となる位置に前記ウェハを位置させる７ライメント
手段と、第１のカセットに収納されているウェハな１枚
ずつ取出しウェハホルダで保持して１Ｉ２０カセツトへ
移動させる左右方向並べ換え手段と、クエへを前後方向
に移動して＃Ｉ２のカセットへカメラで読取ったウェハ
番号が所定の順序になるように並べ換えて収納する前後
方向並べ換え手段とからなるものである。
この発明においては、＠１のカセツ）Ｋ収納されている
ウェハを１枚ずつ取出して、カメラによりウェハ番号を
貌取り、菖２のカセットへ左右方向並べ換え手段と前後
方向並べ換え手段により所定の順序で収納する。
ウェハを１枚ずつ取出して、カメラによりウェハ番号を
貌取り、菖２のカセットへ左右方向並べ換え手段と前後
方向並べ換え手段により所定の順序で収納する。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成略図、１ｉ４２
図は第１図のＡ−ＡＭＡＩＣよる断面略図である。
図は第１図のＡ−ＡＭＡＩＣよる断面略図である。
これらの図において、第３図と同一符号は同一部分を示
し、＠１のカセット１にはウェハ５が入っており、第２
のカセッ）２＆Ｃは並べ換え用のためのものであるため
まだウェハ５は入っていない。
し、＠１のカセット１にはウェハ５が入っており、第２
のカセッ）２＆Ｃは並べ換え用のためのものであるため
まだウェハ５は入っていない。
ｓａｇ ３ｂはウェハ押上片で、任意のウェハ５を１
枚押し上げた後に下降させるよ５ＫＩ１ｇ成されている
が、駆動機構等は省略しである。４は７ライメント装置
で、円筒状になっているローラ４ａを駆動ローラ４Ｃで
駆動されるベル）４ｂの駆動によって回転させ、ウェハ
５に接触させながらく点線で示す）、ローラ４ａの回転
力でウェハ５を回転させて各ウェハ５の周辺の一部を切
欠いた平坦部が下方になるよ５に７ライメントする。な
お、９２図ではクーラ４ａが＃ｌＩ図の点線の位置にあ
る伏線を示している。またこの７ライメント装置４は、
ウェハ押上片３ａとの動作の干渉を防ぐため、第１図の
よ５に、実線で示す待避点ａまで回動して待避するよう
Ｋなっている。６はウェハホルダで、第１図に矢印すで
示すように回動可能であり、７ライメントされたクエへ
５がウェハ押上片３ａによって押上げられた後に、この
ウニへ５をホールドする。１は前記ウェハ５を＃Ｉｘの
カセット１から＃１２のカセット２へ左右方向に移動さ
せる左右方向並べ換え装置、８は前記ウェハ５を前後方
向へ移動させる前後方向並べ換え装置で、ウェハホルダ
６、左右方向並べ換え装置１等を一体として移動させる
。９は前記ウェハ番号５ａの読取りを行うカメラで、こ
のカメラ９はアライメントが前後左右方向く少しずれ【
も充分読取れる機構を有している。１０はカセット押え
である。
枚押し上げた後に下降させるよ５ＫＩ１ｇ成されている
が、駆動機構等は省略しである。４は７ライメント装置
で、円筒状になっているローラ４ａを駆動ローラ４Ｃで
駆動されるベル）４ｂの駆動によって回転させ、ウェハ
５に接触させながらく点線で示す）、ローラ４ａの回転
力でウェハ５を回転させて各ウェハ５の周辺の一部を切
欠いた平坦部が下方になるよ５に７ライメントする。な
お、９２図ではクーラ４ａが＃ｌＩ図の点線の位置にあ
る伏線を示している。またこの７ライメント装置４は、
ウェハ押上片３ａとの動作の干渉を防ぐため、第１図の
よ５に、実線で示す待避点ａまで回動して待避するよう
Ｋなっている。６はウェハホルダで、第１図に矢印すで
示すように回動可能であり、７ライメントされたクエへ
５がウェハ押上片３ａによって押上げられた後に、この
ウニへ５をホールドする。１は前記ウェハ５を＃Ｉｘの
カセット１から＃１２のカセット２へ左右方向に移動さ
せる左右方向並べ換え装置、８は前記ウェハ５を前後方
向へ移動させる前後方向並べ換え装置で、ウェハホルダ
６、左右方向並べ換え装置１等を一体として移動させる
。９は前記ウェハ番号５ａの読取りを行うカメラで、こ
のカメラ９はアライメントが前後左右方向く少しずれ【
も充分読取れる機構を有している。１０はカセット押え
である。
なお、ウェハ押上片３ ｌｉｅ ３ ｂｅ ウェハホ
ルダ６、左右方向並べ換え装置１と前後方向並べ換え装
置８は一体化された構造となっている。
ルダ６、左右方向並べ換え装置１と前後方向並べ換え装
置８は一体化された構造となっている。
次に動作について説明する。
第１図、第２図に示すように第１のカセット１と第２の
カセット２を載置して、カセット押え１０で押える。次
に第１のカセット１に入ったクエへ５を７ライメント装
置４でウェハ番号５麿が上側にくるよ５に７ライメント
する・ ７ライメントが終った後、７ライメント装置４は待避点
ａへ待避させる。
カセット２を載置して、カセット押え１０で押える。次
に第１のカセット１に入ったクエへ５を７ライメント装
置４でウェハ番号５麿が上側にくるよ５に７ライメント
する・ ７ライメントが終った後、７ライメント装置４は待避点
ａへ待避させる。
任意のウェハ５の１枚をウェハ押上片３ｍで押上げて、
ウェハホルダ６でホールドする。
ウェハホルダ６でホールドする。
カメラ９でウェハ番号５ｍの貌取り可能な位置まで前後
方向並べ換え装置８によってウェハ５を移動させウェハ
番号５ａを読取る。絖取られたウェハ５は纂２のカセツ
）２に左右方向並べ換え装置１と前後方向並べ換え装置
８とＫよって、あらかじめ決められている並べ換えの位
置忙ウェハ５を移動させる。次にウェハ押上片３ｂを押
上げて、ウェハホルダ６よりウェハ５を受取り、ウニへ
押上片３ｂを下降させて、ウェハ５を＃！２のカセッ）
２に収納し１次のウニ・１５の並べ換え動作に移る。
方向並べ換え装置８によってウェハ５を移動させウェハ
番号５ａを読取る。絖取られたウェハ５は纂２のカセツ
）２に左右方向並べ換え装置１と前後方向並べ換え装置
８とＫよって、あらかじめ決められている並べ換えの位
置忙ウェハ５を移動させる。次にウェハ押上片３ｂを押
上げて、ウェハホルダ６よりウェハ５を受取り、ウニへ
押上片３ｂを下降させて、ウェハ５を＃！２のカセッ）
２に収納し１次のウニ・１５の並べ換え動作に移る。
この発明は以上説明したとおり、菖１のカセットに収納
されているウェハを１枚ずつ取出してカメラによってウ
ェハ番号を読取り、菖２の左セットヘ左右方向並べ換え
手段により移動させ、次いでウェハを前後方向並べ換え
手段により前後方向に移動して第２のカセットへ所定の
順序に並べ換えて収納するよ５に構成したので、９工へ
の並べ換えに人手を必要とせず、かつ手作業によるごみ
が発生しないので、搬送工種の自動化による省力化と製
品の歩留りの向上がはかれる利点を有する。
されているウェハを１枚ずつ取出してカメラによってウ
ェハ番号を読取り、菖２の左セットヘ左右方向並べ換え
手段により移動させ、次いでウェハを前後方向並べ換え
手段により前後方向に移動して第２のカセットへ所定の
順序に並べ換えて収納するよ５に構成したので、９工へ
の並べ換えに人手を必要とせず、かつ手作業によるごみ
が発生しないので、搬送工種の自動化による省力化と製
品の歩留りの向上がはかれる利点を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成略図、第２図は
第１図のＡ−ＡＩｊＫよる断面略図、第３図は従来から
人手によるクエへの番号の順序を並び換える膳様を示す
斜視図である。 図において、１はｔａｌのカセット、２は＃Ｉ２のカセ
ットｓ ３ ａ ｅ ３ ｂはウニへ押上片、４はア
ライメント装置、５はウェハ、５ａはクエへ番号、６は
ウェハホルダ、Ｔは左右方向並べ換え装置、８は前後方
向並べ換え装置、８はカメラ、１０はカセット押えであ
る。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 第１図 ８；前便方釦並く検え装置 第２図 １０ニア７ｔ！−ソトオ甲大。 第３図
第１図のＡ−ＡＩｊＫよる断面略図、第３図は従来から
人手によるクエへの番号の順序を並び換える膳様を示す
斜視図である。 図において、１はｔａｌのカセット、２は＃Ｉ２のカセ
ットｓ ３ ａ ｅ ３ ｂはウニへ押上片、４はア
ライメント装置、５はウェハ、５ａはクエへ番号、６は
ウェハホルダ、Ｔは左右方向並べ換え装置、８は前後方
向並べ換え装置、８はカメラ、１０はカセット押えであ
る。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 第１図 ８；前便方釦並く検え装置 第２図 １０ニア７ｔ！−ソトオ甲大。 第３図
Claims (1)
- ウェハが収納される第１のカセットと、前記ウエハが
そのウエハ番号を所定の順序に並べ換えて収納される第
２のカセットと、前記ウェハのウェハ番号を読取るカメ
ラと、このカメラの被写体となる位置に前記ウエハを位
置させるアライメント手段と、前記第１のカセツトに収
納されている前記ウェハを１枚ずつ取出しウェハホルダ
で保持して前記第２のカセツトへ移動させる左右方向並
べ換え手段と、前記ウェハを前後方向に移動して前記第
２のカセツトへ前記カメラで読取つたウェハ番号が所定
の順序になるように並べ換えて収納する前後方向並べ換
え手段とからなることを特徴とするウェハ並べ換え装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60071509A JPS61228647A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ウエハ並べ換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60071509A JPS61228647A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ウエハ並べ換え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61228647A true JPS61228647A (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=13462734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60071509A Pending JPS61228647A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ウエハ並べ換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61228647A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110650A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハのロツト形成装置 |
| US8888433B2 (en) | 2004-08-19 | 2014-11-18 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier and method of use |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP60071509A patent/JPS61228647A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110650A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハのロツト形成装置 |
| US8888433B2 (en) | 2004-08-19 | 2014-11-18 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier and method of use |
| US9881825B2 (en) | 2004-08-19 | 2018-01-30 | Brooks Automation, Inc. | Reduced capacity carrier and method of use |
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