JPS61246362A - スパツタ用タ−ゲツトの作製法 - Google Patents
スパツタ用タ−ゲツトの作製法Info
- Publication number
- JPS61246362A JPS61246362A JP8536685A JP8536685A JPS61246362A JP S61246362 A JPS61246362 A JP S61246362A JP 8536685 A JP8536685 A JP 8536685A JP 8536685 A JP8536685 A JP 8536685A JP S61246362 A JPS61246362 A JP S61246362A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- powder
- sputtering
- pressure medium
- pressurized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 7
- 239000007858 starting material Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- -1 as shown in Fig. 1 Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はスパッタ用ターゲットの作製法に関するもので
ある。
ある。
（従来の技術）
スパッタリングによる薄膜製造技術の進歩により、特殊
組成のスパッタ用ターゲットが要求されるようになった
。これらのスパッタ用ターゲットは従来の溶製法では合
金元素の偏析、インゴットの冷却時の割れ、加工困難な
どの問題があり、要望組成、形状のターゲットの製造が
不可能な場合が多く、粉末冶金法による製造が採用され
ている。
組成のスパッタ用ターゲットが要求されるようになった
。これらのスパッタ用ターゲットは従来の溶製法では合
金元素の偏析、インゴットの冷却時の割れ、加工困難な
どの問題があり、要望組成、形状のターゲットの製造が
不可能な場合が多く、粉末冶金法による製造が採用され
ている。
この粉末冶金法でも圧密度の不足、加工時の割れにより
健全なターゲットを得るのは困難であり、また、焼結雰
囲気やカーボンヒータ加熱の場合は、ヒーター材からの
不純物の混入も問題となる。
健全なターゲットを得るのは困難であり、また、焼結雰
囲気やカーボンヒータ加熱の場合は、ヒーター材からの
不純物の混入も問題となる。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来技術では健全なターゲットを得るのは困難であ
り、本発明は健全な形状のスパッタ用ターゲットの作製
法を提供することを目的とする。
り、本発明は健全な形状のスパッタ用ターゲットの作製
法を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点を解決するために、粉末を所定形状
の缶に入れて成形を行ない、缶ごとホットプレスにより
圧力媒体を介して圧力を加えて焼結させ、加工するもの
である。
の缶に入れて成形を行ない、缶ごとホットプレスにより
圧力媒体を介して圧力を加えて焼結させ、加工するもの
である。
（作 用）
本発明によれば、圧力媒体を介して圧力を加えるので圧
力が均一に伝達される。
力が均一に伝達される。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。光磁
気記録媒体の一つである２５ａｔ％Ｔｂ−７５ａｔ％Ｆ
ｅ膜を製造するターゲット用に、第１図に示すように、
上記組成の粉末１ａを内径１００ｍ＋ａ、深さ９ｍｍ、
肉厚３ｍｍの軟鋼製の缶２に入れ、厚さ３ＩＩｌｌの上
ぶた３によりふたをして、圧力１５８ ｔｏｎで成形し
た。
気記録媒体の一つである２５ａｔ％Ｔｂ−７５ａｔ％Ｆ
ｅ膜を製造するターゲット用に、第１図に示すように、
上記組成の粉末１ａを内径１００ｍ＋ａ、深さ９ｍｍ、
肉厚３ｍｍの軟鋼製の缶２に入れ、厚さ３ＩＩｌｌの上
ぶた３によりふたをして、圧力１５８ ｔｏｎで成形し
た。
上記成形体を、第２図に示すように下パンチ５の上にの
せ、ダイス７と上バンチ５で囲まれた内部空間に圧力媒
体４としてＡ１２０ａを入れ、ホットプレスにセットし
た。下バンチ５を固定し、上バンチ６に圧力２２５ｋｇ
／ｃｍＱを加えながら真空中において、ヒータ８により
１０５０℃で焼結した。この焼結体をホットプレスより
取出し、第３図に示すように上ぶた３の削り取りと缶２
の外面加工を行なってターゲット１ｂを得た。
せ、ダイス７と上バンチ５で囲まれた内部空間に圧力媒
体４としてＡ１２０ａを入れ、ホットプレスにセットし
た。下バンチ５を固定し、上バンチ６に圧力２２５ｋｇ
／ｃｍＱを加えながら真空中において、ヒータ８により
１０５０℃で焼結した。この焼結体をホットプレスより
取出し、第３図に示すように上ぶた３の削り取りと缶２
の外面加工を行なってターゲット１ｂを得た。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明によれば粉末を缶に入れて缶
ごと圧力媒体を介して焼結、加工するので、健全な形の
ターゲツト材を得ることが出来るという効果を右する。
ごと圧力媒体を介して焼結、加工するので、健全な形の
ターゲツト材を得ることが出来るという効果を右する。
第１図は、粉末を缶に入れ、上ぶたをした状態を示す断
面図、第２図は、焼結時のホットプレスにおりるセラ１
〜状態を示す断面図、第３図はターゲット加工後の断面
図である。 １ａ・・・粉末、２・・・缶、３・・・上ぶた、４・・
・圧力媒体、１ｂ・・・ターゲット＠ 第１図 手 続 補 正 書 昭和６０年８月１３日 特許庁長官 学 賀 道 部 殿 １、事件の表示 ′ □ □昭和６０年特許願第８５３６６号 ２、発明の名称 スパッタ用ターゲットの作製法 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人 住所 東京都千代田区丸の内二丁目１番２号名称 （
５０８） 日 立 金 属 株式会社代表者松野浩二 ４、代理人〒１０５ ５、補正命令の日付 な しく自発補正）６、補
正により増加する発明の数 な し７、補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の−。〜８、補正の
内容 （１）明細書第３頁第９行の「上バンチ５」を「上バン
チ６」に訂正する。 （２）同−同頁第１１行の「下バンチ５」を「上パンチ
６」に訂正する。 （３）同門同頁第１２行の「上パンチ６」を「下バンチ
５」に訂正する。
面図、第２図は、焼結時のホットプレスにおりるセラ１
〜状態を示す断面図、第３図はターゲット加工後の断面
図である。 １ａ・・・粉末、２・・・缶、３・・・上ぶた、４・・
・圧力媒体、１ｂ・・・ターゲット＠ 第１図 手 続 補 正 書 昭和６０年８月１３日 特許庁長官 学 賀 道 部 殿 １、事件の表示 ′ □ □昭和６０年特許願第８５３６６号 ２、発明の名称 スパッタ用ターゲットの作製法 ３、補正をする者 事件との関係 特 許 出願人 住所 東京都千代田区丸の内二丁目１番２号名称 （
５０８） 日 立 金 属 株式会社代表者松野浩二 ４、代理人〒１０５ ５、補正命令の日付 な しく自発補正）６、補
正により増加する発明の数 な し７、補正の対象
明細書の「発明の詳細な説明」の−。〜８、補正の
内容 （１）明細書第３頁第９行の「上バンチ５」を「上バン
チ６」に訂正する。 （２）同−同頁第１１行の「下バンチ５」を「上パンチ
６」に訂正する。 （３）同門同頁第１２行の「上パンチ６」を「下バンチ
５」に訂正する。
Claims (2)
- （１）スパッタ用ターゲットの作製において、粉末を所
定形状の缶に入れて、加圧、焼結、加工を行なうことを
特徴とするスパッタ用ターゲットの作製法。 - （２）特許請求範囲第１項において、加圧を粉末状圧力
媒体を介して行なうスパッタ用ターゲットの作製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8536685A JPS61246362A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | スパツタ用タ−ゲツトの作製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8536685A JPS61246362A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | スパツタ用タ−ゲツトの作製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61246362A true JPS61246362A (ja) | 1986-11-01 |
Family
ID=13856716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8536685A Pending JPS61246362A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | スパツタ用タ−ゲツトの作製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61246362A (ja) |
-
1985
- 1985-04-23 JP JP8536685A patent/JPS61246362A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4673549A (en) | Method for preparing fully dense, near-net-shaped objects by powder metallurgy | |
| US3982934A (en) | Method of forming uniform density articles from powder metals | |
| US4341557A (en) | Method of hot consolidating powder with a recyclable container material | |
| GB1335489A (en) | Method for making powder metallurgy shapes | |
| US4455278A (en) | Method for producing an object on which an exterior layer is applied by thermal spraying and object, in particular a drill bit, obtained pursuant to this method | |
| US4526747A (en) | Process for fabricating parts such as gas turbine compressors | |
| NO763784L (ja) | ||
| US4365679A (en) | Drill bit | |
| TW400260B (en) | Net shaped dies and molds and method for producing the same | |
| ATE2489T1 (de) | Verfahren zur herstellung von presslingen aus metallpulver. | |
| JPS5966941A (ja) | モ−ルドの製造方法 | |
| CA1162182A (en) | Method for producing an improved layer particular for a drill bit | |
| JPH0354189B2 (ja) | ||
| JPS61246362A (ja) | スパツタ用タ−ゲツトの作製法 | |
| US2510546A (en) | Manufacture of precision articles from powdered material | |
| US3518336A (en) | Method of forming a compact article of particulate material | |
| JP3252446B2 (ja) | 熱間静水圧加圧成形用のカプセルおよび熱間静水圧加圧成形方法 | |
| GB933440A (en) | Improvements in or relating to electrical contact members and processes for producing the same | |
| JPS58197202A (ja) | 注型圧力伝達器による材料の固化方法 | |
| US4534937A (en) | Process for sintering aluminum alloy powders under pressure | |
| JPS61190008A (ja) | 粉末冶金法による熱間押出しクラツド金属管の製造方法 | |
| JPH07238303A (ja) | 高融点金属ターゲット材の成形方法 | |
| JPS6393802A (ja) | 熱間静水圧プレス成形方法 | |
| SU727276A1 (ru) | Способ изготовлени бандажированных матриц | |
| JPH01306065A (ja) | 鋳造品の肉盛方法 |