JPS61237487A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61237487A JPS61237487A JP7850285A JP7850285A JPS61237487A JP S61237487 A JPS61237487 A JP S61237487A JP 7850285 A JP7850285 A JP 7850285A JP 7850285 A JP7850285 A JP 7850285A JP S61237487 A JPS61237487 A JP S61237487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- angle
- laser beam
- laser beams
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば加工・計測など忙用いられるレーザ
装置、特にそのレーザビームの光軸の安定化に関するも
のである。
装置、特にそのレーザビームの光軸の安定化に関するも
のである。
第２図は従来のレーザ装置を示す断面図である。
図において、（１）は発振器筺体、（２）はレーザ媒質
を放電励起させる電極、（３）、 （４）は放電励起部
をはさんで発振器筺体に取り付けられた全反射鏡および
部分反射ｍ％（５）は部分反射鏡（４）から取り出され
たレーザビームである。
を放電励起させる電極、（３）、 （４）は放電励起部
をはさんで発振器筺体に取り付けられた全反射鏡および
部分反射ｍ％（５）は部分反射鏡（４）から取り出され
たレーザビームである。
上記のように構成された従来のレーザ装置においては、
′ｆｊＬ他（２） １１４に電圧を印加することによっ
て、電＠ （２）にはさまれた空間のレーザ媒質は放電
励起されて反転分、市する。この反転外傾したレーザ媒
質から誘導放出された光（レーザビーム）は全反射鏡（
３）と部分反射鏡（４）によって反射ｔ−繰り返しなが
ら増幅され、部分反射鏡（４）から取り出される。
′ｆｊＬ他（２） １１４に電圧を印加することによっ
て、電＠ （２）にはさまれた空間のレーザ媒質は放電
励起されて反転分、市する。この反転外傾したレーザ媒
質から誘導放出された光（レーザビーム）は全反射鏡（
３）と部分反射鏡（４）によって反射ｔ−繰り返しなが
ら増幅され、部分反射鏡（４）から取り出される。
この取り出されたレーザビーム（５）の光軸は、全反射
１ｉｉ１（３）の曲率中心と部分反射−（４）の曲率中
心とを結ぶ縁上に位置する。即ち、レーザビームの元軸
（５）は、発Ｏｉｉ器筺体（１）に取り付けられた全反
射鏡（３）および部分反射鏡（４）の設定角度に依存す
る。レーザ出力として取り出されるエネルギーは、レー
ザ媒質に投入された放電エネルギーの１０ｍ程度（ｔだ
しＣＯ２レーザの場合）で、残りの放電エネルギーは熱
エネルギーに変換され、レーザ媒質の温度が上昇する。
１ｉｉ１（３）の曲率中心と部分反射−（４）の曲率中
心とを結ぶ縁上に位置する。即ち、レーザビームの元軸
（５）は、発Ｏｉｉ器筺体（１）に取り付けられた全反
射鏡（３）および部分反射鏡（４）の設定角度に依存す
る。レーザ出力として取り出されるエネルギーは、レー
ザ媒質に投入された放電エネルギーの１０ｍ程度（ｔだ
しＣＯ２レーザの場合）で、残りの放電エネルギーは熱
エネルギーに変換され、レーザ媒質の温度が上昇する。
発振器筺体（１）の温度分布はレーザ媒質の温度分布に
依存するので、放電入力の変化によって発振器筺体の温
度分布が変化して熱変形する。この結果、全反射鏡（３
）および部分反射鏡（４）の設定角度が変化し、この変
化の影響によってレーザビーム（５）の光軸が変化する
。また、この光軸の変化はレーザ発振開始後レーザ発振
器が熱平衡状態に達するまでが特に著しい。
依存するので、放電入力の変化によって発振器筺体の温
度分布が変化して熱変形する。この結果、全反射鏡（３
）および部分反射鏡（４）の設定角度が変化し、この変
化の影響によってレーザビーム（５）の光軸が変化する
。また、この光軸の変化はレーザ発振開始後レーザ発振
器が熱平衡状態に達するまでが特に著しい。
従来のレーザ装置は以上のように構成されているので、
レーザ発振開始後レーザ装置が熱平衡状態に達するまで
レーザビームの光軸がずれるという問題があった。また
、放電入力即ち発振出力によって、レーザビームの光軸
が変化するという問題があった。
レーザ発振開始後レーザ装置が熱平衡状態に達するまで
レーザビームの光軸がずれるという問題があった。また
、放電入力即ち発振出力によって、レーザビームの光軸
が変化するという問題があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、レーザビームの光軸が変化しないレーザ装
置を得ることを目的とする。
れたもので、レーザビームの光軸が変化しないレーザ装
置を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ装置は、発振ｉＳ筺体の近傍、且
つレーザビーム路上にレーザビームの角度金補正する機
構ｃ以下、ビーム角度補正機構と訂う）ｔ−配置し、こ
のビーム角度補正機構から反射したレーザビーム路上に
配置した部分反射鏡によって分割されたレーザビームの
角度を計測するビーム角度検出器を備え、このビーム角
匠検出器からの信号を処理し、ビーム角度補正機構を制
御する信号処理・モータ駆動回路を備えたものである。
つレーザビーム路上にレーザビームの角度金補正する機
構ｃ以下、ビーム角度補正機構と訂う）ｔ−配置し、こ
のビーム角度補正機構から反射したレーザビーム路上に
配置した部分反射鏡によって分割されたレーザビームの
角度を計測するビーム角度検出器を備え、このビーム角
匠検出器からの信号を処理し、ビーム角度補正機構を制
御する信号処理・モータ駆動回路を備えたものである。
部分反射鏡から取り出されたレーザビームの光 ・軸
が変動しても、ビーム角度検出器によって光軸Ｏ変動量
を計測し、信号処理・モータ駆動回路によってビーム角
度補正機構を制御してレーザビームの光軸を所定の角度
に補正する。
が変動しても、ビーム角度検出器によって光軸Ｏ変動量
を計測し、信号処理・モータ駆動回路によってビーム角
度補正機構を制御してレーザビームの光軸を所定の角度
に補正する。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図でおり、（１
）〜（４）繻従来例會示した第２図の同符号のものと同
一部分である。（１１１）は発振器置体（１）の近傍の
レーザビーム路上に配設されたビーム角度補正機構であ
り、角度制御用モータ（１１ｍ）とこれの駆動を受けて
回転する平面ｆｉ（１１ｂ）とで構成されている。ｏ２
はこの平面鏡（１１ｂ）で反射したレーザビーム路上に
配設された部分反射鏡、（至）はこの部分反射鏡（６）
によって分子ｉｌされたレーザビーム路上に配設された
ビーム角度検出器であり、（１３ｍ）は凸レンズ、ｒ１
３ｂ）はこの凸レンズ（１６＆）の焦面に配設された位
置検出器、α４はビーム角度補正側１論とビーム角度検
出器（至）とに［成約に接続している信号処理φモータ
駆動回路である。
）〜（４）繻従来例會示した第２図の同符号のものと同
一部分である。（１１１）は発振器置体（１）の近傍の
レーザビーム路上に配設されたビーム角度補正機構であ
り、角度制御用モータ（１１ｍ）とこれの駆動を受けて
回転する平面ｆｉ（１１ｂ）とで構成されている。ｏ２
はこの平面鏡（１１ｂ）で反射したレーザビーム路上に
配設された部分反射鏡、（至）はこの部分反射鏡（６）
によって分子ｉｌされたレーザビーム路上に配設された
ビーム角度検出器であり、（１３ｍ）は凸レンズ、ｒ１
３ｂ）はこの凸レンズ（１６＆）の焦面に配設された位
置検出器、α４はビーム角度補正側１論とビーム角度検
出器（至）とに［成約に接続している信号処理φモータ
駆動回路である。
上記のように構成されたレーザ装置において、凸レンズ
ｒ１５ｍ）、立置検出器ｒ１５ｂ）からなるビーム角度
検出器ａＪにより、部分反射鏡（２）で分割されたレー
ザビーム（５ｃ）の伝搬角［’に検出している。
ｒ１５ｍ）、立置検出器ｒ１５ｂ）からなるビーム角度
検出器ａＪにより、部分反射鏡（２）で分割されたレー
ザビーム（５ｃ）の伝搬角［’に検出している。
発振器置体（１）が熱変形し、この発掘器１体に堰り付
けられた全反射鏡（３）および部分反射鏡（４）の設定
角度が変化してレーザビーム（５ａ）の光軸が角にΔθ
だけ変動したとき、凸レンズ（１６ｍ）の焦面に配置さ
れた位置検出器ｒ１３ｂ）に果光されながら入射するレ
ーザビーム（５ｃ）の位置がΔθＬだけ変位する。
けられた全反射鏡（３）および部分反射鏡（４）の設定
角度が変化してレーザビーム（５ａ）の光軸が角にΔθ
だけ変動したとき、凸レンズ（１６ｍ）の焦面に配置さ
れた位置検出器ｒ１３ｂ）に果光されながら入射するレ
ーザビーム（５ｃ）の位置がΔθＬだけ変位する。
ただし、Ｌは凸レンズ（１３ａ）と位置検出器（１３ｂ
）この距離である。このレーザビーム（５ｃ）の位置ｅ
ｄ！変位すると、信号処理・モータ駆動回路α→はこの
変位に対応したビームＩ’ｉ度検出器（至）からの電気
信号を入力し、ビーム角度補正機構ａηの角・度ＩＩＩ
御用モータ（１１ａ）を駆動させて平面鏡（１１ｂ）を
−Δθ／２Ｌ回転させ、全反射鏡（３）及び部分反射鏡
（４）の設定角度の変化によるレーザビーム（５＆）の
元軸の変動を補正するようになっている。
）この距離である。このレーザビーム（５ｃ）の位置ｅ
ｄ！変位すると、信号処理・モータ駆動回路α→はこの
変位に対応したビームＩ’ｉ度検出器（至）からの電気
信号を入力し、ビーム角度補正機構ａηの角・度ＩＩＩ
御用モータ（１１ａ）を駆動させて平面鏡（１１ｂ）を
−Δθ／２Ｌ回転させ、全反射鏡（３）及び部分反射鏡
（４）の設定角度の変化によるレーザビーム（５＆）の
元軸の変動を補正するようになっている。
なお、上記実施例ではビーム角度検出器αｊに位置検出
器（１６ｂ） ｔ−設けた場合を示したが、ビーム角度
検出器に４象限憤出器を設けてもよい。また、上記実施
例では全反射鏡（３）と部分反射鏡（４）からなる安定
型共ｇｉ′ａを用いたレーザ発最器の場合について説明
したが、不安定型共振６を用いたレーザ発振器であって
もよく、上記実施例と同様の効果１＃する。
器（１６ｂ） ｔ−設けた場合を示したが、ビーム角度
検出器に４象限憤出器を設けてもよい。また、上記実施
例では全反射鏡（３）と部分反射鏡（４）からなる安定
型共ｇｉ′ａを用いたレーザ発最器の場合について説明
したが、不安定型共振６を用いたレーザ発振器であって
もよく、上記実施例と同様の効果１＃する。
この発明は以上説明したとおり、レーザビーム路上にビ
ーム角度補正機構とビーム角度検出器とを配設し、発振
器筺体の温度変化によって生じたレーザビーム光軸の変
動を検出してこれを補正するように構成したので、安定
したレーザ装置が得られる効果がある。
ーム角度補正機構とビーム角度検出器とを配設し、発振
器筺体の温度変化によって生じたレーザビーム光軸の変
動を検出してこれを補正するように構成したので、安定
したレーザ装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ装置を示す断
面図、第２図は従来のレーザ装置を示す断面図である。 （１）は発振′６筺体、（３）は全反射鏡、（４）に部
分反射鏡、（５）はレーザビーム、Ｑυはビーム角度補
正機構、（２）Ｆ１部分反射鏡、（２）はビーム角度検
出器、（１４は信号処理・モータ駆動回路。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図
面図、第２図は従来のレーザ装置を示す断面図である。 （１）は発振′６筺体、（３）は全反射鏡、（４）に部
分反射鏡、（５）はレーザビーム、Ｑυはビーム角度補
正機構、（２）Ｆ１部分反射鏡、（２）はビーム角度検
出器、（１４は信号処理・モータ駆動回路。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図
Claims (1)
- 発振器筺体と電極と共振器などから成るレーザ発振器と
、このレーザ発振器の近傍でレーザビーム路上に配設し
たレーザビームの角度を補正する機構と、このレーザビ
ームの角度を補正する機構から反射したレーザビーム路
上に配設したレーザビームを分割する光学系と、この光
学系によつて分割されたレーザビーム路上に配設したビ
ーム角度検出器と、このビーム角度検出器の電気信号に
よつて上記のレーザビームの角度を補正する機構を制御
する信号処理・モータ駆動回路とを備えたことを特徴と
するレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7850285A JPS61237487A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7850285A JPS61237487A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61237487A true JPS61237487A (ja) | 1986-10-22 |
| JPH0467798B2 JPH0467798B2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=13663730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7850285A Granted JPS61237487A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61237487A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244717A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-08 | Nippon Stainless Steel Co Ltd | Free cutting austenite stainless steel of excellent surface properties and corrosion resistance |
| JPS52127776U (ja) * | 1976-03-25 | 1977-09-28 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP7850285A patent/JPS61237487A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244717A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-08 | Nippon Stainless Steel Co Ltd | Free cutting austenite stainless steel of excellent surface properties and corrosion resistance |
| JPS52127776U (ja) * | 1976-03-25 | 1977-09-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0467798B2 (ja) | 1992-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5245829B2 (ja) | レーザプロジェクタ | |
| JPH03154019A (ja) | 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器 | |
| US4035081A (en) | Laser gyroscope | |
| JPH10221073A (ja) | 位置検出測量機 | |
| US3579140A (en) | Laser | |
| US8294130B2 (en) | Methods and systems for optimizing the alignment of optical packages | |
| US11137595B2 (en) | Light deflection device, image projector, laser head lamp, and mobile object | |
| US5121405A (en) | Alignment control system for lasers | |
| US10491866B2 (en) | Actuator controlling device, drive system, video device, image projection device, and actuator controlling method | |
| JP4067167B2 (ja) | レーザ共振器のビーム軸ずれ検出装置およびビーム軸位置制御装置 | |
| US5059028A (en) | Ring laser gyroscope having means for maintaining the beam intensity | |
| JPS628585A (ja) | レ−ザ光源装置 | |
| JPH0467798B2 (ja) | ||
| JP2000305120A (ja) | 共振器及び共振器を有する顕微鏡 | |
| JPS63207487A (ja) | レ−ザ−装置 | |
| JPS60117694A (ja) | 光周波数安定化装置 | |
| JPH0563033B2 (ja) | ||
| JPS60176284A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0239582A (ja) | 狭帯域化レーザ装置 | |
| JPH05102559A (ja) | 狭帯域レ−ザ装置 | |
| JPS6265489A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0521884A (ja) | ガス・レーザ管装置 | |
| JPS6152598B2 (ja) | ||
| JPH04245685A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| KR100186906B1 (ko) | 고체 비평면 레이저 자이로스코프 |