JPS61271831A - パタ−ン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分計〕 本発明はＩＣ製造工程において使用されるマスク又はレ
チクルく形成されたパターンが、該パターンのもととな
る設計データと比較して、正確く描かれているかどうか
を検査するパターン検査装置に関する。

〔発明の背景〕

マスク又はレチクルに形成されたパターンが設計データ
通りであるかを検査するには、メモリにビットパターン
として展開した設計データとマスク又はレチクルに形成
されたパターンから得られる＃Ｊ壕データとをビット単
位（−原単位）で比較する方法がある。この場合、メモ
リに展開した設計データと画像データとの位置が合って
いなければ、検査結果は誤まったものになってしまう。

また、欠陥とａｔえないマスク又はレチクルの歪み、伸
縮はある程度許容しなければならないが、パターンの微
細化を図れば、より高精度な位置合わせｔ必要とする。

一般に、マスク又はレチクルに形成されるパターンは多
数の矩形パターン又は台形ノ＜ターンを組合せて作られ
る。矩形パターン又は台形パターンの組会せから構成さ
れるパターンのエツジ角Ｉｆはマスク又はレチクル上の
ｘｙ座標系に対して、任意の角度をとりうるが、００．
９０”　のものが、これまでは多かった。そこで、本願
出願人は先の出願「パターン検査用の位置合せ装置」（
特開昭５８−２１１１１号）ＶＣＣレイ、前記０″及び
９０°のエツジの角ｒＬｔ−検出する技術ｔｇ示（−て
いる。

しかし、かかるパターン検査用の位置合せ装置では、パ
ターンのエツジの角度が０°又は９０°以外のものは検
出できず、又速度が遅いこともあり、ＩＣの高集積化に
対応できなくなっていた。

〔発明の目的〕

本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、あらゆる角
度のエツジをもつ設計データと画家データとのずれを高
速に、しか本極めて高精度に検出できるパターン検査表
置を提供すること全目的とする。

〔発明のＣ要〕

そこで本発明では設計データに基づいて被検査物上に形
成されたパターンのうち所定の小領域内のパターンに対
応する画像データを検出する画像データ検出手段と、設
計データのうち小領域に対応する設計データを検出する
設計データ検出手段と、設計データ検出手段が検出した
設計データにより形成されるべきパターンのエツジとこ
の設計データにより形成されたパターンのエツジとのず
れ量ｔＳなる方向に伸びた少なくとも２以上のエツジに
ついて検出するずれ量検出手段と、ずれ量検出手段が検
出したずれ量に基づいて設計データにより形ｂｙされる
べきパターンとこの設計データにより形ｂｙされたパタ
ーンのエツジとのずれベクトルを検出する位置ずれ検出
手段とからパターン検査装置を構成する。

〔実ａ例〕

以下、本発明の一実施例を添付図面を参照して詳細に説
明する。

第１図は本発明に係るパターン検査装置のブロック図で
ある。設計データに基づいたパターンが形成されている
マスク又はレチクルなどの被検査物２は移動ステージ１
上に載置されており、そのパターンが撮像装置（画像デ
ータ検出手段）３Ｖｃよって撮像される。撮像装置３は
被検査物２の所定の小領域を読取走査して、小領域に対
応するアナログ画像信号を得、このアナログ画像信号を
２値化回路４に出力する。なお、撮像装置３は読取走査
線の数が１０２４木であｎ１解像度の高いアナログ画像
信号を得ることができる。また、被検査物２のパターン
は一般にガラス板上にクロムを用いて描画されるので、
撮１象装置３が出力するアナログ画像信号は白又は黒レ
ベルに対応した時系列信号となる。

２［化回路４はアナログｔｉｒｒＩＪＩ＋信号を撮像装
置３の一走ｆ：４１当り１０２４回サンプリングし、サ
ンプリングしたアナログ画イ象信号ｔ−２値化して２値
Ｉ［ｌＩｉ儂信号を得、さらに必要に応じて２値画像信
号に対するスムージング等の雑音除去処理を施す。

この２値画像信号は１０２４ｘ１０２！画素、即ち小領
域を２２０ビツト購成の時系列１面１象データとして表
わすものとなり、各画素（ビット）が”０　”（）、ク
ターンが形成されている部分）又ｔｉ＠１　″（パター
ンが形成されていない部分）となる。この２値画儂信号
Ｆｉ画像メモリ１８又け７ライン７画素遅らせ回路５に
出力される。

７ライン７画素遅らせ回路５はシフトレジスタ等によっ
てａＦｉ！されており、２値画像信号より７ライン７画
素遅れの２値画壇信号を作成し、これを切出回路６に出
力する。なお、７ライン７［［１ｊ素遅らせ回路５σ後
述するデータセレクタ回路１１を有効に動作させるため
のものである。

切出回路６げ被検査物２の小領域から矩形状の局所並列
領域ｃ以下、窓という）の画像データを切り出す本ので
おる。第２図は切出回路６の構成を示すブロック図であ
る。ｌ＠２図において、１４ｔｆｉ０１０２４ビツトシ
フトレジスタ６０２　は直列接続されており、各シフト
レジスタ６０２のｆｆ１段に１ｊ１５ビツトのシフトレ
ジスタ６０１が接続されている。そして、２値化回路４
がアナログｌｌ１ｉｉ像信号をサンプリングするのに同
期して、画１績メモリ１８又は７ライン７画素遅らせ回
路５から出力される画１データをシフトレジスタ６０２
、シフトレジスタ６０１の順序で順次シフトしていく。

１５個の１５ビツトンフトレジスタにシフトレジスタ６
０２から出力されるｍ像データ又は画像メモリ１８又は
７ライン７画素遅らせ回路５から出力される＃Ｊｇｊ！
データを順次シフトしていく。こうして、切出回路６は
シフトレジスタ６０１及び６０２のシフト動作により、
１５ｘ１５画素ｍ成である窓の１Ｉｔｉｉ＋＃ｌデータ
（７フトレジスタ６０１からのデータ）を出力し、この
窓のｌ！ｉｉ像データを位置検出回路７に加える。なお
、窓の＠Ｊ慮データは第３図に示すようにｍ＋家装［３
の走査線方向、即ち横方向に１から１５までの番号が、
縦方向にＡから０までの番号がそれぞれ付されており、
この番号ｔ−指定することにより、窓の画像データから
特定の画素を指定できるようになっている。

一方、設計データ検出手段としての計算機１３、即ち中
央処理装置、メモリ及びインターフェイス等から構成さ
れている計Ｊｉｔ磯１６は磁気テープ１５に保存されて
いる被検査物２のパターン設計データを読み込み、読み
込んだ設計データから被検査物２の小領域に対応するで
あると思われる設計データＣビットパターン）ｆｔ記憶
回路１２に記憶させる。記憶回路１２に記憶された設計
デー４は適宜データセレクタ回路１１を介して切出回路
１０に読み出される。なお、記憶回路１２ｔｌｕｌｉｉ
像データと設計データとの同期を図るためのものである
。

切出回路１０け前述の切出回路６と同様の構成になって
おり、窓の画家デー（に対応する設計データＣ以下、参
照窓の設計データという）を出力し、この参照窓の設計
データをエツジ検出回路８に加える。この参照窓の設計
デー４＃′ｉ窓の画像データと同じように番号１〜１５
及びＡ〜Ｏが付されている。なお、データセレクタ回路
１１はＯＩ〜１５画素、０〜１５ラインの範囲で任意の
遅れの設計データを作成するもので、７ライン７画素遅
れを選択し、被検査物２の小領域における−１データと
この１潅データに対応するであろう設計データとの間に
ずれがない場合には、切出回路６の画１象データと切出
回路１０の設計データとが位置的に一致するように定め
られている。

エツジ検出回路８は第４図に示すような８種類のテンブ
レーｌ−を有しており、このテンプｌ／ｋに基づいて、
設計データのエツジ角度を検出するものである。第４図
に示した８種類のテンプレートはそれぞれ０°（第４図
（ｅ）参照）、２２．５°（第４図ｒｆ）参照）、４５
°（槙４図（ＦＣ）参照）、６７．５°（’ｊｉｇｄ図
（ｈ）参照）、９０（７８４図（ａ）参照）、１１２．
５゜（第４図ｒｂ）参照）、１３５’（第４図（ｃ）参
照）及び１５７、５°（ｇｒ、４図（ｄ）参照）のエツ
ジ角Ｍｅ検出するために使用するものであり、第６図に
示した窓及び前述の参照窓と同様に番号１〜１５及びＡ
〜０が付されている。エツジ角度の検出はテンプレート
が指定する参照窓の設計データが１０”であるか１）”
であるかを判断することＫよって行なう。例えば、エツ
ジ角［９０°は以下のようにして検出する。エツジ角ｆ
９０°のテンプレート（第４図ｒａ３参照）が指定する
ビットａ１（番号りと８でＤ８と特定する、以下同じ）
、ａ２（Ｈ８）、ａ３（Ｈ８）、ａ４　（Ｊ８　）及び
ａ５（Ｈ８）に対応する参照窓の設計データが全て＠０
″であり、かつビットｂ　１　（Ｄ９　）、ｂ２（Ｆ９
’）、ｂ五（Ｈ９）、ｂ４ｒＪ９）及びｂ５（Ｌ、９）
に対応する参照窓の設計デー４が全て１”のときは１白
エツジ“という信号を出力する。又、ビットａ１（Ｄ８
）〜ａ５（Ｔ、８）に対応する参照窓の設計データが全
て１１　”であり、かつビットｂ１ｒＤ９）〜ｂ５ｒＬ
９）に対応する参照窓の設計データが全て＠０′″のと
き＃：ｒ″黒エツジ”という１ｇ号全出力する０ 、同様にして、エツジ検出回路ａｈ他のエツジ角度につ
いてもエツジ角１ｆ’に検出してｆｔ号を出力するが、
その説明は省略する。

なお、２２，５°、６７．５°、１゛１７．５°、１５
７．５°のテンプレートは、０°、４５°、９０°、１
６５°のテンプレートに比べてあまく作られており、０
°、４５°。

９０°、１６５°のテンプレートで検出でることのでき
ないエツジを広く検出できるようになっている。

これにより、８ａ類のテンプレートで全ての角度のエツ
ジを検出することが可能となる◇エツジ検出回路８が参
照窓のエツジ角度を検出するのく対応して、ずれ量検出
回路１６（ずれ量検出手段）は切出回路６から位置検出
回路７ｔ−介して入力される窓のｌ１ｉｉ像データのエ
ツジがエツジ検出回路８によって検出した参照窓の設計
データのエツジに対してどれだけずれているかを、第５
図に示すような位置検出回路７の有するテンプレートを
参照して検出する。

位置検出回路７が有するテンプレートはエツジ検出回路
８のテンプレートに対応してそれぞれＯｏ（第５図（・
）参照）、２２．５°（第５図（ｆ）参照）、４５゜（
７１４５Ｗｇ）参照）、６７．５°（＠　５　図（ｈ）
参照）、９０゜（第５図Ｃ＆）参照）、１１２．５°　
（第５図（ｂ）参照）、１６５°（第５図（ｃ）参照）
及び１５１５°　（纂５図ｒｄ）参照）のエツジ角度の
ずれ量を検出するのく参照されるもので、第４図に示し
たテンブレートド同様に番号１〜１５及びＡ〜０が付さ
れている。エツジ角度のずれ量の検出はテンプレートが
指定する窓の画像データが１０”であるか１１　”であ
るかを判断し、０”、“１”を判断した画像データとエ
ツジ検出回路８のテンプレートによって＠０”、１′を
判断した設計データとを比較することによって行なう。

例えば、設計データのエツジ角度９０°の白エツジ信号
が出力された時のずれ量は以下のよう和して検出する。

エツジ角度９０°のテンプレート（第５図（ａ）参照）
が指定するビットＣ１（Ｈｌ　）、Ｃ２（Ｈ２＞、Ｃ３
（Ｈ３）、Ｃ４（Ｈ４）、Ｃ３（）１５）、Ｃ’６（Ｈ
，５）、Ｃ７（Ｈ７）及びＣ３（Ｈ８）Ｋ対応する窓ノ
ｌ１１ｉｉ像データが全て１０”であり、かつビットＣ
９（Ｈ９）、Ｃｌ０（Ｈｌｏ）、Ｃ１１（Ｈｌｌ）、Ｃ
ｌ２ｒＨ１２）、ｃ１５（ｉ１３）、Ｃ１４（Ｈｌ４）
及びＣ１５（Ｈｌ５）に対応する窓の画像データが全て
＠１＋ｅのときは、ずれ量は零となる。

又、ビットＣＩ　（Ｈｌ　）〜Ｃ５（）１５　）に対応
する窓の画ス象データが全て１０”であり、かつビット
Ｃ６（Ｈ６）　〜Ｃ１５（Ｈｌ５）Ｋ対応するｇｃＤ参
ｆｉデータが全て”　１　”のときは、ずれ量は一３画
素となる。

さらに、ビットＣＩ（ｆ（１）〜Ｃ５（Ｈ５）が全て１
０”。

Ｃ６（Ｈ６）〜Ｃ１３（１（１３）が全て１　”、Ｃ１
４（）ｆ１４）〜Ｃ１５（ｆ（１５）が全て１０″、と
いう場合でも、設計データのエツジと同種のエツジ（エ
ツジの左側が０′で右側が”　１　”）が１箇所しかな
いので、ずれ量は一５ｕｍｉ素と検出することができる
。

なお、ずれ量が大きすぎる場合又は微細なパターンなど
で検出したエツジと同種のエツジが多数存在する場合、
エツジ検出回路８がエツジを検出１、ても、ずれ量検出
回路１６はずれ量を算出できないことがある。アライメ
ントの初期において、ずれ蝋が大きすぎる場合には、２
値化回路４が出力−する画像データを一時画壕メモリ１
８に記憶させておき、データセレクタ回路１１により設
計データによるパターント画像データによるパターンと
の位置を相対的にずらしながら何回か計測を行なうよう
にする。これにより被検査物２の一回の撮影で検出可能
なずれ量のレンジを拡げる事ができることになる。

又、パターンが（ｌ［なものである場合には、エツジ検
出回路８及び位置検出回路７の各テンブレー　トｔ−狭
める、即ち０″又は“１　ｍを判断する画素の数を減少
させることにより対処する。具体的には第４因に示した
エツジ検出回路８のテンブレー）−においては、画素ａ
１、ａ５、ｂｌ及びｂ５を比較の対象からはずすと同時
に、第５図に示した位置検出回路７のテンプレートにお
いても両端を、２画素ずつ比較の対称からはずす。これ
らの判断は計算機１３が行なうが、計算機１３は被検査
物２に関する情報および第１図に示した特徴抽出回路９
で検出した設計データの特徴情報およびＩ！Ｉ＃微抽出
回路１９で検出した画像データの特徴情報を参照する。

これにより、微細なパターンやラインとスペースなどで
位置ずれ情報が得られにくいときに対しＥできる。

この特徴油出回路９は、設計データの切出し回路１０か
らの切り出し情報を入力して、検査すべき１画面内の１
”（又は”０“）の画素数ｔカウントするとともに、１
画面内のエツジ（特に【１°、９０°、４５°、１３５
°）の長さを計測する機能を備え、そのカウント値より
１ｕ！ｊ面内のパターンの黒（又は白）の面積を求める
ものである。この面積情報とエツジの長さ情報とは計Ｘ
機１３に送られ、検査しようとする１面のパターンの密
度等が判断される。

特徴抽出回路１９についても同様であり、撮儂された１
壕データからパターンの密度等が判断される。

尚、この判断は作業者が目視により行なってもよい。ま
た特徴抽出回路９．１９は被検査物２をラフにアライメ
ントする際に、被検査物２上のアライメントマークを検
出しえり、又はスクライブライン（ストリートライン）
ｔ−検出するためにも使われる。

カウンタ回路１７は０°から１５７．５’までの各エツ
ジ角度に対応する８組の加算器及びカウンタを有してお
り、各加算器がずれ量検出回路１６に：よって検出され
たずれ量を積算し、各カウンタが有効データ数を計数す
る、ずれ量の検出は窓を移動させて、小領域全域にわた
って行なわれ、カウンタ回路１７は各エツジ角度のずれ
量を各角度毎に！Ｒ′ＪｌＫする。計、ｔｔｌ１３はカ
ウンタ回路１７の積算値を有効データ数で除し、各エツ
ジ毎の補正係数をかけて各エツジ角度のずれ量を算出す
る。なお、同じエツジ角度で黒エツジと白エツジのずれ
量が異なるときはその平均をずれ量とする。ｆた、各各
のエツジ角度について黒エツジ及び白エツジからずれ量
を算出したときには、パターンの太り（又は細り）全検
出することができる。即ち、第６エツジ）及びパターン
Ｐ１の右辺ドパターンＰ２の右辺とのずれ量Ｂ（白エツ
ジ）から、ずれ量（Ａ＋Ｂ）／２が算出でき、パターン
の太り拳細りはずれ菫゛ＡとＢとの２１１Ｂ−Ａから算
出できる。このときＢ−Ａが正ならばパターンの太り、
Ｂ−Ａが負ならばパターンの細りとして算出されること
になる。

位置ずれ検出手段としての計算セ１６にずれ量検出回路
１６が検出した各エツジ角度のずれ量からずれベクトル
ｔ−Ｘ出する。ずれベクトルハ第７図に示すようにある
設計データＤとこの設計データに対応する画素Ｐとを結
ぶベクトルとして表わされるもので、２以上のエツジ角
度に対応するずれ量から算出する。即ち、第７図におい
ては設計データＤに対し、エツジ角度θ１、θ２及びθ
３に対応するずれ量Ｓ１、Ｓ２及びＳ３から、直線ｔｌ
、　ｔ、及びｔ３の交点として画ＸＰの位置が求められ
、ずれベクトルＡが求められる。実際には、３以上の角
度に対しては、直線４ｅ　４＊　Ａｌｍ・・・・・・は
１点で父わらないことが多いので、直ｉｌｌ　４　ｅ　
Ａｔ　ｅｔｓ、・・・・・・　からの距離の２乗和が最
小になる点をＰ点とする。第８図は任慧の直線２１から
画素Ｐまでの距離の算出方法を説明する図である。エツ
ジ角１ｆ’ｔ−θｉ、エツジ内置０１に対応する直１１
　ｔ’　ｔｉ　ｓ　Ｘｙ座標の原点０（設計データＤ）
から直＠ｔ１までの距離１ｓｔとすると、画素ＰＣ”Ｏ
ｎ　）’ｏ）から直線ｔｔまでの距離ｒ１は ｒｌ　＝　ｓｌ　−（ＸＱｅＯａ　（ｌｉ　−（ｙ□　
　ｓｉｎθｉ）　　　　　（１）になる。従って、複数
（Ｎ）のエツジ角度にそれぞれ対応する直線から点Ｐま
での距離の２乗和Ｖは、■＝Σｒ　＋　２（２） Ｋなるので、この２乗和ｖｔ−最小にする。Ｘｏ、’ｌ
。

がシフト量になる。即ち、 ’ｆ：　ＸＱ、　Ｙｏについて解くと とする。ま７ｔ（７）式は、求め九ＸＯ＋　３’Ｇ　　
ｏ値に対して、σだけの偏差があることを意味する。

ずれ量検出回路１６が各エツジ角度について検出し九ず
れｊｌｔはその度数が各エツジ角度によって異なる。ま
た、エツジ角１ｆ２２．５°、６１５°、１１２．５゜
及び１５Ｚ５°のテンプレートは広い範囲の角度に対応
させるものであるため、前後のエツジ角度の検出Ｋかか
らない様なエツジ角度の全てで検出されるように積置が
低くなっている。従って、ずれ量を検出しな度数及びエ
ツジ角度によってデータに重みをつけることによってよ
り楕［ｔ−向上させることができる。重みつげｔ行なう
場合に（２）式は、になる。ただし、Ｗｌは重みとする
０ 度数による重みは、全小領域（１０２４ｘ１０２４画素
）のエツジ角度の検出において、例えば検出度数が５０
０を超えたエツジ角度のデータを有効として、ｗｉ＝４
−とする。又、エツジ角度による重みはエツジ角ｆＯ°
及び９０°をクラスＡ。

エツジ角度４５°及び１３５°ｔ−クラスＢ１エツジ角
度２２．５°、６１５°、１１２゜５°及び１５１５°
ｔクラスＣとするプライオリティをつける。このように
度数及びエツジ角度による重みをっけ、クラスＡＩＺ）
２つのエツジ角度に十分な度数（１０００以上）がある
ときは、クラスＡのエツジ角度のみＫよってシフト′Ｉ
ｋ１：算出し、又クラスＡのエツジ角度だけでは不十分
であるときはクラスＡ及びＢのエツジ角度によってシフ
ト量を算出し、それでも不十分な時はクラスＡ、Ｂおよ
びＣの角度によってシフト量を算出する。

駆動手段１４は計算機１６が算出したずれベクトルに基
づいて移動ステージ１を動かし、ずれベクトルを零にす
る。

本発明に係るパターン検査装置ｔ全用いることにより被
検査体の歪み、伸縮の補正などを検査実行中に行うこと
ができる。まず、このパターン検査装置又は他の装置（
プリアライメント機倶）によって回転方向の角凝合せ奢
し、任意に定めた座標原点において設計データに基づく
パターンと画像データに基づくパターンとを正確に対応
付ける。

次いで、検査前に検査＠城をカバーするようにラグなス
キャン（ブリスキャン）ｔ−シ、大体の角度、歪み及び
伸縮等をつかんでおく。さらに検査時に各検査行毎くプ
リスキャン時、の位置ずれデータ及びそれ迄に検査され
た行又はその行自身の位置ずれ情報とからその行に最適
な補正量を算出し、その補正値に従って移動ステージ１
を制御して検査を行なう。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、設計データに基づ
いて被検査物上に形成され次ハターンのうち所足の小領
域内のパターンに対応する画像データを検出する画像デ
ータ検出手段と、設計データのうち小領域に対応する設
計データ金検出する設計データ検出手段と、設計データ
検出手段が検出した設計データにより形成されるべきパ
ターンのエツジとこの設計データにより＠成されたパタ
ーンのエツジとのずれ鑓を各方向に沖びたパターンのエ
ツジについてそれぞれ検出するずれ量検出手段と、検出
したずれ量ＶＣ基づいて設計データにより形成されるべ
きパターンとこの設計データにより形成されたパターン
とのずれベクトルヲ検出する位置ずれ検出手段とからパ
ターン検ｆ装ｆｆ１ｔ−１ｌ成することにより、設計デ
ータがどのような角度のエツジ金持っていても、また、
設計データに、４Ｊいて被検査物上に形成されたパター
ンがどのような方向にずれ゛ていてもこれを検出できる
ことになる。

また、設計データにより形成゛されるべきパターンとこ
の設計データにより形成したパターンとの局所的なずれ
や歪み°を位置ベクトルの算出により定量的釦検出する
ことができる。

さらに、本発明によるパターン検査装置によって高速で
高精度の位置合せが可能となる０４、図面のｌ１ｌｉｊ
ＩＩＬな説明 第１図は本発明に係るパターン検査用の位置合せ装置の
ブロック図、第２図は第１図に示した切出回路のブロッ
ク図、酊３図は窓の画像データの概念図、第４図は第１
図に示したエツジ検出回路の有するテンプｖ−）の概略
図、第５図ｉｔ第１因に示した位置検出回路の有するテ
ンプレートの概略図、第６図はパターンの太り又は細り
を検出する説明図、ｇ７１９にずれベクトルの算出方法
を示す説明図、第８図は任意の直線から画素までの距離
の算出方法を示す説明図である。

１・・・移動ステージ、２・・・被検査物、３・・・撮
像装置、４・・・２値化回路、５・・・７ライン７画素
遅らせ回路、６．１０・・・切出回路、７・・・位置検
出回路、８・・・エツジ検出回路、９．１９・・・特徴
抽出回路、１１・・・データセレクタ回路、１２・・・
記憶回路、１６・・・計算機、１４・・・駆動手段、１
５・・・磁気テープ、１６・・・ずれ量検出回路、１７
・・・カウンタ回路、１８・・・記憶回路。

代理人　弁理士　　佐　藤　正　年 第１図 （（１）　　　　　　　　　　　（Ｃ）Ｃｂ）　　　　
　　　　　　　（ｄ） （ｅ）　　　　　　　　　　　（’ｊ）は）　　　　　
　　　（鉤 （θ）（Ｃ） （ｂ）　　　　　　　　　　（ｄ） 第、 （ｅ）（保） けり　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（−Ｐｌ）５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　設計データに基づいて被検査物上に形成されたパター
   ンのうち所定の小領域内のパターンに対応する画像デー
   タを検出する画像データ検出手段と、前記設計データの
   うち前記小領域に対応する設計データを検出する設計デ
   ータ検出手段と、該設計データ検出手段が検出した設計
   データにより形成されるべきパターンのエッジと該設計
   データにより形成されたパターンのエッジとのずれ量を
   異なる方向に伸びた少なくとも２以上のエッジについて
   それぞれ検出するずれ量検出手段と、該ずれ量に基づい
   て前記設計データにより形成されるべきパターンと該設
   計データにより形成されたパターンとのずれベクトルを
   検出する位置ずれ検出手段とを備えたことを特徴とする
   パターン検査装置。