JPS61243238A - 空気清浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体の製造等に必要となる清浄な作業空間を
作シ出すための空気清浄装置に関するものである。

従来の技術 従来、この種の空気清浄装置は、第１４図に示すような
構成であった。第１４図において、１ｏ１は作業空間１
０２内に設置された作業台、１０３は作業空間１０２の
上方に設けられた高性能フィルター（以下ＨＥＰＡフィ
ルターと称す）、１０４は作業空間用７アン１０６とＨ
ＥＰＡフィルター１０３との間に設けられたプレナムチ
ャンバー、１０６は作業空間１０２に隣接して設けられ
た通路空間、１０７は通路空間１０６の上方に設けられ
たＨＥＰＡフィルター、１０８は通路空間用ファン１０
９とＨＥＰＡフィルター１０７との間に設けられたプレ
ナムチャンバー、１１０はＨＥＰＡフィルター１０７の
二次側に設けられた整流板である。１１１は作業空間用
ファン１０５および通路空間用ファン１０９の一次側に
設けられグレーティング床１１２とリターンダクト１１
３を通電循環する空気のプレフィルタ−１１１４はリタ
ーンダクト１１３の途中に設けられた排気口、１１６は
リターンダクト１１３の途中に設けられた給気口、１１
６，１１７は各々照明灯、１１８は通路空間１０６を介
して作業空間１０７を向い合わせに配置した枠である。

以上のように構成された従来の空気清浄装置において、
作業空間用ファン１０５が運転されると、作業空間１０
２、通路空間１０６内の空気は、グレーティング床１１
２を通り、リターンダクト１１３内を通って、一部を排
気口１１４から排気し、それと同風量の外気を供給口１
１６から取シ入れたのち、プレフィルタ−１１１を通過
して、作業空間用ファン１０５に供給される。作業空間
用ファン１０６から吐出された空気はプレナムチャンバ
ー１０４で均圧化され、ＨＥＰＡフィルター１０３を通
過することにより清浄空気として作業空間１０２に供給
される。

一方、通路空間用７７ン１０９が運転されると、作業空
間用ファン１０５の運転により循環している空気の一部
はプレナムチャンバー１０８に供給され、均圧化された
のちにＨＥＰＡフィルター１０７を通過することにより
清浄空気として通路空間１０６に供給される。この時、
作業空間１０２゜通路空間１０６は必要に応じて各々照
明灯１１６゜１１７で照明される。

また、作業空間１０２と通路空間１０６に供給される清
浄空気の風速は各々平均０．５ｍ／ｓ　。

Ｑ、３ｍ／ｓとして差を設定し、通路空間１０６の空間
が作業空間１０２に混入しないような圧力勾配を設けで
ある。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら従来の空気清浄装置では、設置される作業
台や製造装置ごとに仕様を決めて設計製作されているた
め、新型製造装置採用に伴なう空気清浄装置の仕様変更
等が頻繁に行なわれる半導体業界では仕様変更のたびに
設計製作のやシ直しが必要であった。しかも、空気清浄
装置のユニット化、標準化がなされていないため、短期
間に仕様変更に対応できないという問題点があった。

また、いったん設置された後においても、製造ラインの
レイアウト変更や、それに伴なう作業台や製造装置の大
きさの変更には対応できるだけの７レキシビリテイーに
欠けるという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決するもので、空気清浄
装置のユニット化、標準化を図シュニットの交換、変更
を行うだけで作業空間や通路空間の奥行き、高さを調節
可能とし、フレキシビリティ−に富む空気清浄装置を提
供することを目的としている。

問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明の空気清浄装置は、
作業者の通行する通路空間と、前記通路空間の上方に配
置され通路空間用フィルターおよび通路空間用プレナム
チャンバーから成る通路空間用ユニットと、前記通路空
間を拡げるために前記通路空間用ユニットに接して配設
される通路空間拡張ユニットと、前記通路空間に隣接し
て設けられた作業空間の上方に配設される作業空間用フ
ィルターおよび作業空間用プレナムチャンバーから成る
作業空間用ユニットと、前記作業空間を拡げるために前
記作業空間用ユニットに接して配設される作業空間拡張
ユニットと、前記通路空間用フィルターと前記作業空間
用フィルターを介して各々前記通路空間と前記作業空間
に清浄空気を供給するファンを有するファンユニットと
、前記通路空間用ユニット、前記通路空間拡張ユニット
。

および前記ファンユニットを連結するための枠と、前記
通路空間と前記作業空間の下方に設けられた床ユニット
と、前記床ユニットと前記ファンユニットとを連通させ
るように設けられたダクトユニットと、前記作業空間の
高さを調節するために前記ダクトユニットに接して設け
られた高さ調節ユニットから構成される。

作　　用 以上の構成により、仮に製造ラインのレイアウト変更に
伴ない、作業空間の奥行き、高さともに小さくする結果
となった場合には、まず奥行きは、作業空間拡張ユニッ
トを使用していたのであれば、前記作業空間拡張ユニッ
トを必要奥行きにまで小さくした新しい作業空間拡張ユ
ニットと交換することができるし、も駐もと作業空間拡
張ユニットを使用していないのであれば、作業空間用ユ
ニットを必要奥行きにまで小さくした新しい作業空間用
ユニットと交換すれば、空気清浄装置全体を交換しなく
ても良い。同様に作業空間の高さを低くするような場合
でも、ダクトユニット、あるいは高さ調節ユニットの変
更のみで対応し得る。

実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第１１図にもとづき
説明する。

第１図において、１１は作業者の通行する通路空間、１
０は通路空間１１の上方に設けられた通路空間用ＨＥＰ
Ａフィルター１２と通路空間用ＨＥＰＡフィルター１２
の一次側に設けられたプレナムチャンバー１３から成る
通路空間用ユニットである。２１は通路空間１１に隣接
して設けられた作業空間で、２０は作業空間２１の上方
に設けられた作業空間用ＨＥＰＡフィルター２２と作業
空間用ＨＥＰＡフィルター２２の一次側に設けられたプ
レナムチャンバー２３と通路空間１１と作業空間２１と
の間に設けられたアイリッド２４と通路空間１１を照明
するための照明灯２５から成る作業空間用ユニットであ
る。３ｏは通路空間用ユニット１０に接して設けられた
通路空間拡張ユニットである。４０は作業空間用ユニッ
ト２゜に接して設けられた作業空間拡張ユニットである
。

６０は作業空間拡張ユニット４０に接して設けられたフ
ァン６１と給気口５２から成るファンユニットである。

６０は通路空間用ユニット１０と通路空間拡張ユニット
３０と作業空間用ユニット２゜と作業空間拡張ユニット
４０とファンユニット６゜を連結する枠で、枠６０は建
屋天井スラブ６２に吊９ボルト６１で吊られる。７０は
通路空間１１と作業空間２１の下方に設けられた床ユニ
ットで、グレーテインク床７１．フィルタ〜７２２作業
台や５製造装置を設置する際に使用するロンリュウム床
７３．リターンダクト７４．排気ロアロから成っている
。８０は床ユニット７０とファンユニット５ｏとの間に
設けられたダクトユニットで、８１はリターンダクトで
ある。９ｏはダクトユニット８ｏに接して設けられた作
業空間２１の高さ調節ユニットである。

各ユニットの詳細は第２図〜第１１図に示す。

通路空間用ユニツ）１０は第２図に示すように、枠１４
の外側をふさぐ板１６が設けられている。

この板１６はファン６１から送られる空気の流入口１６
と通路空間用ＨＥＰＡ：ｙイルター１２の吹出口１７を
除く４面に施されている。１８は枠１４、板１６を貫く
ボルト貫通用穴である。作業空間用ユニット２０は第３
図に示すように、枠２６の外側をふさぐ板で２６が設け
られている。

この板２６はファン６１から送られる空気の流入口２９
とプレナムチャンバー２３を介して通路空間用ユニット
１ｏへの空気の供給口となるパンチングメタル２８と作
業空間用ＨＥＰＡフィルター２２の吹出口２０１を除く
面に施されている。

２０２は枠２６．板２７を貫くボルト貫通穴である。通
路空間拡張ユニット３ｏは第４図に示すように、板３２
で枠３１の６面金てをふさがれている。３３は枠３１．
板３２を貫くボルト貫通穴である。作業空間拡張ユニッ
ト４０け第５図に示よように、枠４１の外側を板４２で
ふさがれている。

ただし、ファン６１から送られる空気の流入口４３、流
出口４４を除く４面に施される。４５は枠４１．板４２
を貫くボルト貫通穴である。ファンユニット５０は第６
図に示すように、板６４で枠６３の外側をふさがれてい
る。ただしリターンダクト８１からの空気の流入口５６
とファン６１の吹出口を除く５面に施される。枠６ｏは
第７図に示すように、ボルト６３とナツト６４とで各ユ
ニットを取付ける構成である。第８図において、７６は
グレーティング７１の支柱で、７７は建屋の天井である
。ダクトユニット８０は第９図に示すように、枠８２と
枠８２の外側をふさぐ板８３からなり、空気流入口８４
および流出口８６を除く４面に板８３が施されている。

高さ調節ユニット９ｏは第１０図に示すように、枠９３
と枠９２の外側をふさぐ板９２からなり、空気流入口９
４および流出口９５を除く４面に板９２が施されている
Ｏ 上記構成において、まず通路空間用ユニット１゜と作業
空間用ユニット２０と通路空間拡張ユニット３０と作業
空間拡張ユニット４ｏとファンユニットを枠６０にボル
ト６３およびナツト６４を用いて連結しコーキングする
。この枠６０は吊りボルト６１によって天井スラブ６２
に固定される０また第１１図に示すように通路空間１１
と作業空間２１の下方に床ユニット７０を設けて、この
床ユニット７０の端に高さ調節ユニッ）９０を連結し、
さらにダクトユニット８０を高さ調節ユニット９０とフ
ァンユニット５０との間に連結し、全てのユニットをボ
ルトナツトで固定した後にコーキングする。

以上のように接続された後に、ファン５１が運転される
と、作業空間２１と通路空間１１の空気が床ユニット７
ｏに入り、高さ調節ユニット９０゜ダクトユニツ）ａｏ
を通って７７ンユニツ）５０に供給される。ここで７ア
ン５１により作業空間拡張ユニット４０を介して作業空
間用ユニット２０、通路空間用ユニット１０に供給され
、作業空間用ＨＥＰＡフィルター２２８通路空間用ＨＥ
ＰＡフィルター１２を通過して清浄空気として各々作業
空間２１２通路空間１１に供給されるという循環になる
。

このとき、循環空気の一部は排気ロアロから排気され、
その排気相当分の外気が、給気口６２から取シ入れられ
る。

以上のように本実施例によれば、空気清浄装置をユニッ
ト化することによシ、仕様変更が発生した場合でも、一
部のユニット交換で対応でき、納期を大巾に延期させる
ようなことはない。

他の実施例について、第１２図〜第１３図にもとづいて
説明する。なお先の一実施例と同一部材については同一
番号を用いて説明を省略する。

第１２図において、１１は通路空間、２１は通路空間１
１に隣接する作業空間、１０は通路空間の上方に設けら
れた通路空間用ユニット、２０は作業空間２１の上方に
あって通路空間用ユニット１０に接する作業空間用ユニ
ット、６０は作業空間用ユニット２０の一次側に設けら
れたファン５１を有するファンユニットである。６０は
通路空間用ユニット１０と作業空間用ユニット２ｏとフ
ァンユニット５０を連結する枠である。７０は通路空間
１１と作業空間２１の下方に設けられた床ユニット、８
７は床ユニット７０とファンユニット６０との間に設け
られたダクトユニットである。

ダクトユニ７）８７は第１３図に示すように、銅パイプ
とアルミフィンから成る熱交換器８６を有している。

本実施例では、通路空間拡張ユニット、作業空間拡張ユ
ニット、高さ調節ユニットを除いて構成されるため、作
業空間２通路空間の高さ、奥行きともに小さくなり、ま
たリターンダクト８１内に熱交換器８６を設け、その熱
交換器８ｅを本装置とは別置きとしたチラーユニットに
接続し、ポンプで冷温水を循環させることで、循環空気
の温度コントロールが可能になる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、通路空間用ユニットと、
通路空間拡張ユニットと、作業空間用ユニットと、作業
空間拡張ユニットと、ファンユニットと、前記通路空間
用ユニット、通路空間拡張ユニット、作業空間ユニット
、作業空間拡張ユニット２．およびファンユニットを連
続するための枠と、床ユニットとダクトユニットと高さ
調節ユニットを設けることによシ、ユニットの交換・変
更で、作業空間や通路空間の奥行き、高さを調節可能と
し、また単なるダクトユニットを熱交換器を組み込んだ
ダクトユニットと交換することにより温度調節可能とす
るなど、フレキシビリティ−に富み、その工業的効果は
大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による空気清浄装置を示す断
面図、第２図は同空気清浄装置の通路空間用ユニットの
一部欠截斜視図、第３図は同空気清浄装置の作業空間用
ユニットの一部欠截斜視図、第４図は同空気清浄装置の
通路空間拡張ユニットの一部欠截斜視図、第５図は同空
気清浄装置の作業空間拡張ユニットの一部欠截斜視図、
第６図は同空気清浄装置のファンユニットの一部欠截斜
視図、第９図は同空気清浄装置のダクトユニットの一部
欠截斜視図、第１０図は同空気清浄装置の高さ調節ユニ
ットの一部欠截斜視図、第１１図は同空気清浄装置の床
ユニットとダクトユニットと高さ調節ユニットを連結し
た斜視図、第１２図は本発明の他の実施例による空気清
浄装置の断面図・第１３図は同空気清浄装置のダクトユ
ニットの一部欠截斜視図、第１４図は従来例による空気
清浄装置を示す断面図である・ １０・・・・・・通路空間用ユニット、１１・・・・・
・通路空間、２０・・・・・・作業空間用ユニット、２
１・・・・・・作業空間、３０・・・・・・通路空間拡
張ユニット、４ｏ・・・・・・作業空間拡張ユニット、
５０・・・・・・ファンユニット、６Ｑ・・・・・−枠
、７０・・・・・・床ユニット、８０・・・・・・ダク
トユニット、９ｏ・・・・・・高さ調節ユニット。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名５２
１　　　　　　　　′°−ｉ″桓′”第８図 ）　　　　　　　　　　　〜 第　９　図　　　　　　　　　　　　　　　　　８吐−
ｆりＬユニツＬＦ１．５ １１０ウ　　　　　　°°“上置“″ ９．５ Ｑｏ−燭ご訂詐ニー外 ｆ 第１３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）作業者の通行する通路空間と、前記通路空間の上
   方に配設され通路空間用フィルターおよび通路空間用プ
   レナムチャンバーから成る通路空間用ユニットと、前記
   通路空間を拡げるために前記通路空間用ユニットに接し
   て配設される通路空間拡張ユニットと、前記通路空間に
   隣接して設けられた作業空間と、前記作業空間の上方に
   配設され作業空間用フィルターおよび作業空間用プレナ
   ムチャンバーから成る作業空間用ユニットと、前記作業
   空間を拡げるために前記作業空間用ユニットに接して設
   けられた作業空間拡張ユニットと、前記通路空間用フィ
   ルターと前記作業空間用フィルターを介して各々前記通
   路空間および前記作業空間に清浄空気を供給するファン
   を有するファンユニットと、前記通路空間用ユニット、
   前記通路空間拡張ユニット、前記作業空間用ユニット、
   前記作業空間拡張ユニット、および前記ファンユニット
   を連結するための枠と、前記通路空間および前記作業空
   間の下方に配設される床ユニットと、前記床ユニットお
   よび前記ファンユニットとを連通させるように設けられ
   たダクトユニットと、前記作業空間の高さを調節するた
   めに前記ダクトユニットに接して設けられた高さ調節ユ
   ニットから成る空気清浄装置。
2. （２）ダクトユニットは熱交換器を内蔵した特許請求の
   範囲第１項記載の空気清浄装置。