JPS61245219A - 電気部品高温試験装置の温度制御方式 - Google Patents

電気部品高温試験装置の温度制御方式

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JPS61245219A
JPS61245219A JP8537985A JP8537985A JPS61245219A JP S61245219 A JPS61245219 A JP S61245219A JP 8537985 A JP8537985 A JP 8537985A JP 8537985 A JP8537985 A JP 8537985A JP S61245219 A JPS61245219 A JP S61245219A
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JP
Japan
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temperature
thermostat
heating value
load
high temperature
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Pending
Application number
JP8537985A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Onoyama
小野山 明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asia Electronics Co
Original Assignee
Asia Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Asia Electronics Co filed Critical Asia Electronics Co
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Publication of JPS61245219A publication Critical patent/JPS61245219A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00Control of temperature
    • G05D23/19Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G05D23/1919Control of temperature characterised by the use of electric means characterised by the type of controller

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置などの電気部品の高温試験装置の温
度制御方式に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
一般に、半導体集積回路などの電気部品の高温試験装置
において恒温器内の温度は、供試部品の負荷発熱または
試験条件によシ大きく変動する。この負荷発熱量は、同
装置の温度特性に無視できないはど大きなものである。
この熱を冷却するために、安価な方法として外気を吸入
する方法がある。従来はこの吸気量を実験的に目安を定
めて単に吸入していたため、適切な制御は望めなかりた
。従りて恒温器の加熱ヒータは、温度調節計で制御して
も上記冷却の仕方が適切でないため、熱効率の低下とい
う欠点があった。また吸気口部の外気との断熱も機構上
実施が困難なため、熱エネルギーの損失があった。
〔発明の目的〕
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、電気部品高
温試験装置の恒温器の吸気量を、負荷発熱量に応じて自
動制御することによシ、温度上昇特性即ち恒温器の加熱
開始から高温に至るまでの時間短縮を行ない、また高温
定常時の運転において熱エネルギーの損失を減少させよ
うとするものである。
〔発明の概要〕
本発明は、電気部品高温試験装置の恒温器のうち外気換
気による温度制御方式において、前記恒温器の吸気口部
にファンモータ及び吸気口部の開閉機構を設け、負荷発
熱部にその電圧または電流による発熱量を算出する手段
を設け、前記負荷発熱部の発熱量に応じた前記7アンモ
ータの速度制御及び吸気風量を制御するファンモータ速
度制御手段を設けたことを特徴とするものである。
〔発明の実施例〕
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。図中
1は加熱ヒータで、これは恒温器8内の温度センサ9と
温度調節計10によ多制御される。2はファンモータで
、モータ速度制御部1ノによシ速度制御され、冷却用吸
気を行なう、3は供試デバイスによる負荷発熱部で、デ
バイス種類、数量、試験条件によシ発熱量が異なる。4
は負荷発熱量を検出するためのセンサで、分流器等によ
り構成される。5は吸気口を外気と遮断するための開閉
器で、吸気時にファンの圧力で自動的に開く。6は排気
ロダンノ卆で、恒温器の内部圧力が高くなると自動的に
開き、排気を行なう。7は恒温器8内の温度を均一にす
るための攪拌用モータ、9は恒温器8の内部温度を検出
するためのセンサで、温度調節計10、モータ速度制御
部11の入力となる。12は負荷発熱量算出部で、セン
サ4による検出電流をもとに供試デバイスによる発熱量
を算出する。
上記構成のものにあっては、恒温器を始動すると、温度
調節計10によシ加熱ヒータ1が通電され、温度が上昇
しはじめる。このとき吸気口部の開閉器5は閉じておシ
、外気は完全に遮断されている。内部温度が設定値の9
0%に達したことが検知されると、温度調節計10がP
■・D制御範囲に入シ、また負荷発熱量に応じてファン
モータ2により吸気ファンが回り、冷却が開始される。
このとき開閉器5はファンの風圧によシ自動的に開き、
恒温器8の内へ外気を導入する。
センサ4では負荷発熱の電流(又は電圧)を検出し、印
加電圧を乗することによシ負荷発熱量算出部12では、
負荷発熱の熱量を算出してこれに比例した必要な冷却熱
量を求める。印加電圧は通常既知であるが、必要ならば
検出することになる。冷却熱量をファンによる冷却風量
Q (L/5taa ]に換算するには、負荷発熱量q
〔kW〕、オープン内、外の温度差T [:C:lよシ
Q=830q/Tで定められ、この風量はファンモータ
の回転数によ多制御できるので、使用するファンモータ
の回転数−風量特性よシ制御値を決定するものである。
〔発明の効果〕
以上説明した如く本発明によれば、負荷発熱を利用し、
また吸気口開閉器で吸気量を制御するようにしたので、
恒温器の温度上昇が短縮され、また恒温器の高温運転時
の熱エネルギーの損失が減少されるものである。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例の構成図である。 1・・・加熱ヒータ、2・・・ファンモータ、3・・・
負荷発熱部、4・・・負荷電圧、電流検出センナ、5・
・・吸気口開閉器、6・・・排気ロダン・母、7・・・
内部攪拌用ファンモータ、8・・・恒温器、9・・・温
度センサ、10・・・温度調節計、11・・・モータ速
度制御器、12・・・負荷発熱量算出部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 電気部品高温試験装置の恒温器のうち外気換気による温
    度制御方式において、前記恒温器の吸気口部にファンモ
    ータ及び前記吸気口部の開閉機構を設け、負荷発熱部に
    その電圧または電流による発熱量を算出する手段を設け
    、前記負荷発熱部の発熱量に応じた前記ファンモータの
    速度制御及び吸気風量を制御するファンモータ速度制御
    手段を設けたことを特徴とする電気部品高温試験装置の
    温度制御方式。
JP8537985A 1985-04-23 1985-04-23 電気部品高温試験装置の温度制御方式 Pending JPS61245219A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02115908A (ja) * 1988-10-25 1990-04-27 Meidensha Corp 内燃力発電所等における予測発熱量演算換気システム
JPH0544234U (ja) * 1991-11-22 1993-06-15 株式会社アドバンテスト Ic試験用恒温槽
CN106368976A (zh) * 2016-11-30 2017-02-01 淮北矿业股份有限公司 一种矿井冷却风机恒温变频调速装置
CN109828176A (zh) * 2019-03-14 2019-05-31 武汉理工大学 一种新能源汽车电机电池高低温循环测试系统

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