JPS61254406A - 板状物の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、板状の被搬送物を乗せ得るベルトと、前記ベ
ルトを支持するための複数の支持体と、前記ベルトを支
持体間で回転させるための駆動装置からなる板状物の搬
送装置において、前記ベルトの表面の少なくとも一部を
プラスチックフィルムで被覆して前記板状物が前記ベル
ト表面に接触することなく搬送できることを特徴とする
搬送装置に関するものであり、ＩＣ製造用のウエノ・２
画像記録用ディスク、コンピュータ用フロッピーディス
クあるいは液晶ディスプレイ用電極基板等々、被搬送物
の清浄度が要求される物の搬送に適した搬送装置である
。

以下の説明においては、これらの中でも特に清浄度が要
求されるＩＣ製造用ウウェハついて詳説する。

従来の技術 半導体素子はＶＬＳＩに代表されるように、記憶密度が
上昇するに伴ないパターン幅が狭くなり、歩留りを上げ
るためにサブミクロンの大きさのダストが問題視され、
ウェハにダストが付着しないように工場内はクリーン化
のために細心の配慮がなされている。

ところで、ＩＣを製造するにはリソグラフィー。

ドライエツチング、薄膜形成等々、数多くの工程を経る
が各装置内でウェハを移動させる手段として構造が簡単
で信頼性の高いベルトによる搬送が圧倒的に多く用いら
れている。

発明が解決しようとする問題点 現在、搬送用ベルトで用いられている材質はポリウレタ
ン系エラストマー（以下ウレタンゴムと称ス）、ポリエ
ステル系エラストマー、フッ素ニジストマー、ポリオル
ガノシロキサン（以下シリコンゴムと称す）、ＮＢＲ等
が多く用いられている。（以下、前記の様なゴム弾性を
有する材質を総称してゴムと記す。） ところで、これらのゴムには加工性を良くするための可
塑剤や滑剤、柔軟性を与えるための柔軟剤、加工時及び
使用時の劣化を防止するための安定剤や耐候性向上剤、
加硫するための加硫剤や加硫促進剤、その他粘着付与剤
、充填剤２分散剤。

着色剤等々、さまざまな薬品が多量（数十チ以内で）に
添加されている。（工業材料Ｖｏｌ　１７　、Ａ１１　
、ＯＣＴ、１９６９（日刊工業新聞社）２便覧ゴム・プ
ラスチック配合薬品（ラバーダイジェスト社）） これらの薬品は自然にゴム表面に移行する性質があシ、
したがってゴム表面には必ずこれらの薬品が付着してい
る。

上記の様なゴムベルトにウェハを乗せて搬送した場合、
ゴムベルト表面に着いている添加剤が必ずウェハに付着
し、ウェハ裏面を激しく汚染し、工場内の作業雰囲気を
いくら清浄にしても、製造装置によって汚れる結果とな
っている。さらに、可塑剤は油脂質であるためにウェハ
に強固に付着し、洗浄しても完全に除去できないのが現
状である。

この様にして、裏面が汚れたウニノ１を、例えば酸化炉
に入れて加熱すると付着物が燃焼あるいは炭化して、酸
化炉全体が汚れたり、ウニ八表面の酸化膜が局部的に異
常成長し、製品の電気特性が非常に悪くなり、歩留りが
低下する。

この様な状況から、ウエノ飄を１枚づつ移動させる搬送
装置において、ベルトからウニノ１に付着する汚染物の
量を少なくすることが重要な問題となっているＯ 本発明は上記問題点に鑑み、ウニノ１をゴムベルトに乗
せて搬送してもウニノーの汚染が非常に少なく、搬送直
後に酸化炉に入れて加熱しても酸化炉の石英チューブを
汚したり、酸化膜厚に異常が発生せず電気特性に異常を
生じないウェハ搬送装置を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために、本発明の搬送装置はウェ
ハを乗せて搬送するベルトの表面をプラスチックフィル
ムで被覆し、ベルトがウェハに接触しないことを特徴と
している。

作　　用 プラスチックは、ゴムと同様に高分子化合物である以上
添加剤を皆無にすることは不可能であるが、ゴムと比較
すると反応性の高い二重結合が無いことや、分子量が小
さく加工が容易なことなどから添加する薬品の種類も量
も非常に少なくて済む。例えば、フッ素樹脂フィルムで
は加工性改良剤が０．１％以下、ポリエチレンやポリプ
ロピレン等のポリオレフィンフィルムでは安定剤が０．
１９６等、ゴムの場合に比べて格段に少ない。

したがって、ゴムベルトをプラスチックフィルムで被覆
することで、ウェハがゴムベルトに接触するのを防止で
きるとともに、プラスチックフィルムからウェハに付着
する汚染物の量はゴムベルトの場合に比べて非常に少な
くなる。

また、本発明に用いるプラスチックはフィルムであるこ
とから、剛性の高いプラスチックを用いてもローラやグ
ーリの曲率に良く順応し回転ムラを生じることがなく、
ウェハをスムーズに搬送することができる。

さらＫ、熱収縮性のプラスチックフィルムで被覆した後
、熱を加えると、プラスチックフィルムはベルトを締め
付けてベルトに固定され、ベルトが回転中にプラスチッ
クフィルムがズしたりする危険性がなくなるようになる
。

実施例 以下、本発明の実施例について説明する〇実施例１ 第１図に示すように直径２■、長さ５００　ｔｔｓの熱
可塑性ウレタンゴム製丸ベルト１（三星ベルト（株）製
、ゴム硬度８０度）を、長さ４９０ｍの円周方向に熱収
縮するフッ素樹脂製チューブ２（）ィルム厚０．２ｍ　
、熱収縮後の内径２ｍｍ）に挿入した後、１６０１１１
：の熱風を与えて熱収縮チューブを収縮させた。その後
、熱可塑性ウレタンゴム製丸ベルト１０両端面を熱溶着
し、フッ素樹脂チューブ２で被覆したリング状ベルトを
作製した。上記の様にして作製したベルト２本を第２図
に示す様に２本の塩化ビニル製ロー２４間に張り、モー
タ６でローラ４と共にフッ素樹脂チューブで被覆したウ
レタンゴムベルト３を回転させたＯこの時、ロー２４と
フッ素樹脂チューブで被覆したベルト間３のスベリはほ
とんどなく、ベルトはスムーズに回転した。

さらに、ＩＣ製造用の５インチのシリコンウェハ５（以
下、単にウエノ・と記す）の鏡面がフッ素樹脂チューブ
で被覆したベルト３に接触する様に静置した後、シリコ
ンウェハＳ５を２００　ｍ搬送し、ウェハ５の鏡面に付
着した汚染物の数をレーザ式表面検査装置（日立電子エ
ンジニアリング（株）製；ＨＬＤ−２００Ａ）で測定し
た。

ウェハ６に付着した汚染物の数を第１表に示すＯ実施例
２ 一方向に熱収縮性を有するポリエチレンフィルム（厚み
７ｏμｍ　）を、収縮方向に沿って幅８順に帯状に裁断
した。そして第３図に示すように帯状の熱収納ホリエチ
レンフィルム９を、シリコンゴム製の丸ベルト１ｏ（直
径２　ｍ　）に、ポリエチレンフィルムの収縮方向が、
丸ベルト１ｏの円周方向になる様に、かつ熱収縮性ポリ
エチレンフィルム９の端部の約２ｍが重なる様にして、
螺旋状に巻きつけた後、１４０℃の熱風を熱収縮性ポリ
エチレンフィルム９に４え、ポリエチレンフィルム９を
収縮させてポリエチレンフィルム９とシリコンゴム丸ベ
ルト１０を密着させた。また、ポリエチレンフィルム９
の巻き終りの端部は、熱風でポリエチレンフィルム９を
半溶融させてポリエチレンフィルム間で溶着し、ポリエ
チレンフィルムがほどけるのを防止した。

この様にして作製したポリエチレンフィルムで被覆した
シリコンゴムベルトを、実施例１の第２図に示した搬送
装置にとりつけ、シリコンゴムベルトの回転具合をみる
とともに、実施例１と同一の方法を用いて、ウエノ・に
付着する汚染物の数を測定した。その結果、シリコンゴ
ムベルトの回転は非常にスムーズでウェハの搬送に全く
問題なかった。また、ウェハに付着した汚染物の数は第
１表に記した。

実施例３ 実施例１で用いたフッ素樹脂製熱収縮チューブを長さ５
ｍの輪状に裁断して、第４図に示すようにこの輪状のフ
ッ素樹脂製熱収縮チューブ１１を実施例１で使用した熱
可塑性ウレタンゴム製丸ベルト１に、約２Ｃ１ｍ＋＋お
きに通し、１６０℃の熱風で熱収縮チューブを収縮させ
てウレタンゴム製丸ベルト１と密着させたのち、ウレタ
ンゴム製丸ベルトの両端を溶着してリング状にした０こ
の様にして作製した、一部分だけがフッ素樹脂フィルム
で被覆されたウレタンゴム製ベルトを、実施例１の第２
図に示した搬送装置に取り付けて、ウレタンゴム製丸ベ
ルトの回転具合を観察したが、回転に全く問題はなかっ
た。

また、実施例１と同じ方法を用いてウエノ・を搬送した
時にベルトからウエノ・に付着する汚染物の数を測定し
、その結果を第１表に並記した。

実施例４ フッ素樹脂フィルム（厚さ１００μｍ）、ポリエチレン
フィルム（厚さ５０μｍ）、ポリプロピレンフィルム（
厚さ３０μｍ）、ポリエチレンテレフタレートフィルム
（厚さ２０μｍ）、ポリアミドフィルム（厚さ３０μｍ
）、ポリ塩化ビニリデンフィルム（厚さ１５μｍ）、ポ
リ塩化ビニルフィルム（厚さ１０μｍ）及びポリエチレ
ンビニルアセテートフィルム（厚さ１５μｍ）（上記の
プラスチックフィルムはいずれも非熱収縮のフィルムで
ある０）を実施例２と同様の要領で幅８■の帯状に裁断
した後、帯状の端部約２ｍを重ね合わせながら直径２ｍ
のシリコンゴムベルトに、螺旋状に巻きつけて、プラス
チックで被覆したシリコンゴムベルトを作製した。

上記の各プラスチックフィルムで被覆したシリコンゴム
ベルトを、実施例１の第２図に示す搬送装置に取り付け
て回転させたところ、スムーズに回転し搬送に全く支障
なかった。

また、上記の各種ベルトを用いてウェハを搬送した場合
にベルトからウエノ・に付着する汚染物の数を実施例１
と同じ要領で測定し第１表に記した。

さらに、第１表には比較のために、実施例１及び２で用
いたウレタンゴム製丸ベルトやシリコンゴム丸ベルト及
び、フッ素系ゴム丸ベルトの表面をプラスチックフィル
ムで被覆しないでウェハを搬送した場合にベルトからシ
リコンウェハに付着する汚染物の数を並記した。

以上の実施例の結果から、ゴムベルトの材質やプラスチ
ックフィルムの材質さらに被覆方法に関係なく、ゴムベ
ルト表面をプラスチックフィルムで被覆することでベル
トによる被搬送物の汚染を大幅に改善できることがわか
った。

また、上記実施例では、被搬送物をシリコンウェハに限
定しだが、その他の板状物でも同様の効果があることは
言うまでもないことであるし、ベルトの形状も丸ベルト
に限らず、■ベルトや平ベルト等形状を問わず同じ効果
が得られる。

第１表 発明の効果 一以上のように本発明は、搬送用ベルトをプラスチック
フィルムで被覆するという簡単な加工を加えるだけで、 ■　ウェハ等の被搬送物の汚染が少なくなる。

■　酸化炉等のＩＣ製造装置の汚染が少なくなる。

■　酸化膜等の膜の異常成長が起こらない。

■　上記の諸効果から、歩留りが向上する〇等の優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例１におけるフッ素樹脂製熱収
縮チューブの形状と、このチューブにベルトを挿入する
様子を示す説明図、第２図は同実施例１における搬送装
置の平面図、第３図は実施例２における熱収縮性ポリエ
チレンフィルムをゴムベルトに巻く様子を示す説明図、
第４図は実施例３における輪状フッ素樹脂製チューブを
ゴムベルトに取シ付けた様子を示す説明図である。 １・・・・・・ウレタンゴムベルト、２・・・・・・熱
収量性７ツ素樹脂チユーブ、３・・・・・・フッ素樹脂
チューブで被覆したウレタンゴムベルト、４・・・・・
・ローラ、５・・・・・・ウェハ、６・・・・・・モー
タ、７・出・・駆動用ベルト、８・・・・・・搬送装置
のケース、９・・・・・・帯状熱収縮性ポリエチレンフ
ィルム、１ｏ・・・・・・シリコンゴムベルト、１１・
・・・・・輪状フッ素樹脂製チューブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 板状の被搬送物を乗せ得るベルトと、前記ベルトを支持
   するための複数の支持体と、前記ベルトを回転させるた
   めの駆動装置からなる板状物の搬送装置において、前記
   ベルトの表面の少なくとも一部をプラスチックフィルム
   で被覆し、前記板状の被搬送物が前記ベルト表面に接触
   することなく搬送されるようにした板状物の搬送装置。