JPS61237U - 電子ビ−ム露光装置 - Google Patents
電子ビ−ム露光装置Info
- Publication number
- JPS61237U JPS61237U JP8400784U JP8400784U JPS61237U JP S61237 U JPS61237 U JP S61237U JP 8400784 U JP8400784 U JP 8400784U JP 8400784 U JP8400784 U JP 8400784U JP S61237 U JPS61237 U JP S61237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electron beam
- fixing plate
- beam exposure
- substrate fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る基板ホルダの構成を示すものでＡ
は平面図、ＢはＸＹ線における断面図、Ｃは部分拡大断
面図、第２図は従来の基板ホルダの構成図でＡは平面図
、ＢはＸＹ線における断面図、Ｃは部分拡大断面図であ
る。 図において、１は基板固定板、２はホルダフレーム、３
は板バネ、４は被処理半導体基板、５は押さえ板、６，
８は平行バネ、７は針、９は穴。
は平面図、ＢはＸＹ線における断面図、Ｃは部分拡大断
面図、第２図は従来の基板ホルダの構成図でＡは平面図
、ＢはＸＹ線における断面図、Ｃは部分拡大断面図であ
る。 図において、１は基板固定板、２はホルダフレーム、３
は板バネ、４は被処理半導体基板、５は押さえ板、６，
８は平行バネ、７は針、９は穴。
Claims (1)
- 電子ビームが照射される被処理基板を載置する基板固定
板と、該基板固定板を保持するホルダーフレームとを具
備し、該ホルダーフレームの複数個所に設けた押さえ板
に下方より板バネを用いて該基板固定板を圧接して固定
する構造をとる該基板固定板の下面に被処理基板のチャ
ーどアンプ防止用の針を備えた平行バネを設け、該基板
固定板に設けた穴を通して処理基板を針により加圧し、
固定するようにしたことを特徴とする電子ビーム露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400784U JPS61237U (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 電子ビ−ム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8400784U JPS61237U (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 電子ビ−ム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61237U true JPS61237U (ja) | 1986-01-06 |
Family
ID=30633146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8400784U Pending JPS61237U (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 電子ビ−ム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61237U (ja) |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP8400784U patent/JPS61237U/ja active Pending
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