JPS6132487A - バイモルフ電歪振動装置 - Google Patents
バイモルフ電歪振動装置Info
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- JPS6132487A JPS6132487A JP15266784A JP15266784A JPS6132487A JP S6132487 A JPS6132487 A JP S6132487A JP 15266784 A JP15266784 A JP 15266784A JP 15266784 A JP15266784 A JP 15266784A JP S6132487 A JPS6132487 A JP S6132487A
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- force
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- vibrator
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電歪振動装置に関するもので、特に変位・
発生力特性を改善した電歪振動装置に関するものである
。
発生力特性を改善した電歪振動装置に関するものである
。
バイモルフ電歪振動装置は、近年電磁マグネットの代替
として多方面で検討されつつある。しかし、電磁マグネ
ットとは変位・発生力特性が大きく異なるため、動作の
安定性が問題になる場合がある。
として多方面で検討されつつある。しかし、電磁マグネ
ットとは変位・発生力特性が大きく異なるため、動作の
安定性が問題になる場合がある。
第２図を用いてバイモルフ電歪振動子１′は、中央電極
２′を介して、強誘電体電歪板３，４を重ねて形成され
ている。なお、５，６は電極である。前記振動子１′の
端部１’ａは図示しない支持部材に固定されており、前
記電極２’ 、５．６に電圧を印加することにより、他
の端部１’ｂは揺動するものである。図中破線で示ず■
は電圧が印加されていないときの前記振動子１′の端部
１′ｂの位置、■は電圧が印加されたときの変位到達点
、■は極性を逆にした電圧が印加されたときの変位到達
点を示す。
２′を介して、強誘電体電歪板３，４を重ねて形成され
ている。なお、５，６は電極である。前記振動子１′の
端部１’ａは図示しない支持部材に固定されており、前
記電極２’ 、５．６に電圧を印加することにより、他
の端部１’ｂは揺動するものである。図中破線で示ず■
は電圧が印加されていないときの前記振動子１′の端部
１′ｂの位置、■は電圧が印加されたときの変位到達点
、■は極性を逆にした電圧が印加されたときの変位到達
点を示す。
ことて、■の状態のとき、電圧を反転させ、図中矢印で
示すように、前記振動子１′の端部１’ ｂがＡだけ変
位し、■の状態に至るまでの変位・発生力特性を第２図
ｆｂｌに示す。核間に示すように、発生力Ｆはδ＝０の
とき最も大きく、変位δ−Ａのときつまり変位到達点に
おいてはＦ＝Ｏとなる。
示すように、前記振動子１′の端部１’ ｂがＡだけ変
位し、■の状態に至るまでの変位・発生力特性を第２図
ｆｂｌに示す。核間に示すように、発生力Ｆはδ＝０の
とき最も大きく、変位δ−Ａのときつまり変位到達点に
おいてはＦ＝Ｏとなる。
このため、前記変位到達点において、衝撃力などに対し
て機械的に不安定となる。したがって、両側に変位させ
かつ一定の力を確保しようとする場合には、変位をＡよ
り短いところで拘束する必要があるが、これは変位量を
犠牲にすることになり、変位量増大の必要性を考えると
望ましくない。
て機械的に不安定となる。したがって、両側に変位させ
かつ一定の力を確保しようとする場合には、変位をＡよ
り短いところで拘束する必要があるが、これは変位量を
犠牲にすることになり、変位量増大の必要性を考えると
望ましくない。
これを解決するため、磁石を用いて変位・発生力特性を
改善する技術が本出願人による特願昭５９−７５６２３
の「電歪振動装置駆動回路」に開示されている。第３図
にその構成例を示す。第３図（ａｌに示すように、磁性
体１３は前記振動子１＃の端部１”ｂに固着され、前記
磁性体１３の変位到達点近傍に磁性体９″が固設されて
いる。前記磁性体１３又は９“のいずれか一方は永久磁
石である。このバイモルフ電歪振動装置の発生力は、第
３図（ｂｌに示すように、前記振動子１“の発生力と前
記磁性体１３及び９“間の吸引力との合力により変位・
発生力特性は改善される。
改善する技術が本出願人による特願昭５９−７５６２３
の「電歪振動装置駆動回路」に開示されている。第３図
にその構成例を示す。第３図（ａｌに示すように、磁性
体１３は前記振動子１＃の端部１”ｂに固着され、前記
磁性体１３の変位到達点近傍に磁性体９″が固設されて
いる。前記磁性体１３又は９“のいずれか一方は永久磁
石である。このバイモルフ電歪振動装置の発生力は、第
３図（ｂｌに示すように、前記振動子１“の発生力と前
記磁性体１３及び９“間の吸引力との合力により変位・
発生力特性は改善される。
しかしながら、第３図（ａｌに示すように、前記振動子
１“の先端に磁性体１３を取゛り付ける構造は、精度の
点で難点があり製造性も悪い。また、作用力を取り出し
にくいという問題がある。さらに磁石の力が集中的に先
端に加わるため、機械的な信頼性に欠けるという問題が
ある。
１“の先端に磁性体１３を取゛り付ける構造は、精度の
点で難点があり製造性も悪い。また、作用力を取り出し
にくいという問題がある。さらに磁石の力が集中的に先
端に加わるため、機械的な信頼性に欠けるという問題が
ある。
この発明は、上記目的に鑑み、■大きな変位を得ること
、■電圧印加時、変位到達点において機械的に安定する
こと、■さらには電圧の印加を停止しても自己ラッチを
可能とする乙と、■過度な外力による振動子の破壊を防
止することなどを実現したバイモルフ電歪振動装置を提
供することを目的としている。
、■電圧印加時、変位到達点において機械的に安定する
こと、■さらには電圧の印加を停止しても自己ラッチを
可能とする乙と、■過度な外力による振動子の破壊を防
止することなどを実現したバイモルフ電歪振動装置を提
供することを目的としている。
この発明は、上記目的を達成するため、両側に電極を設
けた強誘電体電歪板を複数重ねてなるバイモルフ電歪振
動子の一端を固定すると共に、前記電極に電圧を印加す
ることにより他端を変位させるようにしたバイモルフ電
歪振動装置において、前記電極の少なくとも一つが磁性
体からなり、前記電歪振動子の前記他端近傍に当接して
該他端の変位を破断限界変位範囲内で揺動動作可能に拘
束する変位拘束部材を固設し、該変位拘束部材近傍に固
定磁性体を固設し、前記磁性体からなる前記電極及び前
記固定磁性体の少なくとも一方を磁化することにより前
記電極及び前記固定磁性体間に吸引力特性を生じせしめ
たものである。
けた強誘電体電歪板を複数重ねてなるバイモルフ電歪振
動子の一端を固定すると共に、前記電極に電圧を印加す
ることにより他端を変位させるようにしたバイモルフ電
歪振動装置において、前記電極の少なくとも一つが磁性
体からなり、前記電歪振動子の前記他端近傍に当接して
該他端の変位を破断限界変位範囲内で揺動動作可能に拘
束する変位拘束部材を固設し、該変位拘束部材近傍に固
定磁性体を固設し、前記磁性体からなる前記電極及び前
記固定磁性体の少なくとも一方を磁化することにより前
記電極及び前記固定磁性体間に吸引力特性を生じせしめ
たものである。
この発明の一実施例を第１図に示す。核間に示すように
、バイモルフ電歪振動子１は、中央電極２をパーマロイ
磁性バネにより形成し、該中央電極２を介して強誘電体
電歪板３，４を重ねて形成されている。なお、５，６は
電極である。
、バイモルフ電歪振動子１は、中央電極２をパーマロイ
磁性バネにより形成し、該中央電極２を介して強誘電体
電歪板３，４を重ねて形成されている。なお、５，６は
電極である。
前記振動子１の端部１ａは、支持部材７に固着されてお
り、前記電極２及び５，６に電圧を印加することにより
、他の端部１ｂを揺動するものである。該端部１ｂは図
示しない他の機構と係合し、その変位が該機構に伝達さ
れる。
り、前記電極２及び５，６に電圧を印加することにより
、他の端部１ｂを揺動するものである。該端部１ｂは図
示しない他の機構と係合し、その変位が該機構に伝達さ
れる。
端子８は前記電極２，５．６に接続して設けられ、後述
する駆動回路と接続されるものである。
する駆動回路と接続されるものである。
変位拘束部材９ （９−１，９−２）は、前記振動子１
の端部１ｂの変位到達点近傍に固設され、前記振動子１
の変位を、■及び■で示す通常の変位到達点間の範囲に
拘束するものである。またこの変位拘束部材９の中には
永久磁石１０（１０−１，１Ｏ−２）が実装されている
。
の端部１ｂの変位到達点近傍に固設され、前記振動子１
の変位を、■及び■で示す通常の変位到達点間の範囲に
拘束するものである。またこの変位拘束部材９の中には
永久磁石１０（１０−１，１Ｏ−２）が実装されている
。
次にこのバイモルフ電歪振動装置の駆動回路を説明する
。第４図は第１図の実施例のバイモルフ電歪振動装置に
接続される駆動回路を示す。この駆動回路は、前記の本
出願人による特願昭５９＝７５６２３に開示されたもの
であり、ここではその概略を説明するにとどめる。
。第４図は第１図の実施例のバイモルフ電歪振動装置に
接続される駆動回路を示す。この駆動回路は、前記の本
出願人による特願昭５９＝７５６２３に開示されたもの
であり、ここではその概略を説明するにとどめる。
第４図に示すように、駆動回路は直流電源回路・定電圧
回路・極性切替回路・駆動入力回路からなる。図中、バ
イモルフ電歪振動子ｌの強磁性体電歪板３，４にある矢
印は、該電歪板３，４の分極方向を示す。
回路・極性切替回路・駆動入力回路からなる。図中、バ
イモルフ電歪振動子ｌの強磁性体電歪板３，４にある矢
印は、該電歪板３，４の分極方向を示す。
この動作を説明する。
直流電源回路から出力される直流電圧は、定電圧回路を
介して極性切替回路に入力される。
介して極性切替回路に入力される。
該極性切替回路により電極５，６には正、中央゛
電極２には負の電圧が印加される。このとき、前記電歪
板３ては電界が分極方向と同方向に加えられ、該電歪板
３の内部には長手方向に縮もうとする応力が発生する。
電極２には負の電圧が印加される。このとき、前記電歪
板３ては電界が分極方向と同方向に加えられ、該電歪板
３の内部には長手方向に縮もうとする応力が発生する。
一方前記電歪板４では電界が分極方向と逆の方向に加え
られるため、該電歪板４の内部にくよ長手方向に伸びよ
うとする応力が発生する。これらの応力により、前記振
動子１は図中上の方向に変位する。
られるため、該電歪板４の内部にくよ長手方向に伸びよ
うとする応力が発生する。これらの応力により、前記振
動子１は図中上の方向に変位する。
次に前記電極５，６には負、前記中央電極２は正となる
ように電圧が印加される。このとき、前記電歪板３，４
には上記と逆の方向の電界が発生し、上記と逆の方向の
応力が発生する。これらの応力により前記振動子１は図
中下の方向に変位する。
ように電圧が印加される。このとき、前記電歪板３，４
には上記と逆の方向の電界が発生し、上記と逆の方向の
応力が発生する。これらの応力により前記振動子１は図
中下の方向に変位する。
このとき、前記電歪板３，４に分極方向と逆の方向に電
圧を引火した場合、絶縁破壊電圧より低い分極劣化電圧
で分極特性が劣化・分極し、さらに電圧を上げると分極
は破壊し、電歪効果が失オつれるという問題がある。
圧を引火した場合、絶縁破壊電圧より低い分極劣化電圧
で分極特性が劣化・分極し、さらに電圧を上げると分極
は破壊し、電歪効果が失オつれるという問題がある。
このため、前記駆動入力回路の定電圧ダイオードＺＤ、
、ＺＤ、！により、前記電歪板３，４に印加される分極
方向と逆の方向の電圧を前記分極劣化電圧より低い値に
する構成としている。
、ＺＤ、！により、前記電歪板３，４に印加される分極
方向と逆の方向の電圧を前記分極劣化電圧より低い値に
する構成としている。
ここで、前記バイモルフ電歪振動装置の動作を第１図に
戻って説明する。
戻って説明する。
第１図中破線で示す■は電極２，５，６に電圧が印加さ
れていないときのバイモルフ電歪振動子１の端部１ｂの
位置、■は電圧が印加されたとぎの変位到達点、■は極
性を逆にした電圧が印加されたときの変位到達点を示ず
。
れていないときのバイモルフ電歪振動子１の端部１ｂの
位置、■は電圧が印加されたとぎの変位到達点、■は極
性を逆にした電圧が印加されたときの変位到達点を示ず
。
前記電極５，６に正の電圧、及び前記中央電極２に負の
電圧を印加すると、前記振動子１の端部１ｂは前記振動
子１の発生力並びに前記中央電極２及び永久磁石９−１
間の吸引力の合力により、前記■の位置から前記■の変
位到達点に変位し、該変位到達点にて機械的に安定に保
持さ第１る。
電圧を印加すると、前記振動子１の端部１ｂは前記振動
子１の発生力並びに前記中央電極２及び永久磁石９−１
間の吸引力の合力により、前記■の位置から前記■の変
位到達点に変位し、該変位到達点にて機械的に安定に保
持さ第１る。
次に前記電圧を反転、つまり前記電極５，６に負の電圧
、及び前記中央電圧２に正の電圧を印加すると、図にお
いて下の方向に働く前記振動子１の発生力が前記吸引力
及び前記中央電極２の復元力に打ち勝って、前記振動子
１の端部１ｂは前記■の変位到達点から下の方向に変位
する。そして、前記発生力並びに前記中央電極２及び永
久磁石９−２間の吸引力との合力により前記■の変位到
達点まで変位し、該変位到達点にて機械的に安定に保持
される。したがって、前記振動子１の端部１ｂは前記■
及び■の変位到達点においても、前記他の機構に作用す
ることができる。このとき、もし、前記端部１ｂに外力
が加わっても、該外力が前記端部１ｂを保持している前
記吸引力を越えない範囲において前記端部１ｂは誤動作
することはない。また、前記吸引力を適宜強く設定した
場合、前記端部１ｂが前記■及び■の変位到達点に位置
する状態で電圧の印加を停止しても、前記吸引力が前記
中央電極２の復元力に打ち勝って、前記端部１ｂを前記
変位到達点に保持するいわゆる自己ラッチ機能を有する
ようにすることもできる。
、及び前記中央電圧２に正の電圧を印加すると、図にお
いて下の方向に働く前記振動子１の発生力が前記吸引力
及び前記中央電極２の復元力に打ち勝って、前記振動子
１の端部１ｂは前記■の変位到達点から下の方向に変位
する。そして、前記発生力並びに前記中央電極２及び永
久磁石９−２間の吸引力との合力により前記■の変位到
達点まで変位し、該変位到達点にて機械的に安定に保持
される。したがって、前記振動子１の端部１ｂは前記■
及び■の変位到達点においても、前記他の機構に作用す
ることができる。このとき、もし、前記端部１ｂに外力
が加わっても、該外力が前記端部１ｂを保持している前
記吸引力を越えない範囲において前記端部１ｂは誤動作
することはない。また、前記吸引力を適宜強く設定した
場合、前記端部１ｂが前記■及び■の変位到達点に位置
する状態で電圧の印加を停止しても、前記吸引力が前記
中央電極２の復元力に打ち勝って、前記端部１ｂを前記
変位到達点に保持するいわゆる自己ラッチ機能を有する
ようにすることもできる。
さらに、前記振動子１は前記変位拘束部材９により変位
範囲が拘束されているので、前記端部１ｂに過度な外力
が加えられても、その変位が破断限界変位範囲をこえる
ことなく、機械的に安定している。
範囲が拘束されているので、前記端部１ｂに過度な外力
が加えられても、その変位が破断限界変位範囲をこえる
ことなく、機械的に安定している。
また、この実施例においては、前記拘束部材９の前記振
動子１との当接面が平面となっているが、面積をより広
くかつ前記拘束部材９と当接するときの前記振動子１の
たわみ形状に合わせて前記当接面を成形すると、さらに
機械的な安定性が増大するものである。
動子１との当接面が平面となっているが、面積をより広
くかつ前記拘束部材９と当接するときの前記振動子１の
たわみ形状に合わせて前記当接面を成形すると、さらに
機械的な安定性が増大するものである。
さらに、この実施例においては、前記中央電極２をパー
マロイ磁性バネにより形成して、前記振動子１の復元力
を向上させているが、前記中央電極２は必ずしもバネで
なくともよい。また、材質としてもパーマロイの他、ス
テンレス、鉄等の磁性体をいることが出来ろ。
マロイ磁性バネにより形成して、前記振動子１の復元力
を向上させているが、前記中央電極２は必ずしもバネで
なくともよい。また、材質としてもパーマロイの他、ス
テンレス、鉄等の磁性体をいることが出来ろ。
さらに、前記永久磁石１０は前記変位拘束部材９に実装
される構成となっているが、磁性粉を樹脂に混ぜて固め
たプラスチック磁石により前記変位拘束部材を形成する
構成でもよい。
される構成となっているが、磁性粉を樹脂に混ぜて固め
たプラスチック磁石により前記変位拘束部材を形成する
構成でもよい。
されに、前記中央電極２を磁化し、１０は単なる磁性体
とする構成も考えられる。
とする構成も考えられる。
さらに、第５図に示すように、前記振動子１の端部１ｂ
の変位が破断限界変位範囲Ｂを越えない限りにおいて、
磁石がない場合の変位到達範囲Ｃ外に前記変位拘束部材
９を位置させてもよい。このようにすることにより、変
位量がさらに拡大するものである。
の変位が破断限界変位範囲Ｂを越えない限りにおいて、
磁石がない場合の変位到達範囲Ｃ外に前記変位拘束部材
９を位置させてもよい。このようにすることにより、変
位量がさらに拡大するものである。
さらに、第６図（ａｌに示すように、前記振動子１を筐
体に実装して、振動装置をユニット化することができろ
。１１は基板、ｌｌａは基板に形成された振動子支持台
、１２はカバーケースである。
体に実装して、振動装置をユニット化することができろ
。１１は基板、ｌｌａは基板に形成された振動子支持台
、１２はカバーケースである。
前記基板１１の段部３と前記カバーケース１２の突出部
１２ａとにより変位を拘束している。また、前記段部１
ｂと前記突出部１２ａには永久磁石１３ （１３−１，
１３，−２）が実装されている。
１２ａとにより変位を拘束している。また、前記段部１
ｂと前記突出部１２ａには永久磁石１３ （１３−１，
１３，−２）が実装されている。
なお、第６図（ｂ）は本実施例における前記振動子１の
変位・発生力特性を示している。
変位・発生力特性を示している。
さらに、以上の実施例においては、バイモルフ電歪振動
子は２層のものを用いているが、他とえば前記の本出願
人による特願昭５９−７５６２３に開示した多層バイモ
ルフ電歪振動子を用いることも当然可能である。
子は２層のものを用いているが、他とえば前記の本出願
人による特願昭５９−７５６２３に開示した多層バイモ
ルフ電歪振動子を用いることも当然可能である。
以上説明したように、この発明は、中央電極に磁性体を
用い、対向する位置に固定磁性体を配置し、これらの吸
引力で変位・発生力特性を改善しているので、■変位量
が大きくかつ機械的に安定であること、■バイモルフ電
歪振動子の変異する端部に他の機構を接続しやすいこと
、■変位拘束部材を備えているので、過度な外力が加わ
っても前記振動子の破断を防止できること、■自己ラッ
チ式のバイモルフ電歪振動装置にする乙とができること
等の効果がある。
用い、対向する位置に固定磁性体を配置し、これらの吸
引力で変位・発生力特性を改善しているので、■変位量
が大きくかつ機械的に安定であること、■バイモルフ電
歪振動子の変異する端部に他の機構を接続しやすいこと
、■変位拘束部材を備えているので、過度な外力が加わ
っても前記振動子の破断を防止できること、■自己ラッ
チ式のバイモルフ電歪振動装置にする乙とができること
等の効果がある。
これらの効果により、乙の発明は、電磁マグネットの代
替として各方面に利用でき、硬貨処理装置の駆動部品、
リレー、光スィッチ、などに摘要した場合、小型、軽量
、低電力で信頼性の他界装置を実現できるという効果が
ある。
替として各方面に利用でき、硬貨処理装置の駆動部品、
リレー、光スィッチ、などに摘要した場合、小型、軽量
、低電力で信頼性の他界装置を実現できるという効果が
ある。
第１図は発明の一実施例を示す図。
第２図及び第３図は背景技術を示す図。
第４図は第１図の実施例の駆動回路を示す図。
第５図及び第６図は発明の他の実施例を示す図。
１：バイモルフ電歪振動子、２：中央電極、３゜４：強
磁性体電歪板、５，６：電極、７：支持部材、８：端子
、９ （９−１，９−２） ：変位拘束部材、１０ （
１０−１，１Ｏ−２）：永久磁石。 １１：基板、１１ａ：振動子支持台、１１ｂ＝段部、１
２：カバーケース、１２ａ：突出部。
磁性体電歪板、５，６：電極、７：支持部材、８：端子
、９ （９−１，９−２） ：変位拘束部材、１０ （
１０−１，１Ｏ−２）：永久磁石。 １１：基板、１１ａ：振動子支持台、１１ｂ＝段部、１
２：カバーケース、１２ａ：突出部。
Claims (3)
- （１）両側に電極を設けた強誘電体電歪板を複数重ねて
なるバイモルフ電歪振動子の一端を固定すると共に、前
記電極に電圧を印加することにより他端を変位させるよ
うにしたバイモルフ電歪振動装置において、前記電極の
少なくとも一つが磁性体からなり、前記電歪振動子の前
記他端近傍に当接して該他端の変位を破断限界変位範囲
内で揺動動作可能に拘束する変位拘束部材を固設し、該
変位拘束部材近傍に固定磁性体を固設し、前記磁性体か
らなる前記電極及び前記固定磁性体の少なくとも一方を
磁化することにより前記電極及び前記固定磁性体間に吸
引力特性を生じせしめたことを特徴とするバイモルフ電
歪振動装置。 - （２）特許請求の範囲第１項記載のバイモルフ電歪振動
装置において、前記磁性体からなる前記電極がバネ体で
あることを特徴とするバイモルフ電歪振動装置。 - （３）特許請求の範囲第１項又は第２項記載のバイモル
フ電歪振動装置において、変位拘束部材が固定磁性体で
あることを特徴とするバイモルフ電歪振動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15266784A JPS6132487A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | バイモルフ電歪振動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15266784A JPS6132487A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | バイモルフ電歪振動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132487A true JPS6132487A (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=15545459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15266784A Pending JPS6132487A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | バイモルフ電歪振動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132487A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5945772A (en) * | 1998-05-29 | 1999-08-31 | Motorla, Inc. | Damped resonant piezoelectric alerting device |
| US6297577B1 (en) | 1995-01-12 | 2001-10-02 | Minolta Co., Ltd. | Light controlling apparatus |
| US6463189B1 (en) * | 2000-02-24 | 2002-10-08 | Avanex Corporation | Method and apparatus for optical switching devices utilizing a bi-morphic piezoelectric apparatus |
| WO2005087392A1 (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-22 | Immersion Corporation | Haptic devices having multiple operational modes including at least one resonant mode |
| JP2016019225A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 富士通株式会社 | 水晶振動子 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP15266784A patent/JPS6132487A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6297577B1 (en) | 1995-01-12 | 2001-10-02 | Minolta Co., Ltd. | Light controlling apparatus |
| US5945772A (en) * | 1998-05-29 | 1999-08-31 | Motorla, Inc. | Damped resonant piezoelectric alerting device |
| US6463189B1 (en) * | 2000-02-24 | 2002-10-08 | Avanex Corporation | Method and apparatus for optical switching devices utilizing a bi-morphic piezoelectric apparatus |
| WO2005087392A1 (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-22 | Immersion Corporation | Haptic devices having multiple operational modes including at least one resonant mode |
| GB2427014A (en) * | 2004-03-04 | 2006-12-13 | Immersion Corp | Haptic devices having multiple operational modes including at least one resonant mode |
| GB2427014B (en) * | 2004-03-04 | 2008-08-20 | Immersion Corp | Haptic devices having multiple operational modes including at least one resonant mode |
| JP2016019225A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 富士通株式会社 | 水晶振動子 |
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