JPS6234460A - 感光フイルムの露光装置 - Google Patents
感光フイルムの露光装置Info
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- JPS6234460A JPS6234460A JP60173126A JP17312685A JPS6234460A JP S6234460 A JPS6234460 A JP S6234460A JP 60173126 A JP60173126 A JP 60173126A JP 17312685 A JP17312685 A JP 17312685A JP S6234460 A JPS6234460 A JP S6234460A
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- Japan
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- photosensitive film
- mirror
- light
- exposure
- filter
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は感光フィルムの露光装置に関し、特に電気的信
号等による画像情報に基づき該画像情報に対応する露光
パターンを感光フィルム上に形成せしめるための露光装
置に関する。
号等による画像情報に基づき該画像情報に対応する露光
パターンを感光フィルム上に形成せしめるための露光装
置に関する。
近年、画像を多数の画素に分割し各画素の光学的特性を
電気信号に変換し、この電気信号の列として画像情報を
取扱うことが広く行なわれている。
電気信号に変換し、この電気信号の列として画像情報を
取扱うことが広く行なわれている。
また、最近では電気的装置により上記電気信号列からな
る画像情報を創出せしめること（たとえばコンピュータ
グラフィック）も行なわれる様になっている。この様に
して電気的装置により取扱われる画像情報は通常陰極線
曽や液晶パネル等の表示手段によシ表示される。
る画像情報を創出せしめること（たとえばコンピュータ
グラフィック）も行なわれる様になっている。この様に
して電気的装置により取扱われる画像情報は通常陰極線
曽や液晶パネル等の表示手段によシ表示される。
ところで、以上の様にして取扱われ表示される画像情報
を感光フィルムに定着せしめ、かくしてたとえばコンピ
ュータグラフィックを映画化することができる。感光フ
ィルムへの画像情報の定着は、従来、レーザー光源全画
像情報の電気信号列により変調しながら感光フィルムに
対しレーザー光を主走査及び副走査して該感光フィルム
を露光し現像処理することにより行なわれていた。
を感光フィルムに定着せしめ、かくしてたとえばコンピ
ュータグラフィックを映画化することができる。感光フ
ィルムへの画像情報の定着は、従来、レーザー光源全画
像情報の電気信号列により変調しながら感光フィルムに
対しレーザー光を主走査及び副走査して該感光フィルム
を露光し現像処理することにより行なわれていた。
しかしながら、上記の様な従来の感光フィルム露光方式
においてはレーデ−光走査のために回転多面鏡が用いら
れておシ、その駆動に比較的大きな動力を必要とし、且
つ１本のレーデ−光を走査するものであるため露光速度
が比較的低く、更に比較的大きなスペースをとるなど、
装置の小型化、軽量化、省エネルギー化、低コスト化及
び露光速度の高速化が困難であるという問題があった。
においてはレーデ−光走査のために回転多面鏡が用いら
れておシ、その駆動に比較的大きな動力を必要とし、且
つ１本のレーデ−光を走査するものであるため露光速度
が比較的低く、更に比較的大きなスペースをとるなど、
装置の小型化、軽量化、省エネルギー化、低コスト化及
び露光速度の高速化が困難であるという問題があった。
本発明によれば、以上の如き従来技術の問題を解決する
ものとして、光源からの光束を少なくとも２方向に偏向
せしめ得る揺動ミラーを多数配列してなる素子を用いて
感光フィルムを露光せしめることを特徴とする、感光フ
ィルムの露光装置が提供される。
ものとして、光源からの光束を少なくとも２方向に偏向
せしめ得る揺動ミラーを多数配列してなる素子を用いて
感光フィルムを露光せしめることを特徴とする、感光フ
ィルムの露光装置が提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。
する。
第１図は本発明装置の第１の実施例を示す概略構成図で
ある。
ある。
図において、２１は光源であり、２２．２４はケーラー
照明光学系を構成する凸レンズであり、２３は該照明光
学系におけるスリット板であり、２５．２６は該照明光
学系における折り曲げミラーであり、２７は微細な揺動
ミラーを有する電気機械変換素子である。電気機械変換
素子２７はケーラー照明光学系により照明される。また
、２８は該電気機械変換素子２７を駆動するための回路
であり、２９は電気機械変換素子２７０反射光を結像せ
しめるための凸レンズであり、３０は連光板である。更
に、３１は感光フィルムである。
照明光学系を構成する凸レンズであり、２３は該照明光
学系におけるスリット板であり、２５．２６は該照明光
学系における折り曲げミラーであり、２７は微細な揺動
ミラーを有する電気機械変換素子である。電気機械変換
素子２７はケーラー照明光学系により照明される。また
、２８は該電気機械変換素子２７を駆動するための回路
であり、２９は電気機械変換素子２７０反射光を結像せ
しめるための凸レンズであり、３０は連光板である。更
に、３１は感光フィルムである。
次に、電気機械変換素子２７の詳細につき説明する０本
実施例において用いられている電気機械変換素子２７は
ＤＶＤ （Ｄｓｆｏｒｍａｂｌａ Ｍｉｒｒｏｒ Ｄ＊
ｖｌｃａ）として知られているものである。
実施例において用いられている電気機械変換素子２７は
ＤＶＤ （Ｄｓｆｏｒｍａｂｌａ Ｍｉｒｒｏｒ Ｄ＊
ｖｌｃａ）として知られているものである。
ＤＭＤに関しては、ＩＥＥＫ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ
ｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃ＠Ｖｏ１．ＥＤ−
３０４５５４４（１９８３）に記述がされ、又光学系に
ついても特開昭５９−１７５２５号公報に開示されてい
る。
ｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃ＠Ｖｏ１．ＥＤ−
３０４５５４４（１９８３）に記述がされ、又光学系に
ついても特開昭５９−１７５２５号公報に開示されてい
る。
以下ＤＭＤの一般的機構について図面に基づき説明する
。
。
第２図（、）にＤＭＤの拡大断面図を示す、１はミラー
構造でＡｔ 、 Ａｇ等の物質で製造され入射元金反射
させる役割を示す。２はｌのミラー構造全支持する基板
でＡｕなどで構成される。３，４は１．２の支持部材で
、３はミラーコンタクトと呼ばれ、特に電気機械動作を
するひんし部を受けるものであり、４はポリオキサイド
Ｓ１の絶縁物質である。
構造でＡｔ 、 Ａｇ等の物質で製造され入射元金反射
させる役割を示す。２はｌのミラー構造全支持する基板
でＡｕなどで構成される。３，４は１．２の支持部材で
、３はミラーコンタクトと呼ばれ、特に電気機械動作を
するひんし部を受けるものであり、４はポリオキサイド
Ｓ１の絶縁物質である。
５はポリシリコンダートでＭＯＢ型ＦＥＴ ）ランシス
ターのダートの役割を示す。６はエアーギャップで、０
．６μ〜数μの空どうである。７はフローティング、フ
ィールドグレートで、８ＯＮ＋フローテイングソースか
らトランジスターのＯＮ、０ＦＦＩ報により７のフロー
テ（ング、フィールドプレートに電圧がかかる。９はＮ
＋ドレインを示す−これもＭＯＳ Ｗ ＦＥＴ トラン
ジスターの構成の役割をする。１０はｆ−トオキサイト
０．１１はＰ型シリコン基板である。
ターのダートの役割を示す。６はエアーギャップで、０
．６μ〜数μの空どうである。７はフローティング、フ
ィールドグレートで、８ＯＮ＋フローテイングソースか
らトランジスターのＯＮ、０ＦＦＩ報により７のフロー
テ（ング、フィールドプレートに電圧がかかる。９はＮ
＋ドレインを示す−これもＭＯＳ Ｗ ＦＥＴ トラン
ジスターの構成の役割をする。１０はｆ−トオキサイト
０．１１はＰ型シリコン基板である。
第２図（ｂ）の第２図（、）のＡ方向からの拡大正面図
であり、１２はエアー空隙で１３は電気機械的に揺動す
るミラー揺動部、１４はひんし部分を示す。
であり、１２はエアー空隙で１３は電気機械的に揺動す
るミラー揺動部、１４はひんし部分を示す。
１５はＤＶＤ表面のミラ一部１３以外のミラー表面を示
す。ＤＶＤはＩＣ又はＬＳＩのプロセスと似た工程で製
作される。
す。ＤＶＤはＩＣ又はＬＳＩのプロセスと似た工程で製
作される。
第２図（ｃ）はＤＭＤ＋７）！気的等価図を示す。１６
は１．２のミラー及び支持部材にかかる電圧Ｖｗ’に示
す。１７は８にかかる電圧Ｖｙｔ’示す、１８はトラン
ジスター構成を示しており、９のＤ（ドレイン）信号、
５０Ｇ（ダート）信号のＯＮ 、ＯＦＦによりＶ、の電
圧が８にＯＮ、ＯＦＦされる。
は１．２のミラー及び支持部材にかかる電圧Ｖｗ’に示
す。１７は８にかかる電圧Ｖｙｔ’示す、１８はトラン
ジスター構成を示しており、９のＤ（ドレイン）信号、
５０Ｇ（ダート）信号のＯＮ 、ＯＦＦによりＶ、の電
圧が８にＯＮ、ＯＦＦされる。
この時１．２に電圧ｖＭがかがっており、１，２と８間
に電位差がＯＮ、ＯＦＦ信号により増減されることにな
る。この時、電位差に応じて６．７間につぎの式に応じ
た力Ｆが生じ、 Ｆ ｃ／３ＫＶ“（Ｋ：定数 Ｖ：電位差α：定数
Ｆ：曲げ力） ミラー１．２はひんじ部１４で揺動される。
に電位差がＯＮ、ＯＦＦ信号により増減されることにな
る。この時、電位差に応じて６．７間につぎの式に応じ
た力Ｆが生じ、 Ｆ ｃ／３ＫＶ“（Ｋ：定数 Ｖ：電位差α：定数
Ｆ：曲げ力） ミラー１．２はひんじ部１４で揺動される。
第２図（ａ）の左図は１，２と８の間に電圧差が大きく
有る場合で、ミラー揺動部１３はひんじ部１４から折れ
曲がり、この作用のため入射光はミラー揺動部１３のふ
れ角の２倍角度をかえて反射される。
有る場合で、ミラー揺動部１３はひんじ部１４から折れ
曲がり、この作用のため入射光はミラー揺動部１３のふ
れ角の２倍角度をかえて反射される。
一方電圧差が少ない場合は第２図（ａ）の右図に示すよ
うに、１，２のミラー揺動部１３は７によりひっばられ
る力が少なく湾曲されない。従って入射光はミラー揺動
部１３のふれない状態で反射されることとなる。ＤＭＤ
は、電気的ＯＮ、０ＦＦｉミラー揺動部１３の揺動のＯ
Ｎ、ＯＦＦに変換し、さらに光のふれ角に変換する。
うに、１，２のミラー揺動部１３は７によりひっばられ
る力が少なく湾曲されない。従って入射光はミラー揺動
部１３のふれない状態で反射されることとなる。ＤＭＤ
は、電気的ＯＮ、０ＦＦｉミラー揺動部１３の揺動のＯ
Ｎ、ＯＦＦに変換し、さらに光のふれ角に変換する。
第３図はＤＭＤ ２７０部部分面図であり、１３はミラ
ー揺動部である。ＤＭＤ ２７においては、ミラー揺動
部１３の配列は第３図に示される様に１方向に各−ミラ
ー揺動部の該方向の長さと同一の長さの間隔を保って２
つのミラー揺動部列が形成され且つ２つのミラー揺動部
列が上記配列方向と直角の方向に重なりあわない様な千
鳥調パターンとされている。 ＤＭＤ ２７におけるミ
ラー揺動部１３０個数はたとえば数十個程度である。尚
、ミラー揺動部１３０大負さはたとえば１０μｍＸ１０
μｍ程度である。
ー揺動部である。ＤＭＤ ２７においては、ミラー揺動
部１３の配列は第３図に示される様に１方向に各−ミラ
ー揺動部の該方向の長さと同一の長さの間隔を保って２
つのミラー揺動部列が形成され且つ２つのミラー揺動部
列が上記配列方向と直角の方向に重なりあわない様な千
鳥調パターンとされている。 ＤＭＤ ２７におけるミ
ラー揺動部１３０個数はたとえば数十個程度である。尚
、ミラー揺動部１３０大負さはたとえば１０μｍＸ１０
μｍ程度である。
次に、第１図における駆動回路２８の詳細につき説明す
る。
る。
第４図は駆動回路２８の概略構成図である０図において
、４１は入力信号増巾器で２値信号の場合はＯＮ、ＯＦ
Ｆ、又アナログ信号の場合はその放に応じｆｃ！圧が出
力される。信号ｄシリーズにつながって通常入力される
のでシリパラ交換器４２でＤＭＤの揺動ミラー数に応じ
た・母うレル信号に変換されレジスター４３にたくわ見
られる。その信号を同期信号により一列分同時に読み出
し、増巾器４４を経て、４６．４７のＤＭＤの２列のミ
ラー揺動部列のドレインに所定の電圧信号がかけられる
。
、４１は入力信号増巾器で２値信号の場合はＯＮ、ＯＦ
Ｆ、又アナログ信号の場合はその放に応じｆｃ！圧が出
力される。信号ｄシリーズにつながって通常入力される
のでシリパラ交換器４２でＤＭＤの揺動ミラー数に応じ
た・母うレル信号に変換されレジスター４３にたくわ見
られる。その信号を同期信号により一列分同時に読み出
し、増巾器４４を経て、４６．４７のＤＭＤの２列のミ
ラー揺動部列のドレインに所定の電圧信号がかけられる
。
一方、デコーダー４５により該同期信号に応じて、ｆ−
）信号ｉ ＤＭＤに与える。このドレイン信号の量、又
有無によって、又列毎のダート信号の有無によってＤＭ
Ｄのフローティングリースの電圧がフローティングフィ
ールドグレートに伝えられ微細揺動ミラーの揺動のＯＮ
、 ＯＦＦの選択が行なわれる。
）信号ｉ ＤＭＤに与える。このドレイン信号の量、又
有無によって、又列毎のダート信号の有無によってＤＭ
Ｄのフローティングリースの電圧がフローティングフィ
ールドグレートに伝えられ微細揺動ミラーの揺動のＯＮ
、 ＯＦＦの選択が行なわれる。
第１図における感光フィルム３１は九とえば銀塩感光フ
ィルムであり、受光量に応じて現像処理後の黒化度が変
化する。
ィルムであり、受光量に応じて現像処理後の黒化度が変
化する。
第１図において、光源２１から発せられた光は凸レンズ
２２、スリット板２３、凸レンズ２４を通り、折り曲げ
ミラー２５．２６によｐ反射せしめられて、ＤＭＤ ２
７に入射する。この際、照明光束はスリット板２３によ
り絞られてＤＭＤ ２７以外には到達しない様になって
いる。 ＤＭＤ ２７は信号に応じて第２図（、）〜（
、）に示した動作原理に従い電気機械的に反応し、ミラ
ー揺動部１３が揺動する。
２２、スリット板２３、凸レンズ２４を通り、折り曲げ
ミラー２５．２６によｐ反射せしめられて、ＤＭＤ ２
７に入射する。この際、照明光束はスリット板２３によ
り絞られてＤＭＤ ２７以外には到達しない様になって
いる。 ＤＭＤ ２７は信号に応じて第２図（、）〜（
、）に示した動作原理に従い電気機械的に反応し、ミラ
ー揺動部１３が揺動する。
光源２１より発せられた照明系の光Ａは照明光学系２２
，２３．２４，２５．２６を通って、ＤＭＤ２７のミラ
ーアレイ部をスリット状に照明する。
，２３．２４，２５．２６を通って、ＤＭＤ２７のミラ
ーアレイ部をスリット状に照明する。
照射された光ＡはＤＭＤ ２７上のミラーアレイの何個
のミラー揺動部の状況がＯＦＦの場合は当該ミラーによ
る反射光Ｃの方向に向かい遮光板３０で遮光され、感光
フィルム３１上には光がとどかない。
のミラー揺動部の状況がＯＦＦの場合は当該ミラーによ
る反射光Ｃの方向に向かい遮光板３０で遮光され、感光
フィルム３１上には光がとどかない。
０Ｎｆ）、１４１合にＦｉＢ方向に光が反射され結像レ
ンズ２９に入射し当該ミラー揺動部に相応したドツトパ
ターンが感光フィルム３１上に結ばれ、これにより露光
が行なわれる。
ンズ２９に入射し当該ミラー揺動部に相応したドツトパ
ターンが感光フィルム３１上に結ばれ、これにより露光
が行なわれる。
かくして、ＤＭＤ ２７における各ミラー揺動部１３に
光学的に対応する感光フィルム部分（各画素）の露光が
完了する。この際、感光フィルム３１の千鳥調配列の画
素部分は一時に各画素に関する信号に基づく露光量にて
露光される。
光学的に対応する感光フィルム部分（各画素）の露光が
完了する。この際、感光フィルム３１の千鳥調配列の画
素部分は一時に各画素に関する信号に基づく露光量にて
露光される。
次に、感光フィルム３１″ｆｔ第１図における矢印Ｘの
向きに適宜のピッチだけ移動させた後に、この配置にお
けるＤＭＤ ２７の各ミラー揺動部１３に光学的に対応
する感光フィルム３１の千鳥調配列画素部分が当該画素
部分に関する信号に基づく露光蓋にて露光される。
向きに適宜のピッチだけ移動させた後に、この配置にお
けるＤＭＤ ２７の各ミラー揺動部１３に光学的に対応
する感光フィルム３１の千鳥調配列画素部分が当該画素
部分に関する信号に基づく露光蓋にて露光される。
以下同様にして感光フィルム３１の移動と所定の信号に
基づく露光とを繰返すことにより、感光フィルム全面を
所望の画像情報に基づき露光することができる。
基づく露光とを繰返すことにより、感光フィルム全面を
所望の画像情報に基づき露光することができる。
かくして露光されたフィルムを所定の現像処理に付する
ことにより入力画像情報に対応した白黒画像が得られる
。
ことにより入力画像情報に対応した白黒画像が得られる
。
ＤＭＤ ２７のミラー揺動部１３を結像レンズ２９によ
り感光フィルム３１上に等倍にて結像する場合でも上記
ミラー揺動部は微細であるので、微細且つ解像度の極め
て高い画像露光が可能であり、かくして露光され現像処
理されたフィルムを拡大投影用として使用することも十
分に可能である。
り感光フィルム３１上に等倍にて結像する場合でも上記
ミラー揺動部は微細であるので、微細且つ解像度の極め
て高い画像露光が可能であり、かくして露光され現像処
理されたフィルムを拡大投影用として使用することも十
分に可能である。
尚、結像レンズ２９によるミラー揺動部１３の感光フィ
ルム３１上への結像の倍率は必要に応じて拡大倍率また
は縮小倍率とすることができる。
ルム３１上への結像の倍率は必要に応じて拡大倍率また
は縮小倍率とすることができる。
ＤＭＤ ２７のミラー揺動部１３の揺動の応答速度は容
易に５μｓｅｃ以下とすることができ、従って露光速度
を極めて大きくすることが可能となる。
易に５μｓｅｃ以下とすることができ、従って露光速度
を極めて大きくすることが可能となる。
第５図は本発明装置の第２の実施例を示す概略構成図で
ある０本実施例はカラー感光フィルムに対しカラー画像
を露光せしめるためのものである。
ある０本実施例はカラー感光フィルムに対しカラー画像
を露光せしめるためのものである。
図において、第１図におけると同様の部材には同一の符
号が付されており、それらの説明はここでは省略する。
号が付されており、それらの説明はここでは省略する。
本実施例においては、レンズ２４と折り曲げミラー２５
との間にフィルタ装置３２が配置されている。該フィル
タ装置は赤色フィルタ３２ａ１緑色フィルタ３２ｂ及び
青色フィルタ３２ｅを有して訃り、これらフィルタは°
軸３３のまわりに矢印Ｙ方向に回転することができる。
との間にフィルタ装置３２が配置されている。該フィル
タ装置は赤色フィルタ３２ａ１緑色フィルタ３２ｂ及び
青色フィルタ３２ｅを有して訃り、これらフィルタは°
軸３３のまわりに矢印Ｙ方向に回転することができる。
かくして、光束中に上記３種類のフィルタを順次介在せ
しめることによシ、感光フィルム３１上に順次赤色ドツ
ト、緑色ドツト及び青色ドラトラ形成することができる
。
しめることによシ、感光フィルム３１上に順次赤色ドツ
ト、緑色ドツト及び青色ドラトラ形成することができる
。
本実施例において、感光フィルム３１はカラー感光フィ
ルムであり、所定の現像処理により赤色発色、緑色発色
及び青色発色が可能である。これらの発色の程度は、赤
色は露光に用いられた光の赤色成分の強度により、緑色
はｇ＋に用いられた光の緑色成分の強度により、青色は
露光に用いられた光の青色成分の強度により決まる。
ルムであり、所定の現像処理により赤色発色、緑色発色
及び青色発色が可能である。これらの発色の程度は、赤
色は露光に用いられた光の赤色成分の強度により、緑色
はｇ＋に用いられた光の緑色成分の強度により、青色は
露光に用いられた光の青色成分の強度により決まる。
本実施例においては、駆動回路２８に入力せしめられる
画像情報として、各画素を赤色、緑色及び青色の３色に
色分解した信号を用い、先ず赤色信号に基づきＤＭＤ
２７を駆動し、この際フィルタ装置３２を駆動して光束
中に赤色フィルタ３２ｍを介在せしめ、これにより感光
フィルム３１上に所定の赤色ドツトパターンを形成して
感光が行なわれる０次に、感光フィルム３１ｔ−移動さ
せることなく且つフィルタ装置３２を回転させて緑色フ
ィルタ３２ｂｆ：光束中に介在せしめた上で、緑色信号
に基づきＤＭＤ ２７を駆動することにより感光フィル
ム３１上に所定の緑色ドツトパターンを形成して感光が
行なわれる。続いて、同様にして感光フィルム３１を移
動させることなく且つフィルタ装置３２を回転させて青
色フィルタ３２ｃ’ｉ光束中に介在せしめた上で、青色
信号に基づきＤＭＤを駆動することにより感光フィルム
上に所定の青色ドツトノンターンを形成して感光が行な
われる。
画像情報として、各画素を赤色、緑色及び青色の３色に
色分解した信号を用い、先ず赤色信号に基づきＤＭＤ
２７を駆動し、この際フィルタ装置３２を駆動して光束
中に赤色フィルタ３２ｍを介在せしめ、これにより感光
フィルム３１上に所定の赤色ドツトパターンを形成して
感光が行なわれる０次に、感光フィルム３１ｔ−移動さ
せることなく且つフィルタ装置３２を回転させて緑色フ
ィルタ３２ｂｆ：光束中に介在せしめた上で、緑色信号
に基づきＤＭＤ ２７を駆動することにより感光フィル
ム３１上に所定の緑色ドツトパターンを形成して感光が
行なわれる。続いて、同様にして感光フィルム３１を移
動させることなく且つフィルタ装置３２を回転させて青
色フィルタ３２ｃ’ｉ光束中に介在せしめた上で、青色
信号に基づきＤＭＤを駆動することにより感光フィルム
上に所定の青色ドツトノンターンを形成して感光が行な
われる。
カくシて、感光フィルム３１上の同一ドツトには赤色感
光と緑色感光と青色感光とが重複し７てなされたことに
なる。
光と緑色感光と青色感光とが重複し７てなされたことに
なる。
次に、上記第１の実施例の場合と同様にして感光フィル
ム３１を第５図における矢印Ｘの向きに適宜のピッチだ
け移動させた後に、上記と同様に所定の赤色信号、緑色
信号及び青色信号に基づく赤色露光、緑色露光及び青色
露光が行なわれ、以下同様にして感光フィルム全面を所
望のカラー画像情報に基づき露光することができる。
ム３１を第５図における矢印Ｘの向きに適宜のピッチだ
け移動させた後に、上記と同様に所定の赤色信号、緑色
信号及び青色信号に基づく赤色露光、緑色露光及び青色
露光が行なわれ、以下同様にして感光フィルム全面を所
望のカラー画像情報に基づき露光することができる。
かくして露光されたフィルムを所定の現像処理に付する
ことにより入力画像情報に対応したカラー画像が得られ
る。
ことにより入力画像情報に対応したカラー画像が得られ
る。
従来のレーデ−光を用いる方法でカラー感光フィルムを
露光しようとすると光源でおるレーザーとして各々発光
波長の異なる３種類のものを使用せねばならず装置が大
型化しコスト高となるが、以上の様な本発明の実施例に
おいては光源は白色光源のみでよく単にフィルタ装置金
膜けるのみでよいので構成は極めて簡単−なり、小型化
及び低コスト化が可能となる。
露光しようとすると光源でおるレーザーとして各々発光
波長の異なる３種類のものを使用せねばならず装置が大
型化しコスト高となるが、以上の様な本発明の実施例に
おいては光源は白色光源のみでよく単にフィルタ装置金
膜けるのみでよいので構成は極めて簡単−なり、小型化
及び低コスト化が可能となる。
以上の実施例においてはフィルタ装置が凸レンズ２４と
折り曲げミラー２５との間に配置されているが、本発明
においてはフィルタ装置は光源２１から感光フィルム３
１の位置゛までの光路中の任意の位置に配置することが
できる。
折り曲げミラー２５との間に配置されているが、本発明
においてはフィルタ装置は光源２１から感光フィルム３
１の位置゛までの光路中の任意の位置に配置することが
できる。
また、本発明にお・いてはフィルタ装置としては上記実
施例に示される様な回転式のものの外に各フィルタを光
路中に挿入できるもの全てが含まれる。
施例に示される様な回転式のものの外に各フィルタを光
路中に挿入できるもの全てが含まれる。
又前記した、フィルタ装置の各フィルタをＮＤフィルタ
にすることにより白黒画像の書き込みの場合、同動作で
、階調表現が可能になる。この時各Ｎ［）フィルタの透
過率がそれぞれ異なる様にしておけばより多値の階調表
現が可能になる。
にすることにより白黒画像の書き込みの場合、同動作で
、階調表現が可能になる。この時各Ｎ［）フィルタの透
過率がそれぞれ異なる様にしておけばより多値の階調表
現が可能になる。
例えば、３種の異なるＮＤフィルタを用いた場合、その
組み合わせにより最大８階調が表現できる。
組み合わせにより最大８階調が表現できる。
以上の様な本発明装置によれば、機械的に駆動される部
分を着るしく小さくし且つ同時に多くの画素の感光を行
なうことができるので、簡単な構成で装置の小型化、軽
量化、省エネルギー化及び露光速度の高速化、更には露
光画像の高解像度化が可能になる。
分を着るしく小さくし且つ同時に多くの画素の感光を行
なうことができるので、簡単な構成で装置の小型化、軽
量化、省エネルギー化及び露光速度の高速化、更には露
光画像の高解像度化が可能になる。
第１図及び第５図は本発明装置の構成図である。
第２図（、）〜（ｃ）はＤＭＤの説明図である。
第３図はＤＶＤの部分平面図である。
第４図はＤＭＤの駆動回路の構成図である。
１３：ミラー揺動部 】４：ひんじ部分 ２１：光源
２２ 、２４ 、２９ ：凸レンズ ２３ニスリツト板
２５ 、２６ ：折り曲げミラー ２７：ＤＭＤ２８
：駆動回路 ３ｏ：遮光板 ３１：感光フィルム 代理人 弁理士 山 下 嬢 平 第１図 第３図 第２図 第４図 第５図 墜 一τ０
２２ 、２４ 、２９ ：凸レンズ ２３ニスリツト板
２５ 、２６ ：折り曲げミラー ２７：ＤＭＤ２８
：駆動回路 ３ｏ：遮光板 ３１：感光フィルム 代理人 弁理士 山 下 嬢 平 第１図 第３図 第２図 第４図 第５図 墜 一τ０
Claims (5)
- （１）画像情報に対応する露光パターンを感光フィルム
上に形成せしめるための露光装置において、光源からの
光束を少なくとも２方向に偏向せしめ得る揺動ミラーを
多数配列してなる素子を用いて感光フィルムを露光せし
めることを特徴とする、感光フィルムの露光装置。 - （２）１種以上のフィルタを有するフィルタ装置が設け
られており、該フィルタ装置の各フィルタは光源から感
光フィルムに至る光路中に挿入可能である、特許請求の
範囲第１項の感光フィルムの露光装置。 - （３）フィルタ装置の各フィルタがバンドパスフィルタ
である、特許請求の範囲第２項の感光フィルムの露光装
置。 - （４）フィルタ装置の各フィルタがＮＤフィルタである
、特許請求の範囲第２項の感光フィルムの露光装置。 - （５）ＮＤフィルタの透過率がそれぞれ異なる、特許請
求の範囲第４項の感光フィルムの露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173126A JPS6234460A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 感光フイルムの露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173126A JPS6234460A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 感光フイルムの露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234460A true JPS6234460A (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15954610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60173126A Pending JPS6234460A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 感光フイルムの露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234460A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR950022934A (ko) * | 1993-12-03 | 1995-07-28 | 윌리엄 이. 힐러 | 수평 해상도를 향상시키기 위한 dmd 아키텍처 |
| WO1997021144A1 (de) * | 1995-12-07 | 1997-06-12 | Agfa-Gevaert Ag | Verfahren und vorrichtung zur aufzeichnung von bildern mittels elektronischer bildsignale |
| US5684566A (en) * | 1995-05-24 | 1997-11-04 | Svg Lithography Systems, Inc. | Illumination system and method employing a deformable mirror and diffractive optical elements |
| US6238852B1 (en) * | 1999-01-04 | 2001-05-29 | Anvik Corporation | Maskless lithography system and method with doubled throughput |
| CN107870506A (zh) * | 2016-09-26 | 2018-04-03 | 康达智株式会社 | 图案形成片、图案制造装置、图案制造方法及图案制造程序 |
| JP2019174851A (ja) * | 2014-01-22 | 2019-10-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 極紫外光源 |
-
1985
- 1985-08-08 JP JP60173126A patent/JPS6234460A/ja active Pending
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| JP2018054665A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | カンタツ株式会社 | パターン形成用シート、パターン製造装置、パターン製造方法およびパターン製造プログラム |
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