JPS6134407A - 寸法測定方法 - Google Patents
寸法測定方法Info
- Publication number
- JPS6134407A JPS6134407A JP15596184A JP15596184A JPS6134407A JP S6134407 A JPS6134407 A JP S6134407A JP 15596184 A JP15596184 A JP 15596184A JP 15596184 A JP15596184 A JP 15596184A JP S6134407 A JPS6134407 A JP S6134407A
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- JP
- Japan
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- inspected
- signal
- counter
- pulse
- output
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、被検査材が投影される撮像手段のアナログ
撮像信号を２値化し、その２値化信号と基準パルスとの
論理出力に基づき被検査材の径を算出する寸法測定方法
に関する。
撮像信号を２値化し、その２値化信号と基準パルスとの
論理出力に基づき被検査材の径を算出する寸法測定方法
に関する。
（ロ）従来技術
この種の寸法測定方法は、被検査材に平行光線を照射し
、その影を撮像素子で検知することに基づいて寸法測定
を行う。そのため、被検査材の表面から剥離したスケー
ル等の塵埃が光学系と撮像素子との間に存在すると、そ
の影が前記撮像素子で検知される。その結果ζ被検査材
の寸法測定結果が、実−の寸法より太き（なるという問
題を生じる。
、その影を撮像素子で検知することに基づいて寸法測定
を行う。そのため、被検査材の表面から剥離したスケー
ル等の塵埃が光学系と撮像素子との間に存在すると、そ
の影が前記撮像素子で検知される。その結果ζ被検査材
の寸法測定結果が、実−の寸法より太き（なるという問
題を生じる。
（ハ）目的
この発明は、前述したような浮遊する塵埃による寸法測
定結果の誤差を排除して、被検査材の寸法測定を精度よ
く行い得る寸法測定方法を提供することを目的としてい
る。
定結果の誤差を排除して、被検査材の寸法測定を精度よ
く行い得る寸法測定方法を提供することを目的としてい
る。
（ニ）構成
この発明に係る寸法測定方法は、被検査材が投影される
撮像手段の出力に基づく信号から、一定幅の信号を除去
する一方、これにより小さくなった被検査材の計測値に
前記除去した信号を加算し、この加算値から被検査材の
径を算出することによって、塵埃による測定結果の誤差
を除去したものである。
撮像手段の出力に基づく信号から、一定幅の信号を除去
する一方、これにより小さくなった被検査材の計測値に
前記除去した信号を加算し、この加算値から被検査材の
径を算出することによって、塵埃による測定結果の誤差
を除去したものである。
（ホ）実施例
第１図はこの発明に係る寸法測定方法の−実施例を使用
した寸法測定装置の構成を略示したブロック図である。
した寸法測定装置の構成を略示したブロック図である。
、１１は被検査材Ｓに平行光線を照射する光学系である
。
。
１２は被検査材Ｓが投影される撮像手段として電荷結合
素子（ＣＯＤ）である。
素子（ＣＯＤ）である。
１３はＣＣＤＩ２の撮像信号を増幅する増幅器である。
１４は増幅された撮像信号ａを一方入力として与えられ
る比較回路である。
る比較回路である。
１５は、前記比較回路１４のしきい値ｖｔｈを設定する
しきい値設定回路である。
しきい値設定回路である。
１６は、比較回路１４の出力すを一方入力として与えら
れるＡＮＤゲートである。
れるＡＮＤゲートである。
１７はクロックパルス発生回路である。
１８は、走査同期パルスをＣＣＤ１２に、消去パルスＣ
をＡＮＤゲート１６に与える同期パルス発生回路である
。
をＡＮＤゲート１６に与える同期パルス発生回路である
。
１９は、Ｃ０Ｐ端子に入力したクロックパルスの数を計
数するカウンタである。このカウンタ１９は、Ｃル端子
に’ＨＪが入力している間、計数を行う一方、前記Ｃル
端子に’ＬＪが入力すると計数値を消去する。カウンタ
１９は、予め定められた数〈以下、設定値Ｎという）の
パルスを針数したとき、”ＨＪを出力する。設定値Ｎは
、浮遊する塵埃りの大きさと、クロックパルス１個が対
応する長さによって適宜に定められる。例えば、塵埃り
の最大長さを１３０μ鋼、クロックパルス１個が画素の
単位長さ１３μｍに対応しているとする。この場合、カ
ウンタ１９には予め「１０」がセットされる。
数するカウンタである。このカウンタ１９は、Ｃル端子
に’ＨＪが入力している間、計数を行う一方、前記Ｃル
端子に’ＬＪが入力すると計数値を消去する。カウンタ
１９は、予め定められた数〈以下、設定値Ｎという）の
パルスを針数したとき、”ＨＪを出力する。設定値Ｎは
、浮遊する塵埃りの大きさと、クロックパルス１個が対
応する長さによって適宜に定められる。例えば、塵埃り
の最大長さを１３０μ鋼、クロックパルス１個が画素の
単位長さ１３μｍに対応しているとする。この場合、カ
ウンタ１９には予め「１０」がセットされる。
２０はカウンタ出力保持回路である。このカウンタ出力
保持回路２０はカウンタ１９からｒＨ，を入力すると、
カウンタ１９に出力保持信号を与える。
保持回路２０はカウンタ１９からｒＨ，を入力すると、
カウンタ１９に出力保持信号を与える。
２１はカウンタ１９の出力信号ｅとクロックパルスとを
与えられるＡＮＤゲートである。
与えられるＡＮＤゲートである。
次に上述した構成を備えた装置の動作説明を通じてこの
発明に係る実施例の説明をする。第２図は第１図に示し
た装置の各部の動作波形を示している。
発明に係る実施例の説明をする。第２図は第１図に示し
た装置の各部の動作波形を示している。
光学径１１とＣＣＤ１２との間に、被検査材Ｓの他に塵
埃りが浮遊しているとする。そのため、ｃｃ′Ｄ１２に
は、被検査材Ｓと塵埃りとが投影される。
埃りが浮遊しているとする。そのため、ｃｃ′Ｄ１２に
は、被検査材Ｓと塵埃りとが投影される。
増幅されたＣＣＤ１２の撮像信号ａが比較回路１４に与
えられる。第２図（ａｌにおいて、Ｓｌは被検査材Ｓに
よる信号、Ｓ２は塵埃りによる信号、ｓ３はダミー信号
である。
えられる。第２図（ａｌにおいて、Ｓｌは被検査材Ｓに
よる信号、Ｓ２は塵埃りによる信号、ｓ３はダミー信号
である。
比較回路１４において、撮像信号ａは、しきい値設定回
路１５から与えられるしきい値ｖｔｈと比較される。そ
の比較出力すはＡＮＤゲート１６に与えられる。ＡＮＤ
ゲー）１６は、−期パルス発生回路１８から、同図（ｅ
）に示すＣＣＤ１２の投影領域に対応したパルス幅をも
つ消去パルスＣを与えられる。その結果、ＡＮＤゲート
１６は、同図（ｄｌに示すようなダミーパルスが消去さ
れた２値化信号ｄを出力する。この２値化信号ｄは、カ
ウンタ回路１９のＣ，Ｌ端子に与えられる。
路１５から与えられるしきい値ｖｔｈと比較される。そ
の比較出力すはＡＮＤゲート１６に与えられる。ＡＮＤ
ゲー）１６は、−期パルス発生回路１８から、同図（ｅ
）に示すＣＣＤ１２の投影領域に対応したパルス幅をも
つ消去パルスＣを与えられる。その結果、ＡＮＤゲート
１６は、同図（ｄｌに示すようなダミーパルスが消去さ
れた２値化信号ｄを出力する。この２値化信号ｄは、カ
ウンタ回路１９のＣ，Ｌ端子に与えられる。
一方、カウンタ回路１９は、２値化信号ｄが「Ｈｊの間
、クロックパルスを計数する。しかして、２値化信号ｄ
の第１番目のパルスが入力しているＴ１の間に、計数さ
れるクロックパルスの数が、カウンタ１９に予め設定さ
れた数（例えば、１０）以下であった。この場合、カウ
ンタ１９は’ＨＪを出力しない。そして、このカウンタ
１９内の計数値は、前記第１番目のパルスが立ち下がる
ことにより消去される。
、クロックパルスを計数する。しかして、２値化信号ｄ
の第１番目のパルスが入力しているＴ１の間に、計数さ
れるクロックパルスの数が、カウンタ１９に予め設定さ
れた数（例えば、１０）以下であった。この場合、カウ
ンタ１９は’ＨＪを出力しない。そして、このカウンタ
１９内の計数値は、前記第１番目のパルスが立ち下がる
ことにより消去される。
次に、２値化信号ｄの第２番目のパルスが入力された場
合について説明しよう。
合について説明しよう。
第２番目のパルスは、被検査材Ｓに対応するものである
から、そのパルス幅Ｔ２は充分広い。したがって、この
パルスが入力している間に、計数されるクロックパルス
の数は、前記設定値Ｎよりも多くなる。したがって、カ
ウンタ１９は’ＨＪを出力する。この出力ｒＨ，を与え
られた、カウンタ出力保持回路８は、カウンタ１９に出
力保持信号を与える。その結果、カウンタ１９は第２番
目のパルスが立ち下がるまでの間、ｒＨ，を出力する。
から、そのパルス幅Ｔ２は充分広い。したがって、この
パルスが入力している間に、計数されるクロックパルス
の数は、前記設定値Ｎよりも多くなる。したがって、カ
ウンタ１９は’ＨＪを出力する。この出力ｒＨ，を与え
られた、カウンタ出力保持回路８は、カウンタ１９に出
力保持信号を与える。その結果、カウンタ１９は第２番
目のパルスが立ち下がるまでの間、ｒＨ，を出力する。
第３番目のパルスは、第１番目のパルスと同様に塵埃に
基づき、そのパルス幅Ｔ３の狭いものである。したがっ
て、カウンタ１９は’ＨＪを出力しない。
基づき、そのパルス幅Ｔ３の狭いものである。したがっ
て、カウンタ１９は’ＨＪを出力しない。
しかして、第２図（ｅ）に示すように、カウンタ１９の
出力から、塵埃りに基づくパルスが消去される。
出力から、塵埃りに基づくパルスが消去される。
そして、被検査材Ｓに基づくパルスは、設定値Ｎに対応
した時間幅Ｔｎだけ短くなって出力される。
した時間幅Ｔｎだけ短くなって出力される。
カウンタ１９の出力ｅは、ＡＮＤゲート２１に与えられ
る結果、これとクロックパルスとの論理積出力が与えら
れる。この論理出力は、図示しない次段のマイクロコン
ピータに与えられる。
る結果、これとクロックパルスとの論理積出力が与えら
れる。この論理出力は、図示しない次段のマイクロコン
ピータに与えられる。
マイクロコンピータは、この論理出力に含まれるパルス
の数Ｍに前記設定値Ｎを加算する。これにより、カウン
タ１９の操作で短くなった時間Ｔｎが補われ、実際の被
検査材Ｓの径に相当した計測データが得られる。そして
、この前記加算結果Ｍ十Ｎに、クロックパルス１個当た
りの長さく例えば、１３μｌ１１）が乗算されることに
より、被検査材Ｓの径が算出される。
の数Ｍに前記設定値Ｎを加算する。これにより、カウン
タ１９の操作で短くなった時間Ｔｎが補われ、実際の被
検査材Ｓの径に相当した計測データが得られる。そして
、この前記加算結果Ｍ十Ｎに、クロックパルス１個当た
りの長さく例えば、１３μｌ１１）が乗算されることに
より、被検査材Ｓの径が算出される。
尚、撮像信号を２値化する手段は、上述の実施例で述べ
たものに限られない。例えば、撮像信号ａを微分し、こ
の微分波形を適宜に処理した後、フリップフロップに与
えることにより２値化信号を得ることも可能である。そ
して、このようにすることにより、撮像信号ａに含まれ
る直流レベルの変動の影響を避けることができる。
たものに限られない。例えば、撮像信号ａを微分し、こ
の微分波形を適宜に処理した後、フリップフロップに与
えることにより２値化信号を得ることも可能である。そ
して、このようにすることにより、撮像信号ａに含まれ
る直流レベルの変動の影響を避けることができる。
（へ）効果
この発明に係る寸法測定方法は、被検査材が投影される
撮像手段の出力に基づく信号から、塵埃の大きさに関連
した一定幅の信号を除去している。
撮像手段の出力に基づく信号から、塵埃の大きさに関連
した一定幅の信号を除去している。
したがって、この発明によれば、寸法測定結果の誤差の
原因となる塵埃りの影響を防止できるので、寸法測定精
度を向上させることができる。
原因となる塵埃りの影響を防止できるので、寸法測定精
度を向上させることができる。
第１図はこの発明に係る寸法測定方法の一実施例を使用
した寸法測定装置の構成を略示したブロック図、第２図
は第１図に示した各部の動作波形図を示している。 １１・・・光学系、１２・・・ＣＣＤ、１４・・・比較
回路、１６．２１・・・ＡＮＤゲート、１９・・・カウ
ンタ、２０・・・カウンタ出力保持回路。 特許出願人 株式会社 島津製作所 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図
した寸法測定装置の構成を略示したブロック図、第２図
は第１図に示した各部の動作波形図を示している。 １１・・・光学系、１２・・・ＣＣＤ、１４・・・比較
回路、１６．２１・・・ＡＮＤゲート、１９・・・カウ
ンタ、２０・・・カウンタ出力保持回路。 特許出願人 株式会社 島津製作所 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図
Claims (1)
- （１）被検査材が投影される撮像手段の出力に基づく信
号から、一定幅の信号を除去する一方、これにより小さ
くなった被検査材の計測値に前記除去した信号を加算し
、この加算結果から被検査材の径を算出することを特徴
とする寸法測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15596184A JPH0654210B2 (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 寸法測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15596184A JPH0654210B2 (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 寸法測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6134407A true JPS6134407A (ja) | 1986-02-18 |
| JPH0654210B2 JPH0654210B2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=15617313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15596184A Expired - Fee Related JPH0654210B2 (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 寸法測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0654210B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2678727A1 (fr) * | 1991-07-04 | 1993-01-08 | Tabacs & Allumettes Ind | Procede et dispositif de calibrage, en particulier de cigarettes, mettant en óoeuvre la determination du temps d'interception d'un faisceau laser. |
| EP1619467A1 (en) * | 2004-07-22 | 2006-01-25 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
| JP2020008430A (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 株式会社ミツトヨ | 光学測定装置 |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15596184A patent/JPH0654210B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2678727A1 (fr) * | 1991-07-04 | 1993-01-08 | Tabacs & Allumettes Ind | Procede et dispositif de calibrage, en particulier de cigarettes, mettant en óoeuvre la determination du temps d'interception d'un faisceau laser. |
| EP1619467A1 (en) * | 2004-07-22 | 2006-01-25 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
| US7253910B2 (en) | 2004-07-22 | 2007-08-07 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring device |
| JP2020008430A (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 株式会社ミツトヨ | 光学測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0654210B2 (ja) | 1994-07-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |