JPS6134403A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
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- JPS6134403A JPS6134403A JP15614684A JP15614684A JPS6134403A JP S6134403 A JPS6134403 A JP S6134403A JP 15614684 A JP15614684 A JP 15614684A JP 15614684 A JP15614684 A JP 15614684A JP S6134403 A JPS6134403 A JP S6134403A
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- JP
- Japan
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- light
- optical fiber
- optical
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- photodetector
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02003—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using beat frequencies
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（′技術分野）
本発明は光干渉計に関し、％に光ファイバを用いること
により、光キ渉検出部、光諒および測定機器をそれぞれ
分離設置できるようにした光干渉計に関する。
により、光キ渉検出部、光諒および測定機器をそれぞれ
分離設置できるようにした光干渉計に関する。
（従来技術）
従来、光干渉法により距離測定や他の物理量を測定する
ことが行われている。第１図はある対象物までの距離（
全反射ミラー５から対象物３までの距離）ノを測定する
従来の光干渉計を示すブロック図である。図において光
源１よシ出射された光は、ハーフミラ第２で２分され、
その一方は対象物３の前方のコーナーキューブ４で反射
して折返す。（この折返し光を信号光と呼ぶものとする
）。
ことが行われている。第１図はある対象物までの距離（
全反射ミラー５から対象物３までの距離）ノを測定する
従来の光干渉計を示すブロック図である。図において光
源１よシ出射された光は、ハーフミラ第２で２分され、
その一方は対象物３の前方のコーナーキューブ４で反射
して折返す。（この折返し光を信号光と呼ぶものとする
）。
またもう一方の光は全反射ミラー６で反射され。
光周波数変調器（通常、超音波光変調器が用いられる）
７によって周波数ｆだけシフトされる（シフトされた光
を参照光と呼ぶものとする）。互いに周波数ｆだけ異な
った２つの光は全反射ミ２−５、ハーフミラ−８によっ
て合成され、光検出器９で受信される。
７によって周波数ｆだけシフトされる（シフトされた光
を参照光と呼ぶものとする）。互いに周波数ｆだけ異な
った２つの光は全反射ミ２−５、ハーフミラ−８によっ
て合成され、光検出器９で受信される。
光検出器９で受信される光の振幅は、光源ｌの出射光の
角周波数をω（＝２π、、 ｃ ：光速、λ：光波数）
とすると次式となる。
角周波数をω（＝２π、、 ｃ ：光速、λ：光波数）
とすると次式となる。
（信号光）＝Ａ６ｃｏｓ（ωを一ψ８第２π・Ｔ ）−
（１）（参照光）＝Ａｒｃｏｓ（（ω＋２πｆ）ｔ−ψ
、）・・・（２）ζこで、２π・ダは対象物３までの光
の往復によシ与えられる位相量、φＳ、ψｒは各光学部
品間の距離で決定される位相量であＦ）、Ａｓ 、 Ａ
ｒはそれぞれの光の振幅を示している。これら２つの光
はバー７ミ２−８によって合成され干渉する。
（１）（参照光）＝Ａｒｃｏｓ（（ω＋２πｆ）ｔ−ψ
、）・・・（２）ζこで、２π・ダは対象物３までの光
の往復によシ与えられる位相量、φＳ、ψｒは各光学部
品間の距離で決定される位相量であＦ）、Ａｓ 、 Ａ
ｒはそれぞれの光の振幅を示している。これら２つの光
はバー７ミ２−８によって合成され干渉する。
その干渉光の強度は次の様に表わすことができる。
ＡＢ ＋Ａｒ＋２ＡＢＡ１ＣＯ８（２πｆｔ＋２π・
が−（ψ８−ψｒ））・・・（３） （３）式よシ光検出器９の出力信号のＡＣ成分は周波数
ｆの信号であシ、その位相が距離ｌによシ変化する。こ
のため、光検出器９の周波数ｆの出力信号の位相を測定
することＫより、位相量２π・７を検出することが可能
になル、この位相量から距離ｌが測定できる０ しかし、上述の光干渉計では、対象物３（コーナーキエ
ー、７・４）の位置によって、光源ｌの出射方向とハー
フミラ第２，全反射ミラー６の位置、全反射ミラー５と
ハーフミラ−８とを含む光結合部の位置および光検出器
９の位置カニ決められる０したがりてハーフミラ第２，
８、ミラー５．６の設置スペースを確保できない等の理
由で、光干渉計の各部を所定の設定位置とは別の場所に
設置して光干渉計を組立てようとする場合各光学系の位
置合せが非常に困難となる。 、 以上説明したように、従来は光干渉計の設置場所を自由
に選択することができないという欠点があった０ （発明の目的） 本発明の目的は、前述した従来方式の欠点を除去したも
ので、光路に光７アイバを用い、その自由な曲げ特性を
利用して光干渉計の各部分を結合することによシ設置場
所の自由度を改善した光干渉計を提供することにある０ （発明の構成） 本発明によれば、第１、第２、第３および第４の光ファ
イバと、互いに所定の周波数差ｆを有する第１および第
２の光をそれぞれ前記第１および第２の光ファイバに導
びく第１の光結合部と、前記第１の光ファイバからの出
力が所定距離伝搬して戻ってきた信号光と前記第２の光
ファイバから出力とを干渉するように合成し前記第４の
光７ア −イバに導く第２の光結合部と、前記第３
の光７アイバから出力する干渉光を検出する第１の光検
出器と、前記第４の光ファイバから出力する干渉光を検
出する第２の検出器とを含み、前記第１．第２の光検出
器から出力する周波数ｆの電気信号の位相を測定するこ
とによって伝搬路の物理量を測定する干渉計が得られる
。
が−（ψ８−ψｒ））・・・（３） （３）式よシ光検出器９の出力信号のＡＣ成分は周波数
ｆの信号であシ、その位相が距離ｌによシ変化する。こ
のため、光検出器９の周波数ｆの出力信号の位相を測定
することＫより、位相量２π・７を検出することが可能
になル、この位相量から距離ｌが測定できる０ しかし、上述の光干渉計では、対象物３（コーナーキエ
ー、７・４）の位置によって、光源ｌの出射方向とハー
フミラ第２，全反射ミラー６の位置、全反射ミラー５と
ハーフミラ−８とを含む光結合部の位置および光検出器
９の位置カニ決められる０したがりてハーフミラ第２，
８、ミラー５．６の設置スペースを確保できない等の理
由で、光干渉計の各部を所定の設定位置とは別の場所に
設置して光干渉計を組立てようとする場合各光学系の位
置合せが非常に困難となる。 、 以上説明したように、従来は光干渉計の設置場所を自由
に選択することができないという欠点があった０ （発明の目的） 本発明の目的は、前述した従来方式の欠点を除去したも
ので、光路に光７アイバを用い、その自由な曲げ特性を
利用して光干渉計の各部分を結合することによシ設置場
所の自由度を改善した光干渉計を提供することにある０ （発明の構成） 本発明によれば、第１、第２、第３および第４の光ファ
イバと、互いに所定の周波数差ｆを有する第１および第
２の光をそれぞれ前記第１および第２の光ファイバに導
びく第１の光結合部と、前記第１の光ファイバからの出
力が所定距離伝搬して戻ってきた信号光と前記第２の光
ファイバから出力とを干渉するように合成し前記第４の
光７ア −イバに導く第２の光結合部と、前記第３
の光７アイバから出力する干渉光を検出する第１の光検
出器と、前記第４の光ファイバから出力する干渉光を検
出する第２の検出器とを含み、前記第１．第２の光検出
器から出力する周波数ｆの電気信号の位相を測定するこ
とによって伝搬路の物理量を測定する干渉計が得られる
。
さらに本発明によれば、第１、第２および第３の光ファ
イバと、互いに所定の周波数差ｆを有する□第１および
第２の光をそれぞれ前記第１および第２の光ファイバに
導び〈第１の一光結合部と、前記第１の光ファイバから
の出力が所定距離伝搬して戻ってきた信号光と前記第２
の光ファイバからの出力とを干渉するよりに合成し前記
第３の光７ 、アイパに導く第２の光結合部と、前記第
３の光ファイバから出力する干渉光を検出する光検出器
とを含み、前記、前記光検出器から出力する周波数ｆの
電気信号の位相を測定することによって伝搬路の物理量
を測定する干渉計が得られる。
イバと、互いに所定の周波数差ｆを有する□第１および
第２の光をそれぞれ前記第１および第２の光ファイバに
導び〈第１の一光結合部と、前記第１の光ファイバから
の出力が所定距離伝搬して戻ってきた信号光と前記第２
の光ファイバからの出力とを干渉するよりに合成し前記
第３の光７ 、アイパに導く第２の光結合部と、前記第
３の光ファイバから出力する干渉光を検出する光検出器
とを含み、前記、前記光検出器から出力する周波数ｆの
電気信号の位相を測定することによって伝搬路の物理量
を測定する干渉計が得られる。
（実施例の鋭ＩｇＪ）
次に本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
第２図は、本発明の第１の実施例を示すプロ。
り図である。以下図中、矢印を附した集線は光、矢印の
内含は光の進行方向を示すものとする。光源１よシ出射
された光はハーフミラ第２で２分され、その一方がレン
ズ１０を通して光ファイバ１１（第１の光ファイバ）の
端面に集光される。
内含は光の進行方向を示すものとする。光源１よシ出射
された光はハーフミラ第２で２分され、その一方がレン
ズ１０を通して光ファイバ１１（第１の光ファイバ）の
端面に集光される。
光ファイバ１１を伝播した光はレンズ１２で平行光に変
換され、対象物３の前方（設置されたコーナーΦユープ
４で全反射して戻ってくる。−一７ξラー２で２分され
た奄う一方の光は、ミラー６で全反射され、光周波数変
換器（たとえば超音波光変１Ｉｌｌ器）７で周波数ｆだ
けシフトする。シフトした光はレンズ１３によって光フ
ァイバ１４（第２の光ファイバ）の端面に集光され、光
７アイバ１４を伝播ｖｋ、レンズ１５によってコリメー
トされる。さらに全反射ミ２−１６で反射されバー７ミ
ーラー２２を透過後、ハーフミラ−１７によってコーナ
キへ−プ４からの反射光と干渉するよう合成される０合
成された光＃ｉ集光レンズ１８．光ファイバ１９（第３
の光ファイバ）、レンズ２０を通って纂１の光検出器９
へ導かれ、その合成光の強度が検出される。
換され、対象物３の前方（設置されたコーナーΦユープ
４で全反射して戻ってくる。−一７ξラー２で２分され
た奄う一方の光は、ミラー６で全反射され、光周波数変
換器（たとえば超音波光変１Ｉｌｌ器）７で周波数ｆだ
けシフトする。シフトした光はレンズ１３によって光フ
ァイバ１４（第２の光ファイバ）の端面に集光され、光
７アイバ１４を伝播ｖｋ、レンズ１５によってコリメー
トされる。さらに全反射ミ２−１６で反射されバー７ミ
ーラー２２を透過後、ハーフミラ−１７によってコーナ
キへ−プ４からの反射光と干渉するよう合成される０合
成された光＃ｉ集光レンズ１８．光ファイバ１９（第３
の光ファイバ）、レンズ２０を通って纂１の光検出器９
へ導かれ、その合成光の強度が検出される。
一方、光ファイバ１１及び１４を伝播してきた光の一部
がハーフミ５第２１．２２で分離され、ハーフミラ第２
３で合成される。その合成光は集光レンズ２４、光ファ
イバ２５（第４の元ファイバ）、レンズ２６を通じて、
第２の光検出器２７へ入射する。
がハーフミ５第２１．２２で分離され、ハーフミラ第２
３で合成される。その合成光は集光レンズ２４、光ファ
イバ２５（第４の元ファイバ）、レンズ２６を通じて、
第２の光検出器２７へ入射する。
光検出器９．２７の出力線（４）式に示すような周波数
ｆの信号である。
ｆの信号である。
たとえば光検出器９の出力は、対象物３までの距離を全
反射ミラー１７から対象物３までの距離！１ として表
わすと、次式のように表わされる。
反射ミラー１７から対象物３までの距離！１ として表
わすと、次式のように表わされる。
Ａｓ、 ＋Ａｓ、＋２Ａｓ、Ａｓ、ｃｏｓ（２ｇｆｔ＋
〉’７’−にφＳ、→ｒρ）・・・（４） ただし、Ａｌｌ、：コーナーキ、−プ４で折返される信
号光の振幅、Ａ＠、：全反射ミラー１６で反射される参
照光の振幅、ψ１１１ｅψｒ１：信号光、参照光の光路
中の各光学部品間の距離で定まる位相量。
〉’７’−にφＳ、→ｒρ）・・・（４） ただし、Ａｌｌ、：コーナーキ、−プ４で折返される信
号光の振幅、Ａ＠、：全反射ミラー１６で反射される参
照光の振幅、ψ１１１ｅψｒ１：信号光、参照光の光路
中の各光学部品間の距離で定まる位相量。
λ：光源１の出射光の波長である。光検出器９の出力信
号の位相は、対象物３とハーフミラ−１７間の距離１１
によって変化するが、光検出器２７の出力信号の位相は
常に一定である。したがうて検出器９の出力信号の位相
変化量を、光検出器２７の出力信号を基準として測定す
れば、対象物３までの距離を精度よく測ることができる
。
号の位相は、対象物３とハーフミラ−１７間の距離１１
によって変化するが、光検出器２７の出力信号の位相は
常に一定である。したがうて検出器９の出力信号の位相
変化量を、光検出器２７の出力信号を基準として測定す
れば、対象物３までの距離を精度よく測ることができる
。
本実施例では４本の光ファイバを使用しているが、これ
らを１本の光フアイバケーブル２８にまとめれば、配線
が容易とカシ、光源１．ミラー６゜ハーフミラ＝１光周
波数変調器７およびレンズ１０．１３から成る第１の光
結合部と、光検出器９．２７およびレンズ２０．２６か
ら成る光検出部と、レンズ１２．１５．１Ｂ、２４．ハ
ーフミラ−１７，２１，２２，２３およびミラー１６か
ら成る第２の光結合部とをそれぞれ分離設置する事がで
き、かつ能動素子を用いていない光結合部は小型化する
ことができるため、光干渉計の設置の自由率は飛躍的に
向上する。
らを１本の光フアイバケーブル２８にまとめれば、配線
が容易とカシ、光源１．ミラー６゜ハーフミラ＝１光周
波数変調器７およびレンズ１０．１３から成る第１の光
結合部と、光検出器９．２７およびレンズ２０．２６か
ら成る光検出部と、レンズ１２．１５．１Ｂ、２４．ハ
ーフミラ−１７，２１，２２，２３およびミラー１６か
ら成る第２の光結合部とをそれぞれ分離設置する事がで
き、かつ能動素子を用いていない光結合部は小型化する
ことができるため、光干渉計の設置の自由率は飛躍的に
向上する。
カラスを素材とする光ファイバは一般に温度、外圧によ
ってその長さ、及び屈折率が変化するので、対象物３が
移動しなくても反射光の位相が変化してしまう０この割
合は１．仰えば石英ガラスの屈折率の温度変化は１０−
５／”Ｏであるため、光ファイバの長さを１００ｍとす
ると１度の温度変化に対して１μｍの波長誤差を生じる
。信号光の光路と参照光の光路にそれぞれ光ファイバ１
１．１４を配置したこの実施例ではおのおのの光フアイ
バ特性の変動に基づく位相量の変動を補償することがで
きる。
ってその長さ、及び屈折率が変化するので、対象物３が
移動しなくても反射光の位相が変化してしまう０この割
合は１．仰えば石英ガラスの屈折率の温度変化は１０−
５／”Ｏであるため、光ファイバの長さを１００ｍとす
ると１度の温度変化に対して１μｍの波長誤差を生じる
。信号光の光路と参照光の光路にそれぞれ光ファイバ１
１．１４を配置したこの実施例ではおのおのの光フアイ
バ特性の変動に基づく位相量の変動を補償することがで
きる。
ところで第１の実施例では光ファイバ１１．１４の特性
の相違が、光検出器９の出力信号の位相変化として現れ
る。しかし光検出器２７も光ファイバ１１．１４の出力
光、を合成して干渉した光を検出するので、光検出器２
７の出力信号の位相を基準として光検出器９０位相変化
を測定すれば、自と光ファイバ１１．１４の特性の相違
にもとづくを通過したことＫよる位相変化は完全に補償
されるＯ なお光ファイバ１９．２５を配置したことによる光検出
器９．２７それぞれの出力信号に現れる位相変化の差は
、光ファイバ１１．１４を通過したことＫよる位相変化
の差に比べれば無視できる程小さい。
の相違が、光検出器９の出力信号の位相変化として現れ
る。しかし光検出器２７も光ファイバ１１．１４の出力
光、を合成して干渉した光を検出するので、光検出器２
７の出力信号の位相を基準として光検出器９０位相変化
を測定すれば、自と光ファイバ１１．１４の特性の相違
にもとづくを通過したことＫよる位相変化は完全に補償
されるＯ なお光ファイバ１９．２５を配置したことによる光検出
器９．２７それぞれの出力信号に現れる位相変化の差は
、光ファイバ１１．１４を通過したことＫよる位相変化
の差に比べれば無視できる程小さい。
第３図は本発明の第２の実施例を示すプロ、り図である
。
。
本実施例では、第１の光ファイバ１１．第２の光ファイ
バ１４を通過する光周波数差ｆの２つの光を第２の光結
合部であるハーフミラ−１７で合成し、第３の光ファイ
バ１９を介して光検出器９で受光する。この光検出器９
の出力信号の位相を検出して対象物３までの距離を測定
する０第１゜第２の光ファイバ１１．１４を用いた効果
は第１の実施例と同じである０ 本実施例では光ファイバ１１．１４の特性の相違かはと
んど無視できる場合、光検出器２７は光周波数変調器７
の温度特性によって現われる光検出器９の出力信号位相
の変動を補償するために使用されている。すなわち、ハ
ーフミラ−３１，３２゜３４と全反射ミラー３３で、周
波数差ｆ０２つの光信号の一部を取り出して合成し干渉
させ、その合成光を光検出器２７で受光する。その出力
信号位相量には光周波数変調器７の特性変動による変化
分も含まれるので、光検出器２７の出力信号の位相を基
準として光検出器９の出力信号位相変化を測定すれば、
自と光周波数変調器７を通過したことによる位相変化は
完全に補償される。もし、光周波数変調器７の特性が安
定していれば、光検出器２７は不要である。
バ１４を通過する光周波数差ｆの２つの光を第２の光結
合部であるハーフミラ−１７で合成し、第３の光ファイ
バ１９を介して光検出器９で受光する。この光検出器９
の出力信号の位相を検出して対象物３までの距離を測定
する０第１゜第２の光ファイバ１１．１４を用いた効果
は第１の実施例と同じである０ 本実施例では光ファイバ１１．１４の特性の相違かはと
んど無視できる場合、光検出器２７は光周波数変調器７
の温度特性によって現われる光検出器９の出力信号位相
の変動を補償するために使用されている。すなわち、ハ
ーフミラ−３１，３２゜３４と全反射ミラー３３で、周
波数差ｆ０２つの光信号の一部を取り出して合成し干渉
させ、その合成光を光検出器２７で受光する。その出力
信号位相量には光周波数変調器７の特性変動による変化
分も含まれるので、光検出器２７の出力信号の位相を基
準として光検出器９の出力信号位相変化を測定すれば、
自と光周波数変調器７を通過したことによる位相変化は
完全に補償される。もし、光周波数変調器７の特性が安
定していれば、光検出器２７は不要である。
以上述べた第１．第２の実施例の光ファイバ１１．１４
としては位相特性のよいシングルモード光ファイバを使
用すれば、光検出部での信号の特性を改善することがで
きる。
としては位相特性のよいシングルモード光ファイバを使
用すれば、光検出部での信号の特性を改善することがで
きる。
なお、第２の結合、部で信号光と参照光を干渉させるた
め、光周波数変調器７で与える周波数差ｆはあまル大き
くてはいけない。たとえば光源１にＨｅ−Ｎｅレーザ（
出射光の周波数を約４００テラＨｚ ）を使用するとき
、ｆは４０ＭＨｚとする。
め、光周波数変調器７で与える周波数差ｆはあまル大き
くてはいけない。たとえば光源１にＨｅ−Ｎｅレーザ（
出射光の周波数を約４００テラＨｚ ）を使用するとき
、ｆは４０ＭＨｚとする。
また、第１の結合部に使用した光源１１ｄ、Ｊｌ、−波
長の光を発生するものであったが、光源１が所定の周波
数差ｆを有する第１．第２の光を発生するものであれば
、光周波数変調器７は不要となる。
長の光を発生するものであったが、光源１が所定の周波
数差ｆを有する第１．第２の光を発生するものであれば
、光周波数変調器７は不要となる。
上記実施例では、対象物までの距離を光検出器９の出力
信号位相ｉｉに対応させて距離測定する場合について説
明したが、測定対象内の光路に温度変化によって光の位
相に変化を与える物体を配置すれば、塩度の測定ができ
、外部圧力によって光の位相が変化するものを配置すれ
ば、その圧力の測定が可能である。
信号位相ｉｉに対応させて距離測定する場合について説
明したが、測定対象内の光路に温度変化によって光の位
相に変化を与える物体を配置すれば、塩度の測定ができ
、外部圧力によって光の位相が変化するものを配置すれ
ば、その圧力の測定が可能である。
（発明の効果）
以上詳述したように本発明によれば、一定の周波数差を
もった２種類の光を送出する光発生部と、参照光と信号
光とを干渉するよう合成する光結合部と、合成光を検出
する光検出部とがそれぞれ第１、第２．第３の光ファイ
バで分離されるので、光干渉計設置の自由度が増す。ま
た、使用する光７、アイバの特性変化が測定結果に及ぼ
すことがほとんどなく、高精度な測定が保証される。
もった２種類の光を送出する光発生部と、参照光と信号
光とを干渉するよう合成する光結合部と、合成光を検出
する光検出部とがそれぞれ第１、第２．第３の光ファイ
バで分離されるので、光干渉計設置の自由度が増す。ま
た、使用する光７、アイバの特性変化が測定結果に及ぼ
すことがほとんどなく、高精度な測定が保証される。
第１図は従来の光干渉計を示すプロ、り図、第２図は本
発明の第１の実施例を示すプロ、り図、第３図は本発明
の第２の実施例を示すブロック図である。
・
発明の第１の実施例を示すプロ、り図、第３図は本発明
の第２の実施例を示すブロック図である。
・
Claims (2)
- （１）第１、第２、第３および第４の光ファイバと、互
いに所定の周波数差ｆを有する第１および第２の光をそ
れぞれ前記第１および第２の光ファイバに導びく第１の
光結合部と、前記第１の光ファイバからの出力が所定距
離伝搬して戻ってきた信号光と前記第２の光ファイバか
らの出力とを干渉するように合成し前記第３の光ファイ
バに導き、また前記第１の光ファイバからの出力と前記
第２の光ファイバからの出力とを干渉するように合成し
前記第４の光ファイバに導く第２の光結合部と、前記第
３の光ファイバから出力する干渉光を検出する第１の光
検出器と、前記第４の光ファイバから出力する干渉光を
検出する第２の検出器とを含み、前記第１、第２の光検
出器から出力する周波数ｆの電気信号の位相を測定する
ことによって伝搬路の物理量を測定する干渉計。 - （２）第１、第２および第３の光ファイバと、互いに所
定の周波数差ｆを有する第１および第２の光をそれぞれ
前記第１および第２の光ファイバに導びく第１の光結合
部と、前記第１の光ファイバからの出力が所定距離伝搬
して戻ってきた信号光と前記第２の光ファイバからの出
力とを干渉するように合成し前記第３の光ファイバに導
く第２の光結合部と、前記第３の光ファイバから出力す
る干渉光を検出する光検出器とを含み、前記光検 出器から出力する周波数ｆの電気信号の位相を測定する
ことによって伝搬路の物理量を測定する干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15614684A JPS6134403A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15614684A JPS6134403A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6134403A true JPS6134403A (ja) | 1986-02-18 |
Family
ID=15621332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15614684A Pending JPS6134403A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 光干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6134403A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1984
- 1984-07-26 JP JP15614684A patent/JPS6134403A/ja active Pending
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