JPS6128805A - Measuring method of minute width - Google Patents
Measuring method of minute widthInfo
- Publication number
- JPS6128805A JPS6128805A JP14932384A JP14932384A JPS6128805A JP S6128805 A JPS6128805 A JP S6128805A JP 14932384 A JP14932384 A JP 14932384A JP 14932384 A JP14932384 A JP 14932384A JP S6128805 A JPS6128805 A JP S6128805A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- reference voltage
- width
- voltage
- output voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気ヘッドのギャップ幅等を正確に測定する
微細幅測定方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a fine width measuring method for accurately measuring the gap width, etc. of a magnetic head.
（従来の技術）
ビデオヘッド等の磁気ヘッド（被試験体、）は、第３図
に示すように構成されている。図中３はフェライトから
なる磁気ヘッド１のチップ（本体）であり、その中央部
にはギャップ２（微細部）が形成されている。ギャップ
２およびその両端の部位４にはガラス材料が充填されて
いる。(Prior Art) A magnetic head (test object) such as a video head is constructed as shown in FIG. In the figure, 3 is a chip (main body) of the magnetic head 1 made of ferrite, and a gap 2 (fine part) is formed in the center thereof. The gap 2 and regions 4 at both ends thereof are filled with a glass material.
第４図に示す磁気ヘッド１のギャップ２の幅Ｈは、録音
、再生を高感度で行なうために、規格幅になるように正
確に設定されることか必要である。The width H of the gap 2 of the magnetic head 1 shown in FIG. 4 must be accurately set to a standard width in order to perform recording and reproduction with high sensitivity.
ギャップ２の幅Ｈを正確に設定するためには、これを正
確に測定する必要がある。In order to accurately set the width H of the gap 2, it is necessary to measure it accurately.
ところで、磁気ヘッド１の本体３がフェライト等により
形成されていてその表面が光を良く反射するのに対し、
ギャップ２にはガラス材料が充填されていて光をあまり
反射しない。By the way, while the main body 3 of the magnetic head 1 is made of ferrite or the like and its surface reflects light well,
Gap 2 is filled with a glass material and does not reflect much light.
上記原理を利用してギャップ２の幅Ｈを光学的に測定す
る方法がある。すなわち、磁気へラド１を移動させると
ともに、磁気ヘッド１に照明光を当ててその反射光を微
細なスリットを介して光電変換素子によって電圧に変換
する。ギャップ２が光電変換素子によって検出される位
置に達すると、光電変換素子からの出力電圧Ｖが低下す
る。したがって、この出力電圧■が低下した領域での磁
気ヘッド１の相対的な移動量を測定すれば、ギャップ２
の幅Ｈが得られるわけである。There is a method of optically measuring the width H of the gap 2 using the above principle. That is, while moving the magnetic head 1, illumination light is applied to the magnetic head 1, and the reflected light is converted into voltage by a photoelectric conversion element through a fine slit. When the gap 2 reaches the position detected by the photoelectric conversion element, the output voltage V from the photoelectric conversion element decreases. Therefore, if we measure the relative movement of the magnetic head 1 in the region where the output voltage
Therefore, the width H is obtained.
従来では、予め基準電圧Ｖ。を設定し、出力電圧■がこ
の基準電圧■ｏより低い領域での磁気へラド１の移動量
から、ギャップ２の幅Ｈを測定していた。Conventionally, the reference voltage V is set in advance. was set, and the width H of the gap 2 was measured from the amount of movement of the magnetic head 1 in a region where the output voltage ■ was lower than the reference voltage ■o.
（発明が解決しようとしている問題点）しかし、上記の
方法では、次のような欠点があった。すなわち、測定を
行なう部屋の照明が異なったり、各試料毎に本体３の表
面の研摩状態が異なっていて光の反射効率が異なる場合
、ギャップ幅Ｈが同じであっても光電変換素子からの出
力電圧Ｖは第６図中曲線Ｃ，Ｄに示すように異なってし
まう。したがって、上記の従来方法のように基準電圧■
。が一定であると、出力電圧Ｖが基準電圧■。(Problems to be Solved by the Invention) However, the above method has the following drawbacks. In other words, if the lighting in the room where the measurement is performed is different, or if the polishing state of the surface of the main body 3 is different for each sample and the light reflection efficiency is different, the output from the photoelectric conversion element will be different even if the gap width H is the same. The voltage V differs as shown by curves C and D in FIG. Therefore, as in the conventional method above, the reference voltage
. is constant, the output voltage V is the reference voltage ■.
より低い領域Ｌｃ、Ｌｃｌが異なってしまい、この結果
ギャップ２の幅Ｈの測定値が異なることになり、・ギャ
ップ２の幅Ｈが規格幅に対して許容される範囲内で合致
しているか否かを正確に判定す′ることができなかった
。The lower regions Lc and Lcl will be different, and as a result, the measured value of the width H of gap 2 will be different.・Whether or not the width H of gap 2 matches the standard width within the allowable range. It was not possible to accurately determine whether
λ匪へ１Ｋ
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点を解決するため、本体と、この本体
と比較して光の反射効率の異なる微細部とを有する被試
験体を、相対的に移動させるとともに、被試験体に照明
光を当てその反射光を微細なスリットを介して光電変換
素子によって電圧に変換し、被試験体の微細部が光電変
換素子による検出位置を通過する際の出力電圧■の最大
値Ｖｍａ×と最小値Ｖｍｉｎを検出し、これら最大値Ｖ
ｍａｘ＋最小値Ｖａ＋ｉｎに基づいて、基準電圧Ｖ。＝
Ｆ（Ｖｍａｘ。1K to λ (Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention provides a test object having a main body and a minute part having a different light reflection efficiency compared to the main body. While moving the test object relatively, illumination light is applied to the test object and the reflected light is converted into voltage by a photoelectric conversion element through a minute slit, and the minute part of the test object passes the detection position by the photoelectric conversion element. Detect the maximum value Vmax and minimum value Vmin of the output voltage ■ at the time, and set these maximum values V
Reference voltage V based on max+minimum value Va+in. =
F(Vmax.
Ｖｍｉｎ）を決定し、次に再び微細部が光電変換素子に
よる検出位置を通過するように、被試験体を相対的に移
動させ、光電変換素子からの出力電圧■が、上記基準電
圧Ｖ０より低い領域あるいは高い領域での被試験体の相
対的な移動量を測定し、この移動量から微細部の幅を得
ることを特徴とする微細幅測定方法を提供するものであ
る。Vmin), then move the test object relatively so that the minute part passes through the detection position by the photoelectric conversion element again, and the output voltage from the photoelectric conversion element is lower than the reference voltage V0. The present invention provides a fine width measuring method characterized by measuring the relative movement amount of a test object in a region or a high region, and obtaining the width of a fine portion from this movement amount.
（実施例） 本発明者は、実験の結果、次の原理を発見した。(Example) The inventor discovered the following principle as a result of experiments.
すなわち、ギャップ２が光電変換素子による検出位置を
通過するように、磁気ヘッド１を相対的に移動させた時
、光電変換素子からの出力電圧Ｖの最大値をＶｍａｘ＋
最小値をＶｍｉｎとすると、次式のように基準電圧■、
を決定すればギャップ２の幅Ｈを正確に測定できること
を発見した。That is, when the magnetic head 1 is relatively moved so that the gap 2 passes the detection position by the photoelectric conversion element, the maximum value of the output voltage V from the photoelectric conversion element is Vmax+
If the minimum value is Vmin, the reference voltage ■,
It has been discovered that the width H of the gap 2 can be accurately measured by determining the width H of the gap 2.
Ｖ ｏ＝ Ｆ （Ｖ ｗａｘ、 Ｖ ｍ１ｎ）さらに詳
しくは、次式で決定される。Vo=F (V wax, V m1n) More specifically, it is determined by the following formula.
Ｖｏ＝Ｖｍａｘ−Ｋ（Ｖｍａｘ−Ｖｍｉｎ）（但し、Ｋ
は１より小さい定数である。）上記の発見に基づいて、
本発明がなされたわけである。Vo=Vmax-K(Vmax-Vmin) (However, K
is a constant smaller than 1. ) Based on the above findings,
Therefore, the present invention has been made.
第１図、第２図は本発明方法な災施する装置の一例を示
す。図中１１はＸ軸方向に水平移動するＸステージであ
り、１２はＸ軸方向に水平移動するＹステージである。1 and 2 show an example of an apparatus for applying the method of the present invention. In the figure, 11 is an X stage that moves horizontally in the X-axis direction, and 12 is a Y stage that moves horizontally in the X-axis direction.
Ｘステージ１１の上には、磁気へラド１を支持するため
の支持機構１３が設置されている。A support mechanism 13 for supporting the magnetic herad 1 is installed on the X stage 11.
ステージ１１．１２は移動機構１４．Ｉｓによって移動
されるようになっている。移動機構１４は、光学エンコ
ーグ−等を内蔵しており、Ｘステージ１１を単位距離移
動させる毎に電気パルスを発生する。移動機構１４の電
気パルスは、後述するカウンター３６に送られて計数さ
れる。The stage 11.12 is a moving mechanism 14. It is designed to be moved by Is. The moving mechanism 14 has a built-in optical encoder and the like, and generates an electric pulse every time the X stage 11 is moved by a unit distance. The electric pulses from the moving mechanism 14 are sent to a counter 36, which will be described later, and counted.
ステージ１１の上方には、拡大光学系２０が配置されて
いる。拡大光学系２０は、対物レンズ２１、接眼レンズ
２２およびこれらレンズ２１．２２間に配置されたハー
フミラ−２３，２４を有している。A magnifying optical system 20 is arranged above the stage 11. The magnifying optical system 20 includes an objective lens 21, an eyepiece lens 22, and half mirrors 23 and 24 arranged between these lenses 21 and 22.
ハーフミラ−２３では光源ランプ２５の照明光が反射さ
れ、この照明光は対物レンズ２１を経てＸステージ１１
に設置された磁気ヘッド１に照射されるようになってい
る。The illumination light from the light source lamp 25 is reflected by the half mirror 23, and this illumination light passes through the objective lens 21 and reaches the X stage 11.
The beam is irradiated onto a magnetic head 1 installed at a location.
磁気へラド１からの反射光の一部は、拡大光学系２０を
通過してその上方に配置されたテレビカメラ２７に供給
される。テレビカメラ２７にはモニターテレビ２８が接
続されており、上記磁気へ、。A part of the reflected light from the magnetic herad 1 passes through the magnifying optical system 20 and is supplied to the television camera 27 arranged above it. A monitor television 28 is connected to the television camera 27, and is connected to the magnetic field.
ド１の像を映し出すようになっている。It is designed to display the image of Do1.
モニターテレビ２８には、１本の垂直カーソル線２８ａ
と、２本の水平カーソル線２８ｂ、２８ｃとが映し出さ
れている。これらカーソル線２８ａ、２８ｂ、２８ｃは
、後述するスリット３０の投影位置を示している。すな
わち、垂直カーソル線２８ａを２本の水平カーソル線２
８ｂ、２８ｃで切り取った部位Ｚが、スリット３０の投
影像を表示している。The monitor television 28 has one vertical cursor line 28a.
, and two horizontal cursor lines 28b and 28c are displayed. These cursor lines 28a, 28b, and 28c indicate the projected position of a slit 30, which will be described later. That is, the vertical cursor line 28a is replaced by the two horizontal cursor lines 2.
The region Z cut out at 8b and 28c displays a projected image of the slit 30.
磁気ヘッド１からの反射光の一部は拡大光学系２０のハ
ーフミラ−２４で反射され、細長の微細なスリット３０
を通過して光電子増倍管３１（光電変換素子）によって
電圧に変換されるようになっている。実際のスリット３
０はハーフミラ゛−２４からのギャップ２の像と平行を
なし、ギャップ２のアジマス角に対応して若干傾いてお
り、感度良く測定をおこなうことができるようになって
いる。A part of the reflected light from the magnetic head 1 is reflected by the half mirror 24 of the magnifying optical system 20, and is reflected by the elongated fine slit 30.
and is converted into voltage by a photomultiplier tube 31 (photoelectric conversion element). actual slit 3
0 is parallel to the image of the gap 2 from the half mirror 24, and is slightly tilted in accordance with the azimuth angle of the gap 2, so that measurement can be carried out with good sensitivity.
光電子増倍管３１からの出力電圧■はアンプ３２によっ
て増幅されて、検出部３３および比較部３５に送られる
ようになっている。検出部３３での検出情報はＮｅｔさ
れるとともに演算部３４に送られ、演算部３４での演算
結果は比較部３５に送られる。比較部３６ではカウンタ
ー３６にゲート信号を送るようになっている。そして、
カウンター３６での計数情報に基づいて、出力部３７で
記録または表示されるようになっている。The output voltage ■ from the photomultiplier tube 31 is amplified by an amplifier 32 and sent to a detection section 33 and a comparison section 35. The detection information in the detection section 33 is netted and sent to the calculation section 34, and the calculation result in the calculation section 34 is sent to the comparison section 35. The comparator 36 is configured to send a gate signal to the counter 36. and,
Based on the count information from the counter 36, it is recorded or displayed on the output section 37.
上述の装置を用いてギャップ２の幅Ｈの測定を行なう。The width H of the gap 2 is measured using the above-described apparatus.
まず、Ｘステージ１１の上に、磁気ヘッド１をセットす
る。この支持状態では、磁気ヘッド１の面１ａがＸ軸に
平行になっている。First, the magnetic head 1 is set on the X stage 11. In this supported state, the surface 1a of the magnetic head 1 is parallel to the X axis.
次に、移動機構１４．１５を操作してＸステージ１１．
Ｙステージ１２を移動させることにより、
（モニターテレビ２８に磁気ヘッド１のギャップ２
を映し出す。Next, operate the moving mechanisms 14 and 15 to move the X stage 11.
By moving the Y stage 12,
(Gap 2 of magnetic head 1 on monitor TV 28)
to reflect.
次に、モニターテレビ２８に映し出されたギヤツブ２が
スリット３０の投影像Ｂを通過するように、Ｘステージ
１１を移動（往路移動）させる。Next, the X stage 11 is moved (outward movement) so that the gear 2 displayed on the monitor television 28 passes through the projected image B of the slit 30.
上記磁気へラド２の往路移動の際、光電子増倍管３１か
らの出力電圧■が検出部３２に送られ、検出部３３では
出力電圧■の最大値Ｖｍａｘ、最小値Ｖｍｉｎを検出し
記憶する。上記最大値Ｖｍａｘ＋最小値Ｖ ＋ｏｉ ｎ
は演算部３４に送られ、演算部３４では次式に基づいて
アナログ演算を行ない、基準電圧■ｏを算出する。During the outward movement of the magnetic heald 2, the output voltage (2) from the photomultiplier tube 31 is sent to the detection section 32, and the detection section 33 detects and stores the maximum value Vmax and minimum value Vmin of the output voltage (2). Above maximum value Vmax + minimum value V + oin
is sent to the calculation unit 34, which performs analog calculation based on the following equation to calculate the reference voltage ■o.
Ｖｏ＝Ｖｍａｘ−Ｋ（ＶＩＩｌａｘ−Ｖｍｉｎ）基準電
圧■。は比較部３５に送られる。Vo=Vmax-K(VIIlax-Vmin) Reference voltage ■. is sent to the comparison section 35.
次に、モニターテレビ２８に映し出された磁気ヘッド１
のギャップ２が再び投影像Ｂを通過するように、Ｘステ
ージ１１を逆方向に移動（復路移動）させる。この復路
移動の際、上記光電子増倍管３１からの出力電圧Ｖが比
較部３５に送られ、比較部３５では、この出力電圧Ｖと
上記基準電圧■。とを比較し、出力電圧Ｖが基準電圧Ｖ
０より低い領域で、ゲート信号をカウンター３６に出力
する７
カウンター３６では、比較部３５がらゲート信号を受け
て、移動機構１４からの電気パルスを計数する。この計
数値に予め決められた係数を掛けた値すなわちギャップ
２の幅Ｈを、出力部３７で記録１表示する。Next, the magnetic head 1 displayed on the monitor television 28
The X stage 11 is moved in the opposite direction (backward movement) so that the gap 2 passes through the projected image B again. During this return trip, the output voltage V from the photomultiplier tube 31 is sent to the comparison section 35, and the comparison section 35 compares this output voltage V with the reference voltage (2). The output voltage V is compared with the reference voltage V
In the region lower than 0, the gate signal is output to the counter 36. The counter 36 receives the gate signal from the comparator 35 and counts the electric pulses from the moving mechanism 14. The value obtained by multiplying this count value by a predetermined coefficient, that is, the width H of the gap 2, is recorded and displayed by the output unit 37.
検査を行なう部屋の照明が異なったり、各試料毎に本体
３の表面の研摩状態が異なっていて光の反射効率が異な
る場合には、光電変換素子からの出力電圧■は、第５図
中曲線Ａ、Ｂに示すように異なってしまう。しかし、状
況に応じて基準電圧■ｏが最適値に調節されるため、ギ
ャップ２の幅Ｈが同じであれば、出力電圧■が基準電圧
Ｖ０より低い領域Ｌａ、Ｌｂが等しくなり、ギャップ２
の幅Ｈの測定値が等しくなる。この結果、ギャップ２の
幅Ｈを正確に測定できる。If the lighting in the room where the inspection is performed is different, or if the polishing state of the surface of the main body 3 is different for each sample, and the light reflection efficiency is different, the output voltage from the photoelectric conversion element will change as shown in the curve in Figure 5. The results are different as shown in A and B. However, since the reference voltage ■o is adjusted to the optimum value depending on the situation, if the width H of the gap 2 is the same, the regions La and Lb where the output voltage ■ is lower than the reference voltage V0 will be equal, and the gap 2
The measured values of the widths H of are equal. As a result, the width H of the gap 2 can be measured accurately.
上記測定をギャップ２の長手方向に沿う複数箇所で行な
う。The above measurements are performed at multiple locations along the longitudinal direction of the gap 2.
なお、本発明は上記実施例に制約されず種々の態様が可
能である。例えば、上記実施例では、移動機構によりス
テージを軍位距離移動させる毎にパルスを発生させ、こ
のパルスを計数することにより磁気ヘッドの移動量を測
定したが、ステージを一定速度で移動させるとともに、
単位時間毎にパルスを発生させこのパルスを計数するこ
とにより移動量を測定してもよい。Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various embodiments are possible. For example, in the above embodiment, a pulse is generated each time the stage is moved by the military position distance by the moving mechanism, and the amount of movement of the magnetic head is measured by counting the pulses. However, when the stage is moved at a constant speed,
The amount of movement may be measured by generating pulses every unit time and counting the pulses.
また、磁気ヘッドを移動させずに、スリットおよび光電
変換素子を移動させてもよい。Furthermore, the slit and the photoelectric conversion element may be moved without moving the magnetic head.
さらに、上記実施例において、基準電圧の設定により、
必ずしも計数値とギャップ幅とが線型の関係になくても
よく、１対１の関係にあればよい。Furthermore, in the above embodiment, by setting the reference voltage,
The count value and the gap width do not necessarily have to have a linear relationship, but only need to have a one-to-one relationship.
この場合には、カウンターからの計数情報をマイクロコ
ンピュータ−に送り、ここで線型化してギャップ幅を算
出すればよい。In this case, the count information from the counter is sent to the microcomputer, where it is linearized and the gap width can be calculated.
さらにまた、本発明は、磁気ヘッドに限らず、本体と比
較して光の反射効率の異なる微細部を有する被試験体に
も適用できる。微細部が溝等のように本体に対して光の
反射率が劣る場合には、上記の実施例方法と同様にして
測定できるが、微細部が本体より光反射率が良い場合に
は、出力電圧が基準電圧より高い領域で被試験体の相対
的な移動量を測定する。Furthermore, the present invention is applicable not only to magnetic heads but also to test objects having minute parts that have different light reflection efficiency compared to the main body. If the minute part has a lower light reflectance than the main body, such as a groove, it can be measured in the same manner as the above example method, but if the minute part has a better light reflectance than the main body, the output Measures the relative movement of the test object in a region where the voltage is higher than the reference voltage.
免」へ廟１
以上説明したように、本発明方法によれば、試験する部
屋の明るさや、被試験体の反射効率等の変化に左右され
ることなく、正確に微細部の幅を測定することができる
。As explained above, according to the method of the present invention, the width of a minute part can be accurately measured without being affected by changes in the brightness of the room being tested or the reflection efficiency of the test object. be able to.
第１図は本発明方法を実施する装置の一例を示す概略図
、第２図は電気回路図、第３図は磁気ヘッドの正面図、
第４図は磁気ヘッドのギャップの拡大図、第５図は本発
明方法における出力電圧■と基準電圧■。どの関係を示
す図、第６図は従来方法による出力電圧■と基準電圧■
。との関係を示す図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an apparatus for carrying out the method of the present invention, FIG. 2 is an electric circuit diagram, and FIG. 3 is a front view of a magnetic head.
FIG. 4 is an enlarged view of the gap of the magnetic head, and FIG. 5 is the output voltage (■) and reference voltage (■) in the method of the present invention. Figure 6 shows the relationship between the output voltage ■ and the reference voltage ■ according to the conventional method.
. FIG.
Claims (1)
部とを有する被試験体を、相対的に移動させるとともに
、被試験体に照明光を当てその反射光を微細なスリット
を介して光電変換素子によって電圧に変換し、被試験体
の微細部が光電変換素子による検圧位置を通過する際の
出力電圧Ｖの最大値Ｖｍａｘと最小値Ｖｍｉｎを検出し
、これら最大値Ｖｍａｘ、最小値Ｖｍｉｎに基づいて、
基準電圧Ｖ＿０＝Ｆ（Ｖｍａｘ、Ｖｍｉｎ）を決定し、
次に再び微細部が光電変換素子による検出位置を通過す
るように、被試験体を相対的に移動させ、光電変換素子
からの出力電圧Ｖが、上記基準電圧Ｖ＿０より低い領域
あるいは高い領域での被試験体の相対的な移動量を測定
し、この移動量から微細部の幅を得ることを特徴とする
微細幅測定方法。A test object having a main body and a fine part having a different light reflection efficiency compared to the main body is moved relatively, and illumination light is applied to the test object and the reflected light is passed through a fine slit. It is converted into voltage by a photoelectric conversion element, and the maximum value Vmax and minimum value Vmin of the output voltage V when the minute part of the test object passes the pressure detection position by the photoelectric conversion element are detected, and these maximum value Vmax and minimum value are detected. Based on Vmin,
Determine the reference voltage V_0=F (Vmax, Vmin),
Next, the test object is relatively moved so that the minute part passes the detection position by the photoelectric conversion element again, and the output voltage V from the photoelectric conversion element is in a region lower or higher than the reference voltage V_0. A fine width measuring method characterized by measuring the relative amount of movement of a test object and obtaining the width of a fine portion from this amount of movement.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14932384A JPS6128805A (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Measuring method of minute width |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14932384A JPS6128805A (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Measuring method of minute width |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6128805A true JPS6128805A (en) | 1986-02-08 |
Family
ID=15472601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14932384A Pending JPS6128805A (en) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Measuring method of minute width |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128805A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0246517A (en) * | 1988-08-09 | 1990-02-15 | Alps Electric Co Ltd | Method for measuring gap width of magnetic head |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048952A (en) * | 1973-08-31 | 1975-05-01 | ||
| JPS5068546A (en) * | 1973-10-22 | 1975-06-07 |
-
1984
- 1984-07-20 JP JP14932384A patent/JPS6128805A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048952A (en) * | 1973-08-31 | 1975-05-01 | ||
| JPS5068546A (en) * | 1973-10-22 | 1975-06-07 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0246517A (en) * | 1988-08-09 | 1990-02-15 | Alps Electric Co Ltd | Method for measuring gap width of magnetic head |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3804521A (en) | Optical device for measuring surface roughness | |
| US4160598A (en) | Apparatus for the determination of focused spot size and structure | |
| US3319515A (en) | Interferometric optical phase discrimination apparatus | |
| JPS6127682B2 (en) | ||
| JPH0374763B2 (en) | ||
| JP2529966B2 (en) | Particle size measuring device | |
| JPS6128805A (en) | Measuring method of minute width | |
| US6844537B2 (en) | Method and device for measuring the velocity of a moving surface | |
| JPS60501125A (en) | Method and device for measuring suspended solids content in a fluid medium | |
| JP2002328103A (en) | Instrument and method for measuring reflectivity for determining reflectivity in selected measuring portion of spectrum-dependent reflective measuring object | |
| JP3023771B2 (en) | Vibration sensor calibration device | |
| EP0157431A1 (en) | Procedure to measure the dimensions of a body in movement in a three-dimensional field, and an optoelectronic device to carry out such procedure | |
| JPH07182724A (en) | Tape measuring method and tape measuring device | |
| JPH03276005A (en) | Shape measuring device | |
| JPS5817305A (en) | Device for measuring magnetic head spacing | |
| US3220113A (en) | Surface checking device | |
| JPH05500853A (en) | Method and apparatus for determining glass tube wall thickness | |
| CN212378715U (en) | Angle measuring instrument | |
| JPH01235807A (en) | Depth measuring instrument | |
| RU2078305C1 (en) | Interference method of test of geometric positioning of lenses and interference device for its implementation | |
| JPS63138204A (en) | Shape measuring method | |
| JPS63222207A (en) | Apparatus for measuring depth of recessed part and thickness of film | |
| SU1128113A1 (en) | Measuring video converter for high-precision convertion of object linear dimensioes to electrical signal | |
| JPS6179106A (en) | Edge detecting device of optical measuring instrument | |
| JPS62118243A (en) | Surface defect inspecting instrument |