JPS6125077A - 試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置等の耐湿性試験に用いられる試験装
置に関するものである。

〔従来技術〕

耐湿性の試験法として、恒温恒湿保管、恒温恒湿バイア
ス試験等があるが、被試験素子の高信頼度化に伴ない、
評価時間が長期化している。

そこで、現在ではこれらの加速試験法としてプレッシャ
ークツカー試験及びプレッシャークツカーバイアス試験
が採用されている。

第２図は従来のプレッシャークツカー試験装置の概略を
示す。水１を溜めた水槽２に設けた加湿ヒーター３と、
加熱ヒーター４とにより試験室５の内部の温度及び湿度
を規定値に保っている。

被試験サンプル６は、プレッシャークツカー試験であれ
ば、水槽２の上方に設けた金網７の上に置く。又プレッ
シャークツカーバイアス試験であれば、被試験サンプル
６を支持棒８に接続された試験パネル１６に装着し、電
源端子９からリード線１０を介してバイアスを加える。

〔発明が解決しようとする問題点〕

さて、試験室５の内部は高温高湿、例えば１２５’Ｃ，
１００％になっている為、扉１１を開けると、外気の侵
入と同時に、被試験サンプル６上に露結してしまい、ま
た入れるときにもサンプルの温度が低い為、被試験サン
プル６上に露結する。この様に直接水滴が付着したとき
の耐湿性レベルは低下しており、本当のレベルを表わし
ていない。

本発明はプレッシャークツカー試験装置のもつ欠点を改
善し、被試験サンプルの本来の耐湿性レベル検査を可能
にした装置を提供するものである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明は試験室５の前段に、加熱及び冷却機構３ａ、４
ａ＋１２を備え試料６を外気から遮蔽する予備室１３を
設置したものである。

〔作用〕

加熱及び冷却機構４，１２により予備室１３内の温度、
湿度をコントロールして、試験室５内の環境条件に一致
させ、この状態で試験室５と予備室１３との相互間で試
料６の搬入、搬出を行なう。その室５，１３相互間を遮
断し、予備室１３内を室内雰囲気にして試料６を搬入、
搬出を行なう。

〔実施例〕

以下に、本発明の一実施例を図によシ説明する。

第２図は本発明による一実施例であり、加熱ヒータ４ａ
、加湿ヒータ３ａ及び冷却機構１２を備える予備試験室
１３が遮蔽扉１４を隔てて、試験室５に接続されている
。

被試験サンプル６をまず室内雰囲気に保たれている予備
試験室１３に入れ、試験室５の温度及び湿度条件と同じ
にする。次に遮蔽扉１４を開け、サンプル６を試験室５
に押込棒１５で入れ、遮蔽扉１４を閉める。また出すと
きは、加熱及び冷却機構３　ａ　ｒ４ａ＋１２をコント
ロールして予備試験室１３を試験室５と同一温度及び湿
度条件に保っておき、遮蔽扉１４を開ける。押込棒１５
で被試験サンプル６を予備試験室１３に取り出す。冷却
機構１２により予備試験室１３を室内雰囲気と同一にす
る。そして扉１１を開け、被試験サンプル６を取り出す
。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように、被試験サンプルの搬入又
は搬出する室相互間の環境条件を一致させて、搬出入を
行なうようにしたので、温度、湿度の差によりサンプル
に水滴が付着することを防止でき、開閉回数に関係なく
、真の耐湿性レベルを検査できる効果を有するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるプレッシャークツカー試験装置の
概略を示す構成図、第２図は従来のプレッシャークツカ
ー試験装置の概略を表わす構成図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）試験室の前段に、加熱及び冷却機構を備え試料を
   外気から遮蔽する予備室を設けたことを特徴とする試験
   装置。