JPS61287857A - 自走台車利用の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分舒 本発明は、例えばウェハーなど塵埃をき゛らう荷を搬送
するのに採用される自走台車利用の搬送装置に関するも
のである。

従来の技術 従来、ウェハーの搬送は、ケース内に多数枚のウェハー
を横並列状態で収納し、そしてケースを、自走台車に連
設した荷載置部上に載置して、この自走台車をレール装
置の系内により一定経路上で走行させることにより行な
っていた。

発明が解決しようとする問題点 上記のような従来形式：ζわいて、一定ｉｓは必ずしも
クリーン室内にだけ形成されるのではなく、クリーン室
から一般室に亘って形成されている。

そのため少なくとも一般室においては荷載置部の移動経
路をダクト、で囲み、且つダクト内に吸引装置を連通さ
せている。したがってダクトなどの設置により全体の大
型化、コスト高を招いている。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本発明における台車利用の搬送
装置は、レール装置に楽日されて一定経路上を走行自在
な自走台車を設け、この自走台車に連結杆を介して荷収
納ボックスを取付け、この荷収納ボックスの少なくとも
一面を開閉扉に形成すると共に、この開閉扉を閉動は勢
するけ勢装置を設け、前記荷収納ボックス内に荷ａｌｔ
部を形成している。

作用 かかる本発明構成によると、自走台車により搬送される
荷は荷収納ボックスにより隔ｓｌされることから、室内
の塵埃が１を看することを防止し得る。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、（υはクリーン室、（２）は−膜室で、
仕切壁＜３）には通Ｍ　（４）が形成されおり、また−
膜室（２）の通路（４）部にはエヤシャワー装置（５）
が配設される。画室（１）　＜ｇｘの天井面近くに亘っ
ては、通路（４）を通してレール装置（６）が配設され
、このレール装置（りに案内されて自走台車（７）が一
定経絡（８）上で走行自在となる。前記自走台車（７）
からは、レール装置（ａ月ζ対して下方に突出する状態
で連結杆（９）が垂設され、この連結杆（９）の下端に
荷収納ボックスＱＯが取付けられる。第２因、第８図書
こ示すように前記レール装置（６）は、天板部東と左右
一対の側板部四と左右一対の底板部（至）とによりダク
ト状に形成され、両底板部備の内端間に全長に五つでの
スリット（ロ）を形成する。そして両側板部四の中間円
面からは受はレーＩｖ（ｕｌが内方に一体形成され、ま
た天象部（ロ）の円面（下面）　（ｌｌりには給電レー
ア／曽などが敷設されている。前記自走台車（７）は、
受はレー／Ｖμｓに支持される復波の卓輪助と、前記給
電レーＩｖＱｅに摺接する集電子（至）と、搭載したモ
ータ斡に４動し且つ下面（ｌｌａ）上で軽動自在−な駆
動輪（ホ）などを有する。、前記自走台車（７）から垂
設される連結杆（９）は前記スリットα◆を通り、その
下端に取付は枠（２）を介して前記荷収納ボックス叫が
取付けられる。この荷収納ボックスαＱは密閉状で且つ
矩形箱状であって、少なくとも一面である前板は、その
上部が蝶番（２）を介して揺動自在に敗けけられた開閉
Ｊｊｉ［＠に形成しである。この°開閉扉に）は前方上
方に揺動することによって開動し、そして垂下した閉一
時には、開口部縁に取付けたシーｙ材（財）に接当する
。前記開閉扉ａを閉動付勢する付勢装置に）は、荷収納
ボックス叫の両側板の前端近くに取付けた系内輪（至）
と、これら案円輪四に巻回され且つ一端が開閉扉四に連
結具（２）を介して結合される索体に）と、この索体（
至）の他端と両側板との間に設けた引張りばねに）とか
ら構成される。ｉｕ記開閉扉曽の両側縁からは側板の外
方へと突出する操作レバー曽が連設され、これら操作レ
バー…の遊端にはローラ（ロ）が取付けられる。さらに
両側板の外面には位置決め用ローラに）が取付けられる
。

ム「記荷収納ボックスαＱの底板Ｊ：面は荷載置部（至
）を形成し、この荷載置部（２）円ｉこは、多数枚のウ
ェハー（荷ン（２）を横並列状態で収納したケースに）
が載置される。（至）は位置決め用突片を示す、ム■記
自走台車（７）が停止するステーション部には・前記開
閉扉（２）に対応する開動装ｇＬ＠が設けられる。すな
わち支持枠ａｌｔｌｌに取付けたガイドロッド（至）に
案内される昇降体叫と、この昇降体−に連動するシリン
ダ装置−が設けられ、そして昇降体−に取付けた操作板
−に、前記ローラ曽に対応する押下げ操作部−と、則記
位置決め用ローラに）に対応する凹部→とが形成される
。第１図において−はフィルター。

−は多孔床板を示す。

以下に上記実−例の作用を説明する。自走台車（７）は
モータ（至）の正逆回転力を駆動輸四に伝えることによ
って、車輪助が受はレーＩｖ（イ）に支持案内される状
態で一定経路（８）上を走行し、以って画室（１）（２
２間に亘って走行する。例えば−膜室（２）からクリー
ン室（υへと走行し、このクリーン室（１）円でウェハ
−（至）とともにケースに）を卸す作業のとき、先ず一
般室（２）からクリーン室（１３に入る１蛋ζ、エヤシ
ャワー装ｆｉ！　（５）によって連結杆（９）の露出面
と荷収納ボックス叫の全外面がエヤ洗浄される。そして
第２図、第８図実線に、示すように、クリーン室（１）
円のステーション部で自走台車（７）を停止させる。こ
の状態で開動装置ｇｈのシリンダ装置（６）を作動させ
て操作板−を下降させる。すると先ず、位置決め用ロー
ラ（至）に対して凹部−が嵌合することから自走台車（
７）の前後方向が位置決めされ、そして押下げ操作部−
がローラ（２）に接当して押下げようとするが、このと
き操作レバー曽の取付は位置によって押下げ力で該操作
レバー曽が開閉扉に）とともに、蝶番（２）の周りに前
方と方（ζ揺動する。これにより開閉扉峙は、第２図仮
想線に示すように引張りばね四に抗して開動する。そし
てケース（至）が荷載置部ｗＪ：から卸される。

上述とは逆作用により積込み作業を行なえる。

上記実−例に１６いて、取付は枠（２）に対して荷収納
ボックスα０を例えばボルト操作により讐脱自在にして
もよく、この場合１こは離脱した荷収納ボックスα１の
みの清掃を行なうことができる。

第１図仮ａｔＳに示すよう１ζ床側にレージ装置（６）
を配設し、そして荷収納ボックス叫を自走台車（７）（
こ対して上位とした使用形態も可能である。

発明の効果 上記構成の本発明によると、自走台車（こより搬送され
る荷は荷収納ボックスにより外気から隔離でき、室内の
塵埃が荷に付看することを防止できる。したがって一般
室において防塵用のダクトを不要にでき、全体の小型化
、低コスト化を期待できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実鵡例を示し、第１図は側面図、第２
図は要部の側面図、第８図は同一部切欠き正面図である
。 （１）・・・クリーン室、（２）・・・一般室、（４）
・・・通路、（５）・・・エヤシャツ−装置、（６）・
・・レージ装置、（７）・・・自走台車、（８）・・・
一定経路、（９）・・・連結杆、ａト・・荷収納ボック
ス、σ慟・・・スリット、＠・・・開閉扉、（２）・・
・付勢装置、（７）・・・索体、四・・・引張りばね、
ＣＸＪ・・・傑作レバー、幹・・・位置決め用ローラ、
峙・・・荷載置部、（至）・・・ウェハー、に）・・・
ケース、に）・・・開動装置、（６）・・・操作板、−
・・・押下げ操作部、−・・・凹部 式通人　森本義弘

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、レール装置に案内されて一定経路上を走行自在な自
   走台車を設け、この自走台車に連結杆を介して荷収納ボ
   ックスを取付け、この荷収納ボックスの少なくとも一面
   を開閉扉に形成すると共に、この開閉扉を閉動付勢する
   付勢装置を設け、前記荷収納ボックス内に荷載置部を形
   成したことを特徴とする自走台車利用の搬送装置。