JPS61240545A

JPS61240545A - 試料像の倍率表示方法および装置

Info

Publication number: JPS61240545A
Application number: JP60080249A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kimura; 隆志木村; Tetsuo Koseki; 哲郎小関
Original assignee: Akashi Seisakusho KK
Current assignee: Akashi Seisakusho KK
Priority date: 1985-04-17
Filing date: 1985-04-17
Publication date: 1986-10-25
Also published as: JPH0442777B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、走査型電子顕微鏡その他の電子線装置（以下
、ＳＥＭ）の表示画面上におりる試料像の倍率表示方法
およびこの方法を実施するための倍率表示装置に関する
ものである。

［技術の背景］ＳＥＭは、試料を電子ビームにより照射、走査し、照射
時に発生する試料信号に基づいて表示装置（例えばＣＲ
Ｔ）上に試料の拡大像を表示するものである。従って、
ＳＥＭにおいては、拡大表示された試料像が実際の試料
上でどの程度の長さに相当するのかを知る必要がある。

このため、従来よりＳ　Ｆ　Ｍに関し、表示装置上に試
料像とともに試料のスケールを表示する種々の方法が提
案されている。

［従来の技術］従来、ＳＦＭにおいて、倍率に応じた試料上の長さを試
料像とともに表示する技術的手段としては、例えば、第
７図および第８図に示すようなものがある。

第７図に示す方法は、試料上の一定の長さく例えば１μ
ｍ）が対応するスケール１を試Ｆ３１像２とともに表示
したものであり、試料像２の拡大率に応じてスケール１
が表示装置の表示画面１０上で伸縮するようになってい
る（特公昭４７−２１３４５号）。

ところが、このような手段によると、試料像２の拡大率
が大きくなるに従ってスケール１の長さが大きくなり、
スケール１が画面１０からはみ出してしまったり、低倍
率の場合には、スケール１の長さが小さくなって、結局
、試料の大きさを正確に判断できないという問題がある
。

第８図は、斯かる問題を解決するだめの手段を示すもの
である。これは、表示画面１０上に、試料像の拡大率と
無関係な一定の長さをもつスケール４を表示するととも
に、このスケール４の試料上の換算長さを文字でキャラ
クタ表示するものである（特公昭５８−５１６６４号）
。このにうな手段によれば、スケール４が表示装置の画
面１０からはみ出したり、スケール４が小さすぎて視認
性に欠けるという不具合は解消される。

［従来技術の問題点］しかしながら、このような方法の場合、スケール４の設
定長さより短かい試料像長さを知ろうとするときには、
まず、求めようとする試ＩＩ像２上の良さがスケール４
の良さの何分の−に相当覆るかを求めることによって試
料像２上の長さを求めなければならない。しかし、スケ
ール４の長さを５基準として、試料像２上の長さがその
何分の−に相当するかを計測するのは手間を要するし、
目分量では必ずしも正確な数値を求めるとはできないと
いう問題がある。

また、上記従来の表示方式は、試料像の縦方向の副長に
関しては特別な考慮がなされていないために、試＄１［
の縦方向長さを正確に測定するのは必ずしも容易ではな
いという問題がある。

［問題点を解決するための手段］本発明は上記従来技術の問題点を解決するべくなされた
ものであって、試料像上の縦方向長さ及び横方向長さを
容易かつ正確に求めることのできる試料像の倍率表示方
法および装置を提供することを目的とし、この目的達成
の手段を、試料像を表示する表示画面上に、全長を一定
とした基準線を表示するとともに、当該基準線が相当す
る試料像上の換算長さをキャラクタで表示する試料像の
倍率表示方法において、上記基準線を倍率に応じて区分
する基準目盛を表示するとともに、当該基準目盛の一目
盛幅が相当する試料像上の換算良さをキャラクタで表示
し、かつト記基準目盛の１１盛高さを倍率に応じて変化
するようにしたものである。

［実施例］以下、添付図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図ないし第３図は、本発明の実施例に係る試料像の
倍率表示方法を説明するものである。

この表示方法は、第２図に示すように、試料像１５を表
示する表示画面１０の下方に、倍率の変動とは無関係に
常に一定の長さを有する基準線２０を表示するとともに
、基準線２０を区分する基準目盛Ｍを表示するものであ
る。この基準１盛Ｍは、常に基準線２０の左端に固定表
示される目盛ＭＯ，常に基準線２０の右端に固定表示さ
れる目盛Ｍ２、倍率の拡大に従って基準線２０上を左方
から右方へ移動づ−る目盛Ｍ１とからなるものである。

目盛Ｍ１は第１図に示すように、１倍、１０倍、１００
倍、１０００倍と１０倍づつ倍率が増加するごとに、基
準線２０の長さの１０分の１を表わす位置に表示される
。すなわち、目盛ＭＯ〜目盛目盛量２間さを１とし、目
盛ＭＯ〜目盛目盛量１間さを１どすれば、／！＝１／Ｉ
ＯＬとなる。倍率が２倍になると、それに比例してノー
１１５Ｌとなり、倍率が１０倍になると再びノ＝１／１
０Ｌとなる。また、基準目盛Ｍの目盛高さ１１は、目盛
ＭＯ〜目盛目盛量１間さｌの１／１０となるように表示
される。目盛ＭＯ〜Ｏ〜Ｍ１の長さノと目盛高さｈは、
倍率に応じて比例的に変化し、常にｈ＝１／１（Ｍであ
る。

また、この基準線２０の右側には、少なくとも基準線の
長さＬと、目盛ＭＯ〜Ｏ〜Ｍ１の長さ）の試料像１５上
での換算長さがキャラクタ表示される。例えば、倍率表
示も行うとして倍率１倍、基準線長さが１０Ｏｎ＋ｍ、
目盛幅ノが１０ｍｍの場合には、＜Ｘ　１　、１００ｍ
ｍ、　１０ｍｍ）とイウ表示トなり、倍率が２倍に拡大
すると（Ｘ２．５０ｍｍ。

１Ｑｍｍ）という表示がなされる。倍率１０倍の場合に
は、（Ｘ１０．１０ｍｍ、１０００μ）というキャラク
タ表示となる。倍率１０倍の場合、目盛高さｈは、試料
像１５上で目盛幅ノの１／１０、すなわち１００μの換
算長さとなっている。このにつな表示を行うことにより
、従来のような基準線２０の換算長さだけによる計測に
比べて、縦横両方向の泪測をより正確に行なうことがで
きるようになる。

尚、基準目盛Ｍの高さの可変方法は、第３図に示すよう
に、目盛ＭＯと目盛Ｍ１との間を太く表示しても良いこ
とは勿論である。

次に、この方法を実施するための倍率表示装置について
説明する。第４図は、本発明の実施例に係る試料像の倍
率表示装置を示すものである。この装置は、電子顕微鏡
本体（図示せず）に設Ｃプられた水平偏向コイル４０お
よび垂直偏向コイル４１に供給する電流を倍率切換装置
４−２．４３によって切り換ることにより、ＣＲＴ／Ｉ
　５上に試料像１５を拡大して表示するとともに、基型
線表示手段５０．目盛表示手段６０、キャラクタ表示手
段７０の各手段によって試料Ｗ１１５Ｊ−の長さに関す
る必要な情報の表示を行なうものである。

この図において、５１は、鋸歯状波信号Ｅ×を出力する
水平走査回路、５３は基準線２０の始点と終点を位置決
めするための基準電圧ＥＯ，Ｅ１０を比較回路５２に印
加する基準電圧源である。この比較回路５２は、第５図
Ｃ１ｄに示すように、基準電圧ＥＯ，Ｅ２と鋸歯状波信
号ＥＸとが一致するｔｌ、ｔ２．・・・ｔｌ２の時点で
、信号を出力する。また、５５は鋸歯状波信号Ｅｙを供
給する垂直走査回路、５７は基準線２０の太さと表示画
面１０上での表示の高さ位置を決定するための基準電圧
Ｖ１　、Ｖ２を比較回路５６に入力するための基準電圧
である。この比較回路５６は、第５図Ｃ１ｄに示すよう
に、基準電圧Ｖ１　、Ｖ２と鋸歯状波信号ＥＶが一致し
たときにｔａ〜［ｂ間でＨレベルとなるパルス信号を出
力する。ゲート回路５４は、比較回路５２．５６の信号
が一致した時点で、第５図ｅのような信号を合成器４４
に対して出力する。これによって、ＣＲＴ４５の表示画
面１０に、一定の長さの基準線２０が適宜の位置に表示
される。　６１は、基準目盛ＭＯ、Ｍｌに対応した。

それぞれ電圧値の異なる基準電圧ＥＯ，Ｅ、１を比較回
路６２に印加する目盛基準電圧源である。比較回路６２
には、水平走査回路５１からの鋸歯状波信号ＥＸが入力
されており、第６図ａ、ｂに示寸ように、基準電圧ＥＯ
、Ｅｌ　ど鋸歯状波信号ＥＸが一致した時点でパルス発
生回路６５から基準目盛ＭＯ，Ｍ１の信号が出力される
。また、基準目盛Ｍ２に対応する基準電圧Ｅ２は、倍率
と無関係どなるよう独立した基準電圧源６４から比較回
路６２に入力される。従って、比較回路６２からは、第
６図ｃ、ｄに示すように基準電圧Ｆ２と鋸歯状波信号Ｅ
×が一致したときに基準目盛Ｍ２の信号が出力される。

一方、６７は、基準目盛Ｍの目盛高さを決定する基準電
圧Ｖｌ　、Ｖ３を比較回路６６に印加する基準電圧源で
ある。比較回路６６には、垂直走査回路５５からの鋸歯
状波信号Ｅｙが入力されており、第６図ｅ、ｆに示すよ
うに、鋸歯状波信号ＥＶと基準電圧Ｖ１　、Ｖ３が一致
したときに１ａ〜ｔｃ間で信号を発生ずる。従って、ゲ
、−ト回路６３は、比較回路６２．６６からの信号が一
致したときに第６図ｇのような信号を発生する。これに
よって、基準線２０−Ｌには倍率に応じて基準線２０上
を左方から右方へ移動する基準目盛Ｍ１と、固定的な基
準目盛ＭＯ，Ｍ２が表示される。

尚、目盛基準電圧源６１は、基準電圧ＥＯを基準に設定
するから、基準線２０の左端に表示される基準目盛Ｍは
、常に固定した位置に留まる。また、第６図ｃ、ｄに示
すように基準電圧Ｅ２も倍率と無関係に常に一定値が印
加されるから、基準線２０の右端には目盛Ｍ２が固定的
に表示される。

また、基準電圧Ｖ３は、１倍、１０倍、１００倍という
ような、１０倍づつの桁数繰上げを１サイクルとする倍
率の切り換えによってその電圧値が可変するから、目盛
高さは、１０倍ごとの倍率変化に応じて伸縮を繰り返す
ものである。

７１は、倍率表示回路、７２は基準線長さ表示回路、７
３は基準目盛長さ表示回路である。これらの回路７１，
７２．７３は、マイクロコンビコータ等の演算装置によ
って、情報として表示すべき数字を算出するとともに、
該算出結果を情報信号として合成器４４に出力する。尚
、各表示回路７１．７２．７３は、キャラクタの表示位
置を決めるために、垂直走査回路５５から鋸歯状波信号
Ｆｙをとり、予め設定された基準電圧と一致覆る位置に
キャラクタを表示するものである。

以上のようにして、ゲート回路５４．６３おＪ：び各表
示回路７１．７２．７３から合成器４４に入力された各
信号は、輝度変調信号としてＣＲＴ４５のグリッド電極
に出力され、表示画面１０上に、基準線２０、基準目盛
Ｍ、ギＰラクタを表示するものである。尚、ＳＥＭ本体
の水平偏向コイル７ＩＯおよび垂直偏向コイル４１とＣ
ＲＴ＝１５の水平偏向コイル４７おＪ：び垂直偏向コイ
ル４８が走査回路５１．５５の信号によって同期されて
いることは勿論である。

以上説明したように、斯かる倍率表示装置によって、第
１図ないし第３図に示すような、本発明の倍率表示方法
を実施できることになる。

［発明の効果コ以上説明したように、本発明はＣＲＴの表示画面上に一
定の長さの基準線を表示するとともに、その基準線を区
分し、かつ倍率に応じて高さの可変する基準目盛を表示
する一方、基準線と基準目盛幅の長さが相当する試料像
上の換算長さをキャラクタ表示するようにしたものであ
る。従って、本発明によれば、基準線および基準目盛幅
の長さと、それらの換算長さ表示を用いることによって
試料像の正確な副長が可能となる。また、基準目盛の高
さが倍率に応じて可変するから、試料像の長さ、特に縦
方向長さを正確に測定することができることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は、本発明の実施例に係る試料像の
倍率表示方法を示す図、第４図は本発明の実施例に係る
試料像の倍率表示装置のブロック図、第５図および第６
図は本発明の実施例に係る試料像の倍率表示装置の作動
を示すタイムチャート、第７図および第８図は従来の試
料像の倍率表示方法を示す図である。１０・・・表示画面　　　１５・・・試料像２０・・・
基準線　　　　５０・・・基準線表示手段６０・・・目
盛表示手段７０・・・キャラクタ表示手段特し′ｆ出願人　　株式会ネ１　明石製作所癲）−ＮＬ
＋−）　　　　　　　　　■　　　仁≧兜ＸＸＸＸＸ ×６゜ＡＡ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）試料像を表示する表示画面上に、全長を一定とし
た基準線を表示するとともに、当該基準線が相当する試
料像上の換算長さをキャラクタで表示する試料像の倍率
表示方法において、上記基準線を倍率に応じて区分する
基準目盛を表示するとともに、当該基準目盛の一目盛幅
が相当する試料像上の換算長さをキャラクタで表示し、
かつ上記基準目盛の目盛高さを倍率に応じて変化させる
ことを特徴とする試料像の倍率表示方法。
（２）水平走査回路からの水平鋸歯状波信号と垂直走査
回路からの垂直鋸歯状波信号に基づいて表示画面の所定
位置に全長を一定とした基準線を表示する基準線表示手
段と、基準線の長さが相当する試料像上の換算長さをキ
ャラクタによって表示するキャラクタ表示手段とを有す
る試料像の倍率表示装置において、上記水平走査回路か
らの水平鋸歯状波信号および垂直走査回路からの垂直鋸
歯状波信号と倍率切換装置に連動して電圧値が変化する
目盛基準電圧に基づいて上記基準線を倍率に応じて区分
し、かつ倍率に応じて目盛高さが変化する基準目盛を表
示する基準目盛表示手段を設けるとともに、倍率切換装
置に連動して基準目盛の一目盛幅が相当する試料像上の
換算長さを算出し、該算出結果をキャラクタによって表
示するキャラクタ表示手段を設けたことを特徴とする試
料像の倍率表示装置。