JPH06104376A - フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置 - Google Patents
フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置Info
- Publication number
- JPH06104376A JPH06104376A JP4274961A JP27496192A JPH06104376A JP H06104376 A JPH06104376 A JP H06104376A JP 4274961 A JP4274961 A JP 4274961A JP 27496192 A JP27496192 A JP 27496192A JP H06104376 A JPH06104376 A JP H06104376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- roll
- water
- draining
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フロン代替で洗浄しすすぎ、洗浄材についた
水を局部的な取り残しなく除去でき、引き続く乾燥が被
洗浄材にしみや、部分的な変色等を生じることなくで
き、また設備の小型化を図ることを目的とする。 【構成】 フロン代替で洗浄しすすぎ、水切りロールで
水切りし乾燥する装置において、貫通孔を設けた中空ロ
ール軸に多孔質からなるロール胴部を水切りロールより
大径にて設けるとともに、中空ロール軸に吸引装置を接
続してなる水分吸収除去ロールを、乾燥装置の前に配設
したフロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置である。 【効果】 水切りロールより大径な水分吸収除去ロール
は被洗浄材についた水分を少しも残すことなく除去し、
引き続く乾燥で乾燥遅れ部がなくて一斉に乾燥してし
み、変色、洗浄残滓等を生じない。また短時間で乾燥す
るから装置を小型化でき、設備費および乾燥に要するエ
ネルギーが低減する等の効果がある。
水を局部的な取り残しなく除去でき、引き続く乾燥が被
洗浄材にしみや、部分的な変色等を生じることなくで
き、また設備の小型化を図ることを目的とする。 【構成】 フロン代替で洗浄しすすぎ、水切りロールで
水切りし乾燥する装置において、貫通孔を設けた中空ロ
ール軸に多孔質からなるロール胴部を水切りロールより
大径にて設けるとともに、中空ロール軸に吸引装置を接
続してなる水分吸収除去ロールを、乾燥装置の前に配設
したフロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置である。 【効果】 水切りロールより大径な水分吸収除去ロール
は被洗浄材についた水分を少しも残すことなく除去し、
引き続く乾燥で乾燥遅れ部がなくて一斉に乾燥してし
み、変色、洗浄残滓等を生じない。また短時間で乾燥す
るから装置を小型化でき、設備費および乾燥に要するエ
ネルギーが低減する等の効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフロン代替で洗浄して水
すすぎし、水切りし乾燥する装置に関する。
すすぎし、水切りし乾燥する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置関係のリードフレーム、マス
ク基板、プリント基板等は付着物や汚れがなくクリーン
であらねばならない。例えばリードフレームは金属薄板
からプレスで打抜きあるいはエッチングで所定形状に形
成され、その後、所定箇所にテーピングやメッキ等が施
される。
ク基板、プリント基板等は付着物や汚れがなくクリーン
であらねばならない。例えばリードフレームは金属薄板
からプレスで打抜きあるいはエッチングで所定形状に形
成され、その後、所定箇所にテーピングやメッキ等が施
される。
【０００３】リードフレームは成形加工の際に油分、金
属粉等微粉、指紋、その他の汚れが付着する。かかる付
着物があると前述のテーピング、メッキや各種ボンディ
ング等の作業が難しくまたは不能にするから、製造工程
には洗浄過程が設けられている。
属粉等微粉、指紋、その他の汚れが付着する。かかる付
着物があると前述のテーピング、メッキや各種ボンディ
ング等の作業が難しくまたは不能にするから、製造工程
には洗浄過程が設けられている。
【０００４】従来の精密洗浄には、洗浄力が強くさらに
その後の乾燥性も優れたフロンが使用されるのが殆どで
あった。しかし、これはオゾン層を破壊する環境問題か
ら、最近はフロンを用いない洗浄、例えば超音波洗浄、
電解洗浄、高純水洗浄等が研究されている。
その後の乾燥性も優れたフロンが使用されるのが殆どで
あった。しかし、これはオゾン層を破壊する環境問題か
ら、最近はフロンを用いない洗浄、例えば超音波洗浄、
電解洗浄、高純水洗浄等が研究されている。
【０００５】これらのフロン代替洗浄で油分、微粉、指
紋等の付着や汚れがフロン洗浄並みに除去されるように
なっているが、代替洗浄の他の重要な課題は汚れを除き
水すすぎ後の水分乾燥にある。
紋等の付着や汚れがフロン洗浄並みに除去されるように
なっているが、代替洗浄の他の重要な課題は汚れを除き
水すすぎ後の水分乾燥にある。
【０００６】水分は乾燥に時間を要し、また乾燥過程で
しみ、部分的な変色、微細なゴミ残滓を生じることがあ
る。これらの問題の対策として水温を高くし、被洗浄材
を高温水から引き上げることで乾燥時間の短縮を図ると
ともに、乾燥時に新たなゴミ付着を防ぐことが検討され
ている。
しみ、部分的な変色、微細なゴミ残滓を生じることがあ
る。これらの問題の対策として水温を高くし、被洗浄材
を高温水から引き上げることで乾燥時間の短縮を図ると
ともに、乾燥時に新たなゴミ付着を防ぐことが検討され
ている。
【０００７】
【この発明が解決しようとする課題】前記高温水からの
引き上げ方式乾燥では相応の作用効果があるが、操業時
の消費エネルギーが大となり、また生産性が上がらず装
置も大型化し、さらに、しみや変色を生じる問題があ
る。
引き上げ方式乾燥では相応の作用効果があるが、操業時
の消費エネルギーが大となり、また生産性が上がらず装
置も大型化し、さらに、しみや変色を生じる問題があ
る。
【０００８】本発明はこのような問題がなく、フロン代
替で洗浄しすすぎ被洗浄材についた水の除去・乾燥が、
設備を大掛かりにせずにでき、また消費エネルギーも少
なくでき、さらに被洗浄材にしみ、色むらを生じること
なくできるを目的とする。
替で洗浄しすすぎ被洗浄材についた水の除去・乾燥が、
設備を大掛かりにせずにでき、また消費エネルギーも少
なくでき、さらに被洗浄材にしみ、色むらを生じること
なくできるを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、フロン
代替で洗浄しすすぎ、水切りロールで水切りし乾燥する
装置において、貫通孔を設けた中空ロール軸に多孔質か
らなるロール胴部を水切りロールより大径にて設けると
ともに、中空ロール軸に吸引装置を接続してなる水分吸
収除去ロールを、乾燥装置の前に配設したことを特徴と
するフロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置にある。
代替で洗浄しすすぎ、水切りロールで水切りし乾燥する
装置において、貫通孔を設けた中空ロール軸に多孔質か
らなるロール胴部を水切りロールより大径にて設けると
ともに、中空ロール軸に吸引装置を接続してなる水分吸
収除去ロールを、乾燥装置の前に配設したことを特徴と
するフロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置にある。
【００１０】
【作用】本発明の被洗浄材からすすぎ水分を除去する装
置は、貫通孔を設けた中空ロール軸に多孔質材からなる
ロール胴部を水切りロールより大径として設け被洗浄材
との接触を面的に広くするとともに、吸引装置を設けて
いるので、被洗浄材についている水分はもれなく吸収除
去され、その除去は迅速になされる。しかして引き続い
て行う乾燥は洗浄材の面内で遅れる箇所がなく進行し、
しみ、変色等を生じぜず短時間でなされる。
置は、貫通孔を設けた中空ロール軸に多孔質材からなる
ロール胴部を水切りロールより大径として設け被洗浄材
との接触を面的に広くするとともに、吸引装置を設けて
いるので、被洗浄材についている水分はもれなく吸収除
去され、その除去は迅速になされる。しかして引き続い
て行う乾燥は洗浄材の面内で遅れる箇所がなく進行し、
しみ、変色等を生じぜず短時間でなされる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明について一実施例に基づき図面
を参照し詳細に説明する。
を参照し詳細に説明する。
【００１２】はじめに、図２を参照して洗浄から乾燥の
装置概要について述べる。図面において、１はフロン代
替洗浄装置で例えば、シャワー洗浄装置、電解洗浄装
置、超音波洗浄装置であり、２はすすぎ装置で、被洗浄
材３に例えばノズル４から水を噴射してすすぐものであ
る。なお、洗浄後の水は排出口５からタンク（図示しな
い）に送られる。
装置概要について述べる。図面において、１はフロン代
替洗浄装置で例えば、シャワー洗浄装置、電解洗浄装
置、超音波洗浄装置であり、２はすすぎ装置で、被洗浄
材３に例えばノズル４から水を噴射してすすぐものであ
る。なお、洗浄後の水は排出口５からタンク（図示しな
い）に送られる。
【００１３】６は水切りロールで、すすぎ装置２に引き
続いて設けられていて、被洗浄材３からすすぎ水を除去
するように挟圧する。該水切りロール６により大半の水
が除去されるが、被洗浄材３を高速通板した場合や、被
洗浄材３が異厚材や加工成形に場所的に疎密箇所がある
場合等には水分が局部的に残存している。
続いて設けられていて、被洗浄材３からすすぎ水を除去
するように挟圧する。該水切りロール６により大半の水
が除去されるが、被洗浄材３を高速通板した場合や、被
洗浄材３が異厚材や加工成形に場所的に疎密箇所がある
場合等には水分が局部的に残存している。
【００１４】７は水分吸収除去ロールで、前記水切りロ
ール６の後方に配置されていて、該水分吸収除去ロール
７の胴部８は多孔質材例えばスポンジ、合成繊維等で構
成され気体や液体が通過可能で且つ、前記水切りロール
６より大径として被洗浄材３と面的接触ができるように
している。９は中空ロール軸で貫通孔１０が多数設けら
れ、前記ロール胴部８が装着されていてこれらの内部に
多孔質に基づく通気路ができている。
ール６の後方に配置されていて、該水分吸収除去ロール
７の胴部８は多孔質材例えばスポンジ、合成繊維等で構
成され気体や液体が通過可能で且つ、前記水切りロール
６より大径として被洗浄材３と面的接触ができるように
している。９は中空ロール軸で貫通孔１０が多数設けら
れ、前記ロール胴部８が装着されていてこれらの内部に
多孔質に基づく通気路ができている。
【００１５】１１は吸引装置で例えば真空装置、ポンプ
等であり、前記中空ロール軸９と接続していて、これを
作動させるとロール胴部８が被洗浄材３についている水
分を吸収し取り除くようにしている。
等であり、前記中空ロール軸９と接続していて、これを
作動させるとロール胴部８が被洗浄材３についている水
分を吸収し取り除くようにしている。
【００１６】１２はカバーで、前記多孔質材からなるロ
ール胴部８、中空ロール軸９および吸引装置１１を設け
てなる水分吸収除去ロール７を覆い、前記水切りロール
６と区切っている。
ール胴部８、中空ロール軸９および吸引装置１１を設け
てなる水分吸収除去ロール７を覆い、前記水切りロール
６と区切っている。
【００１７】１３は乾燥装置例えば熱風または遠赤外線
等で被洗浄材３を乾燥させるもので、前記水分吸収除去
ロール７の後方に設けられている。
等で被洗浄材３を乾燥させるもので、前記水分吸収除去
ロール７の後方に設けられている。
【００１８】構成は以上のようになされていて、次に作
用について述べる。
用について述べる。
【００１９】被洗浄材３例えばプレスでリードパターン
を打抜きされた後のリードフレームは油分や金属微粉等
の汚れが付着していて、次いでテーピングやメッキ等を
行う前にそれらを洗浄し除去しなければならず、該被洗
浄材３がフロン代替洗浄装置１にて前記汚れが除かれ
る。
を打抜きされた後のリードフレームは油分や金属微粉等
の汚れが付着していて、次いでテーピングやメッキ等を
行う前にそれらを洗浄し除去しなければならず、該被洗
浄材３がフロン代替洗浄装置１にて前記汚れが除かれ
る。
【００２０】続いて被洗浄材３はすすぎ装置２で例えば
純水ですすがれる。次いで行う乾燥が被洗浄材３の位置
により局部的に遅れがあると、その部分はしみ、色む
ら、洗浄残滓付着の原因となるが、本発明の水分吸収除
去ロール７は水切りロール６より大径で被洗浄材３が面
的に接触し、また当該水分吸収除去ロール７は水分吸収
能と除去排出能を有しているので、被洗浄材３について
いる水分を残すことなく、且つ素早く吸収し除去する。
純水ですすがれる。次いで行う乾燥が被洗浄材３の位置
により局部的に遅れがあると、その部分はしみ、色む
ら、洗浄残滓付着の原因となるが、本発明の水分吸収除
去ロール７は水切りロール６より大径で被洗浄材３が面
的に接触し、また当該水分吸収除去ロール７は水分吸収
能と除去排出能を有しているので、被洗浄材３について
いる水分を残すことなく、且つ素早く吸収し除去する。
【００２１】続く乾燥装置１３では、通板されてくる被
洗浄材３に水分の取り残しがないので全幅にわたって同
時に且つ短時間で乾燥され、しみ、色むらや洗浄残滓が
つかずクリーンな表面となる。
洗浄材３に水分の取り残しがないので全幅にわたって同
時に且つ短時間で乾燥され、しみ、色むらや洗浄残滓が
つかずクリーンな表面となる。
【００２２】
【発明の効果】本発明はフロン代替で洗浄しすすぎ、水
切りロールより大径で水分吸収除去ロールで被洗浄材に
ついた水分が少しも残ることなく除去され、その後の乾
燥で乾燥遅れ部がなく、一斉に乾燥してしみ、変色や洗
浄残滓を生じない。
切りロールより大径で水分吸収除去ロールで被洗浄材に
ついた水分が少しも残ることなく除去され、その後の乾
燥で乾燥遅れ部がなく、一斉に乾燥してしみ、変色や洗
浄残滓を生じない。
【００２３】また短時間で乾燥されるから水分除去装
置、乾燥装置を小型化でき、設備費を低減でき、乾燥に
要するエネルギーも少なくなる等の効果がある。
置、乾燥装置を小型化でき、設備費を低減でき、乾燥に
要するエネルギーも少なくなる等の効果がある。
【００２４】
【図１】本発明の一実施例における水分吸収除去ロール
を示す図。
を示す図。
【図２】本発明の一実施例における洗浄・乾燥装置列を
示す図。
示す図。
１ フロン代替洗浄装置 ２ すすぎ装置 ３ 被洗浄材 ４ ノズル ５ 排出口 ６ 水切りロール ７ 水分吸収除去ロール ８ ロール胴部 ９ 中空ロール軸 １０ 貫通孔 １１ 吸引装置 １２ カバー １３ 乾燥装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/26 7511−4Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】 フロン代替で洗浄しすすぎ、水切りロー
ルで水切りし乾燥する装置において、貫通孔を設けた中
空ロール軸に多孔質からなるロール胴部を水切りロール
より大径にて設けるとともに、中空ロール軸に吸引装置
を接続してなる水分吸収除去ロールを、乾燥装置の前に
配設したことを特徴とするフロン代替洗浄におけるすす
ぎ水乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4274961A JPH06104376A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4274961A JPH06104376A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104376A true JPH06104376A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17548987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4274961A Pending JPH06104376A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104376A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110028458A (ko) * | 2008-05-30 | 2011-03-18 | 피코 비. 브이. | 분리된 전자부품 건조용 장치 및 방법 |
| JP2020113670A (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 洗浄ユニット |
| JP2020113669A (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 乾燥機構 |
-
1992
- 1992-09-17 JP JP4274961A patent/JPH06104376A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110028458A (ko) * | 2008-05-30 | 2011-03-18 | 피코 비. 브이. | 분리된 전자부품 건조용 장치 및 방법 |
| US9558970B2 (en) | 2008-05-30 | 2017-01-31 | Besi Netherlands B.V. | Device and method for drying separated electronic components |
| JP2020113670A (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 洗浄ユニット |
| JP2020113669A (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-27 | 株式会社ディスコ | 乾燥機構 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100323502B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 및 이것에 사용되는 세정장치 | |
| JPS6325661B2 (ja) | ||
| JPH06104376A (ja) | フロン代替洗浄におけるすすぎ水乾燥装置 | |
| JPH10189526A (ja) | レチクルの洗浄方法及びその装置 | |
| JPS59215729A (ja) | 半導体もしくは磁気記録媒体等の基板の洗浄装置 | |
| JPH0686964A (ja) | フロン代替洗浄における乾燥装置 | |
| JPH0725596Y2 (ja) | ワーク表面に付着している水の水切り装置 | |
| JPH08229524A (ja) | 液晶用カセット洗浄装置 | |
| JPH06198256A (ja) | スクリーン版の洗浄乾燥装置 | |
| JPH034587A (ja) | プリント基板の洗滌方法および装置 | |
| JPH07297161A (ja) | 洗浄方法 | |
| JPS6055611A (ja) | 真空室内クリ−ニング装置 | |
| JPH02194883A (ja) | 被洗浄物乾燥方法およびその装置 | |
| JP2777570B2 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH06132265A (ja) | 組替自在フロン代替洗浄装置 | |
| JPH0631254A (ja) | 真空洗浄方法 | |
| JPH0917764A (ja) | 薬液処理装置 | |
| JP3439243B2 (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
| JPH1059747A (ja) | ガラス板の洗滌乾燥方法及びその装置 | |
| JPS63307741A (ja) | 基板面の異物除去装置 | |
| JP2552731Y2 (ja) | 基板現像処理装置 | |
| JPS63221625A (ja) | 半導体ウエハの洗浄方法 | |
| JPH0593587U (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH02310989A (ja) | プリント基板の洗浄方法およびその装置 | |
| JPH06333895A (ja) | ブラシスクラブ洗浄工程におけるブラシの洗浄方法 |