JPS61243476A - 投影装置 - Google Patents
投影装置Info
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- JPS61243476A JPS61243476A JP60085183A JP8518385A JPS61243476A JP S61243476 A JPS61243476 A JP S61243476A JP 60085183 A JP60085183 A JP 60085183A JP 8518385 A JP8518385 A JP 8518385A JP S61243476 A JPS61243476 A JP S61243476A
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- mirror
- light
- dmd
- pitch
- scanning
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
- H04N5/7416—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
- H04N5/7458—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal the modulator being an array of deformable mirrors, e.g. digital micromirror device [DMD]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Combination Of More Than One Step In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は投影装置に関し、特に多数の微細な揺動ミラー
を有する電気機械変換素子を含む光走査光学系を用いて
画像形成を行なう投影装置に関する。この様な投影装置
としては記録装置や表示装置等がある。
を有する電気機械変換素子を含む光走査光学系を用いて
画像形成を行なう投影装置に関する。この様な投影装置
としては記録装置や表示装置等がある。
上記の様な微細な揺動ミラーを有する電気機械変換素子
としては例えばＤＭＤ（Ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ Ｍｉｒ
ｒｏｒＤ・マｉｃ・）が知られている。
としては例えばＤＭＤ（Ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ Ｍｉｒ
ｒｏｒＤ・マｉｃ・）が知られている。
ＤＭＤ素子に関しては、ＩＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏ
ｎ ｏｎＥｌｅｅｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃ＠Ｖｏ１． Ｅ
Ｄ−３０Ｎｏ 、 ５５４４（１９８３）Ｋ記述がされ
、又光学系についても特開昭５９−１７５２５に開示さ
れている。
ｎ ｏｎＥｌｅｅｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃ＠Ｖｏ１． Ｅ
Ｄ−３０Ｎｏ 、 ５５４４（１９８３）Ｋ記述がされ
、又光学系についても特開昭５９−１７５２５に開示さ
れている。
以下ＤＭＤの一般的機構について図面に基づき説明する
。
。
第４図（ａ） Ｋ ＤＭＤの拡大断面図を示す。１はミ
ラー構造でｋＡ 、 Ａｇ等の物質で製造され入射光を
反射させる役割を示す。２は１のミラー構造を支持する
基板でＡｕ３どで構成される。３．４は１．２の支持部
材で、３はミラーコンタクトと呼ばれ、特に電気機械動
作をするひんし部を受けるものであシ、４は４リオキサ
イドＳ１の絶縁物質である。
ラー構造でｋＡ 、 Ａｇ等の物質で製造され入射光を
反射させる役割を示す。２は１のミラー構造を支持する
基板でＡｕ３どで構成される。３．４は１．２の支持部
材で、３はミラーコンタクトと呼ばれ、特に電気機械動
作をするひんし部を受けるものであシ、４は４リオキサ
イドＳ１の絶縁物質である。
５はぼりシリコンゲートでＦＥＴＭＯ８）ランジスター
の？−）の役割を示す。６はエアーギヤラグで、０．６
μ〜数μの空どうである。７はフローティング、フィー
ルドグレートで、８ＯＮ＋フローテイングソースからト
ランジスターのＯＮ 、 ＯＦＦ情報により７の７０−
ティング、フィールドグレートに電圧がかかる。９はＮ
＋ドレインを示す。これもＭＯＳ ３１ ＦＥＴトラン
ジスターの構成の役割をする。１０はゲートオキサイド
、１１はＰ型シリコン基板である。
の？−）の役割を示す。６はエアーギヤラグで、０．６
μ〜数μの空どうである。７はフローティング、フィー
ルドグレートで、８ＯＮ＋フローテイングソースからト
ランジスターのＯＮ 、 ＯＦＦ情報により７の７０−
ティング、フィールドグレートに電圧がかかる。９はＮ
＋ドレインを示す。これもＭＯＳ ３１ ＦＥＴトラン
ジスターの構成の役割をする。１０はゲートオキサイド
、１１はＰ型シリコン基板である。
第４図（ｂ）は第４図（、）のＡ方向からの拡大正■図
であシ、１２はエアー空隙で１３は電気機械的に揺動す
るミラー揺動部、１４はひんし部分を示す。
であシ、１２はエアー空隙で１３は電気機械的に揺動す
るミラー揺動部、１４はひんし部分を示す。
１５はＤＭＤ表面のミラ一部１３以外のミラー表面を示
す。Ｄ［）はＩＣ又はＬＳＩのプロセスと似た１糧で製
作される。
す。Ｄ［）はＩＣ又はＬＳＩのプロセスと似た１糧で製
作される。
第４図（、）はＤＭＤの電気的等価図を示す。１６は１
゜２のミラー及び支持部材にかかる電圧ｖＭを示す。
゜２のミラー及び支持部材にかかる電圧ｖＭを示す。
１７は８Ｋかかる電圧ｖＦを示す。１８はトランジスタ
ー構成を示しておシ、９のＤ（ドレイ／）信号、５ｆ）
ＧＣＩ’−））信号ＯＯＮ 、 ＯＦＰ ＫよりＶｙの
電圧が８にＯＮ 、 ＯＦＦされる。この時１．２に電
圧■Ｍがかかつておシ、１．２と８間に電位差がＯＮ。
ー構成を示しておシ、９のＤ（ドレイ／）信号、５ｆ）
ＧＣＩ’−））信号ＯＯＮ 、 ＯＦＰ ＫよりＶｙの
電圧が８にＯＮ 、 ＯＦＦされる。この時１．２に電
圧■Ｍがかかつておシ、１．２と８間に電位差がＯＮ。
ＯＦＦ信号によ〕増減されることになる。この時、電位
差に応じて６．７間にっぎの式に応じたカＦが生じ。
差に応じて６．７間にっぎの式に応じたカＦが生じ。
ＦωＫＶ（Ｋ：定数 Ｖ：電位差
α：定数 Ｆ′：曲げ力）
ミラー１，２はひんじ部１４で揺動される。
第４図（、）の左図は１，２と８の間に電圧差が大きく
有る場合で、ミラー揺動部１３はひんじ部１４から折れ
曲がシ、この作用のため入射光はミラーのふれ角の２倍
角度をかえて反射される。
有る場合で、ミラー揺動部１３はひんじ部１４から折れ
曲がシ、この作用のため入射光はミラーのふれ角の２倍
角度をかえて反射される。
一方電圧差が少な一場合は第４図（１）の右図に示すよ
うＫ、１．２のミラー揺動部１３は７によシひっばられ
る力が少なく湾曲されない。従って入射光はミラーのふ
れない状態で反射されることとなる。ＤＭＤ素子とは電
気的ＯＮ 、 ＯＦＦをミラー揺動 ゛部１３の揺
動のＯＮ 、 ＯＦＰ Ｋ変換し、さらに光のふれ角に
変換するものである。
うＫ、１．２のミラー揺動部１３は７によシひっばられ
る力が少なく湾曲されない。従って入射光はミラーのふ
れない状態で反射されることとなる。ＤＭＤ素子とは電
気的ＯＮ 、 ＯＦＦをミラー揺動 ゛部１３の揺
動のＯＮ 、 ＯＦＰ Ｋ変換し、さらに光のふれ角に
変換するものである。
次Ｋ、上記の様なりＭＤ素子を含む光走査光学系を利用
した記録装置の一例を第５図に示す。
した記録装置の一例を第５図に示す。
第５図において、１９は先走４査光孝系であり、２０Ｆ
ｉ電子写真プロセスであシ、とれらによシブリンターが
構成される。２１はランデ、２２゜２４はＤＭＤ素子を
照明するための光学系、２３はその光学系のためのスリ
ット板で、 ＤＶＤ素子のミラーアレイ部のみを照明す
るように構成される。
ｉ電子写真プロセスであシ、とれらによシブリンターが
構成される。２１はランデ、２２゜２４はＤＭＤ素子を
照明するための光学系、２３はその光学系のためのスリ
ット板で、 ＤＶＤ素子のミラーアレイ部のみを照明す
るように構成される。
２５．２６は折シ曲げミラーで２７はＤＭＤ素子であり
、との素子は第４図（ａ）〜（、）の原理によシミ気。
、との素子は第４図（ａ）〜（、）の原理によシミ気。
機械動作をする。
２８はＤＭＤ素子２７を駆動する回路、２９はＤＶＤ素
子２７の反射光を３０の感光体上に結像するレンズで普
通ＤＶＤ素子２７の各ミラー揺動部に信号がＯＮシた時
ＫＩ２）み該揺動部からの反射光が結像レンズ２９の瞳
に入る。
子２７の反射光を３０の感光体上に結像するレンズで普
通ＤＶＤ素子２７の各ミラー揺動部に信号がＯＮシた時
ＫＩ２）み該揺動部からの反射光が結像レンズ２９の瞳
に入る。
３１〜３５は通常電子写真プロセスに用いられるもので
、３１は現像器、３２は感光体３０上のトナーを３３の
コ♂−用紙に転写すべき帯電器、３４はクリーナー、３
５は感光体３０に帯電を与ミ える帯電器である。また３６はＤＶＤ素子のＯＦＦ信号
光をカットすべき遮光板である。
、３１は現像器、３２は感光体３０上のトナーを３３の
コ♂−用紙に転写すべき帯電器、３４はクリーナー、３
５は感光体３０に帯電を与ミ える帯電器である。また３６はＤＶＤ素子のＯＦＦ信号
光をカットすべき遮光板である。
プリンターとしての機能はＤＭＤ素子駆動回路２８に入
力した信号がＤＶＤ素子２７に′指令入力を与えるとと
ｋよって行なわれる。 ＤＭＤ素子２７は信号に応じて
第４図（ａ）〜（（１） Ｋ示した動作原理に従い電気
機械的に反応し、ミラーが揺動する。ランプ２１よシ発
せられた照明系の光ムは、照明光学系２２．２３．２４
，２５．２６を、ＤＭＤ素子２７Ｄミラーアレイ部をス
リット状に照明する。
力した信号がＤＶＤ素子２７に′指令入力を与えるとと
ｋよって行なわれる。 ＤＭＤ素子２７は信号に応じて
第４図（ａ）〜（（１） Ｋ示した動作原理に従い電気
機械的に反応し、ミラーが揺動する。ランプ２１よシ発
せられた照明系の光ムは、照明光学系２２．２３．２４
，２５．２６を、ＤＭＤ素子２７Ｄミラーアレイ部をス
リット状に照明する。
照射された光ムはＤＭＤ素子２７上のミラーアレイの個
々Ｏミラー揺動部の状況がＯＦＦの場合は当該ミラーに
よる反射光Ｃの方向に向かい遮光板３６で遮光され、感
光体３０上には光がとどかない。
々Ｏミラー揺動部の状況がＯＦＦの場合は当該ミラーに
よる反射光Ｃの方向に向かい遮光板３６で遮光され、感
光体３０上には光がとどかない。
ＯＮの場合にはＢ方向に光が反射され結像レンズ２９に
入射し当該ミラー揺動部に相応したドツトノーターンが
感光体３０上に結ばれる。従って、ライン状のＯＮ 、
ＯＦＦ信号を駆動回路２ｇＩＣ入力すれば、電子写真
プロセスを経て現像され、その後；−一用紙上にそのト
ナー像が転写されるプリンターとしての役割を生じる。
入射し当該ミラー揺動部に相応したドツトノーターンが
感光体３０上に結ばれる。従って、ライン状のＯＮ 、
ＯＦＦ信号を駆動回路２ｇＩＣ入力すれば、電子写真
プロセスを経て現像され、その後；−一用紙上にそのト
ナー像が転写されるプリンターとしての役割を生じる。
又、第５図に示した駆動回路２８は第６図に示す回路が
通常用いられる。４−１は入力信号増巾器で２値信号の
場合はＯＮ 、 ＯＦＦ 、又アナログ信号の場合はそ
の量に応じた電圧が出力される。信号はシリーズにつな
がって通常入力されるのでシリパラ変換器４−２でＤＭ
Ｄ素子の揺動ミラー数に応じたノ母うレル信号に変換さ
れレジスター４−３にたくわ見られる。その信号を同期
信号により一列分同時に読み出し、増巾器４−４を経て
、４−６゜４−７の２列のＤＭＤ素子のドレインに所定
の電圧信号がかけられる。一方、デコーダー４−５によ
シ該同期信号に応じて、ｒ−ト信号をＤＭＤ素子に与え
る。このドレイン信号の量、又有無によって、又列毎の
？−）信号の有無によりてＤＭＤの７０−ティングリー
スの電圧が７０−ティングフィールドグレートに伝えら
れ微細ミラーの揺動のＯＮ。
通常用いられる。４−１は入力信号増巾器で２値信号の
場合はＯＮ 、 ＯＦＦ 、又アナログ信号の場合はそ
の量に応じた電圧が出力される。信号はシリーズにつな
がって通常入力されるのでシリパラ変換器４−２でＤＭ
Ｄ素子の揺動ミラー数に応じたノ母うレル信号に変換さ
れレジスター４−３にたくわ見られる。その信号を同期
信号により一列分同時に読み出し、増巾器４−４を経て
、４−６゜４−７の２列のＤＭＤ素子のドレインに所定
の電圧信号がかけられる。一方、デコーダー４−５によ
シ該同期信号に応じて、ｒ−ト信号をＤＭＤ素子に与え
る。このドレイン信号の量、又有無によって、又列毎の
？−）信号の有無によりてＤＭＤの７０−ティングリー
スの電圧が７０−ティングフィールドグレートに伝えら
れ微細ミラーの揺動のＯＮ。
ＯＦＦの選択が行なわれる。
ここで、ＤＭＤ素子２７上のミラーアレイの各ミラー揺
動部（以下、単Ｋｒミラー」と称する）の配置と感光体
３０上の光ドラトノ臂ターンとの関係について説明する
。
動部（以下、単Ｋｒミラー」と称する）の配置と感光体
３０上の光ドラトノ臂ターンとの関係について説明する
。
第７図はＤＭＤ素子２７の部分平面図であシ、３７はミ
ラーである。各ミラーがＯＮの場合には、該ミラーによ
る反射光はＸ方向が感光体３０の回転軸方向と対応し且
つＹ方向が感光体の回転方向と対応する様に感光体表面
に照射せしめられる。
ラーである。各ミラーがＯＮの場合には、該ミラーによ
る反射光はＸ方向が感光体３０の回転軸方向と対応し且
つＹ方向が感光体の回転方向と対応する様に感光体表面
に照射せしめられる。
即ち、Ｘ方向が主走査方向に対応する方向であり、Ｙ方
向が副走査方向く対応する方向である。
向が副走査方向く対応する方向である。
ととるで、従来のＤＭＤ素子においては、ミラーの配列
は第７図に示される様ＫＸ方向に各ミラーの該方向の長
さと同一の長さの間隔を保って２つのミラー列が形成さ
れ且つ２つの列のミラーがＹ方向に重なりあわない様な
千鳥調・臂ターンとされていた。
は第７図に示される様ＫＸ方向に各ミラーの該方向の長
さと同一の長さの間隔を保って２つのミラー列が形成さ
れ且つ２つの列のミラーがＹ方向に重なりあわない様な
千鳥調・臂ターンとされていた。
従って、ＤＭＤ素子及び光走査光学系が幾何光学的に理
想的なものであれば、全ミラーがＯＮのとき、ミラーの
Ｙ方向長さに相当するピッチで副走査を行なうことによ
シ、感光体表面において各ミラーの反射光による光ドッ
トは重なシあうことなく且つ抜は部分なく形成されるは
ずである。そして、ＤＭＤ駆動回路２８に入力せしめる
信号を適宜設定することにより適時適宜のミラーがＯＮ
−ＯＦＦせしめられ、これにより感光体表面に所望の
画像が形成されるはずである。
想的なものであれば、全ミラーがＯＮのとき、ミラーの
Ｙ方向長さに相当するピッチで副走査を行なうことによ
シ、感光体表面において各ミラーの反射光による光ドッ
トは重なシあうことなく且つ抜は部分なく形成されるは
ずである。そして、ＤＭＤ駆動回路２８に入力せしめる
信号を適宜設定することにより適時適宜のミラーがＯＮ
−ＯＦＦせしめられ、これにより感光体表面に所望の
画像が形成されるはずである。
しかしながら、現実にはＤＭＤ素子のミラーのわん曲（
即ち、理想的にはひんし部分１４のみが曲がればよいの
であるが、実際にはミラ−１３全体にわたってわん曲が
生ずる）による反射光の発散があシ、またＤＭＤ素子以
外の光学系の収差による光の発散があシ、更Ｋ ＤＭＤ
素子においてはミラーが微小であるために回折現象が発
生するので、ＤＭＤ素子のミラーによる反射光が感光体
上にて形成する各光ドットの光強度は各ドツト内におい
て中心部が大きく且つ周辺部が小さい分布を有する。
即ち、理想的にはひんし部分１４のみが曲がればよいの
であるが、実際にはミラ−１３全体にわたってわん曲が
生ずる）による反射光の発散があシ、またＤＭＤ素子以
外の光学系の収差による光の発散があシ、更Ｋ ＤＭＤ
素子においてはミラーが微小であるために回折現象が発
生するので、ＤＭＤ素子のミラーによる反射光が感光体
上にて形成する各光ドットの光強度は各ドツト内におい
て中心部が大きく且つ周辺部が小さい分布を有する。
第８図（ａ） Ｉｃ感光体表面上における、ＤＭＤ素子
のミラーがＯＮ状態の場合の、該ミラーのｙ、−ｙＩ線
に沿う部分に対応する部分における光量分布のグラフを
示す。
のミラーがＯＮ状態の場合の、該ミラーのｙ、−ｙＩ線
に沿う部分に対応する部分における光量分布のグラフを
示す。
ＤＭＤ素子以外の光学系の収差のみが存在する場合には
第８図（、）において点線で示される様な分布になるが
、現実には上記の様に種々の原因に基づき菖８図（ａ）
において実線で示される様な分布となる。
第８図（、）において点線で示される様な分布になるが
、現実には上記の様に種々の原因に基づき菖８図（ａ）
において実線で示される様な分布となる。
マタ、第８図（ｂ）Ｋ感光体表面上における、ＤＩＤ素
子のミラーがＯＮ状態にて副走査した場合のミラーの７
ｌ−Ｙｓ線に沿う部分に対応する部分における上記第８
図（、）の光ドットの重ねあわせ状態を示す０ ｆａｓ図（ｂ）ＩＩＣ示される各光ドツト分布を合成し
た光量分布を第８図（りＫ示す。ここで、ＤＭＤ素子以
外の光学系による収差のみが存在する場合には点線で示
される様に全体的に均一な光量分布となるが現実には実
線で示される様に不均一な分布となる。
子のミラーがＯＮ状態にて副走査した場合のミラーの７
ｌ−Ｙｓ線に沿う部分に対応する部分における上記第８
図（、）の光ドットの重ねあわせ状態を示す０ ｆａｓ図（ｂ）ＩＩＣ示される各光ドツト分布を合成し
た光量分布を第８図（りＫ示す。ここで、ＤＭＤ素子以
外の光学系による収差のみが存在する場合には点線で示
される様に全体的に均一な光量分布となるが現実には実
線で示される様に不均一な分布となる。
この光量分布の均一度が悪化して（Ｉｎ□−Ｉｍｉｎ）
／ （Ｉｍａｘ ＋ ”ｍ１ｎ）が０．０５ａ度以上に
なると、現像器３１で現像された像にムラが現われる。
／ （Ｉｍａｘ ＋ ”ｍ１ｎ）が０．０５ａ度以上に
なると、現像器３１で現像された像にムラが現われる。
このムラは、現像方式によシ、白ベタ画像中における主
走査方向の黒スジとして、あるいは黒ペタ画像中におけ
る主走査方向の白スジとして現われる。
走査方向の黒スジとして、あるいは黒ペタ画像中におけ
る主走査方向の白スジとして現われる。
以上の様に従来のＤＭＤ素子を含む光走査光学系を用い
た記録装置においては画質の良好なプリントが得られな
いという問題がありた。
た記録装置においては画質の良好なプリントが得られな
いという問題がありた。
この様な問題は、記録装置に限らず、表示装置等の他の
投影装置にお−ても同様に生ずる。表示装置の場合には
、記録装置における感光体のかわシに適宜の表示画面が
用いられ、また副走査は一般に表示画面を固定しておい
て光学系からの光照射位置を移動させるととくよシ行な
われる。
投影装置にお−ても同様に生ずる。表示装置の場合には
、記録装置における感光体のかわシに適宜の表示画面が
用いられ、また副走査は一般に表示画面を固定しておい
て光学系からの光照射位置を移動させるととくよシ行な
われる。
本発明によれば、以上の如き従来技術の問題点を解決す
るものとして、副走査にともなって各ミラー列の揺動ミ
ラーの反射光が受光体上に形成する光ドットの・母ター
ンにおいて副走査方向に隣接する光ドットどうしが互い
に重複する様に、各ミラーの形状及び配置が決められて
込ることを特徴とする、投影装置が提供される。
るものとして、副走査にともなって各ミラー列の揺動ミ
ラーの反射光が受光体上に形成する光ドットの・母ター
ンにおいて副走査方向に隣接する光ドットどうしが互い
に重複する様に、各ミラーの形状及び配置が決められて
込ることを特徴とする、投影装置が提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を示す
。
。
第１図は本発明による投影装置の第１の実施例における
ＤＭＤ素子の部分平面概略図である。尚、本実施例装置
は、上記第４〜６図と同様な構成を有する記録装置であ
るプリンターとして具体化されたものであシ、第４〜６
図の構成部分については説明を省略する。
ＤＭＤ素子の部分平面概略図である。尚、本実施例装置
は、上記第４〜６図と同様な構成を有する記録装置であ
るプリンターとして具体化されたものであシ、第４〜６
図の構成部分については説明を省略する。
第１図に示される様に、本実施例装置においては、Ｄｌ
ｉ！Ｄ素子２７の各ミラー３７の主走査方向に対応する
方向即ちＸ方向の長さはＸ方向のミラー間隔と同一に形
成されている。そして、第１列目のミラープレイと第２
列目のミラーアレイとはちょうどＸ方向のミラー配列ピ
ッチの半分だけずれた状態で千鳥調に配置されている。
ｉ！Ｄ素子２７の各ミラー３７の主走査方向に対応する
方向即ちＸ方向の長さはＸ方向のミラー間隔と同一に形
成されている。そして、第１列目のミラープレイと第２
列目のミラーアレイとはちょうどＸ方向のミラー配列ピ
ッチの半分だけずれた状態で千鳥調に配置されている。
また、本実施例装置においては、第１列目のミラーアレ
イと第２列目のミラーアレイとは副走査ピッチに対応す
る長さよシ短かい長さだけ隔てられている。
イと第２列目のミラーアレイとは副走査ピッチに対応す
る長さよシ短かい長さだけ隔てられている。
従りて、本実施例装置のｍの素子のミラー配列ノ々ター
ンをＹ方向に副走査ピッチに対応するピッチで順次移動
させたミラー配列Ｉり一ンどう、しを重ねあわせると第
２図の様になる。第２図において・ｐｌｌ 参’ｐｔ−
ｇは当所の位置におけるミラー配列パターンであり、と
こで？、−は第１列目のミラーアレイに相当し、ｐｍ−
、ａ第２列目の、ミラーアレイに相当する。Ｐ□−ｔｓ
ｐｓ−１をＹ方向に副走査ピッチに対応する距離だけ移
動させたパターンがＰ１１＊Ｐ１−ｓであシ、更にこれ
らを犀次副走査ピッチに対応する距離だけＹ方向に移動
させたノ々ターンがＰＳ −１ｓ Ｐ ｚ−＠及びＰ
４−１ ＃ Ｉ’４−ｓである。
ンをＹ方向に副走査ピッチに対応するピッチで順次移動
させたミラー配列Ｉり一ンどう、しを重ねあわせると第
２図の様になる。第２図において・ｐｌｌ 参’ｐｔ−
ｇは当所の位置におけるミラー配列パターンであり、と
こで？、−は第１列目のミラーアレイに相当し、ｐｍ−
、ａ第２列目の、ミラーアレイに相当する。Ｐ□−ｔｓ
ｐｓ−１をＹ方向に副走査ピッチに対応する距離だけ移
動させたパターンがＰ１１＊Ｐ１−ｓであシ、更にこれ
らを犀次副走査ピッチに対応する距離だけＹ方向に移動
させたノ々ターンがＰＳ −１ｓ Ｐ ｚ−＠及びＰ
４−１ ＃ Ｉ’４−ｓである。
第３図（＆）に感光体表面上における、師の素子のミラ
ーがＯＮ状態の場合の、該ミラーのＦｌ −ｙｉ線に沿
う部分に対応する部分における光量分布のグラフを示す
。
ーがＯＮ状態の場合の、該ミラーのＦｌ −ｙｉ線に沿
う部分に対応する部分における光量分布のグラフを示す
。
また、第３図伽）に感光体表面上における、ＤＭＤ素子
のミラーがＯＮ律態にて副走査し専場合のミラーのＹｔ
Ｆｌ線に沿う部分に対応する部分における上記第３
．図（＆）の光ドットの重ねあわせ状態を示す。第３図
（ｂ）Ｋ示される様に、本実施例における感光体表面上
での光ドットの光量分布は従来の装置におけると同様に
中央部が強度が大きく且つ周辺部が強度が小さい。とこ
ろが、本実施例においては各ミラーのＹ方向長さが従来
の装置に比べて長いので強度の大きい部分が比較的広い
。そして、隣接する光ドットどうしで１ｍａｘの約半分
の強度の部分がちょうど重なシあう様になって−る。
のミラーがＯＮ律態にて副走査し専場合のミラーのＹｔ
Ｆｌ線に沿う部分に対応する部分における上記第３
．図（＆）の光ドットの重ねあわせ状態を示す。第３図
（ｂ）Ｋ示される様に、本実施例における感光体表面上
での光ドットの光量分布は従来の装置におけると同様に
中央部が強度が大きく且つ周辺部が強度が小さい。とこ
ろが、本実施例においては各ミラーのＹ方向長さが従来
の装置に比べて長いので強度の大きい部分が比較的広い
。そして、隣接する光ドットどうしで１ｍａｘの約半分
の強度の部分がちょうど重なシあう様になって−る。
第３図（ｂ）Ｋ示される各光ドツト分布を合成した光量
分布を第３図（、）に示す。との図から分る様に
゛本実施例装置によ）形成されるベタ画像においては光
量分布の均一度は極めて良い。このため主走査方向に白
スジまたは黒スジが表われることはない。
分布を第３図（、）に示す。との図から分る様に
゛本実施例装置によ）形成されるベタ画像においては光
量分布の均一度は極めて良い。このため主走査方向に白
スジまたは黒スジが表われることはない。
以上の説明においては白ベタ画像または黒ペタ ゛
画像に関し説明したが、一般の画像においても画像の白
部分または黒部分において同様の効果が得られ画像の荒
れがたくなることは容易に理解されるであろう。
画像に関し説明したが、一般の画像においても画像の白
部分または黒部分において同様の効果が得られ画像の荒
れがたくなることは容易に理解されるであろう。
また、以上の実施例はミラー配列パターンが２列千鳥調
の場合であるが１本発明における電気機械変換素子のミ
ラーアレイは１列または３列以上からなる適宜のノ々タ
ーンであってもよい。この場合も上記実施例において説
明したと同様の効果が得られる。
の場合であるが１本発明における電気機械変換素子のミ
ラーアレイは１列または３列以上からなる適宜のノ々タ
ーンであってもよい。この場合も上記実施例において説
明したと同様の効果が得られる。
以上の実施例は投影装置が記録装置である場合について
のものであるが、本発明には投影装置が表示装置等であ
る場合も含、すれる。
のものであるが、本発明には投影装置が表示装置等であ
る場合も含、すれる。
以上の様に、本発明投影装置によれば入力信号に対応し
て画質の良好な画像を形成することができる。
て画質の良好な画像を形成することができる。
第１図は本発明装置のＤＭＤ素子の部分平面図である。
第２図はミラー配列ＡＩターンの重ねあわせ状態を示す
図である。 第３図（−）〜（、）は光量分布のグラフである。 第４図（ａ）〜（、）はＤＭＤ素子の説明図である。 第５図は記録装置の構成図である。 第６図はＤＭＤ素子駆動回路の構成図である。 第７図は従来の記録装置のＤＭＤ素子の部分平面図であ
る。 第８図（、）〜（Ｃ）は光量分布のグラフである。 １３．３７：ミラー揺動部、１４：ひんし部分、１５
、２７ ： ＤＭＤ素子、１９：光走査光学系、２０：
電子写真プロセス、２９：結儂レンズ、３０：感光体。 代理人 弁理士 山 下 穣 子 弟１属 Ｉ 移 第２図 第３艮 第５１ｍ
図である。 第３図（−）〜（、）は光量分布のグラフである。 第４図（ａ）〜（、）はＤＭＤ素子の説明図である。 第５図は記録装置の構成図である。 第６図はＤＭＤ素子駆動回路の構成図である。 第７図は従来の記録装置のＤＭＤ素子の部分平面図であ
る。 第８図（、）〜（Ｃ）は光量分布のグラフである。 １３．３７：ミラー揺動部、１４：ひんし部分、１５
、２７ ： ＤＭＤ素子、１９：光走査光学系、２０：
電子写真プロセス、２９：結儂レンズ、３０：感光体。 代理人 弁理士 山 下 穣 子 弟１属 Ｉ 移 第２図 第３艮 第５１ｍ
Claims (1)
- （１）光源からの光束を入力信号に応じて少なくとも２
方向に偏向せしめ得る揺動ミラーを多数主走査に対応す
る方向に配列してなるミラー列を少なくとも１列有する
電気機械変換素子を含む光走査光学系と、該光学系から
照射せしめられた光が副走査される受光体とを含んでな
る投影装置において、副走査にともなって各ミラー列の
揺動ミラーの反射光が受光体上に形成する光ドットのパ
ターンにおいて副走査方向に隣接するドットどうしが互
いに重複する様に、各ミラーの形状及び配置が決められ
ていることを特徴とする、投影装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60085183A JPS61243476A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 投影装置 |
| US07/180,618 US4793699A (en) | 1985-04-19 | 1988-04-04 | Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60085183A JPS61243476A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 投影装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61243476A true JPS61243476A (ja) | 1986-10-29 |
Family
ID=13851543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60085183A Pending JPS61243476A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 投影装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61243476A (ja) |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP60085183A patent/JPS61243476A/ja active Pending
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