JPS6123255U - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS6123255U JPS6123255U JP10785384U JP10785384U JPS6123255U JP S6123255 U JPS6123255 U JP S6123255U JP 10785384 U JP10785384 U JP 10785384U JP 10785384 U JP10785384 U JP 10785384U JP S6123255 U JPS6123255 U JP S6123255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- visual field
- field
- electromagnetic
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は第１図に
示したー実施例装置の各出力信号を例示するための図で
ある。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：電子線、４：偏向コ
イル、５：対物レンズ、６：試料、７：試料ステージ、
８Ｘ，８Ｙ：モータ、９：モータ駆動回路、１０：偏向
コイル電源、１１：制御部、１２：操作卓、１３：中間
レンズ、１４：投影レンズ、１５：螢光板。
示したー実施例装置の各出力信号を例示するための図で
ある。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：電子線、４：偏向コ
イル、５：対物レンズ、６：試料、７：試料ステージ、
８Ｘ，８Ｙ：モータ、９：モータ駆動回路、１０：偏向
コイル電源、１１：制御部、１２：操作卓、１３：中間
レンズ、１４：投影レンズ、１５：螢光板。
Claims (1)
- 電磁偏向により視野を移動させるための電磁的視野移動
手段と、試料ステージの移動により視野を移動させるた
めの機械的視野移動手段とを備え、電子線の照射により
試料像を得る装置において、視野の移動を指示するため
の手段と、該指示手段により視野の移動が指示された際
に前記電磁的視野移動手段を動作させるための手段と、
該視野移ｉの指示から一定時間経過後引き続き視野の移
動が指示されている場合に、該電磁的視野移動手段によ
る視野移動に代えて前記機械的視野移動手段により視野
を移動させるための手段とを具備することを特徴とする
電字線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10785384U JPS6123255U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10785384U JPS6123255U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123255U true JPS6123255U (ja) | 1986-02-12 |
| JPH0243092Y2 JPH0243092Y2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=30667078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10785384U Granted JPS6123255U (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123255U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152151A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP10785384U patent/JPS6123255U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02152151A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0243092Y2 (ja) | 1990-11-16 |
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