JPS6127660U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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Publication number
JPS6127660U
JPS6127660U JP1984112612U JP11261284U JPS6127660U JP S6127660 U JPS6127660 U JP S6127660U JP 1984112612 U JP1984112612 U JP 1984112612U JP 11261284 U JP11261284 U JP 11261284U JP S6127660 U JPS6127660 U JP S6127660U
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JP
Japan
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polishing
holder
polishing equipment
rotating
plate
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Pending
Application number
JP1984112612U
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Inventor
重伸 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPS6127660U publication Critical patent/JPS6127660U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の研摩装置に用いバ研摩ホルダ及びその
保持部分の構造を示す図である。 第２図は従来用いられている研摩装置の一例を示す図で
ある。 図において１は研摩皿、２は研摩ク０ス、３は研摩ホル
ダ、４は半導体基板、５はおさえ板、６は保持棒、７は
ガイド、８はピン、９はおもり円板、１０はアーム、１
１は横棒、１２は支柱、１３は接触子、１４はおもり、
１５は本体、１６は研摩皿、１７は研摩クロス、１８は
研摩ホルタ、１９は半導体基板、２０は保持棒、２１は
アーム、２２は研摩液タンク、２３は研摩液、２４は管
をそれぞれ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研摩皿に対向して被研摩物を接着した研摩ホル
    ダを保持し、研摩皿と被研摩物の摩擦によって被研摩物
    を従動回転させて研摩を行なう研摩装置において、研摩
    ホルダとそれを支える保持棒からなる集合体を上方へ持
    ち上げて研摩圧力を軽減する機構を有することを特徴と
    する研摩装置。
JP1984112612U 1984-07-25 1984-07-25 研摩装置 Pending JPS6127660U (ja)

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JP1984112612U JPS6127660U (ja) 1984-07-25 1984-07-25 研摩装置

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Publication Number Publication Date
JPS6127660U true JPS6127660U (ja) 1986-02-19

Family

ID=30671655

Family Applications (1)

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JP1984112612U Pending JPS6127660U (ja) 1984-07-25 1984-07-25 研摩装置

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JP (1) JPS6127660U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH046621U (ja) * 1989-12-30 1992-01-22

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH046621U (ja) * 1989-12-30 1992-01-22

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