JPS61292932A - 石英フオ−ク - Google Patents
石英フオ−クInfo
- Publication number
- JPS61292932A JPS61292932A JP13417885A JP13417885A JPS61292932A JP S61292932 A JPS61292932 A JP S61292932A JP 13417885 A JP13417885 A JP 13417885A JP 13417885 A JP13417885 A JP 13417885A JP S61292932 A JPS61292932 A JP S61292932A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- fork
- quartz fork
- present
- flat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、被処理体の表面処理技術さらにはウニへ表面
上に薄膜を形成する技術に関するもので、特に石英治具
を用いてウェハの搬送を行なう場合に適用して有効な技
術に関するものである。
上に薄膜を形成する技術に関するもので、特に石英治具
を用いてウェハの搬送を行なう場合に適用して有効な技
術に関するものである。
半導体の製造工程において、集積度が向上するにつれ、
微小な塵埃や異物がクエへに付着することＫより起こる
歩留低下が、極めて大きな問題となってきている。
微小な塵埃や異物がクエへに付着することＫより起こる
歩留低下が、極めて大きな問題となってきている。
そのため、ウェハのロード−アンロードＩＩＫおける塵
埃の発生を極力低減するため、発塵のおきにくいソフト
ランディングが用いられている。
埃の発生を極力低減するため、発塵のおきにくいソフト
ランディングが用いられている。
（電子材料別冊超ＬＳＩ製造も試験装置ガ、イドブック
１９８５年版ｐ、５９〜ｐ、６０参照）。
１９８５年版ｐ、５９〜ｐ、６０参照）。
ところが、本発明者が不良解析したところでは、まだま
だクエへ表面に異物が付着しており、それに起因して不
良が発生していることを見い出した。
だクエへ表面に異物が付着しており、それに起因して不
良が発生していることを見い出した。
そこで、本発明者は異物の発生源について追求したとこ
ろ、石英フォークに問題があることを突き止めた。第３
図は特開昭５８−６２４８９号公報で開示されているよ
うな従来の石英フォークの概略側面図で、１の管状部と
２の偏平部から構成されている。第４図は第３図ＩＶ−
ＩＶ線断面図であり、図から分かるように、偏平部２の
端部３が先細りとなっている。本発明者はこの端部３が
少しの衝撃でも簡単に破損してしまい、その破片の一部
がウニへ表面に飛散し付着していることを見い出し、こ
の問題を解決すべく検討な行なった。
ろ、石英フォークに問題があることを突き止めた。第３
図は特開昭５８−６２４８９号公報で開示されているよ
うな従来の石英フォークの概略側面図で、１の管状部と
２の偏平部から構成されている。第４図は第３図ＩＶ−
ＩＶ線断面図であり、図から分かるように、偏平部２の
端部３が先細りとなっている。本発明者はこの端部３が
少しの衝撃でも簡単に破損してしまい、その破片の一部
がウニへ表面に飛散し付着していることを見い出し、こ
の問題を解決すべく検討な行なった。
本発明の目的は、異物の発生が低減でき・うる処理技術
を提供することである。
を提供することである。
本発明の他の目的は、石英フォークの強度を向上できう
る技術を提供することである。
る技術を提供することである。
本発明の前記ならびＫそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかくなるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかくなるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、石英フォークの偏平部の端部を丸状に形成す
ることＫより、前記端部が破損しＫ＜くなるので、石英
フォークの強度が向上し、さらに異物不良を低減した処
理を行なうことができるものである。
ることＫより、前記端部が破損しＫ＜くなるので、石英
フォークの強度が向上し、さらに異物不良を低減した処
理を行なうことができるものである。
第１図は、本発明の一実施例である石英フォークの概略
側面図、第２図は、第１図の■−■線断面図である。以
下、図を用いてその構成について説明する。石英フォー
ク４は、管状部５と偏平部６かうなっており、前記偏平
部６上に被処理体である例えばウェハＷを整列載置した
ウェハ治具７を載せられるようになっている。８は石英
フォーク４の管状部５を保持する保持具で、移動アーム
９と連結している。前記移動アーム９は図示しない駆動
部と接続しており、石英フォーク４０前後動作及び上下
動作がおこなえるようになっている。
側面図、第２図は、第１図の■−■線断面図である。以
下、図を用いてその構成について説明する。石英フォー
ク４は、管状部５と偏平部６かうなっており、前記偏平
部６上に被処理体である例えばウェハＷを整列載置した
ウェハ治具７を載せられるようになっている。８は石英
フォーク４の管状部５を保持する保持具で、移動アーム
９と連結している。前記移動アーム９は図示しない駆動
部と接続しており、石英フォーク４０前後動作及び上下
動作がおこなえるようになっている。
石英フォーク４の偏平部６の端部１０は、丸状に形成さ
れて先細りがないようにしている。なお、本実施例にお
いては、さらに端部１０の強度が向上するように５例え
ばシリコン棒１１を端部に溢って埋設している。
れて先細りがないようにしている。なお、本実施例にお
いては、さらに端部１０の強度が向上するように５例え
ばシリコン棒１１を端部に溢って埋設している。
次に動作について説明する。ウェハ治具７にウェハＷを
載置したのち、石英フォーク４を移動させ偏平部６を前
記ウェハ治具７の下部に挿入する。
載置したのち、石英フォーク４を移動させ偏平部６を前
記ウェハ治具７の下部に挿入する。
そして、偏平部６の端部１０にてウェハ治具７を支持し
て持ち上げ、図示しない処理槽内に搬送する。ウェハ治
具７を処理槽内の所定位置まで移動させたら、石英フォ
ーク４を下降させ、ウェハ治具をおろしたのち後退する
。その後、処理槽内を所定の処理雰囲気にして、例えば
ウニへ表面上に薄膜を形成したり、あるいはウニへ表面
部に不純物を拡散する等の処理を行なう。
て持ち上げ、図示しない処理槽内に搬送する。ウェハ治
具７を処理槽内の所定位置まで移動させたら、石英フォ
ーク４を下降させ、ウェハ治具をおろしたのち後退する
。その後、処理槽内を所定の処理雰囲気にして、例えば
ウニへ表面上に薄膜を形成したり、あるいはウニへ表面
部に不純物を拡散する等の処理を行なう。
（１）石英フォークの偏平部の端部な丸状に形成するこ
とにより、端部が衝撃により破損しにくくなるので、石
英フォーク＼を交換する頻度が減り、コストが低減でき
つるという効果が得られる。
とにより、端部が衝撃により破損しにくくなるので、石
英フォーク＼を交換する頻度が減り、コストが低減でき
つるという効果が得られる。
（２１石英フォークの偏平部の端部を丸状に形成し、か
つ前記端部にシリコン棒等の補強材を埋設あるいは取り
付けることにより、端部が衝撃により破損することがな
くなるとともに、熱や重さにより変形することがないな
ど、その強度が飛躍的に向上することとなり、長期間の
使用に耐えうる石英フォークが得られる効果がある。
つ前記端部にシリコン棒等の補強材を埋設あるいは取り
付けることにより、端部が衝撃により破損することがな
くなるとともに、熱や重さにより変形することがないな
ど、その強度が飛躍的に向上することとなり、長期間の
使用に耐えうる石英フォークが得られる効果がある。
＋３１ （１１あるいは（２）のような構成とするこ
とにより、石英フォークの偏平部の端部強度が向上する
ため、前記端部が破損して石英フォークの破片が発生す
ることがなくなるので、破片が被処理体表面に付着して
不良が発生するという問題を解決できるという効果が得
られる。
とにより、石英フォークの偏平部の端部強度が向上する
ため、前記端部が破損して石英フォークの破片が発生す
ることがなくなるので、破片が被処理体表面に付着して
不良が発生するという問題を解決できるという効果が得
られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、偏平部の端
部以外の場所、例えば偏平部の底部に補強材を配設して
もフォークの強度を飛躍的に向上できる。また、本実施
例においては石英を材料とするフォークで説明したが、
他の材料例えばシリコンカーバイト等を材料とするもの
であっても良い。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、偏平部の端
部以外の場所、例えば偏平部の底部に補強材を配設して
もフォークの強度を飛躍的に向上できる。また、本実施
例においては石英を材料とするフォークで説明したが、
他の材料例えばシリコンカーバイト等を材料とするもの
であっても良い。
〔利用分野〕
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
を、その背景となった利用分野である石英フォークに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、たとえば、ウェハ載置用治具等各種石英製品
に適用することができる。
を、その背景となった利用分野である石英フォークに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、たとえば、ウェハ載置用治具等各種石英製品
に適用することができる。
第１因は、本発明の一実施例である石英フォークの概略
側面図、 第２図は、第１図の■−■線断面図、 第３図は、従来の石英フォークの概略側面図、第４図は
、第３図のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 １．５・・・管状部、２．６・・・偏平部、３．１０・
・・端部、４・・・石英フォーク、７・・・クエハ治具
、８・・・保持部、９・・・移動アーム、１１・・・シ
リコン棒。 第 １ 図 第 ２５Ａ 第 ３ 図
側面図、 第２図は、第１図の■−■線断面図、 第３図は、従来の石英フォークの概略側面図、第４図は
、第３図のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 １．５・・・管状部、２．６・・・偏平部、３．１０・
・・端部、４・・・石英フォーク、７・・・クエハ治具
、８・・・保持部、９・・・移動アーム、１１・・・シ
リコン棒。 第 １ 図 第 ２５Ａ 第 ３ 図
Claims (1)
- １、被処理体を所定の処理雰囲気にできる処理槽内に搬
送するための石英フォークにおいて、前記フォークの偏
平部の端部を丸状に形成したことを特徴とする石英フォ
ーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13417885A JPS61292932A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 石英フオ−ク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13417885A JPS61292932A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 石英フオ−ク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292932A true JPS61292932A (ja) | 1986-12-23 |
Family
ID=15122265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13417885A Pending JPS61292932A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 石英フオ−ク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61292932A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178534A (en) * | 1989-05-18 | 1993-01-12 | Bayne Christopher J | Controlled diffusion environment capsule and system |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP13417885A patent/JPS61292932A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178534A (en) * | 1989-05-18 | 1993-01-12 | Bayne Christopher J | Controlled diffusion environment capsule and system |
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