JPH0249714Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は半導体装置の製造工程に於いて半導体
ウエハーを高温熱処理化学気相成長等を行うに際
しウエハープロセスキヤリヤからウエハーボート
に移載するとき及びウエハーボートからウエハー
プロセスキヤリヤに移載するときに使用されるウ
エハー移載装置のウエハー移載用チヤツクホルダ
ーに関する。

背景技術とその問題点 一般に半導体装置の製造工程に於いて半導体ウ
エハーを高温熱処理、化学気相成長等を行うに際
し、このウエハーを持ち搬んだり、一時的に貯蔵
したりするウエハープロセスキヤリヤからこの高
温熱処理、化学気相成長等を行う例えば石英より
成るウエハーボートに移載すること及びこのウエ
ハーボートからウエハープロセスキヤリヤに移載
することが屡々行われている。

従来この半導体ウエハーを移載するのに例えば
25枚の半導体ウエハーを同時移載する様にしてい
る。この為例えば第１図に示す如くその内側に半
導体ウエハーの厚さより十分に幅広の例えば25個
の所定間隔の縦溝を有する一対のガイド板１ａ，
１ｂを所定間隔（半導体ウエハーの直径よりやや
大。）を保持してこの一対のガイド板１ａ，１ｂ
所定位置に配されたウエハーボート２（このウエ
ハーボート２は４本の所定間隔でウエハー挿入用
の溝を有する支持杆２ａとこの４本の支持杆２ａ
の両端部を固定する固定枠とより構成されてい
る。）又はウエハープロセスキヤリヤにその上方
より接近させ、その後このウエハーボート２又は
ウエハープロセスキヤリヤの下方から半導体ウエ
ハー３のみを突き上げ杆４により持ち上げ、この
ウエハー３を夫々ガイド板１ａ，１ｂの縦溝に沿
わせて上昇し、その後ガイド板１ａ，１ｂ間のウ
エハー３の下側にストツパー杆５を突き出しウエ
ハー３を固定し、この状態で、このガイド板１
ａ，１ｂを所定位置に持ち来たし、所定位置に配
されたウエハープロセスキヤリヤ又はウエハーボ
ート２にその上方より接近させ、その後突き上げ
杆４をウエハー３に当接し、次にストツパー杆５
を移動して除去させ、この突き上げ杆４を下降さ
せて、このウエハー３をウエハープロセスキヤリ
ヤ又はウエハーボート２に移載する。斯る移載装
置に依れば例えば25枚の半導体ウエハーを同時に
ウエハープロセスキヤリヤ又はウエハーボートよ
りウエハーボート又はウエハープロセスキヤリヤ
に移載することができる。

然しながら斯る半導体ウエハーの移載装置に於
いてはガイド板１ａ，１ｂの所定の縦溝にウエハ
ー３を入れる様にしなければならず、このため特
にウエハーボート２のウエハー３の支持を画一的
にする為４点以上の多点支持しなければならず、
更にこのウエハーボート２の溶接組立精度、熱変
形による経年変化を常に配慮する必要がある不都
合があつた。また一般に熱拡散工程に於いてはウ
エハー３とウエハーボート２との接触部は結晶欠
陥が発生し易く不良になる確率が高いので、この
ウエハーボート２に於けるウエハー３の支持点を
少くすることが要請されている。

また熱拡散工程及び化学気相成長工程に於いて
は塵埃及び金属を嫌う性質上突き上げ杆４、ガイ
ド板１ａ，１ｂ、ストツパー杆５と種々の機構が
ウエハー３と接触することは好ましくない。

考案の目的 本考案は斯る点に鑑みできるだけ少ない機構で
且つウエハーボート２に於けるウエハー３の支持
点数を少くできる様にしたウエハー移載装置のウ
エハー移載用チヤツクホルダーを提供することを
目的とする。

考案の概要 本考案は下部内側に縦溝を有する一対のチヤツ
クホルダー板より成り、この一対のチヤツクホル
ダー板を対向した縦溝の間にウエハー側端を挾持
する如く開閉自在に構成したウエハー移載用チヤ
ツクホルダーに於いて、この一対のチヤツクホル
ダー板の縦溝の谷部及び山部の夫々の曲率をウエ
ハーの曲率とほぼ同じとすると共にこの縦溝の山
部の曲率中心がこの縦溝の谷部の曲率中心より上
側に存する如くし、この一対のチヤツクホルダー
板がこのウエハーを挾持するに際し、このチヤツ
クホルダー板の内先端部が他の部分よりも早くこ
のウエハーに接する様にしたもので、斯る本考案
に依れば比較的少ない機構でウエハーの移載を行
うことができると共にウエハーボートに於けるウ
エハーの支持点数を少なく出来、結晶欠陥を減ら
し結果的に歩留りを向上することができる。

実施例 以下図面を参照しながら本考案ウエハー移載用
チヤツクホルダーの一実施例につき説明しよう。

第２図は半導体ウエハーの例えば高温熱処理炉
に対応して設けられているウエハー移載装置の要
部を示し、６はこのウエハー移載装置本体で、こ
のウエハー移載装置本体６はその所定位置にウエ
ハープロセスキヤリヤ７及びウエハーボート２を
配する如く構成されている。本例に於けるウエハ
ーボート２は３本の支持杆２ａを固定枠２ｂで固
定したもので、このウエハーボート２はウエハー
３の略90゜角範囲を支持する様にしたものである。

第２図に於いて、８はウエハー移載用チヤツク
ホルダーを示し、このウエハー移載用チヤツクホ
ルダー８は所定範囲に亘つてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸
方向に操作に従つて自動的に移動できる如くなさ
れている。

このウエハー移載用チヤツクホルダー８は第３
図に示す如く互に対向する面の下部即ち下部内側
に夫々縦溝９を有する一対のチヤツクホルダー板
８ａ及び８ｂより成り、この一対のチヤツクホル
ダー板８ａ及び８ｂは周知の平行開閉機構により
対向する方向に開閉自在に構成し、この一対のチ
ヤツクホルダー板８ａ及び８ｂの対向した縦溝９
の間でウエハー３の側端を挾持する如くする。こ
の場合この一対のチヤツクホルダー板８ａ及び８
ｂの内先端部が他の部分よりも早くウエハー３に
接触する如くこの先端部を湾曲させる。この為本
例に於いてはこの一対のチヤツクホルダー板８ａ
及び８ｂがウエハー３を挾持したときの縦溝９の
谷部９ａの曲率をウエハー３の直径が例えば100
mmのときに半径50mmとして、このウエハー３の曲
率と同じとすると共にチヤツクホルダー板８ａ及
び８ｂの夫々のこの谷部９ａ及び９ａの夫々の曲
率中心がこのウエハー３の中心よりやや手前側に
なる如くする。またこの縦溝９の山部９ｂの曲率
を半径53mmとしてこのウエハー３の曲率とほぼ同
じとすると共にこのチヤツクホルダー板８ａ及び
８ｂの夫々のこの山部９ｂ及び９ｂの夫々の曲率
中心が、このウエハー３の中心よりやや対向する
チヤツクホルダー板８ｂ及び８ａ側になる様に
し、更に之等チヤツクホルダー板８ａ及び８ｂの
夫々の山部９ｂ及び９ｂの夫夫の曲率中心１０ｂ
がこの谷部９ａ及び９ａの曲率中心１０ａの上側
に位置する如くする。更にこの場合チヤツクホル
ダー板８ａ及び８ｂの湾曲しない部分のこのウエ
ハー３を挾持したときの間隔をウエハー３の直径
例えば100mmよりやや大きい104mmとし、このチヤ
ツクホルダー板８ａ，８ｂの夫々の縦溝９の谷部
９ａの内先端部をこの湾曲しない部分より例えば
９mm突出する如くする。また本例に於いてはこの
チヤツクホルダー板８ａ，８ｂの縦溝９はこの谷
部９ａの幅をウエハー３の厚さ例えば0.5mmより
やや大きい0.8mmとし、これより9゜で両側に拡が
るＶ溝とする。また１１はテフロンより成り、移
動時にウエハーの倒れを防止する倒れ防止ツメで
ある。

本例は上述の如く構成しているのでウエハープ
ロセスキヤリヤ７の複数枚例えば25枚の半導体ウ
エハー３をウエハーボート２に移載する場合、こ
のウエハー移載用チヤツクホルダー８をこのプロ
セスキヤリヤ７上に持ち来たしてこれに接近さ
せ、このウエハー移載用チヤツクホルダー８のチ
ヤツクホルダー板８ａ及び８ｂの間を開き、その
後突き上げ杆によりこの複数のウエハー３のみを
突き上げ、次にこのチヤツクホルダー板８ａ及び
８ｂを閉じて、このチヤツクホルダー板８ａ及び
８ｂの縦溝９間によりこのウエハー３を挾持す
る。この場合、このチヤツクホルダー板８ａ及び
８ｂの内先端部とウエハー３の側端とのみが接触
することとなる。またこのとき倒れ防止ツメ１１
によりウエハー３の倒れが防止される。この状態
でこのウエハー移載用チヤツクホルダー８を所定
位置に配されたウエハーボード２の所定位置上に
持ち来たして所定位置に接近し、このウエハー３
をチヤツクホルダー板８ａ，８ｂで挾持した状態
でウエハーボート２の支持杆２ａの所定の溝に挿
入して、このチヤツクホルダー板８ａ，８ｂを開
き、このウエハー３を移載する。この場合ウエハ
ー３をウエハー移載用チヤツクホルダー８により
直接にウエハーボート２に移すこととなる。

またウエハーボート２より高温熱処理等がなさ
れた半導体ウエハー３をウエハープロセスキヤリ
ヤ７に移載する場合、このウエハー移載用チヤツ
クホルダー８をこのウエハーボート２上に持ち来
たして、これを接近させると共にこのウエハー移
載用チヤツクホルダー８のチヤツクホルダー板８
ａ及び８ｂ間を所定間隔に開き、この状態でチヤ
ツクホルダー板８ａ及び８ｂの内先端部がウエハ
ー３の下半分側に対応する様にし、その後このチ
ヤツクホルダー板８ａ及び８ｂ間を閉じ、この状
態でウエハー移載用チヤツクホルダー８を持ち上
げることによりウエハー３をウエハーボート２の
支持杆２ａ部よりすくい上げて、このウエハー３
をこのチヤツクホルダー板８ａ及び８ｂで挾持す
る。この状態でこのウエハー移載用チヤツクホル
ダー８をウエハープロセスキヤリヤ７上に持ち来
たして接近させ、その後突き上げ杆を上昇してウ
エハー３の底部に当て、このチヤツクホルダー板
８ａ及び８ｂ間を開き、この突き上げ杆を降下し
て、このウエハー３をウエハープロセスキヤリヤ
７の所定位置に移載する。

本例に依ればウエハーボート２よりウエハー３
をウエハー移載用チヤツクホルダー８で持ち上げ
るのに支持杆２ａ部よりすくい上げる如くしてい
るので、ウエハー３が多少上部でピツチが揃つて
いなくても何等支障なく所定通り持ち上げること
ができる。この為ウエハーボート２の支持が２〜
３点支持でも良く、このウエハー３とウエハーボ
ート２との接触部を減らすことができ、結晶欠陥
を減らすことができ結果的に歩留りを向上するこ
とができる。またウエハーボート２よりウエハー
３を持ち上げるのに突き上げ杆等必要とすること
なく直接チヤツクホルダー板８ａ，８ｂで持ち上
げる様にしているのでそれだけ機構が少なくなり
種種の点で有利である。

尚本考案は上述実施例に限ることなく本考案の
要旨を逸脱することなくその他種々の構成が取り
得ることは勿論である。

考案の効果 本考案に依れば比較的少ない機構でウエハー３
の移載を行うことができ種々の点で有利であると
共にウエハーボート２に於けるウエハーの支持点
数を少なく出来、これにより結晶欠陥を減らすこ
とができ、結果的に歩留りを向上することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のウエハー移載用チヤツクホルダ
ーの説明に供する概念図、第２図は本考案ウエハ
ー移載用チヤツクホルダーの一実施例を示すウエ
ハー移載装置の要部の例を示す一部切欠斜視図、
第３図は本考案の要部の例を示す断面図である。 ２はウエハーボート、３は半導体ウエハー、７
はウエハープロセスキヤリヤ、８はウエハー移載
用チヤツクホルダー、８ａ及び８ｂは夫々チヤツ
クホルダー板、９は縦溝、９ａはその谷部、９ｂ
はその山部である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 下部内側に縦溝を有する一対のチヤツクホルダ
   ー板より成り、該一対のチヤツクホルダー板を対
   向した縦溝の間にウエハー側端を挾持する如く開
   閉自在に構成したウエハー移載用チヤツクホルダ
   ーに於いて、上記一対のチヤツクホルダー板の縦
   溝の谷部及び山部の夫々の曲率を上記ウエハーの
   曲率とほぼ同じとすると共に上記縦溝の山部の曲
   率中心が上記縦溝の谷部の曲率中心より上側に存
   する如くし、上記一対のチヤツクホルダー板が上
   記ウエハーを挾持するに際し、上記チヤツクホル
   ダー板の内先端部が他の部分よりも早く上記ウエ
   ハーに接する様にしたことを特徴とするウエハー
   移載用チヤツクホルダー。