JPH0243092Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電磁的な視野移動手段と試料ステー
ジの移動により視野を移動させるための手段を備
えた電子線装置の改良に関する。

［従来の技術］ 電子顕微鏡等の電子線装置において、観察視野
を移動させるには試料を載置したステージを移動
させるか、或るいは電子線を電磁的に偏向して行
うかのいずれかであり、電子線を電磁的に偏向し
て視野移動を行なう方が機械的な駆動を必要とし
ないため短時間で行うことができる。従つて、試
料上の観察したい位置を見つけ出すため視野移動
を何回も行わなければならない場合に前記電磁的
な偏向による視野移動は有利になる。しかし乍
ら、電磁的偏向による視野移動に伴つて得られた
像は電子光学系の光軸を外れた電子線の照射に基
づいて得られた像であるため像質が劣る。そのた
め、電子顕微鏡等においては、試料ステージを機
械的に移動させて視野移動を行うことが一般に行
われている。

ところで従来装置においては、試料ステージに
よる視野移動の操作は、鏡筒内の観察室に設けら
れた螢光板を鏡筒外部より覗き込むようにして観
察しながら試料ステージを移動させる場合が多
い。そのため、この試料ステージを移動させるた
めの操作は、例えば操作卓に設けられた操作ボタ
ンを手さぐりで操作している。

［考案が解決しようとする問題点］ このような従来装置において、誤つて視野移動
方向とは違つた操作ボタンを押してしまつた場合
には、試料ステージが希望した視野移動の方向と
は違つた方向に直ちに移動してしまう。このよう
な場合、その後すぐに操作ボタンより手を離して
も、試料ステージの持つ慣性で直ぐには停止せ
ず、希望する方向でない視野に移動してしまい、
観察しようとする視野を一時的に見失しなつてし
まうこともある。本考案は、以上のような欠点を
解消して、誤操作によつて視野を見失う事態を防
止することができる電子線装置を提供することを
目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本考案の構成は、電磁偏向により視野を移動さ
せるための電磁的視野移動手段と、試料ステージ
の移動により視野を移動させるための機械的視野
移動手段とを備え、電子線の照射により試料像を
得る装置において、視野の移動を指示するための
手段と、該指示手段により視野の移動が指示され
た際に前記電磁的視野移動手段を動作させるため
の手段と、該視野移動の指示から一定時間経過後
引き続き視野の移動が指示されている場合に、該
電磁的視野移動手段による視野移動に代えて前記
機械的視野移動手段により視野を移動させるため
の手段とを具備することを特徴としている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第１図は本考案の一実施例装置の構成図あり、
図中１は電子銃、２は電子銃１よりの電子線３を
集束するための集束レンズ、４は電子線３をＸ方
向及びＹ方向に偏向するための偏向コイル、５は
対物レンズ、７は試料６を載置する試料ステージ
である。この試料ステージ７はパルスモータ８Ｘ
及び８ＹによつてＸ方向及びＹ方向に移動できる
ようになつている。９はモータ駆動回路で、１０
は偏向コイル電源であり、夫々制御部１１に接続
されて制御信号が供給される。１２は制御部１１
に接続された操作卓で、該操作卓には例えば制御
部１１を介してＸ軸方向に試料ステージを移動さ
せるための操作ボタン１２ａ，１２ｂ及びＹ軸方
向に試料ステージを移動させるための操作ボタン
１２ｃ，１２ｄが設けられている。ここで、試料
６を透過した電子線は中間レンズ１３、投影レン
ズ１４により螢光板１５に透過像として表示され
る。

以上の様に構成された装置において、例えば＋
Ｘ軸方向に視野移動を行う場合は、螢光板１５を
鏡筒外部より覗き込むようにして観察しながら操
作ボタン１２ａを押す。ところで、これらの操作
ボタン１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及び１２ｄは押さ
れている状態（ON状態）の時、第２図イに示す
ようなハイレベルの信号Ｈを出力し、押されてい
ない状態（OFF状態）ではローレベルＬの信号
を出力するようになつている。そのため、例えば
＋Ｘ軸方向に視野移動を行う場合は、操作ボタン
１２ａが押されると、操作卓１２から第２図ロに
示すスタート信号Ｓが制御部１１に入力される。
操作卓１２よりのスタート信号Ｓが制御部１１に
入力されると、制御部１１は偏向コイル電源１０
を制御して偏向コイル４に第２図ハに示す電磁偏
向信号を時間Δtだけ供給する。この電磁偏向信
号により、螢光板１５に投影される透過像の視野
は、＋Ｘ軸方向に時間Δtだけ移動する。この＋Ｘ
軸方向に移動する透過像の視野は、鏡筒外部より
観察することができる。この時間Δtより僅かに
長い時間ΔTが経過すると、制御部１１は第２図
ニに示すモータ制御信号をモータ駆動回路９に供
給してパルスモータ８Ｘを回転せしめ、試料ステ
ージ７を＋Ｘ軸方向に移動させる。つまり、操作
ボタン１２ａが押されると、先ず電磁偏向により
視野が＋Ｘ軸方向に時間Δtだけ移動する。そし
て、この時間Δt経過後、電磁偏向による視野移
動は０にされ、Δtより僅かに長い時間ΔTの経過
後に試料ステージが＋Ｘ軸方向に移動して視野が
移動することとなる。ここで、時間ΔTは任意に
設定できるが約１〜２秒程度が観察し易く、又電
磁偏向による視野移動の距離は倍率によつて適当
な値が設定される。

ところで前述の例で、操作ボタンを操作すると
きに、誤つて例えば−Ｘ軸方向へ移動させるため
の操作ボタン１２ｂが押されたとすると、電磁偏
向により−Ｘ軸方向に視野が移動する。そのた
め、螢光板１５を観察している操作者は、ボタン
の操作に誤りがあつたことに気付き、操作ボタン
１２ｂを第２図イの時刻t₁の時点で離したとす
る。その結果、操作ボタン１２ｂの出力信号はロ
ーレベルＬに変化し、この信号により操作卓１２
は終了信号Ｅを制御部１１に出力する。制御部１
１は、ΔTの時間内に終了信号Ｅが出力されたこ
とを判断して、試料ステージの駆動を取り止め
る。従つて、電磁偏向による視野移動が終わる
と、視野はボタン１２ｂを押す前のものに戻る。
従つて、誤操作による試料移動方向の修正も減少
するため、視野移動の操作を容易にすることがで
きる。

尚、上述した実施例では、偏向コイルによる視
野移動をΔt時間かけて移動するようにしたが、
Δtの時間内に複数回移動させるようにしてもよ
い。

又、本実施例では本考案を電子顕微鏡に適用し
た例について説明したが、本考案は走査電子顕微
鏡にも適用することができる。

［効果］ 以上詳細に説明したよう本考案によれば、試料
ステージにより視野移動する場合に、操作ボタン
の誤操作による視野移動が防止されるため、観察
しようとする視野を見失うこともなく、視野移動
のための操作を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
第１図に示した一実施例装置の各出力信号を例示
するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：電子線、
４：偏向コイル、５：対物レンズ、６：試料、
７：試料ステージ、８Ｘ，８Ｙ：モータ、９：モ
ータ駆動回路、１０：偏向コイル電源、１１：制
御部、１２：操作卓、１３：中間レンズ、１４：
投影レンズ、１５：螢光板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電磁偏向により視野を移動させるための電磁的
   視野移動手段と、試料ステージの移動により視野
   を移動させるための機械的視野移動手段とを備
   え、電子線の照射により試料像を得る装置におい
   て、視野の移動を指示するための手段と、該指示
   手段により視野の移動が指示された際に前記電磁
   的視野移動手段を動作させるための手段と、該視
   野移動の指示から一定時間経過後引き続き視野の
   移動が指示されている場合に、該電磁的視野移動
   手段による視野移動に代えて前記機械的視野移動
   手段により視野を移動させるための手段とを具備
   することを特徴とする電子線装置。