JPS61274242A - 微粒子検出装置 - Google Patents
微粒子検出装置Info
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- JPS61274242A JPS61274242A JP60117417A JP11741785A JPS61274242A JP S61274242 A JPS61274242 A JP S61274242A JP 60117417 A JP60117417 A JP 60117417A JP 11741785 A JP11741785 A JP 11741785A JP S61274242 A JPS61274242 A JP S61274242A
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- Japan
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- nozzle
- air nozzle
- clean air
- moving means
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1404—Handling flow, e.g. hydrodynamic focusing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
- G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、サンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒径分布
を測定する微粒子検出装置に関し、特に発光源からの光
ビームの光軸に対して各ノズルの位置を容易に微調整で
きるようにした微粒子検出装置に関する。
を測定する微粒子検出装置に関し、特に発光源からの光
ビームの光軸に対して各ノズルの位置を容易に微調整で
きるようにした微粒子検出装置に関する。
従来の技術
微粒子検出装置は、第２図に示すように、レーザ発振器
等の発光源１の光軸上に設けられた検出セル２内に塵埃
粒子を含むサンプルエアを矢印Ａのように導き、上記発
光源１から射出される光ビームと交わらせ、その光ビー
ムが上記サンプルエア中の浮遊粒子に当って散乱した散
乱光を集光レンズ３で集光し、これをフォトマル４で検
知して、その検知信号を信号処理回路５で処理すること
により、サンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒径分布を
測定するものである。なお、第２図において、符号６は
上記検出セル２内にサンプルエアを吸入すると共に通過
後のサンプルエアを再び検出セル２へ還流させるエアポ
ンプである。
等の発光源１の光軸上に設けられた検出セル２内に塵埃
粒子を含むサンプルエアを矢印Ａのように導き、上記発
光源１から射出される光ビームと交わらせ、その光ビー
ムが上記サンプルエア中の浮遊粒子に当って散乱した散
乱光を集光レンズ３で集光し、これをフォトマル４で検
知して、その検知信号を信号処理回路５で処理すること
により、サンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒径分布を
測定するものである。なお、第２図において、符号６は
上記検出セル２内にサンプルエアを吸入すると共に通過
後のサンプルエアを再び検出セル２へ還流させるエアポ
ンプである。
ここで、従来の微粒子検出装置の検出セル２の部分の構
造は、第３図に示すように、検出セル２の内部空間の一
側面にレーザチューブ７が設けられると共にこれと対向
する他側面には外部反射鏡８が設けられ、上記レーザチ
ューブ７と外部反射鏡８との間を往復するレーザ光の光
軸９と直交する方向にて上記検出セル２の相対抗する側
面部には、上記光軸９を境にしてそれぞれのノズル孔１
０．１１が対向配置されたクリーンエアノズル１２及び
吸引ノズル１３が植設され、上記クリーンエアノズル１
２内にてその中心軸部にはサンプルエアノズル１４が設
けられている、そして、上記クリーンエアノズル１２及
び吸引ノズル１３並びにサンプルエアノズル１４は、上
記光軸９に対する位置関係が固定されており、その位置
を調整する機構は設けられていなかった。
造は、第３図に示すように、検出セル２の内部空間の一
側面にレーザチューブ７が設けられると共にこれと対向
する他側面には外部反射鏡８が設けられ、上記レーザチ
ューブ７と外部反射鏡８との間を往復するレーザ光の光
軸９と直交する方向にて上記検出セル２の相対抗する側
面部には、上記光軸９を境にしてそれぞれのノズル孔１
０．１１が対向配置されたクリーンエアノズル１２及び
吸引ノズル１３が植設され、上記クリーンエアノズル１
２内にてその中心軸部にはサンプルエアノズル１４が設
けられている、そして、上記クリーンエアノズル１２及
び吸引ノズル１３並びにサンプルエアノズル１４は、上
記光軸９に対する位置関係が固定されており、その位置
を調整する機構は設けられていなかった。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような微粒子検出装置においては、上記三
本のノズル１２，１３，１４の位置関係を計算どおりに
設計したとしても、機械誤差等によりそれらの位置関係
にはばらつきが生ずることがあり、この場合に各ノズル
１２，１３．１４の位置を調整することができなかった
。ここで、クリーンエアノズル１２のノズル孔１０と吸
引ノズル１３のノズル孔１１との間隔δ□が狭い場合は
、上記レーザチューブ７と外部反射ｆｉ８との間を往復
するレーザ光が各ノズル１２．１３の先端部に当たり、
乱反射してその反射光をフォトマル４が検出してしまう
こととなる。従って、装置としては塵埃粒子以外からの
反射光を検出してしまい、Ｓ／Ｎ比が小さくなるもので
あった。このことから、塵埃の粒径ごとのクラス分けが
不十分となり、粒径の識別範囲が狭くなるものであった
。また、上記ノズル間隔δ１が広い場合は、クリーンエ
アノズル１２のノズル孔１０から吸引ノズル１３のノズ
ル孔１１へ向かうサンプルエアの流れがポテンシャルコ
ア領域（流体が層流で流れる領域）を過ぎてしまい、上
記サンプルエアの流れが乱流となって塵埃粒子が渦を巻
いた状態となる。従って、装置としては一つの塵埃粒子
からの反射光を何回も検出することとなり、検出誤差が
生ずるものであった。さらに、上記クリーンエアノズル
１２のノズル孔１０とサンプルエアノズル１４のノズル
孔との間隔δ２の広狭も、上記サンプルエアの流れの状
態に影響を与えるものであった。
本のノズル１２，１３，１４の位置関係を計算どおりに
設計したとしても、機械誤差等によりそれらの位置関係
にはばらつきが生ずることがあり、この場合に各ノズル
１２，１３．１４の位置を調整することができなかった
。ここで、クリーンエアノズル１２のノズル孔１０と吸
引ノズル１３のノズル孔１１との間隔δ□が狭い場合は
、上記レーザチューブ７と外部反射ｆｉ８との間を往復
するレーザ光が各ノズル１２．１３の先端部に当たり、
乱反射してその反射光をフォトマル４が検出してしまう
こととなる。従って、装置としては塵埃粒子以外からの
反射光を検出してしまい、Ｓ／Ｎ比が小さくなるもので
あった。このことから、塵埃の粒径ごとのクラス分けが
不十分となり、粒径の識別範囲が狭くなるものであった
。また、上記ノズル間隔δ１が広い場合は、クリーンエ
アノズル１２のノズル孔１０から吸引ノズル１３のノズ
ル孔１１へ向かうサンプルエアの流れがポテンシャルコ
ア領域（流体が層流で流れる領域）を過ぎてしまい、上
記サンプルエアの流れが乱流となって塵埃粒子が渦を巻
いた状態となる。従って、装置としては一つの塵埃粒子
からの反射光を何回も検出することとなり、検出誤差が
生ずるものであった。さらに、上記クリーンエアノズル
１２のノズル孔１０とサンプルエアノズル１４のノズル
孔との間隔δ２の広狭も、上記サンプルエアの流れの状
態に影響を与えるものであった。
これらに対処するため、従来は、それぞれのノズル取付
部に数種類のスペーサを適宜挿入して上記間隔δ□及び
δ２を調整していたが、その間隔調整が困難であると共
に長時間を要するものであった。そこで１本発明は、各
ノズルの位置を容易に微調整できるようにした微粒子検
出装置を提供することを目的とする。
部に数種類のスペーサを適宜挿入して上記間隔δ□及び
δ２を調整していたが、その間隔調整が困難であると共
に長時間を要するものであった。そこで１本発明は、各
ノズルの位置を容易に微調整できるようにした微粒子検
出装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は１発光源からの
光ビームの光軸上に設けられた検出セルと、上記光軸に
直交する方向にて上記検出セルの相対向する側面部に植
設され上記光軸を境にしてそれぞれのノズル孔が対向配
置されたクリーンエアノズル及び吸引ノズルと、上記ク
リーンエアノズル内にてその中心軸部に設けられたサン
プルエアノズルとを有する微粒子検出装置において、上
記クリーンエアノズル及び吸引ノズルの検出セルの当該
側面部への取付は部に、各々クリーンエアノズル及び吸
引ノズルを上記検出セルに対して微調整する移動手段を
設けると共に、上記サンプルエアノズルのクリーンエア
ノズルへの取付部に、該サンプルエアノズルを上記クリ
ーンエアノズルに対して微調整する移動手段を設けたこ
とを特徴とする微粒子検出装置によってなされる。
光ビームの光軸上に設けられた検出セルと、上記光軸に
直交する方向にて上記検出セルの相対向する側面部に植
設され上記光軸を境にしてそれぞれのノズル孔が対向配
置されたクリーンエアノズル及び吸引ノズルと、上記ク
リーンエアノズル内にてその中心軸部に設けられたサン
プルエアノズルとを有する微粒子検出装置において、上
記クリーンエアノズル及び吸引ノズルの検出セルの当該
側面部への取付は部に、各々クリーンエアノズル及び吸
引ノズルを上記検出セルに対して微調整する移動手段を
設けると共に、上記サンプルエアノズルのクリーンエア
ノズルへの取付部に、該サンプルエアノズルを上記クリ
ーンエアノズルに対して微調整する移動手段を設けたこ
とを特徴とする微粒子検出装置によってなされる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明による微粒子検出装置の実施例を示す断
面図である。この微粒子検出装置は、塵埃粒子を含むサ
ンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒径分布を測定するも
ので、第２図に示すと同様に、レーザ発振器等の発光源
１と、この発光源１の光軸上に設けられた検出セル２と
、上記発光源１から射出された光ビームが検出セル２内
に吸入されたサンプルエア中の浮遊粒子に当って生ずる
散乱光を集める集光レンズ３と、この集光レンズ３で集
めた散乱光を検知するフォトマル４と、その検知信号を
処理する信号処理回路５と、エアポンプ６とを有してい
る。そして、このような微粒子検出装置の検出セル２の
部分の構造は、第１図に示すように、検出セル２の内部
空間の一側面にレーザチューブ７が設けられると共にこ
れと対向する他側面には外部反射鏡８が設けら九、上記
レーザチューブ７と外部反射鏡８との間を往復するレー
ザ光の光軸９と直交する方向にて上記検出セル２の相対
向する側面部には、上記光軸９を境にしてそれぞれのノ
ズル孔１０．１１が対向配置されたクリーンエアノズル
１２及び吸引ノズル１３が植設され、上記クリーンエア
ノズル１２内にてその中心軸部にはサンプルエアノズル
１４が設けられている。
面図である。この微粒子検出装置は、塵埃粒子を含むサ
ンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒径分布を測定するも
ので、第２図に示すと同様に、レーザ発振器等の発光源
１と、この発光源１の光軸上に設けられた検出セル２と
、上記発光源１から射出された光ビームが検出セル２内
に吸入されたサンプルエア中の浮遊粒子に当って生ずる
散乱光を集める集光レンズ３と、この集光レンズ３で集
めた散乱光を検知するフォトマル４と、その検知信号を
処理する信号処理回路５と、エアポンプ６とを有してい
る。そして、このような微粒子検出装置の検出セル２の
部分の構造は、第１図に示すように、検出セル２の内部
空間の一側面にレーザチューブ７が設けられると共にこ
れと対向する他側面には外部反射鏡８が設けら九、上記
レーザチューブ７と外部反射鏡８との間を往復するレー
ザ光の光軸９と直交する方向にて上記検出セル２の相対
向する側面部には、上記光軸９を境にしてそれぞれのノ
ズル孔１０．１１が対向配置されたクリーンエアノズル
１２及び吸引ノズル１３が植設され、上記クリーンエア
ノズル１２内にてその中心軸部にはサンプルエアノズル
１４が設けられている。
ここで、本発明においては、上記吸引ノズル１３は、検
出セル２に対してその取付位置が微調整可能に設けられ
ている。すなわち、検出セル２の当該側面部への取付は
部に、第一のインナーガイドハウジング１５がボルト１
６によって固定されており、このインナーガイドハウジ
ング１５の中央孔部内に上記吸引ノズル１３の先端部が
インロー公差にてスライド可能に挿入されている。そし
て、上記吸引ノズル１３の中間部に形成された段部１７
には第一のアジャストリング１８が回転可能に設けられ
ており、このアジャストリング１８の内周面に切られた
雌ネジが上記第一のインナーガイドハウジング１５の筒
状部１９の外周面に切られた雄ネジと螺合している。さ
らに、上記吸引ノズル１３の肉厚部内にその長手方向に
穿設された穴には第一のり−マボルト２０が挿通されて
おり、このリーマボルト２０の先端部は、上記第一のイ
ンナーガイドハウジング１５の筒状部１９の肉厚部に設
けられたネジ穴に螺合している。従って、上記第一のり
−マボルト２０を少し緩めた状態で第一のアジャストリ
ング１８を適宜回転させると、上記吸引ノズル１３の全
体は第一のリーマボルト２０を案内として、第一のイン
ナーガイドハウジング１５に対して直線状に移動するこ
ととなる。すなわち、上記第一のアジャストリング１８
を移動手段として、吸引ノズル１３を検出セル２に対し
てその取付位置を微調整することができる。
出セル２に対してその取付位置が微調整可能に設けられ
ている。すなわち、検出セル２の当該側面部への取付は
部に、第一のインナーガイドハウジング１５がボルト１
６によって固定されており、このインナーガイドハウジ
ング１５の中央孔部内に上記吸引ノズル１３の先端部が
インロー公差にてスライド可能に挿入されている。そし
て、上記吸引ノズル１３の中間部に形成された段部１７
には第一のアジャストリング１８が回転可能に設けられ
ており、このアジャストリング１８の内周面に切られた
雌ネジが上記第一のインナーガイドハウジング１５の筒
状部１９の外周面に切られた雄ネジと螺合している。さ
らに、上記吸引ノズル１３の肉厚部内にその長手方向に
穿設された穴には第一のり−マボルト２０が挿通されて
おり、このリーマボルト２０の先端部は、上記第一のイ
ンナーガイドハウジング１５の筒状部１９の肉厚部に設
けられたネジ穴に螺合している。従って、上記第一のり
−マボルト２０を少し緩めた状態で第一のアジャストリ
ング１８を適宜回転させると、上記吸引ノズル１３の全
体は第一のリーマボルト２０を案内として、第一のイン
ナーガイドハウジング１５に対して直線状に移動するこ
ととなる。すなわち、上記第一のアジャストリング１８
を移動手段として、吸引ノズル１３を検出セル２に対し
てその取付位置を微調整することができる。
これと同様にして、前記クリーンエアノズル１２も検出
セル２に対してその取付位置が微調整可能に設けられて
いる。すなわち、検出セル２の他側面部に第二のインナ
ーガイドハウジング２１がボルト２２によって固定され
、このインナーガイドハウジング２１の中央孔部内に上
記クリーンエアノズル１２の先端部がインロー公差にて
スライド可能に挿入されると共に、このクリーンエアノ
ズル１２の中間部に回転可能に設けられた第二のアジス
トリング２３の雌ネジが上記第二のインナーガイドハウ
ジング２１の筒状部２４の雄ネジと螺合している。そし
て、上記クリーンエアノズル１２の肉厚部内に挿通され
た第二のり−マボルト２５を案内として、上記第二のイ
ンナーガイドハウジング２１に対して直線状に移動しう
るようになっている。
セル２に対してその取付位置が微調整可能に設けられて
いる。すなわち、検出セル２の他側面部に第二のインナ
ーガイドハウジング２１がボルト２２によって固定され
、このインナーガイドハウジング２１の中央孔部内に上
記クリーンエアノズル１２の先端部がインロー公差にて
スライド可能に挿入されると共に、このクリーンエアノ
ズル１２の中間部に回転可能に設けられた第二のアジス
トリング２３の雌ネジが上記第二のインナーガイドハウ
ジング２１の筒状部２４の雄ネジと螺合している。そし
て、上記クリーンエアノズル１２の肉厚部内に挿通され
た第二のり−マボルト２５を案内として、上記第二のイ
ンナーガイドハウジング２１に対して直線状に移動しう
るようになっている。
さらに、前記サンプルエアノズル１４は、上記り・リー
ンエアノズル１２に対してその取付位置が微ｍｖｘ可能
に設けられている。すなわち、上記クリーンエアノズル
１２の内径部にサンプルエアノズル１４がインロー公差
にてスライド可能に挿入されると共に、クリーンエアノ
ズル１２の上端部に回転可能に設けられた第三のアジャ
ストリング２６の雌ネジが上記サンプルエアノズル１４
の上部外周面に切られた雄ネジと螺合している。そして
、このサンプルエアノズル１４の肉厚部内に挿通された
第三のり−マボルト２７を案内として。
ンエアノズル１２に対してその取付位置が微ｍｖｘ可能
に設けられている。すなわち、上記クリーンエアノズル
１２の内径部にサンプルエアノズル１４がインロー公差
にてスライド可能に挿入されると共に、クリーンエアノ
ズル１２の上端部に回転可能に設けられた第三のアジャ
ストリング２６の雌ネジが上記サンプルエアノズル１４
の上部外周面に切られた雄ネジと螺合している。そして
、このサンプルエアノズル１４の肉厚部内に挿通された
第三のり−マボルト２７を案内として。
上記クリーンエアノズル１２に対して直線状に移動しう
るようになっている。従って、上記第三のアジャストリ
ング２６を移動手段として、サンプルエアノズル１４を
クリーンエアノズル１２に対してその取付位置を微調整
することができる。なお、第１図において、符号２８，
２９，３０，３１．３２は検出セル２内の気密を保つ○
リングである。
るようになっている。従って、上記第三のアジャストリ
ング２６を移動手段として、サンプルエアノズル１４を
クリーンエアノズル１２に対してその取付位置を微調整
することができる。なお、第１図において、符号２８，
２９，３０，３１．３２は検出セル２内の気密を保つ○
リングである。
このように構成された微粒子検出装置において各ノズル
１２，１３．１４の位置を調整するには、まず、各ノズ
ル１２，１３．１４の先端部を光ビームの光軸９に対し
て最も近づけた位置にセットする。次に、第一のアジャ
ストリング１８及び第二のアジャストリング２３をそれ
ぞれ回転操作して、吸引ノズル１３のノズル孔１１及び
クリーンエアノズル１２のノズル孔１ｏを光軸９から少
しずつ遠去け、光ビームのビーム径に対して最適なノズ
ル間隔δ１となるように微調整してセットする。この状
態で、第三のアジャストリング２６を回転操作し、サン
プルエアノズル１４のノズル孔を上記クリーンエアノズ
ル１２のノズル孔１０から少しずつ遠ざけ、サンプルエ
アの流れが層流となる最適なノズル間隔δ２に微調整し
てセットすればよい。
１２，１３．１４の位置を調整するには、まず、各ノズ
ル１２，１３．１４の先端部を光ビームの光軸９に対し
て最も近づけた位置にセットする。次に、第一のアジャ
ストリング１８及び第二のアジャストリング２３をそれ
ぞれ回転操作して、吸引ノズル１３のノズル孔１１及び
クリーンエアノズル１２のノズル孔１ｏを光軸９から少
しずつ遠去け、光ビームのビーム径に対して最適なノズ
ル間隔δ１となるように微調整してセットする。この状
態で、第三のアジャストリング２６を回転操作し、サン
プルエアノズル１４のノズル孔を上記クリーンエアノズ
ル１２のノズル孔１０から少しずつ遠ざけ、サンプルエ
アの流れが層流となる最適なノズル間隔δ２に微調整し
てセットすればよい。
発明の効果
本発明は以上説明したように、クリーンエアノズル１２
及び吸引ノズル１３並びサンプルエアノズル１０．４の
それぞれの取付部にその取付位置を微調整する移動手段
（１８，２３，２６）を設けたので、発光源からの光ビ
ームの光軸９に対して各ノズル１２，１３．１４の位置
を容易かつ短時間に調整することができる。また、上記
各ノズル１２．１３．１４の位置調整は、移動手段とし
てのアジャストリング１８，２３．２６によって連続的
に微調整できるので、第１図に示すノズル間隔δ、及び
δ２を最適状態にセットすることができ、該ノズル間隔
の広狭による粒径の識別範囲の低下や検出誤差の発生を
防止して測定の信頼性を向上することができる。
及び吸引ノズル１３並びサンプルエアノズル１０．４の
それぞれの取付部にその取付位置を微調整する移動手段
（１８，２３，２６）を設けたので、発光源からの光ビ
ームの光軸９に対して各ノズル１２，１３．１４の位置
を容易かつ短時間に調整することができる。また、上記
各ノズル１２．１３．１４の位置調整は、移動手段とし
てのアジャストリング１８，２３．２６によって連続的
に微調整できるので、第１図に示すノズル間隔δ、及び
δ２を最適状態にセットすることができ、該ノズル間隔
の広狭による粒径の識別範囲の低下や検出誤差の発生を
防止して測定の信頼性を向上することができる。
第１図は本発明による微粒子検出装置の実施例を示す断
面図、第２図は微粒子検出装置の概要を示すブロック図
、第３図は従来の微粒子検出装置を示す断面図である。 １・・・発光源 ２・・・検出セル フ・・・レーザチューブ ８・・・外部反射鏡 ９・・・光 軸 １０．１１・・・ノズル孔 １２・・・クリーンエアノズル １３・・・吸引ノズル １４・・・サンプルエアノズル １５．２１・・・インナーガイドハウジング１８．２３
，２６・・・アジャストリング（移動手段） ２０．２５，２７・・・リーマボルト 出願人 日立電子エンジニアリング株式会社第３図
面図、第２図は微粒子検出装置の概要を示すブロック図
、第３図は従来の微粒子検出装置を示す断面図である。 １・・・発光源 ２・・・検出セル フ・・・レーザチューブ ８・・・外部反射鏡 ９・・・光 軸 １０．１１・・・ノズル孔 １２・・・クリーンエアノズル １３・・・吸引ノズル １４・・・サンプルエアノズル １５．２１・・・インナーガイドハウジング１８．２３
，２６・・・アジャストリング（移動手段） ２０．２５，２７・・・リーマボルト 出願人 日立電子エンジニアリング株式会社第３図
Claims (1)
- 発光源からの光ビームの光軸上に設けられた検出セルと
、上記光軸に直交する方向にて上記検出セルの相対向す
る側面部に植設され上記光軸を境にしてそれぞれのノズ
ル孔が対向配置されたクリーンエアノズル及び吸引ノズ
ルと、上記クリーンエアノズル内にてその中心軸部に設
けられたサンプルエアノズルとを有する微粒子検出装置
において、上記クリーンエアノズル及び吸引ノズルの検
出セルの当該側面部への取付け部に、各々クリーンエア
ノズル及び吸引ノズルを上記検出セルに対して微調整す
る移動手段を設けると共に、上記サンプルエアノズルの
クリーンエアノズルへの取付部に、該サンプルエアノズ
ルを上記クリーンエアノズルに対して微調整する移動手
段を設けたことを特徴とする微粒子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117417A JPS61274242A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 微粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117417A JPS61274242A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 微粒子検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61274242A true JPS61274242A (ja) | 1986-12-04 |
| JPH0415895B2 JPH0415895B2 (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=14711126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60117417A Granted JPS61274242A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 微粒子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61274242A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0280937A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Hitachi Ltd | フローセル装置 |
| JPH0572111A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 微粒子検出器のノズル固定方法 |
| JPH06300677A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 粒子検知装置 |
| WO2017145768A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | アズビル株式会社 | 粒子検出装置 |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP60117417A patent/JPS61274242A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0572111A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 微粒子検出器のノズル固定方法 |
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| WO2017145768A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | アズビル株式会社 | 粒子検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0415895B2 (ja) | 1992-03-19 |
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