JPS612451U - 基板ホルダ装置 - Google Patents
基板ホルダ装置Info
- Publication number
- JPS612451U JPS612451U JP8663884U JP8663884U JPS612451U JP S612451 U JPS612451 U JP S612451U JP 8663884 U JP8663884 U JP 8663884U JP 8663884 U JP8663884 U JP 8663884U JP S612451 U JPS612451 U JP S612451U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder device
- board holder
- ring
- substrate
- view
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 210000001217 buttock Anatomy 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の截断側面図、第２図は第１図
の下面図、第３図及び第４図は夫々第２図の■−■線及
びＩＶ−ＩＶ線の拡大断面図、第５図は円形ホルダの下
面図、第６図は環状ホルダの平面図、第７図は第６図の
■−■線の拡大断面図、第８図はリングの分解斜視図、
第９図はばね部材の平面図、第１０図は支軸の平面図、
第１１図は−その側面図、第１２図は従来例の截断側面
図、第１３図は第１２図の下面図、第１４図は第１３図
のＸ’ＩＶ − Ｘ ＩＶ線部分の断面図である。 １・・・・・・基板電極、・２′・・・・・・前面、３
・・・・・・透孔、４・・・・・・革板ホルダ、５・・
・・・・基板、６・・・・・・リング、７・・・・・・
凹溝、訃・・・・・支軸。
の下面図、第３図及び第４図は夫々第２図の■−■線及
びＩＶ−ＩＶ線の拡大断面図、第５図は円形ホルダの下
面図、第６図は環状ホルダの平面図、第７図は第６図の
■−■線の拡大断面図、第８図はリングの分解斜視図、
第９図はばね部材の平面図、第１０図は支軸の平面図、
第１１図は−その側面図、第１２図は従来例の截断側面
図、第１３図は第１２図の下面図、第１４図は第１３図
のＸ’ＩＶ − Ｘ ＩＶ線部分の断面図である。 １・・・・・・基板電極、・２′・・・・・・前面、３
・・・・・・透孔、４・・・・・・革板ホルダ、５・・
・・・・基板、６・・・・・・リング、７・・・・・・
凹溝、訃・・・・・支軸。
Claims (1)
- 基板電極１の前面２に透孔３を有する板状の基板ホルダ
４を設け、該透孔３内にスパッタリングのそめ他の処理
が施される基板５をリング６を設けて取付ける式のもの
に於で、該リング６の外周面６ａにその周方向の凹再７
を形成し、該基板ホルダ４に前記凹溝７と係合する支軸
８を肴脱自在に設けて成る基板ホルダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8663884U JPS612451U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 基板ホルダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8663884U JPS612451U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 基板ホルダ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS612451U true JPS612451U (ja) | 1986-01-09 |
| JPH0226936Y2 JPH0226936Y2 (ja) | 1990-07-20 |
Family
ID=30638131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8663884U Granted JPS612451U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 基板ホルダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS612451U (ja) |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP8663884U patent/JPS612451U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0226936Y2 (ja) | 1990-07-20 |
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