JPS61240511A - 異方導電性接着剤シ−トの製造方法 - Google Patents
異方導電性接着剤シ−トの製造方法Info
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- JPS61240511A JPS61240511A JP60082876A JP8287685A JPS61240511A JP S61240511 A JPS61240511 A JP S61240511A JP 60082876 A JP60082876 A JP 60082876A JP 8287685 A JP8287685 A JP 8287685A JP S61240511 A JPS61240511 A JP S61240511A
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- Japan
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- adhesive sheet
- striped
- sheet
- metal plating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は近年、電卓、電子時計、あるいは液晶デバイス
等に効果的に使用されている異方導電性接着剤シートの
製造方法に関するものである。
等に効果的に使用されている異方導電性接着剤シートの
製造方法に関するものである。
従来の技術
従来、異方導電性コネクターとしては、こね、までに例
えば未架硫の液状ゴム弾性体中に鉄、ニッケル、コバル
ｔｉるいはそね、らの合金、さらには金、銀等の貴金属
をメッキした金属微粒子ないしは細線等、いわゆる磁性
粉磁性細線を適宜配合してシート化し、こね、に磁界を
作用亘せながら架硫して異方導電性エラストマーを得る
方法（例えば、特開昭５２−１２６７９４号公報、特開
昭５３−１２５０７２号公報）が知らね、ているが、こ
ね、らは磁界の作用という煩雑な工程を必要とし、生産
性が悪く高価に斤り、また、得らｔｌ−ｆｃもの自体に
接着機能がないという問題があった。
えば未架硫の液状ゴム弾性体中に鉄、ニッケル、コバル
ｔｉるいはそね、らの合金、さらには金、銀等の貴金属
をメッキした金属微粒子ないしは細線等、いわゆる磁性
粉磁性細線を適宜配合してシート化し、こね、に磁界を
作用亘せながら架硫して異方導電性エラストマーを得る
方法（例えば、特開昭５２−１２６７９４号公報、特開
昭５３−１２５０７２号公報）が知らね、ているが、こ
ね、らは磁界の作用という煩雑な工程を必要とし、生産
性が悪く高価に斤り、また、得らｔｌ−ｆｃもの自体に
接着機能がないという問題があった。
また、生産性の良い方法として枠体に銅箔を貼り合せ、
枠体以外の部分をフォ） ＩＪソ法によって縞状ハター
ンに化学エツチングしたのち未架硫ゴム中に埋め込んだ
ものの複数枚を縞状パターンの配向方法を一致するよう
に積層して架硫後、縞状パターンの配向方向と直交する
而でスライスして異方導電性エラストマーを得る方法（
例えば特開昭５８−１８８０７６号公報）がある。
枠体以外の部分をフォ） ＩＪソ法によって縞状ハター
ンに化学エツチングしたのち未架硫ゴム中に埋め込んだ
ものの複数枚を縞状パターンの配向方法を一致するよう
に積層して架硫後、縞状パターンの配向方向と直交する
而でスライスして異方導電性エラストマーを得る方法（
例えば特開昭５８−１８８０７６号公報）がある。
３へ一／
発明が解決しようとする問題点
このような従来の異方導電性エラストマーには接着機能
はすく、銅箔の化学エツチングによる縞状パターンの幅
とピンチは、周知の通りサイドエツチング現像により不
安定でるり、微細なパターンを精度よく得ることは非常
に困難であり、従って結果的に微細ピッチの導電路を有
する異方導電性シートは得がたい。
はすく、銅箔の化学エツチングによる縞状パターンの幅
とピンチは、周知の通りサイドエツチング現像により不
安定でるり、微細なパターンを精度よく得ることは非常
に困難であり、従って結果的に微細ピッチの導電路を有
する異方導電性シートは得がたい。
本発明は上記の問題点を解決出来、生産性も高く自己接
着性および微細ピッチの導電路を備えた異方導電性接着
剤−シートを得る方法を提供することにある。
着性および微細ピッチの導電路を備えた異方導電性接着
剤−シートを得る方法を提供することにある。
問題点を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するために、電気メッキが可
能なキャリアシートに縞状に導電性の優れた金属をメッ
キする工程、メッキσれた前記キャリアシートから接着
剤シートに縞状の金属メッキを転写する工程、得られた
転写シートの複数枚を縞状金属メッキの配向方向が一致
するように積層接着してブロック体を得る工程、σらに
得られたブロック体の縞状の配向方向と直交する面で積
層方向にスライスする工程とを有することを特徴とする
異方導電性接着剤シートの製造方法である。
能なキャリアシートに縞状に導電性の優れた金属をメッ
キする工程、メッキσれた前記キャリアシートから接着
剤シートに縞状の金属メッキを転写する工程、得られた
転写シートの複数枚を縞状金属メッキの配向方向が一致
するように積層接着してブロック体を得る工程、σらに
得られたブロック体の縞状の配向方向と直交する面で積
層方向にスライスする工程とを有することを特徴とする
異方導電性接着剤シートの製造方法である。
作用
本発明の上記した方法によれば、電気メッキが可能なキ
ャリアシート」二に縞状に金属メッキを形成するので、
金属導体幅、ピッチ共に、化学エツチングでは得られな
い微細な縞状パターンが得られ、これを接着剤シートに
転写して、前記ブロック体となしスライスするので、結
果的に、微細ピッチで、しかも接着機能を備えた異方導
電性接着剤シートを生産性よく得ることができる。
ャリアシート」二に縞状に金属メッキを形成するので、
金属導体幅、ピッチ共に、化学エツチングでは得られな
い微細な縞状パターンが得られ、これを接着剤シートに
転写して、前記ブロック体となしスライスするので、結
果的に、微細ピッチで、しかも接着機能を備えた異方導
電性接着剤シートを生産性よく得ることができる。
実施例
以下に本発明の方法を図面を用いて詳細に説明する。本
発明では、先ず、第１図の断面図に示すようにキャリア
シート１」二にフォトｌ／シスト２の縞状の微細なパタ
ーンを形成したのち、電気メッキにより、例えば銅やニ
ッケル等の金属メッキ３を行なう。この時、用いられ−
るキャリアシートは鏡面研磨されたステンレス板わるい
はプラスチソ５ヘー。
発明では、先ず、第１図の断面図に示すようにキャリア
シート１」二にフォトｌ／シスト２の縞状の微細なパタ
ーンを形成したのち、電気メッキにより、例えば銅やニ
ッケル等の金属メッキ３を行なう。この時、用いられ−
るキャリアシートは鏡面研磨されたステンレス板わるい
はプラスチソ５ヘー。
クシート」−に銅やニッケルを蒸着して表面導電化処理
・をしたシート等が用いらね−る。次に５熱可塑性の接
着剤を塗布、あるいは接着剤シート４をうεネートした
のち、端部から引き剥すと、第２図に示すように接着剤
シート４上に金属メッキ３の縞状パターンが転写される
。なお、第３図は第２図の斜視図を示すものである。こ
こで使用される接着剤シート３は熱可塑性の接着剤で構
成されたものであり、アクリル系、ポリエステル系。
・をしたシート等が用いらね−る。次に５熱可塑性の接
着剤を塗布、あるいは接着剤シート４をうεネートした
のち、端部から引き剥すと、第２図に示すように接着剤
シート４上に金属メッキ３の縞状パターンが転写される
。なお、第３図は第２図の斜視図を示すものである。こ
こで使用される接着剤シート３は熱可塑性の接着剤で構
成されたものであり、アクリル系、ポリエステル系。
シリコン系、ポリアミド系、ＮＢＲ、イソブチレンゴム
系等が使用できるが、これに限定されるものではない。
系等が使用できるが、これに限定されるものではない。
次いで、得られた転写シートの複数枚を、金属メッキ３
の縞状パターンの配向方向が一致するように積層接着す
ると、第４図に示すようなブロック体６が得られる。次
いで、このブロック体５を金属メッキ３の縞状パターン
の配向方向に直交する面で積層方向にスライスすると、
第６図に示すような微細ピッチの異方導電性接着剤シー
ト６を得るーことができる。
の縞状パターンの配向方向が一致するように積層接着す
ると、第４図に示すようなブロック体６が得られる。次
いで、このブロック体５を金属メッキ３の縞状パターン
の配向方向に直交する面で積層方向にスライスすると、
第６図に示すような微細ピッチの異方導電性接着剤シー
ト６を得るーことができる。
発明の効果
６ベー７
以上に説明したように、本発明の製造方法によれば、異
方導電性シートに熱可塑性の接着機能を有するため、例
えば裸の工Ｃチップをガラスあるいはセラミック基板上
の接続端子に一括して直付けすることができ、−ｆ−ｆ
ｃＩＧチップの交換も再加熱によって容易に出来るため
、極めて実用価値が高い。
方導電性シートに熱可塑性の接着機能を有するため、例
えば裸の工Ｃチップをガラスあるいはセラミック基板上
の接続端子に一括して直付けすることができ、−ｆ−ｆ
ｃＩＧチップの交換も再加熱によって容易に出来るため
、極めて実用価値が高い。
第１図はキャリアシート上にフォトレジスト層を形成し
た後、金属メッキを行なった状態を示す断面図、第２図
は接着剤フィルムに金属メッキを転写した状態を示す断
面図、第３図は第２図の斜視図、第４図は第３図を積層
接着して得られたブロック体を示す斜視図、第５図は第
４図のブロック体をスライスして得られる異方導電性接
着剤シートを示す斜視図でめる。 １・・・・・・キャリアシート、２・・・・・・フォト
レジスト、３・・・・・・金属メッキ、４・・・・・・
接着剤シート、５・・・・・・ブロック体、６・・・・
・・異方導電性接着剤シート。
た後、金属メッキを行なった状態を示す断面図、第２図
は接着剤フィルムに金属メッキを転写した状態を示す断
面図、第３図は第２図の斜視図、第４図は第３図を積層
接着して得られたブロック体を示す斜視図、第５図は第
４図のブロック体をスライスして得られる異方導電性接
着剤シートを示す斜視図でめる。 １・・・・・・キャリアシート、２・・・・・・フォト
レジスト、３・・・・・・金属メッキ、４・・・・・・
接着剤シート、５・・・・・・ブロック体、６・・・・
・・異方導電性接着剤シート。
Claims (1)
- 電気メッキが可能なキャリアシートに縞状に電導性金属
をメッキする工程と、メッキされた前記キャリアシート
から接着剤シートに縞状の金属メッキを転写する工程と
、得られた転写シートの複数枚を縞状金属メッキの配向
方向が一致するように積層接着してブロック体を得る工
程と、さらに得られた前記ブロック体の縞状の配向方向
と直交する面で積層方向にスライスする工程とを有する
ことを特徴とする異方導電性接着剤シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082876A JPS61240511A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 異方導電性接着剤シ−トの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082876A JPS61240511A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 異方導電性接着剤シ−トの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240511A true JPS61240511A (ja) | 1986-10-25 |
Family
ID=13786489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60082876A Pending JPS61240511A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 異方導電性接着剤シ−トの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61240511A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003079497A1 (en) * | 2002-03-20 | 2003-09-25 | J.S.T. Mfg. Co., Ltd. | Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method |
| US6786737B2 (en) | 1999-11-18 | 2004-09-07 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Electrical connecting element and method of producing the same |
| JP2009094442A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Ind Technol Res Inst | 導電膜の製造方法及びその構造、及び該導電膜を具えたプローブカード |
| CN105122437A (zh) * | 2014-03-26 | 2015-12-02 | 硅谷股份公司 | 利用粘合剂层叠金属薄板的半导体检测板及其制造方法 |
| WO2019078295A1 (ja) * | 2017-10-19 | 2019-04-25 | 信越ポリマー株式会社 | 電気コネクターおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP60082876A patent/JPS61240511A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6786737B2 (en) | 1999-11-18 | 2004-09-07 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Electrical connecting element and method of producing the same |
| US6792679B1 (en) | 1999-11-18 | 2004-09-21 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Method of producing electrical connecting elements |
| WO2003079497A1 (en) * | 2002-03-20 | 2003-09-25 | J.S.T. Mfg. Co., Ltd. | Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method |
| US7244127B2 (en) | 2002-03-20 | 2007-07-17 | J.S.T. Mfg. Co., Ltd. | Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method |
| JP2009094442A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Ind Technol Res Inst | 導電膜の製造方法及びその構造、及び該導電膜を具えたプローブカード |
| CN105122437A (zh) * | 2014-03-26 | 2015-12-02 | 硅谷股份公司 | 利用粘合剂层叠金属薄板的半导体检测板及其制造方法 |
| WO2019078295A1 (ja) * | 2017-10-19 | 2019-04-25 | 信越ポリマー株式会社 | 電気コネクターおよびその製造方法 |
| JPWO2019078295A1 (ja) * | 2017-10-19 | 2020-12-17 | 信越ポリマー株式会社 | 電気コネクターおよびその製造方法 |
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