JPS5948668A - 光フアイバ速度計 - Google Patents
光フアイバ速度計Info
- Publication number
- JPS5948668A JPS5948668A JP16056582A JP16056582A JPS5948668A JP S5948668 A JPS5948668 A JP S5948668A JP 16056582 A JP16056582 A JP 16056582A JP 16056582 A JP16056582 A JP 16056582A JP S5948668 A JPS5948668 A JP S5948668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- laser
- signal
- frequency
- laser beam
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/50—Systems of measurement based on relative movement of target
- G01S17/58—Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイバを用い、ドツプラー効果によシ物体
の速度を測定する光°ファイバ速度計に関する。
の速度を測定する光°ファイバ速度計に関する。
光ファイバを用いて物体の速度を測定する光フアイバ速
度計としては、光ファイバの先端から物体に照射され反
射されてきたレーザ光と、レーザ光源からのレーザ光と
の光ビートによυドツプラー効果に基づいて物体の速度
を測定する装置が知られるようになっている。第1図は
このような光フアイバ速度計の一例を示すものである。
度計としては、光ファイバの先端から物体に照射され反
射されてきたレーザ光と、レーザ光源からのレーザ光と
の光ビートによυドツプラー効果に基づいて物体の速度
を測定する装置が知られるようになっている。第1図は
このような光フアイバ速度計の一例を示すものである。
本図に於いて、He−Neレーザ等のレーザ光源(1)
よシ得られるレーザ光が、レンズ(2)を介して偏光ビ
ームスプリッタ(3)に与えられる。そのレーザ光が偏
光ビームスプリッタ(3)を透過する方向にレーザ光源
(1)の偏光を合わせておくものとすると、レーザ光は
偏光ビームスプリッタ(3)を透過してレンズ(4)に
与えられる。レーザ光はレンズ(4)によって集光され
、光ファイバ(5)に入射される。光ファイバ(5)は
たとえばグレーテッド型等のマルチモードの光ファイバ
が用いられておシ、レーザ光が光ファイバを通過する際
にランダム偏光となる。光ファイバ(5)の先端は被測
定物体が通過する領域にまで延長されておシ、レーザ光
は光ファイバ(5)を伝播してその先端よシ放射される
。被測定物体(6)が図示のように光ファイバ(5)に
接近してくるとすると、放射されたレーザ光はこの被測
定物体(6)により反射されて再び光ファイバ(5)に
照射される。−刀先ファイバ(5)の先端面(5a)だ
けに無反射コーティングを施さなければ先端面(5a)
に於いてもレーザ光は反射される(以下このレーザ光を
参照光という)。ここで、被測定物体(6)による反射
光だけがドツプラー効果によシ被測定物体(6)の速度
に比例して周波数偏移(ドツプラーシフト)を受けるこ
とになる。
よシ得られるレーザ光が、レンズ(2)を介して偏光ビ
ームスプリッタ(3)に与えられる。そのレーザ光が偏
光ビームスプリッタ(3)を透過する方向にレーザ光源
(1)の偏光を合わせておくものとすると、レーザ光は
偏光ビームスプリッタ(3)を透過してレンズ(4)に
与えられる。レーザ光はレンズ(4)によって集光され
、光ファイバ(5)に入射される。光ファイバ(5)は
たとえばグレーテッド型等のマルチモードの光ファイバ
が用いられておシ、レーザ光が光ファイバを通過する際
にランダム偏光となる。光ファイバ(5)の先端は被測
定物体が通過する領域にまで延長されておシ、レーザ光
は光ファイバ(5)を伝播してその先端よシ放射される
。被測定物体(6)が図示のように光ファイバ(5)に
接近してくるとすると、放射されたレーザ光はこの被測
定物体(6)により反射されて再び光ファイバ(5)に
照射される。−刀先ファイバ(5)の先端面(5a)だ
けに無反射コーティングを施さなければ先端面(5a)
に於いてもレーザ光は反射される(以下このレーザ光を
参照光という)。ここで、被測定物体(6)による反射
光だけがドツプラー効果によシ被測定物体(6)の速度
に比例して周波数偏移(ドツプラーシフト)を受けるこ
とになる。
従ってとのレーザ光には信号成分が含まれているので、
以下とのレーザ光を信号光という。これらの参照光及び
信号光は共に光ファイバ(5)内を逆方向に進行し、レ
ンズ(4)を介して再び偏光ビームスプリッタ(3)に
与えられる。参照光及び信号光は共にランダム偏光とな
っているので、とわらのレーザ光のうち入射レーザ光と
同一の偏光成分のレーザ光はいずれも偏光ビームスプリ
ッタ(3)を透過し、これと直角の偏光成分を有するレ
ーザ光は偏光ヒームスプリッタ(3)によシ反射されて
、光電変換器(7)に与えられる。光電変換器(7)で
は、光ビートによりこれらの反射光の周波数の差、即ち
ドツプラーシフトに基づく周波数の電気信号が得られる
。
以下とのレーザ光を信号光という。これらの参照光及び
信号光は共に光ファイバ(5)内を逆方向に進行し、レ
ンズ(4)を介して再び偏光ビームスプリッタ(3)に
与えられる。参照光及び信号光は共にランダム偏光とな
っているので、とわらのレーザ光のうち入射レーザ光と
同一の偏光成分のレーザ光はいずれも偏光ビームスプリ
ッタ(3)を透過し、これと直角の偏光成分を有するレ
ーザ光は偏光ヒームスプリッタ(3)によシ反射されて
、光電変換器(7)に与えられる。光電変換器(7)で
は、光ビートによりこれらの反射光の周波数の差、即ち
ドツプラーシフトに基づく周波数の電気信号が得られる
。
従って、この信号の周波数を周波数測定器(8)によっ
て測定し、そのテークに基づいて信号処理部(9)によ
シ信号処理することによシ被測定物体(6)の速度を測
定することが可能となる。
て測定し、そのテークに基づいて信号処理部(9)によ
シ信号処理することによシ被測定物体(6)の速度を測
定することが可能となる。
しかしながら、この光フアイバ速度計にあっては、光フ
ァイバ(5)から偏光ビームスプリッタ(3)に与えら
れる参照光及び信号光はいずれもランダム偏光であるた
め、夫々その一部分だけが光電変換器(7)に伝えられ
ることになシ、信号レベルが低くなるという問題点があ
る。又偏光ビームスプリッタ(3)を介してレーザ光源
(1)に戻る(フィードバックする)参照光及び信号光
が、レーザ光源(1)に悪影響を与え、レーザ光の発振
強度や周波数等が変動するという問題がある。特に全体
を小型化するためにはレーザ光源に半導体レーザを用い
ることが考えられるが、半導体レーザは高利得で指向性
が悪く、レーザ光のフィードバックによシ発振モードが
著しい影響を受けるため第1図の構成のま壕では使用す
ることはできず、例えばレーザ光源(1)とレンズ(2
)との間に高価なアイソレータを設けてレーザ光のフィ
ードバックを防什しなければならなかった。更に、参照
光及び信号光を偏光ビームスプリッタに与えるためマル
チモード型光ファイバを用いておシ、そのため、光ファ
イバ(5)自体が振動すると、その影響により光電変換
器(7)に雑音が生じてくる。又マルチモード型光ファ
イバ(5)のために、光ファイバ(5)の揺動によシ光
ファイバ内部に於いてモードのランダムな変換が起こシ
、スヘックルハターンが変化シてスペックルノイズが生
じSN比が悪化するという問題点があった。
ァイバ(5)から偏光ビームスプリッタ(3)に与えら
れる参照光及び信号光はいずれもランダム偏光であるた
め、夫々その一部分だけが光電変換器(7)に伝えられ
ることになシ、信号レベルが低くなるという問題点があ
る。又偏光ビームスプリッタ(3)を介してレーザ光源
(1)に戻る(フィードバックする)参照光及び信号光
が、レーザ光源(1)に悪影響を与え、レーザ光の発振
強度や周波数等が変動するという問題がある。特に全体
を小型化するためにはレーザ光源に半導体レーザを用い
ることが考えられるが、半導体レーザは高利得で指向性
が悪く、レーザ光のフィードバックによシ発振モードが
著しい影響を受けるため第1図の構成のま壕では使用す
ることはできず、例えばレーザ光源(1)とレンズ(2
)との間に高価なアイソレータを設けてレーザ光のフィ
ードバックを防什しなければならなかった。更に、参照
光及び信号光を偏光ビームスプリッタに与えるためマル
チモード型光ファイバを用いておシ、そのため、光ファ
イバ(5)自体が振動すると、その影響により光電変換
器(7)に雑音が生じてくる。又マルチモード型光ファ
イバ(5)のために、光ファイバ(5)の揺動によシ光
ファイバ内部に於いてモードのランダムな変換が起こシ
、スヘックルハターンが変化シてスペックルノイズが生
じSN比が悪化するという問題点があった。
本発明はこのような既知の光フアイバ速度計の問題点に
鑑みてなされたもので、小型でSN比の良い光フアイバ
速度計を提供することを目的とするものである。
鑑みてなされたもので、小型でSN比の良い光フアイバ
速度計を提供することを目的とするものである。
本発明の基本的な特徴は、最近開発された偏光面保存型
のシングルモードの光ファイバを用いることによって光
ファイバを通過するレーザ光の偏光面を常に直線偏光に
保つと共に、光ファイバの出射部分に1/4波長板を設
けて出射光に対して信号光の偏光面を直交させるように
したことにある。
のシングルモードの光ファイバを用いることによって光
ファイバを通過するレーザ光の偏光面を常に直線偏光に
保つと共に、光ファイバの出射部分に1/4波長板を設
けて出射光に対して信号光の偏光面を直交させるように
したことにある。
以下本発明の構成を実施例につき図面を参照しつつ詳細
に説明する。第2図は本発明の光フアイバ速度計の一実
施例を示すブロック図である。本図に於いて、第1図と
同一部分には同一符号を付している。本発明ではレーザ
光源として半導体レーザ0Qを用いておシ、その発振周
波数をfOとする。
に説明する。第2図は本発明の光フアイバ速度計の一実
施例を示すブロック図である。本図に於いて、第1図と
同一部分には同一符号を付している。本発明ではレーザ
光源として半導体レーザ0Qを用いておシ、その発振周
波数をfOとする。
半導体レーザ0Qのレーザ光は第1図の場合と同様にレ
ンズ(2)によシ集光されて偏光ビームスプリッタ(3
)に与えられる。この場合もそのレーザ光が偏光ビーム
スプリッタ(3)を通過する方向に半導体し−ザ00の
偏光を合わせておくものとする。偏光ヒ“ −ムスブリ
ツタ(3)は偏光面の相違に応じてレーザ光を透過又は
反射させるものであり、透過出力面に対向してレンズ(
4)が設けられる。レンズ(4)はレーザ光を再び集光
して光ファイバ(11)に入射させるものである。本発
明に於いては光ファイバ(II)として偏光面保存型の
シングルモード光ファイバを用い、光ファイバ01)の
端部を被測定領域にまで延長する。又光ファイバ0])
の両端面には端面反射を防止するため無反射コーティン
グを施しておくものとする。さて、光ファイバ0υの出
射端には1/4波長板αツを設け、その光ファイバθ◇
と対向する側の面(12a)にのみ無反射コーティング
を施しておく。
ンズ(2)によシ集光されて偏光ビームスプリッタ(3
)に与えられる。この場合もそのレーザ光が偏光ビーム
スプリッタ(3)を通過する方向に半導体し−ザ00の
偏光を合わせておくものとする。偏光ヒ“ −ムスブリ
ツタ(3)は偏光面の相違に応じてレーザ光を透過又は
反射させるものであり、透過出力面に対向してレンズ(
4)が設けられる。レンズ(4)はレーザ光を再び集光
して光ファイバ(11)に入射させるものである。本発
明に於いては光ファイバ(II)として偏光面保存型の
シングルモード光ファイバを用い、光ファイバ01)の
端部を被測定領域にまで延長する。又光ファイバ0])
の両端面には端面反射を防止するため無反射コーティン
グを施しておくものとする。さて、光ファイバ0υの出
射端には1/4波長板αツを設け、その光ファイバθ◇
と対向する側の面(12a)にのみ無反射コーティング
を施しておく。
そして1/4波長板αのを含む光ファイバ0])の先端
部を被測定領域に配置する。一方偏光ヒームスブリッタ
(3)の光フアイバ側からみて反射側には光強度変化に
対応した電気信号を発生する光電変換器(7)を設けて
おく。光電変換器(7)よシ得られる電気信号の周波数
を測定する周波数測定器(8)及びその測定値に基づい
て被測定物体の速度を演算する信号処理部(9)を設け
ることは第1図の装置と同様である。
部を被測定領域に配置する。一方偏光ヒームスブリッタ
(3)の光フアイバ側からみて反射側には光強度変化に
対応した電気信号を発生する光電変換器(7)を設けて
おく。光電変換器(7)よシ得られる電気信号の周波数
を測定する周波数測定器(8)及びその測定値に基づい
て被測定物体の速度を演算する信号処理部(9)を設け
ることは第1図の装置と同様である。
次に本実施例の動作について説明する。半導体レーザ0
0から得られる周波数fOのレーザ光はレンズ(2)を
介して偏光ビームスプリッタ(3)に与えられる。半導
体レーザ0・の偏光面は偏光ビームスプリッタ(3)を
透過する方向に設定されているため、レーザ光は偏光ビ
ームスプリッタ(3)をそのまま透過し、レンズ(4)
によシ再び集光されて光ファイバ0])に与えられる。
0から得られる周波数fOのレーザ光はレンズ(2)を
介して偏光ビームスプリッタ(3)に与えられる。半導
体レーザ0・の偏光面は偏光ビームスプリッタ(3)を
透過する方向に設定されているため、レーザ光は偏光ビ
ームスプリッタ(3)をそのまま透過し、レンズ(4)
によシ再び集光されて光ファイバ0])に与えられる。
光ファイバαυは偏光面保存型のシングルモード光ファ
イバであるため、レーザ光は光ファイバθ1)内ではそ
の偏光方向は保存されて被測定領域にまで伝送され、出
射端面よシ1/4波長板02に与えられる。第3図は被
測定領域付近を示す拡大図であって、レーザ光を模擬的
に示しており、光ファイバαの内のレーザ光の偏光をP
偏光(入射光面に垂直、図中1にて表示)とする。
イバであるため、レーザ光は光ファイバθ1)内ではそ
の偏光方向は保存されて被測定領域にまで伝送され、出
射端面よシ1/4波長板02に与えられる。第3図は被
測定領域付近を示す拡大図であって、レーザ光を模擬的
に示しており、光ファイバαの内のレーザ光の偏光をP
偏光(入射光面に垂直、図中1にて表示)とする。
1/4波長板αのによってそれまで直線偏光が保たれて
いたレーザ光は円偏光(図中○にて表示)に変換され、
その一部分は1/4波長板αaよシ被測定領域に放射さ
れる。前述した如く、1/4波長板αのの光ファイバ0
υに対向する面(12a)のみに無反射コーティングが
なされているため、他方の面(12b)に於いてレーザ
光は端面反射し再び1/4波長板αのに戻る。端面反射
したレーザ光(参照光)が174波長板αのを透過する
際に再び直線偏光に戻シ、その偏光面は元のレーザ光の
偏光面とは直交するS偏光(図中・にて表示)となる。
いたレーザ光は円偏光(図中○にて表示)に変換され、
その一部分は1/4波長板αaよシ被測定領域に放射さ
れる。前述した如く、1/4波長板αのの光ファイバ0
υに対向する面(12a)のみに無反射コーティングが
なされているため、他方の面(12b)に於いてレーザ
光は端面反射し再び1/4波長板αのに戻る。端面反射
したレーザ光(参照光)が174波長板αのを透過する
際に再び直線偏光に戻シ、その偏光面は元のレーザ光の
偏光面とは直交するS偏光(図中・にて表示)となる。
一方図水の如く被測定物体(6)が被測定領域に於いで
ある速度にて移動しているものとすると、放射されたレ
ーザ光がその物体(6)によシ反射され、再び1/4波
長板@に与えられる。反射されたレーザ光(信号光)は
被測定物体(6)の速度に比例したドツプラーシフト(
Δf)を受けるため、信号光の周波数はfO+Δfとな
る。信号光も参照光と同様に1/4波長板αのを透過す
る際に元のレーザ光の偏光面とは直交する偏光面を持つ
S偏光のレーザ光となる。参照光及び信号光は光ファイ
バαυ内を逆方向に伝播するが、その間にレーザ光の偏
光方向は保持され、レンズ(4)によシ集光されて再び
偏光ビームスプリッタ(3)に与えられる。これらのレ
ーザ光は元のレーザ光の偏光面と直交したS偏光である
ため、偏光ビームスプリッタ(3)によりすべて反射さ
れて光電変換器(7)に伝えられる。光電変換器(7)
では参照光及び信号光の光ビートによるヘテロダイン検
波が行なわれ、これらのレーザ光の周波数の差、即ちド
ツプラーシフトに基づく周波数Δfの電気信号が得られ
る。周波数測定器(8)ではこの信号の周波数(Δf)
を測定し、得られたデータを信号処理部(9)によって
処理することにより速度情報を得ることができる。
ある速度にて移動しているものとすると、放射されたレ
ーザ光がその物体(6)によシ反射され、再び1/4波
長板@に与えられる。反射されたレーザ光(信号光)は
被測定物体(6)の速度に比例したドツプラーシフト(
Δf)を受けるため、信号光の周波数はfO+Δfとな
る。信号光も参照光と同様に1/4波長板αのを透過す
る際に元のレーザ光の偏光面とは直交する偏光面を持つ
S偏光のレーザ光となる。参照光及び信号光は光ファイ
バαυ内を逆方向に伝播するが、その間にレーザ光の偏
光方向は保持され、レンズ(4)によシ集光されて再び
偏光ビームスプリッタ(3)に与えられる。これらのレ
ーザ光は元のレーザ光の偏光面と直交したS偏光である
ため、偏光ビームスプリッタ(3)によりすべて反射さ
れて光電変換器(7)に伝えられる。光電変換器(7)
では参照光及び信号光の光ビートによるヘテロダイン検
波が行なわれ、これらのレーザ光の周波数の差、即ちド
ツプラーシフトに基づく周波数Δfの電気信号が得られ
る。周波数測定器(8)ではこの信号の周波数(Δf)
を測定し、得られたデータを信号処理部(9)によって
処理することにより速度情報を得ることができる。
尚、ここでは実施例を物体の瞬時の速度を測定する装置
として説明したが、瞬時速度を連続的に測定することに
よシ物体の振動を測定する装置として用いることも可能
である。
として説明したが、瞬時速度を連続的に測定することに
よシ物体の振動を測定する装置として用いることも可能
である。
以上詳細に説明した如く、本発明によれば参照光及び信
号光の全てが偏光ビームスプリッタによって反射され光
電変換器に与えられるので、信号レベルが高くなるとい
う効果が得られる。又これらのレーザ光は偏光ビームス
プリッタを透過せずレーザ光源にフィードバックされな
いため、レーザ光の発振に悪影響を与えることがない。
号光の全てが偏光ビームスプリッタによって反射され光
電変換器に与えられるので、信号レベルが高くなるとい
う効果が得られる。又これらのレーザ光は偏光ビームス
プリッタを透過せずレーザ光源にフィードバックされな
いため、レーザ光の発振に悪影響を与えることがない。
そのためアイソレータ等を設けることなくレーザ光源と
して半導体レーザを用いることができ、装置を小型化す
ることが可能となる。
して半導体レーザを用いることができ、装置を小型化す
ることが可能となる。
更に本発明に於いて用いている光ファイバはシングルモ
ードの光ファイバであるため、光フアイバ自体が振動し
た場合にも雑音を生じることがない。又光ファイバがシ
ングルモードであるため、スペックルノイズを生じるこ
ともない。このように雑音を大幅に減少することができ
SN比を向上させることが可能である。
ードの光ファイバであるため、光フアイバ自体が振動し
た場合にも雑音を生じることがない。又光ファイバがシ
ングルモードであるため、スペックルノイズを生じるこ
ともない。このように雑音を大幅に減少することができ
SN比を向上させることが可能である。
第1図は従来の光フアイバ速度計の構成を示すブロック
図、第2図は本発明による光フアイバ速度計の一実施例
を示すブロック図、第3図は本実施例における被測定領
域の近傍を示す拡大図である。 (1)・・・レーザ光源、(2) 、 (4)・・・レ
ンズ、(3)・・・偏光ビームスプリッタ、(5) 、
(11)・・・光ファイバ、(6)・・・被測定物体
、(7)・・・光電変換器、(8)・・・周波数測定器
、(9)・・・信号処理部 代理人 弁理士 岡 本 宜 喜 (他1名)
図、第2図は本発明による光フアイバ速度計の一実施例
を示すブロック図、第3図は本実施例における被測定領
域の近傍を示す拡大図である。 (1)・・・レーザ光源、(2) 、 (4)・・・レ
ンズ、(3)・・・偏光ビームスプリッタ、(5) 、
(11)・・・光ファイバ、(6)・・・被測定物体
、(7)・・・光電変換器、(8)・・・周波数測定器
、(9)・・・信号処理部 代理人 弁理士 岡 本 宜 喜 (他1名)
Claims (2)
- (1)一定の偏光面を有するレーザ光を発生するレーザ
光源と、前記レーザ光源よシ与えられるレーザ光を透過
させる偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリ
ッタを透過するレーザ光が一方の端面に与えられ、該レ
ーザ光を被測定領域に導く偏光面保存型のシングルモー
ド光ファイバと、前記光ファイバの他方の端面側に設け
られ、前記光ファイバに対向しない面に於いて該レーザ
光の一部を反射させる1/4波長板と、前記1/4波長
板及び被測定物体によシ反射され、前記光ファイバを逆
方向に伝播して前記偏光ビームスプリッタにより反射さ
れるレーザ光が与えられるべく、偏光ビームスプリッタ
の反射出力側に配置さした光電変換器と、前記光電変換
器の出力信号の周波数に基づいて被測定物体の速度を測
定する手段とを具備することを特徴とする光フアイバ速
度計。 - (2)前記レーザ光源は半導体レーザであることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の光フアイバ速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16056582A JPS5948668A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光フアイバ速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16056582A JPS5948668A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光フアイバ速度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948668A true JPS5948668A (ja) | 1984-03-19 |
| JPS6355035B2 JPS6355035B2 (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=15717721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16056582A Granted JPS5948668A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光フアイバ速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948668A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03118477A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-21 | Ono Sokki Co Ltd | ビーム分岐光学系を用いたレーザドップラ振動計 |
| US6256016B1 (en) | 1997-06-05 | 2001-07-03 | Logitech, Inc. | Optical detection system, device, and method utilizing optical matching |
| JP2001330669A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Kanmei Rai | 二重外部共振器つきレーザダイオード式距離・変位計 |
| JP2006170740A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Kenwood Corp | 変位検出装置、マイクロフォン装置、および、変位検出方法 |
| JP2009085954A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Gebr Loepfe Ag | 糸速度依存パラメータ測定方法 |
| JP2018179658A (ja) * | 2017-04-07 | 2018-11-15 | 株式会社豊田中央研究所 | レーザレーダ装置 |
| JP2023155595A (ja) * | 2022-04-11 | 2023-10-23 | 沖電気工業株式会社 | 振動計及び振動測定方法 |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP16056582A patent/JPS5948668A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6355035B2 (ja) | 1988-11-01 |
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