JPS60100148U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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Publication number
JPS60100148U
JPS60100148U JP1983192375U JP19237583U JPS60100148U JP S60100148 U JPS60100148 U JP S60100148U JP 1983192375 U JP1983192375 U JP 1983192375U JP 19237583 U JP19237583 U JP 19237583U JP S60100148 U JPS60100148 U JP S60100148U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
polishing plate
arm
polishing equipment
abstract
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983192375U
Other languages
English (en)
Inventor
重伸 和田
原田　藤男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS60100148U publication Critical patent/JPS60100148U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の研摩装置の一例を示す正面図である。第
２図は本考案の研摩装置の一実施例を示す正面図である
。 図において１０１は本体、１０２は研摩皿、１０３は容
器、１０４は研摩液、１０５は揺動アーム、１０６は揺
動軸、１０７はアーム、ｉｏｓは支点、１０９は保持棒
、１１０は研摩ホルダー、１１１は半導体基板、２０１
は押え板、２０２はおもり棒、２０３はおもりを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研摩皿と被研摩物を接触させて被研摩物の研摩
    加工を行なう装置において、支点によって保持された水
    平軸のまわりに回転可能なアームとアームの先端に被研
    摩物を接着した研摩ホルダーを研摩皿に対向させて保持
    する機構とアニムの他方の端に位置調整可能なおもりを
    備えることを特徴とする研摩装置。
JP1983192375U 1983-12-14 1983-12-14 研摩装置 Pending JPS60100148U (ja)

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JP1983192375U JPS60100148U (ja) 1983-12-14 1983-12-14 研摩装置

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JPS60100148U true JPS60100148U (ja) 1985-07-08

Family

ID=30414030

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JP1983192375U Pending JPS60100148U (ja) 1983-12-14 1983-12-14 研摩装置

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JP (1) JPS60100148U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62140764A (ja) * 1985-12-14 1987-06-24 Daikin Ind Ltd フロ−テイング式ツ−ル
JPH02144839A (ja) * 1988-11-25 1990-06-04 Oyo Gijutsu Kenkyusho:Kk 試料研磨装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62140764A (ja) * 1985-12-14 1987-06-24 Daikin Ind Ltd フロ−テイング式ツ−ル
JPH02144839A (ja) * 1988-11-25 1990-06-04 Oyo Gijutsu Kenkyusho:Kk 試料研磨装置

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