JPS6125619A - 冷熱を利用した圧力スイング式ガス分離方法 - Google Patents
冷熱を利用した圧力スイング式ガス分離方法Info
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- JPS6125619A JPS6125619A JP14677084A JP14677084A JPS6125619A JP S6125619 A JPS6125619 A JP S6125619A JP 14677084 A JP14677084 A JP 14677084A JP 14677084 A JP14677084 A JP 14677084A JP S6125619 A JPS6125619 A JP S6125619A
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 7
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015096 spirit Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は吸着剤を利用したガス分離法に関するもので、
特に圧力スイング式ガス分離法の改良に関するものであ
る。
特に圧力スイング式ガス分離法の改良に関するものであ
る。
(従来の技術)
従来例として、N!吸着剤としてNa4 型ゼオライ
トを使用し、吸着圧力として1〜3ata。
トを使用し、吸着圧力として1〜3ata。
脱着圧力として0.05〜0.5 ata 、吸着温度
として10〜−50℃の操作条件での空気からの03製
造を挙げて第2図に従い説明する。
として10〜−50℃の操作条件での空気からの03製
造を挙げて第2図に従い説明する。
第2図に於いて、1は空気圧縮機であり、最高5 at
a近傍に昇圧された空気は流路2を通じて、エアクーラ
3で30℃前後に冷却され流路4、開状態のバルブ5を
通じて前処理塔6に入る。前処理塔(吸着塔)6及び6
′に社前方半分に脱湿用シリカゲルが、後方半分には0
0g除去用のMa−’X の吸着剤7,7′が充填さ
れており、開状態のバルブ8、流路9を通じて、露点−
70℃以下003濃度2 PPm以下の清浄空気が流過
する。吸着塔6′に於いては、ノ(ルブS/ 、 a/
が閉じておりバルブ10′が開いている為、流路11、
真空ポンプ12を通じて吸着剤7′に吸着された130
、 co!は除去されて吸着能が再生される。
a近傍に昇圧された空気は流路2を通じて、エアクーラ
3で30℃前後に冷却され流路4、開状態のバルブ5を
通じて前処理塔6に入る。前処理塔(吸着塔)6及び6
′に社前方半分に脱湿用シリカゲルが、後方半分には0
0g除去用のMa−’X の吸着剤7,7′が充填さ
れており、開状態のバルブ8、流路9を通じて、露点−
70℃以下003濃度2 PPm以下の清浄空気が流過
する。吸着塔6′に於いては、ノ(ルブS/ 、 a/
が閉じておりバルブ10′が開いている為、流路11、
真空ポンプ12を通じて吸着剤7′に吸着された130
、 co!は除去されて吸着能が再生される。
この方法を交互にくり返すのが圧力スイング法の運転態
様であるが、流路9の後方のN3吸着も同様の方法によ
っている。
様であるが、流路9の後方のN3吸着も同様の方法によ
っている。
流路9の後方の熱交換器15、熱交換器14を通じて冷
却された空気は冷凍機15で最とも低い温度に冷却され
て流路16、開状態のバルブ17を通じて吸着塔18に
至る。吸着塔18にa、N3吸着剤として使用されるN
a−” が充填されており、開状態のパルプ20から
は、空気からN雪が除去された高純度−が流路21に流
遇し、熱交換器13で入口空気に冷熱回収されて、流路
22から系外に運ばれる。
却された空気は冷凍機15で最とも低い温度に冷却され
て流路16、開状態のバルブ17を通じて吸着塔18に
至る。吸着塔18にa、N3吸着剤として使用されるN
a−” が充填されており、開状態のパルプ20から
は、空気からN雪が除去された高純度−が流路21に流
遇し、熱交換器13で入口空気に冷熱回収されて、流路
22から系外に運ばれる。
一方、吸着塔18′に関してはバルブ17′。
20′が閉じられて訃シ、パルプ23′が開いて流路2
4、熱交換器14、流路25、真空ポンプ26と通じて
いる。
4、熱交換器14、流路25、真空ポンプ26と通じて
いる。
この為、N3吸着剤として使用されているNa−xに吸
着され九N、は減圧にすると熱交換器14で入口空気と
冷熱回収された後、真空ポンプ26で系外に排除される
。
着され九N、は減圧にすると熱交換器14で入口空気と
冷熱回収された後、真空ポンプ26で系外に排除される
。
この操作を吸着塔18及び18′について交互に〈シ返
す事で空気から連続的に製品03をとシ出す事ができる
。
す事で空気から連続的に製品03をとシ出す事ができる
。
なお、ここで破線で囲んだ部分は吸着塔を低温に保つ為
のコールドボックス27である。
のコールドボックス27である。
この方法は、保守性が容易で操作が簡単な為かなシ普及
している。I MEll”の03を製造するに必要な電
気エネルギーはα4〜α6 k’qhであるがその内訳
は第1表のようKなり、真空ポンプ及び冷凍機の動力が
大きい。
している。I MEll”の03を製造するに必要な電
気エネルギーはα4〜α6 k’qhであるがその内訳
は第1表のようKなり、真空ポンプ及び冷凍機の動力が
大きい。
第1表 (吸着圧力1.2 ata、再生圧力0.2
ata、吸着温度−15℃) 他に、低温条件と真空再生を使用した圧力スイング式ガ
ス分離例を第2表に示す。
ata、吸着温度−15℃) 他に、低温条件と真空再生を使用した圧力スイング式ガ
ス分離例を第2表に示す。
第 2 表
又、圧縮機の消費電力を低減するために圧縮機の入口ガ
ス温度を低下させることも知られているが、0℃以下に
冷却すると氷結、ドライアイスの生成の問題があって一
般的には採用されていない。
ス温度を低下させることも知られているが、0℃以下に
冷却すると氷結、ドライアイスの生成の問題があって一
般的には採用されていない。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、低温吸着、真空再生を併用する圧力スイング
法における従来技術の真空ポンプの消費電力が高いとい
う欠点を解消しうる方法を提供せんとするものである。
法における従来技術の真空ポンプの消費電力が高いとい
う欠点を解消しうる方法を提供せんとするものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明は圧力スイング式ガス分離法において、該分離系
と隣接する寒冷源からの冷熱を、凍結の心配のない露点
−70℃以下の超乾燥ガスの流れる真空ポンプの入口を
冷却して消費電力を大幅に低減するものである。すなわ
ち本発明は大気圧以上の加圧条件で吸着を行ない、大気
圧以下の減圧条件で再生を行なう、圧力スイング式のガ
スの吸着分離方法に於いて、冷熱を発生する隣接するプ
ラントの冷熱の1部を吸着塔の冷却に利用し、更に余剰
の冷熱があれば他を真空ポンプ入口の脱着ガスの冷却に
利用して分離に要する消費電力の低減を図る事を%lk
とする圧力スイング式ガス分離方法を要旨とするもので
ある。
と隣接する寒冷源からの冷熱を、凍結の心配のない露点
−70℃以下の超乾燥ガスの流れる真空ポンプの入口を
冷却して消費電力を大幅に低減するものである。すなわ
ち本発明は大気圧以上の加圧条件で吸着を行ない、大気
圧以下の減圧条件で再生を行なう、圧力スイング式のガ
スの吸着分離方法に於いて、冷熱を発生する隣接するプ
ラントの冷熱の1部を吸着塔の冷却に利用し、更に余剰
の冷熱があれば他を真空ポンプ入口の脱着ガスの冷却に
利用して分離に要する消費電力の低減を図る事を%lk
とする圧力スイング式ガス分離方法を要旨とするもので
ある。
以下、本発明の実施例をあげ、更に詳述する。
実施例1
本発明の一実施例として4吸着剤にHa−” 型ゼオラ
イトを使用し、吸着圧力として1.2 ata。
イトを使用し、吸着圧力として1.2 ata。
脱着圧力α2ata、吸着温度−15℃で操作して空気
から0!を製造する時の隣接するLNGの蒸発時の寒冷
を利用して0sJll!造装置のN2除去用真空ポンプ
を冷却し7かつ入口空気を一15℃に冷却した実施態様
を第1図に示す。
から0!を製造する時の隣接するLNGの蒸発時の寒冷
を利用して0sJll!造装置のN2除去用真空ポンプ
を冷却し7かつ入口空気を一15℃に冷却した実施態様
を第1図に示す。
第1図に於ける符号の中筒1図と同一の符号のものは同
一・の部品名称に対応する。
一・の部品名称に対応する。
第1図に於いて流路25にLNGN冷寒5oとの熱交換
器28を設置して真空ポンプの入口を従来の25℃から
一160℃に冷却し又流路16にもLNGN冷寒30と
の熱交換器29を設置して第2図に示した冷凍機15を
省略している。
器28を設置して真空ポンプの入口を従来の25℃から
一160℃に冷却し又流路16にもLNGN冷寒30と
の熱交換器29を設置して第2図に示した冷凍機15を
省略している。
従来のI Nm”の08の製造時の消費電力(kwh
)と各ユニット毎の電力内訳(チ)とLNG寒冷熱使用
彼の消費電力(kwh )と電力内訳(チ)を第5表に
示す。
)と各ユニット毎の電力内訳(チ)とLNG寒冷熱使用
彼の消費電力(kwh )と電力内訳(チ)を第5表に
示す。
第 3 表
実施例2
Fe(ll)を14 含有するNa−A 型ゼオライト
を02吸着剤として使用し、吸着圧力2ata、再生圧
力α2 ata 、吸着塔−30℃で空気からの酸素富
化空気の分離を行なった。
を02吸着剤として使用し、吸着圧力2ata、再生圧
力α2 ata 、吸着塔−30℃で空気からの酸素富
化空気の分離を行なった。
この場合0.吸着塔の後方からはN!又はN、富化空気
が高圧で流下し、真空ポンプ側から0冨富化空気が得ら
れる。
が高圧で流下し、真空ポンプ側から0冨富化空気が得ら
れる。
隣接するLNG冷熱源がない場合1N−の01富化空気
(0!濃度85%)を得るのに0.35 kWh必要と
した。
(0!濃度85%)を得るのに0.35 kWh必要と
した。
しかしLNG冷熱源を使用して真空ポンプの入口を冷却
しかつ、塔の冷却を行なう事により1Nm”の0意富化
空気(0!濃度85チ)を得るのにα24 kWhに低
減し得た。
しかつ、塔の冷却を行なう事により1Nm”の0意富化
空気(0!濃度85チ)を得るのにα24 kWhに低
減し得た。
消費電力の内訳を第4表に記す。
第 4 表
実施例5
ゼオライト系吸着剤としてよく用いられるNa−A型ゼ
オライトFi、C02N!2成分系からのCOの吸着に
於いて、吸着圧力1〜5ata、脱着圧力CL05〜α
5 ata 、吸着温度10−!50℃で高いCO選択
吸着性を示す。
オライトFi、C02N!2成分系からのCOの吸着に
於いて、吸着圧力1〜5ata、脱着圧力CL05〜α
5 ata 、吸着温度10−!50℃で高いCO選択
吸着性を示す。
こ\では吸着圧力2ata、脱着圧力0.2 ata吸
着温度5℃でCo 70%、Nm50%からなる混合
ガスよりのCOの回収を試みた。
着温度5℃でCo 70%、Nm50%からなる混合
ガスよりのCOの回収を試みた。
その結果99−以上の濃度に濃縮されたCOを真空ポン
プ側から回収できた。
プ側から回収できた。
この時のI Nm”のCOの製造に必要な消費電力はα
15 kWhであった。
15 kWhであった。
しかし隣接するIJG冷熱源を利用して真空ポンプ入口
を冷却しかつ吸着塔の冷却にも使用する事によシ、IN
m”のCOの製造に必要な消費電力をα105 kWh
に低減し得た。
を冷却しかつ吸着塔の冷却にも使用する事によシ、IN
m”のCOの製造に必要な消費電力をα105 kWh
に低減し得た。
実施例4
実施例1で示したIJa−x 型ゼオライトをN2吸
着剤として使用し、吸着圧力1.2 ata 、脱着圧
力0.2 ata 、吸着温度−15℃で操作して、0
□濃度q s、 a % (残ガスAr ) の02
を1100ON”−0霊/h で製造するプラントに
、隣接する液体0!ホールダから0!濃度q 9. b
%の液体0!を本プラントに1. OQ ONm”−
o!/hの流量で導びき液酸の気化を本プラントの入口
空気1500lm’ / hとの熱交換により行ない下
記の良好な結果を得た。
着剤として使用し、吸着圧力1.2 ata 、脱着圧
力0.2 ata 、吸着温度−15℃で操作して、0
□濃度q s、 a % (残ガスAr ) の02
を1100ON”−0霊/h で製造するプラントに
、隣接する液体0!ホールダから0!濃度q 9. b
%の液体0!を本プラントに1. OQ ONm”−
o!/hの流量で導びき液酸の気化を本プラントの入口
空気1500lm’ / hとの熱交換により行ない下
記の良好な結果を得た。
■ 液体0!と本プラントの併用により98%程度の高
純度の02を得ると同時に液体0鵞の気化潜熱を入口空
気の冷却に使う為、冷却用の冷凍機が不用となった。
純度の02を得ると同時に液体0鵞の気化潜熱を入口空
気の冷却に使う為、冷却用の冷凍機が不用となった。
■ 液体02で発生する寒冷が本プラントに必要とする
冷熱の10倍近くなる為、余剰の冷熱を利用し本プラン
トの熱交換の簡略化及び真空ポンプ入口の脱着N!の冷
却、入口空気の脱湿(水分凝縮)による前処理装置の小
型化を実現し得た。
冷熱の10倍近くなる為、余剰の冷熱を利用し本プラン
トの熱交換の簡略化及び真空ポンプ入口の脱着N!の冷
却、入口空気の脱湿(水分凝縮)による前処理装置の小
型化を実現し得た。
実施例5
実施例2で示したFe(l[)を含有するNa−A 型
ゼオライトを02吸着剤として使用し、吸着圧力2 a
ta、脱着圧力(L 2 ata 、吸着温度−30℃
で操作してN!濃度99チ(残ガス0冨)のN!を10
0 Nm” −0,/h で製造する圧力スイング式
N1製造装置に隣接する液体N、ホールダからNtm度
99、9 %の液体N、を本プラントに、100 Nm
”−nt/hの流量で導びき液体N2の気化を本プラン
トの入口空気160 Nm3/ hとの熱交換により行
ない下記の良好な結果を得た。
ゼオライトを02吸着剤として使用し、吸着圧力2 a
ta、脱着圧力(L 2 ata 、吸着温度−30℃
で操作してN!濃度99チ(残ガス0冨)のN!を10
0 Nm” −0,/h で製造する圧力スイング式
N1製造装置に隣接する液体N、ホールダからNtm度
99、9 %の液体N、を本プラントに、100 Nm
”−nt/hの流量で導びき液体N2の気化を本プラン
トの入口空気160 Nm3/ hとの熱交換により行
ない下記の良好な結果を得た。
■ 液体N、と本プラントの併用により?95q6程度
の高純度のN、を得ると同時に液体N、の気化潜熱を入
口空気の冷却に使う為、冷却用の冷凍機が不用となった
。
の高純度のN、を得ると同時に液体N、の気化潜熱を入
口空気の冷却に使う為、冷却用の冷凍機が不用となった
。
■ 液体N2で発生する寒冷が本プラントに必要とする
冷熱の2倍近くなる為、余剰の冷熱を利用し本プラント
の熱交換の簡略化及び真空ポンプ入口の脱着N!の冷却
、入口空気の脱湿(水分凝縮)による前処理装置の小型
化を実現し得た。
冷熱の2倍近くなる為、余剰の冷熱を利用し本プラント
の熱交換の簡略化及び真空ポンプ入口の脱着N!の冷却
、入口空気の脱湿(水分凝縮)による前処理装置の小型
化を実現し得た。
第1図は本発明の一実施態様のフローを示し、第2図は
従来法の70−を示す。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 光 −
従来法の70−を示す。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 光 −
Claims (2)
- (1)大気圧以上の加圧条件で吸着を行ない、大気圧以
下の減圧条件で再生を行なう、 圧力スイング式のガスの吸着分離方法に於 いて、冷熱を発生する隣接するプラントの冷熱の1部を
吸着塔の冷却に利用し、更に余剰の冷熱があれば他を真
空ポンプ入口の脱着ガスの冷却に利用して分離に要する
消費電力の低減を図る事を特徴とする圧力スイング式ガ
ス分離方法。 - (2)冷熱を発生する隣接のプラントの冷熱が、圧力ス
イング式ガス分離装置で得られるガスと同一の製品ガス
の液化物の蒸発熱である特許請求の範囲第1項記載の方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14677084A JPS6125619A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 冷熱を利用した圧力スイング式ガス分離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14677084A JPS6125619A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 冷熱を利用した圧力スイング式ガス分離方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125619A true JPS6125619A (ja) | 1986-02-04 |
Family
ID=15415153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14677084A Pending JPS6125619A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 冷熱を利用した圧力スイング式ガス分離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6125619A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115431A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス製造装置 |
| US5453112A (en) * | 1994-02-02 | 1995-09-26 | Praxair Technology, Inc. | Pressure swing adsorption heat recovery |
| EP0699466A4 (en) * | 1994-03-16 | 1996-09-25 | Sumitomo Seika Chemicals | GAS SEPARATION METHOD AND APPARATUS |
| CN107042051A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-08-15 | 杨皓 | 一种甲烷化制lng液化前预净化防止冻堵工艺 |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP14677084A patent/JPS6125619A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115431A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス製造装置 |
| US5453112A (en) * | 1994-02-02 | 1995-09-26 | Praxair Technology, Inc. | Pressure swing adsorption heat recovery |
| EP0699466A4 (en) * | 1994-03-16 | 1996-09-25 | Sumitomo Seika Chemicals | GAS SEPARATION METHOD AND APPARATUS |
| CN107042051A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-08-15 | 杨皓 | 一种甲烷化制lng液化前预净化防止冻堵工艺 |
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