JPS61253403A - 内径測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、被測定物の孔径などを測定する内径測定装
置に係り、特に自動調心機構を取り付けた内径測定装置
に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来より、被測定物の孔径などを測定する内径測定装置
として、筒状の本体の一端にダイヤルゲージを取り付け
るとともに１本体内にこのダイヤルゲージの測定軸を押
動するスピンドルを摺動自在に内装し、−古本体の他端
に、スピンドルの動きに追従してこのスピンドルの軸と
直交する方向に進退する測定子を設けたものがある。

通常この内径測定装置は、測定子を常時その突出力向に
付勢するように、本体とスピンドルとの間にスプリング
が介装されているが、このスプリングの付勢力は、外部
からは調整不可能なものが多い。たとえば被測定物の材
質の関係がら測定圧を変更したい場合には、スプリング
を取換えるほかはない。そのため、このスプリングの付
勢を変更する一手段として、特開昭５７−１７９７０２
号公報には、調整機構によりスプリングの設定長を任意
に変えられるように構成したものが示されているが、測
定子がこのスプリングの付勢により常時突出しているた
め、測定子を被測定物の孔に挿入する際、手動機構によ
りこれを後退するように操作しなければならなかった。

また特開昭５９−８５９０１号公報には、スプリングの
付勢を逆向きにして、常時測定子が後退位置にあるよう
に構成したものが示されているが、この測定装置では、
孔に挿入したのち、手動機構により測定子を突出させな
ければならないので、安定した測定圧を維持しがたい。

また特公昭５８−３２６４１号公報の開示技術では、ば
ねによって常時可動フィラーを突出するように付勢して
いるため、一連の熟練した手動操作が必要であって、自
動化することが困難である。

またダイヤルゲージにかわって電気的出力が得られる変
位計を組み込んで、誤読、誤記録などに対する信頼性の
向上をはかったものもあるが、やはり手動で操作するも
のであるため、孔への自動挿入することができず、また
測定時、自動調心させることができないため、自動測定
が不可能であった・ 一方空気マイクロや電気マイクロを用いて、単一の孔径
を自動測定する量産向けの内径測定装置もあるが、その
測定範囲は、高精度測定になるはど狭くなり、また専用
化して高価になる番ヨ力１．孔に対する空気マイクロや
電気マイクロの心合せがむつかしく、汎用性が期待でき
ない。

要するに従来の内径測定装置は、外部動力により測定子
の突出および後退を自動制御することができず、また測
定圧の変更も外部から調整することが困難であるなど、
自動測定装置として使用できなかった。一方、空気マイ
クロや電気マイクロを用いて直接高精度に自動測定する
ものは、測定範囲が狭く、特定の内径寸法専用として用
いることはできても、測定範囲を広く選ぶことのできる
汎用性の高い自動測定機能がないため、高価な専用機に
たよらざるをえなかった。

〔発明の目的〕

この発明は、被測定物の孔径などを自動的にかつ高精度
に測定しうるように内径測定装置を構成することにある
。

〔発明の概要〕

筒状体内にスピンドルがその軸方向に進退自在に内装さ
れ、このスピンドルの動きに追従して測定子が上記スピ
ンドルの軸に対して直交する方向に進退するようにされ
た測定機構と、上記スピンドルを動かして上記測定子を
このスピンドルの軸と直交する方向に進退させる移動機
構と、上記測定機構を測定孔の内径測定位置に向って進
退させる進退機構とを有する内径測定装置に自動調心機
構を設けて、測定機構を上記進退機構により進退させる
とき、この測定機構を装置固有の軸線上に調心して支持
し、測定孔の内径を測定するとき、上記測定機構の支持
を解除して、測定子の測定孔内面への接触にともなって
この測定機構を測定孔の軸線上に調心させるようにする
ことにより、孔径を自動的にかつ高精度に測定できるよ
うにした。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。

第１図および第２図にこの発明の一実施例である内径測
定装置を正面図および側面図で示し、第３図ないし第８
図にその要部を示す、この内径測定装置は、測定機構と
、この測定機構を構成するスピンドルや測定子などを動
かす移動機構と、測定機構全体を動かす進退機構と、自
動調心機構と、上記移動機構および進退機構の動作を制
御する制御部とから構成されている。

以下これら各構成について述べる。

Ａ、測定機構：□ 測定機構は、第１筒体ωと、この第１筒体■の一端に脱
着自在かつ同軸に螺合する第２筒体■と、第１筒体■の
他端にスペーサ■を挟んで同軸に螺合する第３筒体に）
とからなる筒状体■を有し、この筒状体■内に装着され
た一対の軸受（６ａ）、　（６ｂ）により、スピンドル
■が筒状体■と同軸かつその軸方向に進退自在に支持さ
れている。このスピンドル■に隣接して第３筒体に）内
には、磁気スケールからなる測長ユニット■がブツシュ
■を介して装着され、その先端の測定子（１０）がスピ
ンドル■の一端に当接するようになっている。なおこの
測長ユニット■からは、第３図に示すように、図示しな
い表示装置に接続するケーブル（１１）が第３筒体に）
を貫通して導出され、表示装置においてその出力が表示
または記録されるようになっている。

また上記第２筒体■内には、上記スピンドル■の他端面
と小径のボール（１２）を介して点接触する作動体（１
３）が摺動自在に挿入されている。この作動体（１３）
は、上記スピンドル■から離れた端面側にテーパ面（１
４）が形成されている。また、この第２筒体■の先端部
外側には、第４図に示すように。

その外側面を１２０＠に等配するラジアル方向に３個の
筒体（１５）が突設され、これら各筒体（１５）内には
。

段付き柱状の測定子（１６）がその軸方向に摺動自在に
挿入されている。上記各測定子（１６）は、その径大側
の端面が上記作動体（１３）のテーパ面（１４）と線接
触するテーパ面に形成され、またその径小部は、各筒体
（１５）の先端部に螺合する袋ナツト（１７）の端面を
貫通し、その中間部のまわりに装着された圧縮コイルば
ね（１８）によって、常時上記径大部のテーパ面が作動
体（１３）のテーパ面（１４）に圧接するようになって
いる。また上記袋ナツト（１７）から突出している径小
部の先端部には、筒状体■の軸線と同方向に延在して、
被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）の内側面に当接するアンビル
（１９）が設けられている。このアンビル（１９）を孔
（Ｈ）の内側面に正しく当接させるため、各測定子（１
６）の側面には、その測定子（１６）の軸に沿って、第
２筒体■の端面側から挿入されたキイ（２０）と摺動自
在に嵌合するキイ溝（２１）が設けられている。

Ｂ。移動機構：□ 移動機構は、第５図に示すように、前記第３筒体（２）
の一端部左右両側に対向する如くねじどめされた一対の
接手板（３０）に取り付けられて、筒状体０と平行に延
在する一対のエアシリンダ（３１）を備える。このエア
シリンダ（３１）の各ロッド（３２）の先端部は、前記
測定子（１６）方向に位置し、その各先端部には、それ
ぞれ接手（３３）を介して第１筒体■の外側面に摺合動
性に嵌合するリング状の外部係合部材（３４）が連結さ
れている。この外部係合部材（３４）の位置する第１筒
体■の側面には、この筒体■の軸方向に細長い長孔（３
５）が左右対称に貫通形成され、またこの第１筒体■内
には、上記外部係合部材（３４）に対応して、ねじどめ
、圧入、接着などによりスピンドル■に一体に取り付け
られた内部係合部材（３６）が設けられている。この内
部係合部材（３６）と上記外部係合部材（３４）とは、
第６図に示すように、上記各長孔（３５）を貫通する一
対のピン（３７）で連結され、各エアシリンダ（３１）
のロッド（３２）の進退勤をスピンドル■に伝達するよ
うになっている。

また、上記第１筒体■の外側面には、外部係合部材（３
４）に隣接して、第７図に示すように、各エアシリンダ
（３１）のロッド（３２）の後退位置を規制するリング
状のストッパ（３８）が取付位置調整可能にねじどめさ
れている。

Ｃ０自動調心機構：□ 自動調心機構は、前記第１筒体中外側に設けられた第１
調心部と、前記第３筒体に）上に設けられた第２調心部
とからなる。

上記第１Ｉｌ心部は、上記第１筒体■の外側面に一体に
設けられてエアシリンダ（３１）のロッド（３２）の後
退方向に径大なテーパ部（４０）と、第１筒体■の第２
筒体■側端部およびこれに隣接する第２筒体部分を自在
に挿通して、上記テーパ部（４０）のテーパ面と密接す
るテーパ側面をもつガイド孔（４１）が設けられた第１
ブラケット（調心座）　（４２）とから構成されている
。

また第２調心部は、第３筒体に）上の一対の接手板（３
０）間に位置して筒状体■の軸線と同方向に立設された
一対のテーパ状突部（４３）が設けられた第２ブラケッ
ト（調心座）（４４）と、第８図に示すように、一対の
接手板（３０）の先端部にねじどめされて。

上記一対のテーパ状突部（４３）の径大部と嵌合する一
対の貫通孔（４５）が設けられたガイド板（４６）とか
ら構成されている。

上記第１、第２調心部の各ブラケット（４２）　、　（
４４）は、前記測定機構および移動機構の背後に配設さ
れた第１支持板（４７）に取り付けられ、特に第２ブラ
ケット（４４）は、第１ブラケット（４ｚ）のガイド孔
（４１）にテーパ部（４０）のテーパ面を密接させたと
き。

一対のテーパ状突部（４３）の径大部がガイド板（４６
）の各貫通孔（４５）に嵌合し、かつこの第２ブラケッ
ト（４４）の基板面とガイド板（４６）との間に、１〜
２閣の間隙を残すように取り付けられている。

また第１ブラケット（４２）は、測定機構を鉛直方向に
設置したとき、その自重によりこの測定機構の下部を自
動調心し、かつこれを支える。またこのとき、第２ブラ
ケット（４４）は、その一対のテーパ状突部（４３）と
ガイド板（４６）の貫通孔（４５）との嵌合により、上
記測定機構の上部を自動調心し、かつ筒状体■の軸まわ
りの回転を拘束するようになっている。

Ｄ、進退機構：□ 進退機構は、前記測定機構の筒状体■と平行かつ前記移
動機構のエアシリンダ（３１）とロッド（５０）の向き
を逆にして、接手（５１）により基体（５２）に取り付
けられたエアシリンダ（５３）と、このエアシリンダ（
５３）の軸に沿って延在する第２支持板（５４）とを有
する。この第２支持板（５４）は、エアシリンダ（５３
）のロッド（５０）に接手（５５）、　（５６）を介し
て連結され、このロッド（５０）の進退勤により、図示
しないリニアガイドに沿って上記ロッド（５０）と同方
向に移動するようになっている。

上記第２支持板（５４）は、前記第１支持板（４７）を
介して、測定機構、移動機構および自動調心機構を支持
するものであって、その板面上に突出した一対の位置ぎ
めピン（５７ａ）　、　（５７ｂ）と第１支持板（４７
）に設けられた一対の位置ぎめ孔とにより、この第１支
持板（４７）を位置ぎめし、かつ３個のつまみねじ（５
８ａ）〜（５８ｃ）により、これを脱着自在に固定する
ようになっている。かくして第１支持板（４７）がこの
第２支持板（５４）を正しく位置ぎめ固定されたとき、
自動調心機構に支持された測定機構は、この内径測定装
置固有の軸線上に正しく位置するようになる。

Ｅ、制御部：□ 前記進退機構のエアシリンダ（５３）のシリンダ内に、
ロッド（５０）とともに移動するロッド位置検出用の磁
石が封入され、かつこのシリンダの外側に、上記磁石と
協同してロッド（５０）の前進停止位置を制御するリー
ドスイッチ（６０）、および前記測定機構の測定子（１
６）が被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）内の測定位置（孔の深
さ）まで挿入されたことを検知するり一ドスイッチ（６
１）が、それぞれバンド（６２）、　（６３）により取
り付けられ、かつリードスイッチ（６１）は取付位置可
変となっている。また上記エアシリンダ（５３）の先端
部には、このエアシリンダ（５３）のロッド（５０）に
取付位置可変に取り付けられたストッパ（６４）と対向
して、ロッド（５０）の後退停止を検知するたとえば磁
気センサなどから近接センサ（６５）が取付金具（６６
）により取り付けられている。

図示しない制御装置は、上記リードスイッチ（６０）、
　（６１）および近接センサ（６５）の出力に基づいて
、前記移動機構および進退機構の動作および測長ユニッ
ト■から表示装置への出力の取り込みなどを制御する。

つぎにこの内径測定装置の動作について述べる。

まず移動機構の一対のエアシリンダ（３１）を後退方向
に作動させると、これらエアシリンダ（３１）のロッド
（３２）の動きは、接手（３３）、外部係合部材（３４
）、ピン（３７）、内部係合部材（３６）を介してスピ
ンドル■に伝達され、？１！Ｉ長ユニット■の測定子（
１０）を後退させるとともに、圧縮コイルばね（１８）
の付勢により、作動体（１３）を上記スピンドル（１７
）の動きに追従させながら測定子（１６）を第２筒体■
の軸線に向って後退させる。

一方、進退機構のエアシリンダ（５３）を前進方向に作
動させると、このエアシリンダ（５３）のロッド（５０
）の動きは、接手（５５）、　（５５）、第２支持板（
５４）。

第１支持板（４７）を介して自動調心機構の第１、第２
ブラケット（４２）、　（４４）に伝達され、筒状体■
の下部に設゛けられた第１調心部で測定機構を支持しな
がら、この第１調心部および筒状体■の上方に設けられ
た第２調心部で測定機構を自動調心する。

エアシリンダ（５３）は、その後その前進端で停止し。

その前進停止は、その外側に取り付けられたリードスイ
ッチ（６２）で検知される。このとき１ｍ定機構は装置
固有の軸線上に調心支持された状態にある。

この状態からエアシリンダ（５３）を後退方向に作動さ
せると、このエアシリンダ（５３）のロッド（５０）の
動きにしたがって第２支持板（５４）およびこの第２支
持板（５４）に取り付けられた第１支持板（４７）が移
動し、上記第１支持板（４７）に取り付けられた第１、
第２ブラケット（４２）、　（４４）により調心支持さ
れた測定機構を図示しない位置ぎめ機構により位置ぎめ
された被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）に向って前進させる。

かくしてこの測定機構の先端部に設けられた測定子（１
６）が孔（Ｈ）内の測定位置に達すると、これを検知す
るように取付位置調整されたリードスイッチ（６１）が
作動して、制御装置に接点信号が送出される。制御装置
はこの接点信号に基づいて移動機構のエアシリンダ（３
１）に前進動作指令を発し、それによりエアシリンダ（
３１）のロッド（３２）が前進する。

このエアシリンダ（３１）のロッド（３２）の前進は、
接手（３３）、外部係合部材（３４）、ピン（３７）、
内部係合部材（３６）を介してスピンドル■に伝達され
、作動体（１３）を介して３個の測定子（１６）をそれ
ぞれ孔（Ｈ）の内側面に向って突出させる。一方、測長
ユニット■の測定子（１０）は、上記スピンドル■の動
きに追従して移動する。

上記３個の測定子（１６）の突出により、各測定子（１
６）の先端に設けられたアンビル（１９）が孔（Ｈ）の
内側面に当接すると、この内側面との間に生ずる摩擦力
によって測定機構はその位置に停止する。

上記のように測定機構が停止しても、エアシリンダ（５
３）の後退は続けられ、上記停止した測定機構の第１筒
体■に形成された第１調心部のテーパ部（４０）と第１
ブラケット（４２）との間に間隙を生ずる。それと同時
に、第２調心部の第２ブラケット（４４）に設けられた
テーパ状突部（４３）とガイド板（４６）との嵌合もと
かれる。かくしてエアシリンダ（５３）のロッド（５０
）に取り付けられたストッパ（６４）がシリンダの端部
に当接して停止するとき、測定機構は、自動調心機構か
ら解放されて、各測定子（１６）に設けられたアンビル
（１９）により、孔（Ｈ）の内側面を基準にしてこの孔
（Ｈ）の軸線上に調心支持される。

上記のようにエアシリンダ（５３）のロッド（５０）に
取り付けられたストッパ（６４）がシリンダの端部に当
接すると、近接センサ（６５）がこのストッパ（６４）
の接近を検知し、このときこの近接センサ（６５）から
送出される出力信号に基づいて、制御装置は、測長ユニ
ット■の出力をラッチし、これを表示装置に表示し、さ
らには記録装置に記録させることができる。

上記孔（Ｈ）の内径測定が終了すると、エアシリンダ（
３１）を後退方向に作動させるとともに、エアシリンダ
（５３）を前進方向に作動させる。このエアシリンダ（
３１）の作動により測定子（１６）は、スピンドル■の
移動に追従して圧縮コイルばね（１８）の付勢により後
退し、孔（Ｈ）内側面との接触が解除される。この孔（
Ｈ）内側面との接触が解除された測定機構゛は、上記エ
アシリンダ（５３）の作動により移動する第１ブラケッ
ト（４２）に支持されながら孔（Ｈ）から引き上げられ
、エアシリンダ（５３）がその前進端で停止し、リード
スイッチ（６２）が作動するとき、測定機構は第１、第
２調心部で自動調心された状態で停止する。

上記のように内径測定装置を構成するとつぎのような効
果がある。

（イ）被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）の内径測定に際し。

この内径測定装置は、自動調心機構により調心支持され
た測定機構の軸線が位置ぎめ機構により位置ぎめされた
被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）の軸線と一致するように位置
ぎめされるが、測定子（１６）を孔（Ｈ）内に挿入する
とき、測定機構の軸線に向って後退させた状態で挿入す
るので、孔（Ｈ）に対して測定機構が偏心していても容
易に自動挿入することができる。すなわち、従来のエア
マイクロや電気マイクロなどを用いた高精度の測定装置
は、孔の内側面との間隙が数１０〜１００μｓ程度であ
るため、高精度の位置ぎめが必要であるが、この内径測
定装置では、十分大きなストロークをもつ測定子（１６
）を使用できるので、孔（Ｈ）に対して測定機構が偏心
していても自動挿入が可能であり、したがって簡単な位
置ぎめ機構でも孔（Ｈ）の内径を自動測定することがで
きる。

（ロ）測定子（１６）が孔（Ｈ）内の測定位置に達した
ときに、移動機構が作動して測定子（１６）を孔（Ｈ）
の内側面に当接させるとともに、自動調心機構の拘束を
解除して、測定機構の軸線が自動的に孔（Ｈ）の軸線と
一致するようにしたので、安定した理想的な測定をおこ
なうことができる。

（ハ）高精度測定をおこなう場合、被測定物（Ｗ）の材
質によって測定圧を適宜変更する必要があるが、この内
径測定装置は、エアシリンダ（３１）の空気圧で測定子
（１６）を孔（Ｈ）の内側面に当接させるので、その空
気圧を圧力調整弁で変えることにより測定圧を任意かつ
容易に調整することができ。

従来のスプリングによる測定圧調整機構をもつ内径測定
装置にくらべて、被測定物（Ｗ）の材質に合せて容易に
高精度の測定をおこなうことができる。

（ニ）測定機構のハウジングを構成する筒状体■には、
移動機構のピン（３７）が貫通する長孔（３５）がある
が、この長孔（３５）は、筒状体■の外側から外部係合
部材（３４）により遮蔽され、測定機構を密閉構造にし
ているので、筒状体■内への塵埃の侵入を防止し、安定
した測定をおこなうことができる。

（ホ）ｍ定子（１６）を支持する第２筒体■を脱着自在
、すなおち交換可能に構成するとともに、測定機構全体
を支持する第１支持板（４７）を進退機構に対して脱着
自在かつ容易に位置ぎめできるように構成したので、複
数型路の筒体■または測定機構を用意して、そのなかか
ら被測定物（Ｗ）の孔（Ｈ）内径に見合った測定範囲の
ものを選択することにより、広範囲の測定をおこなうこ
とができる。

たとえば、測定間隔５ＩＩＩ１１の筒体■６組で内径２
０〜５０ＷＩｍ、測定間隔１０ｎｍの筒体０５組で内径
５０−１００閣、測定範囲２５！１１１１の筒体■４組
で内径１００〜２００ｍｍの孔（Ｈ）に対応させ、かつ
上記測定間隔に合った測定ユニット■を備える測定機構
を３種類用意することにより、内径２０〜２００　ｍの
範囲を支障なく測定することができる。この場合、筒体
■の交換はねじ込みでおこなうことができ、また測定機
構の交換は、簡単な位置ぎめとつまみねじによる締め付
けでおこなうことができるので、孔（Ｈ）内径に対応す
る筒体■または測定機構を迅速容易に交換することがで
きる。

つぎに他の実施例について述べる。

前記実施例では、スピンドルに無用な不均衡なトルクが
加わらないように測定機構の両側に一対のエアシリンダ
を配置したが、この移動機構のエアシリンダは、測定機
構と同軸にその端部上に１個配置し、連結部材を迂回さ
せて外部係合部材と連結させるように構成してもよい。

この場合、前記実施例にくらべて測定機構および移動機
構部分を細身にできるから、小径深孔の内径測定に適用
することができる。

また、測定機構の測長ユニットは、磁気スケールに限ら
ず他の方式のものでもよい。

また、前記実施例では、測長ユニットの出力を表示装置
に送出して１表示しさらには記録できるようにしたが、
これを演算装置に送って、より高度な寸法、形状データ
などの処理をおこなうようにしてもよい。

〔発明の効果〕

自動調心機構を設け、測定子を後退させた状態で測定機
構を装置固有の軸線上に調心支持して被測定物の孔に挿
入し、測定位置に達したとき、上記調心支持を解除する
とともに、測定子を突出させて孔の内゛側面に当接させ
て、測定機構を孔の軸線上に自動調心するように構成し
たので、測定機構が孔と偏心していても容易に自動挿入
でき、かつ安定した高精度の内径測定をおこなうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例である内径測定装置を一部
断面で示した正面図、第２図は同じくその側面図、第３
図は第１図における■−■線断面図、第４図は第１図に
示した内径測定装置の測定機構の下面図、第５図ないし
第８図はそれぞれ第１図における■−■線ないし■−■
線断面図である。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）筒状体内にスピンドルがその軸方向に進退自在に
   内装され、このスピンドルの動きに追従して測定子が上
   記スピンドルの軸に対して直交する方向に進退するよう
   にされた測定機構と、上記スピンドルをその軸方向に動
   かして上記測定子を上記スピンドルの軸と直交する方向
   に進退させる移動機構と、上記測定機構を支持する支持
   体を有し、かつこの測定機構を測定孔の内径測定位置に
   向って進退させる進退機構と、上記測定機構を上記進退
   機構により移動させるとき上記測定機構を装置固有の軸
   線上に調心して支持し、上記測定孔の内径を測定すると
   き上記支持を解除して上記測定子の測定孔内側面への接
   触にともなってこの測定機構を上記測定孔の軸線上に調
   心させる自動調心機構とを具備することを特徴とする内
   径測定装置。
2. （２）自動調心機構は筒状体の一端部外側に設けられた
   テーパ部および進退機構の支持体に取り付けられ上記テ
   ーパ部と嵌合して測定機構を支持するガイド孔をもつ第
   １ブラケットからなる第１調心部と、上記進退機構の支
   持体に取り付けられて上記筒状体の他、端部上方に設け
   られたテーパ状突部をもつ第２ブラケットおよび上記測
   定機構に一体に取り付けられ上記テーパ状突部の径大部
   と嵌合する孔をもつガイド体からなる第２調心部とを有
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の内径
   測定装置。
3. （３）第１ブラケットのガイド孔は筒状体の一端部外側
   に設けられたテーパ部のテーパ面と密接するテーパ側面
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
   内径測定装置。
4. （４）第２調心部の第２ブラケットおよびガイド体は筒
   状体のその軸まわりの回転を拘束するまわりどめ構造に
   形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第２項
   記載の内径測定装置。
5. （５）第２調心部のまわりどめ構造は第２ブラケットに
   般けられた複数個のテーパ状突部と、これら各テーパ状
   突部の径大部に嵌合するガイド体に設けられた複数個の
   孔とからなることを特徴とする特許請求の範囲第４項記
   載の内径測定装置。
6. （６）筒状体内にスピンドルがその軸方向に進退自在に
   内装され、このスピンドルの動きに追従して測定子が上
   記スピンドルの軸に対して直交する方向に進退するよう
   にされた測定機構と、上記スピンドルをその軸方向に動
   かして上記測定子を上記スピンドルの軸と直交する方向
   に進退させる移動機構と、上記測定機構を測定孔の内径
   測定位置に向って進退させる進退機構と、上記移動機構
   および上記進退機構の動作を制御する制御部と、上記測
   定機構を上記進退機構により進退させるとき上記測定機
   構を装置固有の軸線上に調心して支持し、上記測定孔の
   内径を測定するとき上記支持を解除して上記測定子を測
   定孔内側面への接触にともなってこの測定機構を上記測
   定孔の軸線上に調心させる自動調心機構とを具備し、 上記制御部は上記測定機構に対する上記自動調心機構の
   調心支持位置を検出するセンサの出力に基づいて上記進
   退機構の動作を制御する手段と、上記測定機構に対する
   上記自動調心機構の支持解除位置を検出するセンサの出
   力に基づいて上記移動機構の動作を開始するように制御
   する手段と、上記測定機構に対する上記自動調心機構の
   支持解除後の上記進退機構の動作停止位置を検出するセ
   ンサの出力に基づいて上記進退機構の動作を停止するよ
   うに制御する手段とを有することを特徴とする内径測定
   装置。
7. （７）進退機構は駆動シリンダを有し、この駆動シリン
   ダに沿って各センサが設けられていることを特徴とする
   特許請求の範囲第６項記載の内径測定装置。