JPS612316A - 収納カセツトの乾燥方法 - Google Patents
収納カセツトの乾燥方法Info
- Publication number
- JPS612316A JPS612316A JP12309684A JP12309684A JPS612316A JP S612316 A JPS612316 A JP S612316A JP 12309684 A JP12309684 A JP 12309684A JP 12309684 A JP12309684 A JP 12309684A JP S612316 A JPS612316 A JP S612316A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- cassette
- gas
- static electricity
- ionized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements for supplying or controlling air or other gases for drying solid materials or objects
- F26B21/003—Air or gas filters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体デバイスの製造工程における露光装置
に使用されるマスク、或いはレチクルを収納するカセッ
トの洗浄後における乾・罪方法に関するものである。
に使用されるマスク、或いはレチクルを収納するカセッ
トの洗浄後における乾・罪方法に関するものである。
マスク収納カセットを洗浄した後乾燥する方法としては
、従来はクリーンルーム内での放置による自然乾燥方法
が一般的であった。この方法においては、放置中に浮遊
塵埃が付着し、洗浄されたカセットを再汚染するという
欠点があった。
、従来はクリーンルーム内での放置による自然乾燥方法
が一般的であった。この方法においては、放置中に浮遊
塵埃が付着し、洗浄されたカセットを再汚染するという
欠点があった。
捷た、クリーンルーム内における空気との摩擦によシ多
量の静電気がマスク収納カセットに帯電し、乾燥剤の該
カセットにマスクを収納することにより該マスクに静電
気が作用し、該マスクの使用時にそのパターンに与える
影響が過大であった。
量の静電気がマスク収納カセットに帯電し、乾燥剤の該
カセットにマスクを収納することにより該マスクに静電
気が作用し、該マスクの使用時にそのパターンに与える
影響が過大であった。
さらに、自然乾燥のだめ乾燥に要する所要時間が長く、
乾燥効率を向上させるにはクリーンルームに広い乾燥ス
ペースを必要としていた。
乾燥効率を向上させるにはクリーンルームに広い乾燥ス
ペースを必要としていた。
上記の如く、洗浄した後の乾燥能率の向上及び塵埃、静
電気の除去の対策が急務であった。これらの問題の解決
する方策として、従来は、作業者の作業方法の徹底、及
び、乾燥場所の清浄度の向上などに終始していたが、こ
れらの方策には限度があシ、そのため、」二記の問題を
皆無の状態に保つことが困難であった。
電気の除去の対策が急務であった。これらの問題の解決
する方策として、従来は、作業者の作業方法の徹底、及
び、乾燥場所の清浄度の向上などに終始していたが、こ
れらの方策には限度があシ、そのため、」二記の問題を
皆無の状態に保つことが困難であった。
本発明は収納カセットへの静電気の帯電を防止しつつそ
の乾燥を機械的に迅速に処理する収納カ七ソトの乾燥方
法を提供するものである。
の乾燥を機械的に迅速に処理する収納カ七ソトの乾燥方
法を提供するものである。
本発明は収納カセットにガスを吹き付けて乾燥させる洗
浄装置において、乾燥槽内の収納カセットに、静電除去
装置を通してイオン化された窒素、乾燥空気等のガスを
噴射することにより、前記カセットの静電気帯電を阻止
しつつ乾燥を行なうことを特徴とする収納カセットの乾
燥方法である。
浄装置において、乾燥槽内の収納カセットに、静電除去
装置を通してイオン化された窒素、乾燥空気等のガスを
噴射することにより、前記カセットの静電気帯電を阻止
しつつ乾燥を行なうことを特徴とする収納カセットの乾
燥方法である。
以下に、本発明の一実施例を図によシ説明する。
第１図は本発明に係る乾燥装置の一例を示すもので、乾
燥槽３内に、ノズル４を設置し、該ノズル４の配管Ｐの
途中にガスをイオン化する静電除去装置５を介装したも
のである。前工程において洗浄液で洗浄されかつその洗
浄液を洗い落されたマスク収納カセット１をカセット収
納ボックス２に収容し、この収納ボックス２を乾燥槽３
内に搬入される。図中、６はフィルタである。また、乾
燥槽３の下部には傾斜板７が取付けられており、該傾斜
板７はドレイン口８に接続されている。乾燥用ガスを、
供給口９よりフィルター６に通しコ゛ミを除去し、さら
に静電除去装置５に通してガスをイオン化する。このイ
オン化されたガスをノズル４より乾燥槽８内のカセット
１に向けて吹き付け、該イオン化されたガスで静電気除
去を行ないつつカセット１を乾燥させる。乾燥中に落下
する洗浄用液は傾斜板７に受は止められ集められてドレ
ン口８よシ排液される。乾燥後、図示し々い搬送装置に
より収納ボックス及びカセットが乾燥槽より搬出され、
次のカセットの乾燥に備える。
燥槽３内に、ノズル４を設置し、該ノズル４の配管Ｐの
途中にガスをイオン化する静電除去装置５を介装したも
のである。前工程において洗浄液で洗浄されかつその洗
浄液を洗い落されたマスク収納カセット１をカセット収
納ボックス２に収容し、この収納ボックス２を乾燥槽３
内に搬入される。図中、６はフィルタである。また、乾
燥槽３の下部には傾斜板７が取付けられており、該傾斜
板７はドレイン口８に接続されている。乾燥用ガスを、
供給口９よりフィルター６に通しコ゛ミを除去し、さら
に静電除去装置５に通してガスをイオン化する。このイ
オン化されたガスをノズル４より乾燥槽８内のカセット
１に向けて吹き付け、該イオン化されたガスで静電気除
去を行ないつつカセット１を乾燥させる。乾燥中に落下
する洗浄用液は傾斜板７に受は止められ集められてドレ
ン口８よシ排液される。乾燥後、図示し々い搬送装置に
より収納ボックス及びカセットが乾燥槽より搬出され、
次のカセットの乾燥に備える。
本発明は以上説明したようにイオン化した乾燥用ガスを
吹き付けて収納カセットを強制的に乾燥するため、収納
カセットに塵埃及び静電気の帯電が付着するのを阻止し
て短時間かつ能率的に乾燥を行なうことができ、マスク
を収納しても静電気が作用せず、そのパターンに影響を
与えることがない。また、強制乾燥方式であるから、乾
燥効率を向上させることができ、クリーンル−ムの容積
を広くする必要がなく、設備費を低減できる効果を有す
るものである。
吹き付けて収納カセットを強制的に乾燥するため、収納
カセットに塵埃及び静電気の帯電が付着するのを阻止し
て短時間かつ能率的に乾燥を行なうことができ、マスク
を収納しても静電気が作用せず、そのパターンに影響を
与えることがない。また、強制乾燥方式であるから、乾
燥効率を向上させることができ、クリーンル−ムの容積
を広くする必要がなく、設備費を低減できる効果を有す
るものである。
尚、本発明は、マスク収納カセットのみならずレチクル
収納カセットの乾燥にも適用されることは自明のことで
ある。
収納カセットの乾燥にも適用されることは自明のことで
ある。
第１図は本発明に係る乾燥装置を示す構成図である。
２ ・収納カセット、３−乾燥槽、４ 噴射ノズル、５
静電除去装置。
静電除去装置。
Claims (1)
- （１）収納カセットにガスを吹き付けて乾燥させる洗浄
装置において、乾燥槽内の収納カセットに、静電除去装
置を通してイオン化された窒素、乾燥空気等のガスを噴
射することにより、前記カセットの静電気帯電を阻止し
つつ乾燥を行なうことを特徴とする収納カセットの乾燥
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12309684A JPS612316A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 収納カセツトの乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12309684A JPS612316A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 収納カセツトの乾燥方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS612316A true JPS612316A (ja) | 1986-01-08 |
Family
ID=14852100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12309684A Pending JPS612316A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 収納カセツトの乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS612316A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001007852A1 (en) * | 1999-04-21 | 2001-02-01 | Junair Spraybooths Limited | Paint drying system |
| KR100470271B1 (ko) * | 1996-07-24 | 2005-05-27 | 삼성전자주식회사 | 정전기제전장치 |
| CN112503913A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-03-16 | 合肥三伍机械有限公司 | 一种粮食烘干结构 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461868A (en) * | 1977-10-13 | 1979-05-18 | Fsi Corp | Ic substrate and wafer cleaning and drying device |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP12309684A patent/JPS612316A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461868A (en) * | 1977-10-13 | 1979-05-18 | Fsi Corp | Ic substrate and wafer cleaning and drying device |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100470271B1 (ko) * | 1996-07-24 | 2005-05-27 | 삼성전자주식회사 | 정전기제전장치 |
| WO2001007852A1 (en) * | 1999-04-21 | 2001-02-01 | Junair Spraybooths Limited | Paint drying system |
| US6684528B1 (en) | 1999-04-21 | 2004-02-03 | Neil Morrison | Paint drying system |
| US6968633B2 (en) | 1999-04-21 | 2005-11-29 | Junair Group Limited | Paint drying system |
| CN112503913A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-03-16 | 合肥三伍机械有限公司 | 一种粮食烘干结构 |
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