JPS61237006A - 直線カ−ソル表示方式 - Google Patents
直線カ−ソル表示方式Info
- Publication number
- JPS61237006A JPS61237006A JP60078351A JP7835185A JPS61237006A JP S61237006 A JPS61237006 A JP S61237006A JP 60078351 A JP60078351 A JP 60078351A JP 7835185 A JP7835185 A JP 7835185A JP S61237006 A JPS61237006 A JP S61237006A
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- JP
- Japan
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- image
- cursor
- straight line
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- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G5/00—Control arrangements or circuits for visual indicators common to cathode-ray tube indicators and other visual indicators
- G09G5/08—Cursor circuits
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/048—Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
- G06F3/0481—Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] based on specific properties of the displayed interaction object or a metaphor-based environment, e.g. interaction with desktop elements like windows or icons, or assisted by a cursor's changing behaviour or appearance
- G06F3/04812—Interaction techniques based on cursor appearance or behaviour, e.g. being affected by the presence of displayed objects
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/60—Analysis of geometric attributes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ディジタルカーソルの表示方式に係わり、特
に、高精度な直線位置計測用カーソルの表示方式に関す
る。
に、高精度な直線位置計測用カーソルの表示方式に関す
る。
近年のＬＳＩ技術の進歩に伴い、ディジタル画像中での
各種パターンの認識０位置検出が行われている。特に、
走査型電子顕微鏡を用いて、オンラインでディジタル画
像のとシこみが行われ、半導体表面の線幅測定などが行
われている。
各種パターンの認識０位置検出が行われている。特に、
走査型電子顕微鏡を用いて、オンラインでディジタル画
像のとシこみが行われ、半導体表面の線幅測定などが行
われている。
現在では、その測定方法として、マニュアル測長が行わ
れており、その際直線などのパターンは画面に対して水
平または垂直にし、画面に対して線カーソル忙よシ位置
を測定している。
れており、その際直線などのパターンは画面に対して水
平または垂直にし、画面に対して線カーソル忙よシ位置
を測定している。
このとき、ディジタルカーソルであるので、水平又は垂
直方向の直線カーソルの測定精度は、最小一画素という
ことになシ、一画素よシ微細なパターン計測はできない
、という欠点がある。
直方向の直線カーソルの測定精度は、最小一画素という
ことになシ、一画素よシ微細なパターン計測はできない
、という欠点がある。
本発明の目的は、走査型電子顕微鏡でとりこまれたディ
ジタル画像中の直線部位置を、−画素以下の精度で認識
が可能なディジタル画像上の直線カーソル表示方式を提
供することｌＣある。
ジタル画像中の直線部位置を、−画素以下の精度で認識
が可能なディジタル画像上の直線カーソル表示方式を提
供することｌＣある。
本発明は、上記目的を達成するため、直線カーソル表示
パターンは、直線がある程度傾きをもった方が、一画素
以下のカーノルの動きも表現が可能であることを利用し
て、ディジタル画素によシ直線カーソルを表現した点に
特徴がある。以下、簡単な例で説明する。
パターンは、直線がある程度傾きをもった方が、一画素
以下のカーノルの動きも表現が可能であることを利用し
て、ディジタル画素によシ直線カーソルを表現した点に
特徴がある。以下、簡単な例で説明する。
第１図（ａ）において、ディジタル画像の４×４正方矩
形！域Ｉｔ通る理想直線２を想定する。線の太さはない
ものとする。同図（ｂ）Ｋ示すように、それぞれの画素
の正方形の内部忙少しでも直線が入ればその画素をレベ
ル１（斜線で表わす）とし、そうでなければレベル０（
何も書いていない画素１とする。境界線上に線があると
きは、必ずどちらかに属するものとする。このようｋし
て理想直線に最も近いディジタル直線を表現することが
できる。
形！域Ｉｔ通る理想直線２を想定する。線の太さはない
ものとする。同図（ｂ）Ｋ示すように、それぞれの画素
の正方形の内部忙少しでも直線が入ればその画素をレベ
ル１（斜線で表わす）とし、そうでなければレベル０（
何も書いていない画素１とする。境界線上に線があると
きは、必ずどちらかに属するものとする。このようｋし
て理想直線に最も近いディジタル直線を表現することが
できる。
このとき直＃２の画面に対する角度θｔｌ／Ｉｉ１図（
Ｃ）のように表わす。ｔａＩｌθ＝０、つまシθ＝０の
場合の例を第２図（ａ＞、 （ｂ）、 （Ｃ）Ｋ示す、
（ａ）と（ｂ）Ｋ対応するディジタル直線は（ｄ）に
、（Ｃ）に対応するディジタル直線は（ｅ）になる。こ
のようにして、−〇＝００場合は４Ｘ４の画素配列では
、第３図（ａ）の４通シの表現しかない。これより、４
Ｘ４のディジタル画像で表現された領域を通る一〇＝０
の直線は、−画素幅の任意性をもつことになる。この−
画素幅を、実効分解間隔という言葉で定義する。第３図
（ｂ）は−〇＝１１つまシθ＝４５６の直線のディジタ
ル表現である。この各画像は第４図（ｂ）の各台形及び
三角形の領域に直線があることに対応す、る。
Ｃ）のように表わす。ｔａＩｌθ＝０、つまシθ＝０の
場合の例を第２図（ａ＞、 （ｂ）、 （Ｃ）Ｋ示す、
（ａ）と（ｂ）Ｋ対応するディジタル直線は（ｄ）に
、（Ｃ）に対応するディジタル直線は（ｅ）になる。こ
のようにして、−〇＝００場合は４Ｘ４の画素配列では
、第３図（ａ）の４通シの表現しかない。これより、４
Ｘ４のディジタル画像で表現された領域を通る一〇＝０
の直線は、−画素幅の任意性をもつことになる。この−
画素幅を、実効分解間隔という言葉で定義する。第３図
（ｂ）は−〇＝１１つまシθ＝４５６の直線のディジタ
ル表現である。この各画像は第４図（ｂ）の各台形及び
三角形の領域に直線があることに対応す、る。
この実効分解間隔はＶ丁／２画素である。他のθについ
て同様の操作を行った結果が第４図（Ｃ）〜山）である
。直線位置を表現する際望ましいのは、線の間隔が狭く
、かつ一様であることである。（６）のように、線の間
隔が一様でないものは、実効分解間隔として広いものを
とらざるを得ない。このようＫして決定した、４×４矩
形領域で有効に判別できる線間隔の尺度として定義する
実効分解間隔と種々の一〇値との関係が第５図に示しで
ある。
て同様の操作を行った結果が第４図（Ｃ）〜山）である
。直線位置を表現する際望ましいのは、線の間隔が狭く
、かつ一様であることである。（６）のように、線の間
隔が一様でないものは、実効分解間隔として広いものを
とらざるを得ない。このようＫして決定した、４×４矩
形領域で有効に判別できる線間隔の尺度として定義する
実効分解間隔と種々の一〇値との関係が第５図に示しで
ある。
以上の結果は、矩形領域の大きさが変わると異なる。例
えば、ｎＸｎの大きさでは、−〇＝ｑ／ｐ（ｐ、 ｑは
互いに素な非負の整数）とすると、ｐ＝ｎ、ｆｌ＋１で
、ｑ／ｐの近くに、分母の小さい有理数のないようなｔ
ｍａＯ付近を候補として比較選択すると、最も高精度を
与える角度を求めることができ、理論的には、画素間隔
のｌ／ｎ程度の高分解能を得ることができる。
えば、ｎＸｎの大きさでは、−〇＝ｑ／ｐ（ｐ、 ｑは
互いに素な非負の整数）とすると、ｐ＝ｎ、ｆｌ＋１で
、ｑ／ｐの近くに、分母の小さい有理数のないようなｔ
ｍａＯ付近を候補として比較選択すると、最も高精度を
与える角度を求めることができ、理論的には、画素間隔
のｌ／ｎ程度の高分解能を得ることができる。
以上のように、測定用ディジタルカーソルの長さにより
、測定に最適な角度を見出し意識的にその角度だけ傾け
て測定することＫよブー画素以下の精度で測定すること
ができる。
、測定に最適な角度を見出し意識的にその角度だけ傾け
て測定することＫよブー画素以下の精度で測定すること
ができる。
以下本発明の実施例を第６図、第７図、第８図により説
明する。
明する。
本実施例は、走査屋電子顕微鏡による半導体の表面画像
を用い、半導体の直線部エツジの幅測定を行うものであ
る。
を用い、半導体の直線部エツジの幅測定を行うものであ
る。
第６図は本発明を適用する画像処理装置のシステス構成
図である。
図である。
画像記憶装置６１に、測定用画像を入れておき、コンピ
ュータ６２の制御にもとづき、キーボード６３からの指
示により任意画像を表示端末６４に表示しトラックポー
ル６５によシ、表示端末６４上に表示されたカーソルを
制御し測定を行う。
ュータ６２の制御にもとづき、キーボード６３からの指
示により任意画像を表示端末６４に表示しトラックポー
ル６５によシ、表示端末６４上に表示されたカーソルを
制御し測定を行う。
本発明にもとづき、エツジ位置を測定する処理手順の概
要を第７図のフローチャートを用いて説明する。
要を第７図のフローチャートを用いて説明する。
第７図におけるステップ７１では、任意測定画像を表示
端末６４１Ｃ表示する。ステップ７２では、測定画像を
任意角度に傾けるため画像の回転を行う。ステップ７３
では、トラックポール６５によシ、画像中の測定部位を
おおざっばに指定する。
端末６４１Ｃ表示する。ステップ７２では、測定画像を
任意角度に傾けるため画像の回転を行う。ステップ７３
では、トラックポール６５によシ、画像中の測定部位を
おおざっばに指定する。
ろテップ７４・では、エツジ幅測定のために、第８図の
ように表示画像８１上に、本発明のディジタルカーソル
８２を２本表示し、トラックポール°６５によシカ−ツ
ルの位置、傾きの調節ｔＬ、表示画像８１中の測定部８
３にカーソル８２をあて線幅を測定する。
ように表示画像８１上に、本発明のディジタルカーソル
８２を２本表示し、トラックポール°６５によシカ−ツ
ルの位置、傾きの調節ｔＬ、表示画像８１中の測定部８
３にカーソル８２をあて線幅を測定する。
このとき、コンピュータ６２の内部で任意長さの理想直
線式を想定し、トラックボールの動きより直線の位置、
傾きを計算する。トラックボールの水平方向への動きは
直線のＸ方向の位置を決めるものであシ、垂直方向への
動きは、直線の傾きを決めるものである。この理想直線
式よシ、カーソルとして光らせるディジタル画素を判定
し、カーソルパターンを作り出す。
線式を想定し、トラックボールの動きより直線の位置、
傾きを計算する。トラックボールの水平方向への動きは
直線のＸ方向の位置を決めるものであシ、垂直方向への
動きは、直線の傾きを決めるものである。この理想直線
式よシ、カーソルとして光らせるディジタル画素を判定
し、カーソルパターンを作り出す。
ステップ７５では、測定位置を出力する。
以上、本実施例では、測定者が画像を見ながらカーソル
形状を自由に変化させ、測定エツジ形状に最も近いカー
ソルによシ、エツジ位置を測定できるという効果がある
。
形状を自由に変化させ、測定エツジ形状に最も近いカー
ソルによシ、エツジ位置を測定できるという効果がある
。
本発明によれば、ディジタル画像中での直線位置を一画
素以下の高精度で測定を行うことができる効果がある。
素以下の高精度で測定を行うことができる効果がある。
第１図、第２図、第３図はディジタル表現した直線を示
す図、第４図は直線の傾きによる、ディジタル画素で表
現可能な直線を表わす図、第５図は直線の傾きによる実
効分解間隔をグラフにした図、第６図は本発明を適用す
る処理装置のブロック構成図、第７図は本発明のディジ
タル直線カーソル表示方式の処理手順を示すフローチャ
ート、第８図は表示端末に表示された画像とカーソルを
示す図である。 第 １ 図 （（Ｌ） ＜ｂ） （り 第２ 口 第 ３ 口 （Ａ）
（ｂン第 ５ 口
す図、第４図は直線の傾きによる、ディジタル画素で表
現可能な直線を表わす図、第５図は直線の傾きによる実
効分解間隔をグラフにした図、第６図は本発明を適用す
る処理装置のブロック構成図、第７図は本発明のディジ
タル直線カーソル表示方式の処理手順を示すフローチャ
ート、第８図は表示端末に表示された画像とカーソルを
示す図である。 第 １ 図 （（Ｌ） ＜ｂ） （り 第２ 口 第 ３ 口 （Ａ）
（ｂン第 ５ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ディジタル画像を表示し、画像中の直線部分位置認
識をディジタルカーソルにより計測を行う装置において
、上記カーソルを移動させ、カーソルをディジタルで表
現するカーソルパターンを変化させることを特徴とする
直線カーソル表示方式。 ２、上記カーソルパターンは、理想的な直線に最も近い
ディジタルパターンを選択することにより変化させるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の直線カーソ
ル表示方式。 ３、上記カーソルパターンは、測定精度上最適な角度に
傾けることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の直
線カーソル表示方式。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60078351A JPS61237006A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 直線カ−ソル表示方式 |
| US06/852,312 US4817178A (en) | 1985-04-15 | 1986-04-15 | Linear cursor representation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60078351A JPS61237006A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 直線カ−ソル表示方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61237006A true JPS61237006A (ja) | 1986-10-22 |
Family
ID=13659565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60078351A Pending JPS61237006A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 直線カ−ソル表示方式 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4817178A (ja) |
| JP (1) | JPS61237006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107325A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Olympus Corp | 画像表示プログラム、画像表示装置、画像表示方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6429166A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Sharp Kk | Picture rotating device |
| US5359677A (en) * | 1990-12-11 | 1994-10-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image reader and facsimile machine using such image reader |
| US7796798B2 (en) * | 2006-05-17 | 2010-09-14 | International Business Machines Corporation | Frequency domain based MICR reader |
| JP6999318B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2022-01-18 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 撮像装置及び水平方向検出方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4115803A (en) * | 1975-05-23 | 1978-09-19 | Bausch & Lomb Incorporated | Image analysis measurement apparatus and methods |
| JPS54120522A (en) * | 1978-03-10 | 1979-09-19 | Pacific Kogyo Kk | Code converter |
| IT1107869B (it) * | 1978-09-20 | 1985-12-02 | Olivetti & Co Spa | Dispositivo e metodo di visualizzazione di immagini per un calcolatore programmabili |
| US4295135A (en) * | 1978-12-18 | 1981-10-13 | Josef Sukonick | Alignable electronic background grid generation system |
| US4317114A (en) * | 1980-05-12 | 1982-02-23 | Cromemco Inc. | Composite display device for combining image data and method |
| US4415889A (en) * | 1980-12-18 | 1983-11-15 | Rca Corporation | Raster-scanned CRT display system with improved positional resolution for digitally encoded graphics |
| US4481509A (en) * | 1980-12-18 | 1984-11-06 | Rca Corporation | Raster-scanned display system for digitally-encoded graphics |
| GB2119197B (en) * | 1982-03-19 | 1986-02-05 | Quantel Ltd | Video processing system for picture rotation |
| DE3330476A1 (de) * | 1983-08-24 | 1985-03-07 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Anordnung zur steuerung einer bewegung |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP60078351A patent/JPS61237006A/ja active Pending
-
1986
- 1986-04-15 US US06/852,312 patent/US4817178A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107325A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Olympus Corp | 画像表示プログラム、画像表示装置、画像表示方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4817178A (en) | 1989-03-28 |
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