JPH0285056A - 自己クリーン機能付搬送車 - Google Patents
自己クリーン機能付搬送車Info
- Publication number
- JPH0285056A JPH0285056A JP63236541A JP23654188A JPH0285056A JP H0285056 A JPH0285056 A JP H0285056A JP 63236541 A JP63236541 A JP 63236541A JP 23654188 A JP23654188 A JP 23654188A JP H0285056 A JPH0285056 A JP H0285056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- hood
- self
- main body
- cleaning function
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、塵埃等を嫌う被搬送物の搬送に好適な自己ク
リーン機能付搬送車に関する。
リーン機能付搬送車に関する。
半導体等の製品は、塵埃等の付着を防止するために、ク
リーンルーム内で一貫製造されエキたが、近年では、各
工程別にクリーンルームを設ける傾向にあり、この場合
には、中間製品を、順次、次の工程のクリーンルームへ
搬送する搬送車を必要とする。また、各工程内の装置か
ら装置へ中間製品を移すためにも搬送車が必要である。
リーンルーム内で一貫製造されエキたが、近年では、各
工程別にクリーンルームを設ける傾向にあり、この場合
には、中間製品を、順次、次の工程のクリーンルームへ
搬送する搬送車を必要とする。また、各工程内の装置か
ら装置へ中間製品を移すためにも搬送車が必要である。
この種の搬送車として、無人搬送車を使用する場合があ
るが、従来は、中間製品や製品への塵埃等の付着を防止
するために、被搬送物が、例えば、半導体ウェハ（以下
、単に、ウェハという）である場合、ウェハを入れたカ
セットを１カセツト毎ケースに収納して搬送するように
しているので、搬送のために要する時間が長く、生産性
に影響を与えるという問題がある他、搬送空間や移載（
ハンドリング）空間の空気清浄度も所要のレベルにまで
高めなくてはならないので、その為の費用が高価になる
という問題があった。
るが、従来は、中間製品や製品への塵埃等の付着を防止
するために、被搬送物が、例えば、半導体ウェハ（以下
、単に、ウェハという）である場合、ウェハを入れたカ
セットを１カセツト毎ケースに収納して搬送するように
しているので、搬送のために要する時間が長く、生産性
に影響を与えるという問題がある他、搬送空間や移載（
ハンドリング）空間の空気清浄度も所要のレベルにまで
高めなくてはならないので、その為の費用が高価になる
という問題があった。
本発明は上記問題を解消するためになされたもので、被
搬送物を、じかに出し入れして搬送しても、搬送時やハ
ンドリング時における塵埃等の付着を防止することがで
きる自己クリーン機能付搬送車を提供することを目的と
する。
搬送物を、じかに出し入れして搬送しても、搬送時やハ
ンドリング時における塵埃等の付着を防止することがで
きる自己クリーン機能付搬送車を提供することを目的と
する。
本発明は上記目的を達成するため、フードで蓋される本
体、上記フードの開度が所定開度になったことを検出す
るスイッチ、上記本体内部に浄化空気を供給する空気浄
化ユニットを備える搬送ボックスを搬送車に搭載し、フ
ードの所定角度の開時に、上記空気浄化ユニットが上記
スイッチの出力を動作指令として動作開始する構成とし
たものである。
体、上記フードの開度が所定開度になったことを検出す
るスイッチ、上記本体内部に浄化空気を供給する空気浄
化ユニットを備える搬送ボックスを搬送車に搭載し、フ
ードの所定角度の開時に、上記空気浄化ユニットが上記
スイッチの出力を動作指令として動作開始する構成とし
たものである。
本発明では、搬送ボックスが空気浄化ユニットを有して
いるので、搬送時やハンドリング時にこの空気浄化ユニ
ットを作動させて、搬送ボックス内へ清浄空気を供給す
るようにすれば、外部空気の搬送ボックス内への侵入が
防止されるので、常時、搬送ホックス内を清浄空気で満
たすことができ、被搬送物への塵埃等の付着が防止され
る。
いるので、搬送時やハンドリング時にこの空気浄化ユニ
ットを作動させて、搬送ボックス内へ清浄空気を供給す
るようにすれば、外部空気の搬送ボックス内への侵入が
防止されるので、常時、搬送ホックス内を清浄空気で満
たすことができ、被搬送物への塵埃等の付着が防止され
る。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図〜第３図において、１は蓄電池を駆動電源とする
無人搬送車Ｍの台車であって、床下には、図示しないが
、駆動輪とその駆動機構、誘導線センサ、マークセンサ
等を有し、内部には、上記蓄電池、走行制御装置、運行
プログラマ装置等を収納しており、その天井は水平台５
で覆われている。台車１の水平台５の前部５Ａには、５
自由度を持つ移載ロボット６が搭載されており、該前部
５Ａより後部側に搬送ボックス７が載置・固定されてい
る。
無人搬送車Ｍの台車であって、床下には、図示しないが
、駆動輪とその駆動機構、誘導線センサ、マークセンサ
等を有し、内部には、上記蓄電池、走行制御装置、運行
プログラマ装置等を収納しており、その天井は水平台５
で覆われている。台車１の水平台５の前部５Ａには、５
自由度を持つ移載ロボット６が搭載されており、該前部
５Ａより後部側に搬送ボックス７が載置・固定されてい
る。
この搬送ボックス７は底壁８、無人搬送車Ｍの走行方向
を前後方向とした時の前後の側壁９．１０および通気部
ｆｌａを形成された背壁１１を有する本体１２と、この
本体１２の開口（被搬送物移載口）１３を覆うためのフ
ード１４からなる。
を前後方向とした時の前後の側壁９．１０および通気部
ｆｌａを形成された背壁１１を有する本体１２と、この
本体１２の開口（被搬送物移載口）１３を覆うためのフ
ード１４からなる。
このフード１４は、断面形状が上記側壁９の上記開口１
３側端縁に沿う形状の蓋部１５と該蓋部】５の後部側端
縁から折曲して本体１２の側壁１０を覆う覆板部１６を
有し、前部側端縁には、側壁９の縁部を覆う帯状の縁部
１７が折曲形成されており、背壁１１にヒンジ支持され
ている。この本体１２の背壁１１の外側には空気浄化ユ
ニット （クリーンユニット）１８が取着されている。
３側端縁に沿う形状の蓋部１５と該蓋部】５の後部側端
縁から折曲して本体１２の側壁１０を覆う覆板部１６を
有し、前部側端縁には、側壁９の縁部を覆う帯状の縁部
１７が折曲形成されており、背壁１１にヒンジ支持され
ている。この本体１２の背壁１１の外側には空気浄化ユ
ニット （クリーンユニット）１８が取着されている。
このクリーンユニット１８は送風機１９とフィルタ２０
を内蔵している。また、側壁９の外面にはエアカーテン
ユニット２１が、そのエア吹き出し口を上にして取着さ
れている。２２はエアカーテンユニット２１の電動ファ
ンである。フード１４は、第４図（ａ）に示すように（
第４図（ｂ）にフード間状態を示す）、フード開度固定
・解除機構（例えば、ワンタッチステー）２３でクリー
ンユニット１８ （もしくは、本体１２）と連結されて
おり、このフード開度固定・解除機構２３はシリンダ２
３Ａとロフト２３Ｂを有し、シリンダ２３Ａの一端カク
リーンユニット１８に、ロフト２３Ｂｉがフード１４に
回動自在に連結されている。また、本体１２の後部側の
側壁９の内面上端部には、第５図（ａ）と（ｂ）に示す
ように、スイッチ（例えば、Ｕ字型の光電スイッチ）２
４が取着されており、該スイッチ２４を駆動する駆動子
（ドグ）２５はブード１４の蓋部１５に取着されており
、このスイッチ２４が送出する検知信号は、第６図に示
すリレーＲｙを付勢するための指令信号として用いられ
る。ＲＹＩとＲＹ２及びＲＹ３はリレーＲｙの接点であ
る。また、フードｒ４の上面には開閉用のロボット腕係
合用の鉤２６が取着されている。なお、リレーＲｙの接
点Ｒｙｌは電源Ｅｏと電源ＥＬ（＜ＥＭ）とを切換える
動作を行い、接点ＲＹ２は電源Ｅｔと零電位とを切換え
る動作を行う。接点Ｒｙ３は、フード１４の開閉状態を
移載ロボット６に通知するために設けられている。なお
、電源ＥＭ、ＥＬは台車１に搭載した蓄電池から取り出
される。Ｄはダイオードである。
を内蔵している。また、側壁９の外面にはエアカーテン
ユニット２１が、そのエア吹き出し口を上にして取着さ
れている。２２はエアカーテンユニット２１の電動ファ
ンである。フード１４は、第４図（ａ）に示すように（
第４図（ｂ）にフード間状態を示す）、フード開度固定
・解除機構（例えば、ワンタッチステー）２３でクリー
ンユニット１８ （もしくは、本体１２）と連結されて
おり、このフード開度固定・解除機構２３はシリンダ２
３Ａとロフト２３Ｂを有し、シリンダ２３Ａの一端カク
リーンユニット１８に、ロフト２３Ｂｉがフード１４に
回動自在に連結されている。また、本体１２の後部側の
側壁９の内面上端部には、第５図（ａ）と（ｂ）に示す
ように、スイッチ（例えば、Ｕ字型の光電スイッチ）２
４が取着されており、該スイッチ２４を駆動する駆動子
（ドグ）２５はブード１４の蓋部１５に取着されており
、このスイッチ２４が送出する検知信号は、第６図に示
すリレーＲｙを付勢するための指令信号として用いられ
る。ＲＹＩとＲＹ２及びＲＹ３はリレーＲｙの接点であ
る。また、フードｒ４の上面には開閉用のロボット腕係
合用の鉤２６が取着されている。なお、リレーＲｙの接
点Ｒｙｌは電源Ｅｏと電源ＥＬ（＜ＥＭ）とを切換える
動作を行い、接点ＲＹ２は電源Ｅｔと零電位とを切換え
る動作を行う。接点Ｒｙ３は、フード１４の開閉状態を
移載ロボット６に通知するために設けられている。なお
、電源ＥＭ、ＥＬは台車１に搭載した蓄電池から取り出
される。Ｄはダイオードである。
本体Ｉは、その内部に、ウェハカセットＣ（第７図）を
載置するテーブル２７を収納しており、このテーブル２
７は背壁１１側端部を咳青壁１１にヒンジ機構で支持さ
れ、対向端部側は電動シリンダ２８で支持されている。
載置するテーブル２７を収納しており、このテーブル２
７は背壁１１側端部を咳青壁１１にヒンジ機構で支持さ
れ、対向端部側は電動シリンダ２８で支持されている。
次に、この装置の動作について説明する。
今、無人搬送車Ｍが、ある工程のステーションで、ウェ
ハＷを収納したウェハカセットＣをテーブル２７上に移
載されて、次に停止する工程のステーションへ向かって
走行しているものとする。
ハＷを収納したウェハカセットＣをテーブル２７上に移
載されて、次に停止する工程のステーションへ向かって
走行しているものとする。
この時、搬送ボックス７の本体１２はフード１４で蓋さ
れており、リレーＲｙの接点ＲＹＩ、ＲＹ２、及びＲＹ
３は第６図に示す状態にあって、本体１２内にはクリー
ンユニット１８のフィルタ２ｏで清浄化された空気が通
気部１１ａを通して供給され、本体１２の内部は清浄空
気で満たされている。
れており、リレーＲｙの接点ＲＹＩ、ＲＹ２、及びＲＹ
３は第６図に示す状態にあって、本体１２内にはクリー
ンユニット１８のフィルタ２ｏで清浄化された空気が通
気部１１ａを通して供給され、本体１２の内部は清浄空
気で満たされている。
この間、エアカーテンユニット２１の電動ファン２２は
停止している。
停止している。
また、ウェハカセットＣは第７図に示す姿勢でなく、こ
の姿勢を矢印方向へ横倒しにした姿勢でテーブル２７上
に載置されるが、この姿勢では、無人搬送車Ｍの走行時
の振動等によって、ウェハＷがウェハカセットＣから抜
は落ちる可能性がある上、ウェハＷは、ウェハカセット
ｃが水平姿勢にあるよりも、若干傾斜した姿勢にある方
がウェハカセットＣ内の溝ＣＩにしっくりと納まり、ウ
ェハＷの角部が欠けにくいので、上記走行中は、電動シ
リンダ２８を作動させて、テーブル２７を第１図に点線
で示すように所定角度だけ傾斜させる。
の姿勢を矢印方向へ横倒しにした姿勢でテーブル２７上
に載置されるが、この姿勢では、無人搬送車Ｍの走行時
の振動等によって、ウェハＷがウェハカセットＣから抜
は落ちる可能性がある上、ウェハＷは、ウェハカセット
ｃが水平姿勢にあるよりも、若干傾斜した姿勢にある方
がウェハカセットＣ内の溝ＣＩにしっくりと納まり、ウ
ェハＷの角部が欠けにくいので、上記走行中は、電動シ
リンダ２８を作動させて、テーブル２７を第１図に点線
で示すように所定角度だけ傾斜させる。
無人搬送車Ｍが、上記次の工程のステーションまで走行
して停止すると、前記運行プログラマ装置から指令を受
けて、プレイバック方式の移載ロボフト６が予め教示さ
れた動作を開始し、鉤１６を引っ掛けて、フード１４を
、第１図に示すように、上方へ開く。フード１４が所定
角度θ（本体１２内に進入したロボットアームが動作可
能な開口角度）だけ上方へ開き、フード開度固定・解除
機構２１のロッド２１が一杯に伸びてロッド２１Ｂが固
定されると同時にスイッチ２２が検知信号を送出する。
して停止すると、前記運行プログラマ装置から指令を受
けて、プレイバック方式の移載ロボフト６が予め教示さ
れた動作を開始し、鉤１６を引っ掛けて、フード１４を
、第１図に示すように、上方へ開く。フード１４が所定
角度θ（本体１２内に進入したロボットアームが動作可
能な開口角度）だけ上方へ開き、フード開度固定・解除
機構２１のロッド２１が一杯に伸びてロッド２１Ｂが固
定されると同時にスイッチ２２が検知信号を送出する。
これにより、リレーＲｙが付勢されるので、その接点Ｒ
ＹＩは電源ＥＭ側に、また、同時に、接点ＲＹ２は電源
ＥＬ側に切換ねり、送風機１９の回転速度が上昇して、
本体１２内に供給される清浄空気の風量が増大する。更
に、接点ＲＹ３が投入されて、移載ロボット６の制御回
路（図示しない）がフード１４が開いたことを検知し、
電動シリンダ２８に対して往動指令を出力する。電動シ
リンダ２８のロッドが伸長してテーブル２７が水平姿勢
に戻る。これにより、本体１２内部から開口１３に向か
って、清浄空気が強力に吹き出すかたちとなるので、開
口１３から本体１２内部へえの外部空気の進入は防止さ
る。同時に、エアカーテンユニット２１の電動ファン２
２が回転し始めて、エアを側壁１０に沿って上方に空気
を吹き上げ、開いているフード１４と前部の側壁１０と
の間にできた開口（ロボットアーム挿脱口）１３Ａを覆
うエアカーテンを作り、本体１２内への外部空気の進入
を遮断する。
ＹＩは電源ＥＭ側に、また、同時に、接点ＲＹ２は電源
ＥＬ側に切換ねり、送風機１９の回転速度が上昇して、
本体１２内に供給される清浄空気の風量が増大する。更
に、接点ＲＹ３が投入されて、移載ロボット６の制御回
路（図示しない）がフード１４が開いたことを検知し、
電動シリンダ２８に対して往動指令を出力する。電動シ
リンダ２８のロッドが伸長してテーブル２７が水平姿勢
に戻る。これにより、本体１２内部から開口１３に向か
って、清浄空気が強力に吹き出すかたちとなるので、開
口１３から本体１２内部へえの外部空気の進入は防止さ
る。同時に、エアカーテンユニット２１の電動ファン２
２が回転し始めて、エアを側壁１０に沿って上方に空気
を吹き上げ、開いているフード１４と前部の側壁１０と
の間にできた開口（ロボットアーム挿脱口）１３Ａを覆
うエアカーテンを作り、本体１２内への外部空気の進入
を遮断する。
その後、移載ロボット６が開口１３Ａからアームを本体
１２へ進入させ、ウェハカセットＣをテーブル２７上か
ら開口１３を通して外部へ取り出して、ステーションの
所定位置へ移載する動作を開始する。
１２へ進入させ、ウェハカセットＣをテーブル２７上か
ら開口１３を通して外部へ取り出して、ステーションの
所定位置へ移載する動作を開始する。
このように、本実施例では、搬送中は、本体工２内にク
リーンユニット１８から清浄空気が供給されているので
、本体１２内への塵埃等が侵入して、該塵埃等がウェハ
Ｗに付着するのを防止する。
リーンユニット１８から清浄空気が供給されているので
、本体１２内への塵埃等が侵入して、該塵埃等がウェハ
Ｗに付着するのを防止する。
また、フード１４が開かれた時は、クリーンユニット１
８から本体１２内へ供給される清浄空気の量が増大して
、本体１２の開口から外部へ清浄空気が強力に吹きでる
上、移載ロボット６のアームが挿入される側のフード１
４と側壁１０との間開口１３Ａはエアーカーテンで遮蔽
されるので、被搬送物の移載時に、塵埃等が本体１２内
に侵入するのも防止される。
８から本体１２内へ供給される清浄空気の量が増大して
、本体１２の開口から外部へ清浄空気が強力に吹きでる
上、移載ロボット６のアームが挿入される側のフード１
４と側壁１０との間開口１３Ａはエアーカーテンで遮蔽
されるので、被搬送物の移載時に、塵埃等が本体１２内
に侵入するのも防止される。
また、本実施例では、テーブル２７を傾斜可能としであ
るので、被搬送物がウェハＷを収納したカセットウェハ
Ｃである場合、ウェハＷが損傷するのを防止することが
できる。
るので、被搬送物がウェハＷを収納したカセットウェハ
Ｃである場合、ウェハＷが損傷するのを防止することが
できる。
上記実施例では、搬送時と移載時とで、クリーンユニッ
ト１８が送出する清浄空気の風量を切換えているが、勿
論、常時一定風量としても良い。
ト１８が送出する清浄空気の風量を切換えているが、勿
論、常時一定風量としても良い。
また、本実施例では、搬送中も清浄空気を本体１２内に
供給するようにしているが、搬送ボックス７を、フード
１４と本体１２との間が密閉される密閉構造とする場合
や、被搬送物が、空気清浄度が低くても良いものであれ
ば、搬送時は、清浄空気の供給を止め、フード１４が開
く移載時だけ清浄空気を供給させるようにしてもよい。
供給するようにしているが、搬送ボックス７を、フード
１４と本体１２との間が密閉される密閉構造とする場合
や、被搬送物が、空気清浄度が低くても良いものであれ
ば、搬送時は、清浄空気の供給を止め、フード１４が開
く移載時だけ清浄空気を供給させるようにしてもよい。
また、本実施例は無人搬送車を例にとって説明している
が、搬送車が手押しの搬送車である場合には、ステーシ
ョンで、電源ＲｈとＥｌを得るための電源コードを設け
ておけば良い。
が、搬送車が手押しの搬送車である場合には、ステーシ
ョンで、電源ＲｈとＥｌを得るための電源コードを設け
ておけば良い。
また、本実施例では、フード１４の開閉を移載ロボット
６で行っているが、台車ｌ側から制御されるフード開閉
駆動機構を設けてもよい。
６で行っているが、台車ｌ側から制御されるフード開閉
駆動機構を設けてもよい。
また、被搬送物の出し入れを、人手で行う場合は、開口
１３から行えばよいので、フード１４の縁部１７は側壁
９全体を覆う大きさとし、エアカーテンユニット２１は
省いてもよい。
１３から行えばよいので、フード１４の縁部１７は側壁
９全体を覆う大きさとし、エアカーテンユニット２１は
省いてもよい。
本発明は以上説明した通り、搭載する搬送ボックスは空
気浄化ユニットを有しているから、搬送時やハンドリン
グ時に、この空気浄化ユニットを作動させることにより
、ボックス内を浄化空気で満たすことができ、被搬送物
を、じかに、出し入れして、搬送・ハンドリングを行っ
ても、被搬送物への塵埃等の付着を防止することができ
るので、従来に比して、搬送・ハンドリングに要する時
間を短縮することができ、また、搬送空間やハンドリン
グ空間の空気清浄度は低くても済むので、これらの空間
を確保するための費用を節約することができる。
気浄化ユニットを有しているから、搬送時やハンドリン
グ時に、この空気浄化ユニットを作動させることにより
、ボックス内を浄化空気で満たすことができ、被搬送物
を、じかに、出し入れして、搬送・ハンドリングを行っ
ても、被搬送物への塵埃等の付着を防止することができ
るので、従来に比して、搬送・ハンドリングに要する時
間を短縮することができ、また、搬送空間やハンドリン
グ空間の空気清浄度は低くても済むので、これらの空間
を確保するための費用を節約することができる。
第１図は本発明の実施例を示す一部構成要素を省いた斜
視図、第２図は上記実施例の一部を省いた側面図、第３
図は上記実施例の一部を省いた背面図、第４図（ａｌと
山）はそれぞれ上記実施例のフードの閉状態と開状態を
示す図、第５図（ａ）と（ｂ）はそれぞれ上記実施例に
おけるフード閉時のスイッチとフード開時のスイッチを
示す図、第６図は上記実施例における電気回路を示す図
、第７図は被搬送物であるウェハとウェハカセットを示
す斜視図である。 １・−搬送車の台車、７・−・搬送ボックス、１２本体
、１３．１３ Ａ−開口、１４− フード、１８−・空
気浄化ユニット、２１−エアカーテンユニット、２４・
・−スイッチ、２５−・・ドグ。
視図、第２図は上記実施例の一部を省いた側面図、第３
図は上記実施例の一部を省いた背面図、第４図（ａｌと
山）はそれぞれ上記実施例のフードの閉状態と開状態を
示す図、第５図（ａ）と（ｂ）はそれぞれ上記実施例に
おけるフード閉時のスイッチとフード開時のスイッチを
示す図、第６図は上記実施例における電気回路を示す図
、第７図は被搬送物であるウェハとウェハカセットを示
す斜視図である。 １・−搬送車の台車、７・−・搬送ボックス、１２本体
、１３．１３ Ａ−開口、１４− フード、１８−・空
気浄化ユニット、２１−エアカーテンユニット、２４・
・−スイッチ、２５−・・ドグ。
Claims (6)
- （１）フードで蓋される本体、上記フードの開度が所定
開度になったことを検出するスイッチ、上記本体内部に
浄化空気を供給する空気浄化ユニットを備える搬送ボッ
クスを搭載してなり、上記空気浄化ユニットが上記スイ
ッチの出力を動作指令として清浄空気供給動作を開始す
ることを特徴とする自己クリーン機能付搬送車。 - （２）搬送ボックスが、フードで蓋されるが被搬送物移
載口とは異なる開口を有し、該開口を覆うエアカーテン
を形成するエアカーテンユニットを備え、該エアカーテ
ンユニットはスイッチの出力を動作指令として動作する
ことを特徴とする請求項１記載の自己クリーン機能付搬
送車。 - （３）空気浄化ユニットは清浄空気供給風量強弱切換え
可能であって、スイッチの動作指令を受けると、清浄空
気供給風量を「強」に自動切換えすることを特徴とする
請求項１または２記載の自己クリーン機能付搬送車。 - （４）本体が、傾斜可能なテーブルと該テーブルを傾斜
変位させるシリンダ装置を収納しており、該テーブルが
、フードの閉動作に応じて所定角度の傾斜姿勢をとるこ
とを特徴とする請求項１または２または３記載の自己ク
リーン機能付搬送車。 - （５）搬送車が無人搬送車であることを特徴とする請求
項１または２または３または４記載の自己クリーン機能
付搬送車。 - （６）搬送車が手押し搬送車であって、電源コードを有
していることを特徴とする請求項１または２または３ま
たは４記載の自己クリーン機能付搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23654188A JPH0741830B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自己クリーン機能付搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23654188A JPH0741830B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自己クリーン機能付搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0285056A true JPH0285056A (ja) | 1990-03-26 |
| JPH0741830B2 JPH0741830B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=17002198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23654188A Expired - Lifetime JPH0741830B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 自己クリーン機能付搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0741830B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10289939A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送台車 |
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| JP2007015799A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Taisei Corp | 無人搬送車 |
| JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
| JP5967508B1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| WO2017145396A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59140434U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-19 | 日本電気株式会社 | ウエハキヤリア搬送装置 |
| JPS62106867U (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-08 | ||
| JPS63130466A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | 清水建設株式会社 | ウエハカセツトの天吊移送ロボツト用走行ダクト |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP23654188A patent/JPH0741830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59140434U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-19 | 日本電気株式会社 | ウエハキヤリア搬送装置 |
| JPS62106867U (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-08 | ||
| JPS63130466A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | 清水建設株式会社 | ウエハカセツトの天吊移送ロボツト用走行ダクト |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10289939A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送台車 |
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| JP2007015799A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Taisei Corp | 無人搬送車 |
| JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
| JP5967508B1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| JP6020758B1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-11-02 | 株式会社東京精密 | プローバ |
| WO2017145396A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| JP2017152641A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| US20180231582A1 (en) | 2016-02-26 | 2018-08-16 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
| US10605829B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
| JP2023085369A (ja) * | 2016-02-26 | 2023-06-20 | 株式会社東京精密 | プローバ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0741830B2 (ja) | 1995-05-10 |
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