JPS6127640U - ウエハ−移載用チヤツクホルダ− - Google Patents

ウエハ−移載用チヤツクホルダ−

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Publication number
JPS6127640U
JPS6127640U JP1984111380U JP11138084U JPS6127640U JP S6127640 U JPS6127640 U JP S6127640U JP 1984111380 U JP1984111380 U JP 1984111380U JP 11138084 U JP11138084 U JP 11138084U JP S6127640 U JPS6127640 U JP S6127640U
Authority
JP
Japan
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chuck holder
wafer
pair
wafer transfer
curvature
Prior art date
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Application number
JP1984111380U
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JPH0249714Y2 (ja
Inventor
明和 小久保
晴彦 牧野
和弘 杉田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPS6127640U publication Critical patent/JPS6127640U/ja
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Granted legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウエハー移載用チャックホルダーの説明
に供する概念図、第２図は本考案ウェハー移栽用チャッ
クホルダーの一実施例を示すウェハー移載装置の要部の
例を示す一部切欠斜視図、第３図は本考案の要部の例を
示す断面図である。 ２はウエハーボート、３は半導体ウエハー、７はウエハ
ープロセスキャリャ、８はウエハー移戴用チャックホル
ダー、８ａ及び８ｂは夫々チャックホルダー板、９は縦
ｉ、９ａはその谷部、９ｂはその山部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 下部内側に縦溝を有する一対のチャックホルダー板より
    成り、該一対のチャックホルダー板を対向した縦溝の間
    にウエハー側端を挾持する如く開閉自在に構成したウエ
    ハー移載用チャックホルダーに於いて、−上記一対のチ
    ャックホルダー板の縦溝の谷部及び山部の夫々の曲率を
    上記ウエハーの、、 曲率とほぼ同じとすると共に上
    記縦溝の山部の曲率中心が上記縦溝の谷部の曲率中心よ
    り上側に存する如クシ、上記一対のチャックホルダー板
    が上記ウエハーを挾持するに際し、上記チャックホルダ
    ー板の内先端部が他の部分よりも早く上記ウエハーに接
    する様にしたことを特徴とするウエハー移載用チャック
    ホルダー。
JP1984111380U 1984-07-23 1984-07-23 ウエハ−移載用チヤツクホルダ− Granted JPS6127640U (ja)

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JP1984111380U JPS6127640U (ja) 1984-07-23 1984-07-23 ウエハ−移載用チヤツクホルダ−

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Publication Number Publication Date
JPS6127640U true JPS6127640U (ja) 1986-02-19
JPH0249714Y2 JPH0249714Y2 (ja) 1990-12-27

Family

ID=30670474

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JP (1) JPS6127640U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01139159A (ja) * 1987-10-16 1989-05-31 Westfalia Separator Ag 遠心ドラム
JPH0714913U (ja) * 1992-10-22 1995-03-14 株式会社一陽 折畳杖

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01139159A (ja) * 1987-10-16 1989-05-31 Westfalia Separator Ag 遠心ドラム
JPH0714913U (ja) * 1992-10-22 1995-03-14 株式会社一陽 折畳杖

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JPH0249714Y2 (ja) 1990-12-27

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