JPS58142247A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPS58142247A JPS58142247A JP2359582A JP2359582A JPS58142247A JP S58142247 A JPS58142247 A JP S58142247A JP 2359582 A JP2359582 A JP 2359582A JP 2359582 A JP2359582 A JP 2359582A JP S58142247 A JPS58142247 A JP S58142247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- delay
- differential amplifier
- memory
- pulses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、検査対象物をテレビカメラ等により撮像して
得られる撮像信号を適宜処理することにより、検査対象
物上の欠陥の有無等を安定かつ高精度に検査し得る欠陥
検査装置に関する。
得られる撮像信号を適宜処理することにより、検査対象
物上の欠陥の有無等を安定かつ高精度に検査し得る欠陥
検査装置に関する。
一般に、鋺剛等Ｏ工業製品Ｏ欠陥を自動的に検査するに
は、検査対象物をテレビカメラ等の撮像装置により撮像
して得られる撮像信号を適宜な閾値レベルと比較するこ
とにより２値化し、この２値化信号を適宜処理すること
によって検査対象物の欠陥Ｏ有無勢が検査されるが、こ
Ｏ場合の検査精度は２値化処理の精度にはｙ依存するも
のとなる。このため、２値化処理については従来から各
種方式が提案されている。
は、検査対象物をテレビカメラ等の撮像装置により撮像
して得られる撮像信号を適宜な閾値レベルと比較するこ
とにより２値化し、この２値化信号を適宜処理すること
によって検査対象物の欠陥Ｏ有無勢が検査されるが、こ
Ｏ場合の検査精度は２値化処理の精度にはｙ依存するも
のとなる。このため、２値化処理については従来から各
種方式が提案されている。
第１図はかかる２値化処理刃式を説明するための説明図
である。
である。
すなわち、同図ピ）に示される如く検査対象物Ｐは、図
示されない撮像装置により矢印方向の水平走査を順次垂
直方向に繰り返すことにより読取られ、同図仲）の如ぎ
撮像信号が得られる。この場合、対象物Ｐには同［＆）
に示される如き５すい汚れＤが存在するため、！同図０
−）０撮像儒号には矢印で示される如きゆるやかなくぼ
み部が生じている。こＯようにして得られる撮像信号ｔ
−２値化する２値化方式として、例えば特公昭５４−３
６３８号公報に示されるもＯがある・これは、従来Ｏ殆
んどＯものが２値化のためＯ閾値レベルを一定にした固
定レベル方式であるのに対し、撮像信号の明暗レベルに
応じて変化させる、すなわち浮動レベル方式としたもＯ
であるが、この方法では、上述Ｏ如きゆるやかなくぼみ
音検出することができないのは明らかである。なお、菖
１図（ハ）は浮動レベルにもとづく２値化信号を示すも
のである。一方、特開昭５４−３４８８６号公報に示さ
れるような方法も知られている。これは、同図−）Ｏ集
線で示される如き撮像信号に対して点線の如き遅延され
た信号をとり出し、皺運蔦信号と撮像信号とＯ葺をとる
ことにより同図に）の如き微分信号を得、鋏黴分信号を
所定Ｏ設定値ＳＰ ？ ８Ｍと比較することにより２値
化するものである。したがって、正常な場合は同図（ホ
）、（へ）の如く撮像信号の立上り、立下りでそれぞれ
１パルス得られるが、欠陥がある場合には２パルス以上
となるので、これにより欠陥を検出する。しかしながら
、この方法によっても同図に）の矢印で示されるような
うすい汚れによって生じる欠陥を検出することはできな
い◇本発明は上記に鑑みなされたもので、微小信号を確
実、かつ高精度に検出し５る欠陥検査装置を提供するこ
とを目的とするものである・この発明の特徴は、撮像手
段によって検査対象物をラスタ走査し℃得られる撮像信
号を遅延微分する操作を２度行なうことにより欠陥部分
を強調し、該２回ｏ１！ＩＮ微分操作によって得られた
信号をそれぞれ異なる基準レベルで２値化し、該２値化
された信号を一水平走査毎にそれぞれ計数してメモリに
記憶させ、鋏メモリの内容にもとづいて所定の処理を行
なうことにより対象物上に存在するうすい汚れ等の従来
方式では検出が困難であった欠陥をも高ｉ精度に検出し
５るようにした点にある。
示されない撮像装置により矢印方向の水平走査を順次垂
直方向に繰り返すことにより読取られ、同図仲）の如ぎ
撮像信号が得られる。この場合、対象物Ｐには同［＆）
に示される如き５すい汚れＤが存在するため、！同図０
−）０撮像儒号には矢印で示される如きゆるやかなくぼ
み部が生じている。こＯようにして得られる撮像信号ｔ
−２値化する２値化方式として、例えば特公昭５４−３
６３８号公報に示されるもＯがある・これは、従来Ｏ殆
んどＯものが２値化のためＯ閾値レベルを一定にした固
定レベル方式であるのに対し、撮像信号の明暗レベルに
応じて変化させる、すなわち浮動レベル方式としたもＯ
であるが、この方法では、上述Ｏ如きゆるやかなくぼみ
音検出することができないのは明らかである。なお、菖
１図（ハ）は浮動レベルにもとづく２値化信号を示すも
のである。一方、特開昭５４−３４８８６号公報に示さ
れるような方法も知られている。これは、同図−）Ｏ集
線で示される如き撮像信号に対して点線の如き遅延され
た信号をとり出し、皺運蔦信号と撮像信号とＯ葺をとる
ことにより同図に）の如き微分信号を得、鋏黴分信号を
所定Ｏ設定値ＳＰ ？ ８Ｍと比較することにより２値
化するものである。したがって、正常な場合は同図（ホ
）、（へ）の如く撮像信号の立上り、立下りでそれぞれ
１パルス得られるが、欠陥がある場合には２パルス以上
となるので、これにより欠陥を検出する。しかしながら
、この方法によっても同図に）の矢印で示されるような
うすい汚れによって生じる欠陥を検出することはできな
い◇本発明は上記に鑑みなされたもので、微小信号を確
実、かつ高精度に検出し５る欠陥検査装置を提供するこ
とを目的とするものである・この発明の特徴は、撮像手
段によって検査対象物をラスタ走査し℃得られる撮像信
号を遅延微分する操作を２度行なうことにより欠陥部分
を強調し、該２回ｏ１！ＩＮ微分操作によって得られた
信号をそれぞれ異なる基準レベルで２値化し、該２値化
された信号を一水平走査毎にそれぞれ計数してメモリに
記憶させ、鋏メモリの内容にもとづいて所定の処理を行
なうことにより対象物上に存在するうすい汚れ等の従来
方式では検出が困難であった欠陥をも高ｉ精度に検出し
５るようにした点にある。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第２図は本発明Ｏ実施例を示すブロック図であり、ｌｓ
３図は第２ｗＪＯ各部液形を示す波形図である。第２図
において、１はテレビジョンカメラ等Ｏ撮像装置、２は
増中關路、３．５は遅延回路、４．６は差動増巾−路、
７，８は比較回路、９゜１０は計数１路、１１，１２は
メ毫り、１３はマイクロコンピュータ勢で構成される判
定回路、１４は検査対象物Ｐｏ排出部である。なお、同
図の１〜ｈ、におよびｔは各部の信号を示し、嬉３１！
ＩＯ同符号のもＯと対応している。また、第３１１＆）
は検査対象物が良品の場合、（ロ）は５すい汚れ部が存
在する場合、（ハ）は欠陥部分がある場合をそれぞれ示
すものである。
３図は第２ｗＪＯ各部液形を示す波形図である。第２図
において、１はテレビジョンカメラ等Ｏ撮像装置、２は
増中關路、３．５は遅延回路、４．６は差動増巾−路、
７，８は比較回路、９゜１０は計数１路、１１，１２は
メ毫り、１３はマイクロコンピュータ勢で構成される判
定回路、１４は検査対象物Ｐｏ排出部である。なお、同
図の１〜ｈ、におよびｔは各部の信号を示し、嬉３１！
ＩＯ同符号のもＯと対応している。また、第３１１＆）
は検査対象物が良品の場合、（ロ）は５すい汚れ部が存
在する場合、（ハ）は欠陥部分がある場合をそれぞれ示
すものである。
錠剤勢Ｏ検査対象物Ｐを撮像して得られるテレビ（ＴＶ
）カメラｌからの信号麿は増幅器＝で増幅されて、第３
図（イ）、−）、（ハ）のｂで示されゐ如き信号となり
、差動増幅器４０一方Ｏ唱子および遅延回路３に与えら
れる。遅延回路３は、増幅器２を介して得られる撮像信
号すをある時間遅延した信号Ｃを差動増幅器４０他方の
端子に加える。そして、差動増幅器４において咳遅延し
た信号Ｃと、遅延する前の信号すとの差をとることによ
り、１度目の遅延微分を行なう（第３図の波形ｄを参照
）。
）カメラｌからの信号麿は増幅器＝で増幅されて、第３
図（イ）、−）、（ハ）のｂで示されゐ如き信号となり
、差動増幅器４０一方Ｏ唱子および遅延回路３に与えら
れる。遅延回路３は、増幅器２を介して得られる撮像信
号すをある時間遅延した信号Ｃを差動増幅器４０他方の
端子に加える。そして、差動増幅器４において咳遅延し
た信号Ｃと、遅延する前の信号すとの差をとることによ
り、１度目の遅延微分を行なう（第３図の波形ｄを参照
）。
これにより、良品である場合（同図（イ）参照）の信号
波形はある傾斜を持ち、汚れのあ１場合（同図（ロ）参
照）または欠陥がある場合（同図（ハ）参照）は、それ
ぞれ傾斜Ｏ途中で変化した波形となる。１度遅鷺黴分し
た信号ｄは、差動増幅器６の一方の端子および遅延回路
Ｓに加えられる。遅延回路５は、ある時間遅延した信号
Ｃ１−差動増幅器６の他方Ｏ端子に加える。そして、差
動増幅器６で差をとることにより、２度目Ｏ遅駕黴分を
行なう（第３図の波形ｆ参照）。こ０２度の遅延微分に
より、良品と不良品Ｏ信号波形にそれぞれ異なる部分が
あることがわかる。遅延微分を２度行なった信号は、さ
らに、比較器７０一方Ｏ端子に加えられる。比較器７の
他方Ｏ端子には、負の基準レベルｇを加えて比較し、２
値化する。比較器７で２値化した信号は、第３図りで示
される如く良品の時はｌパルス、不嵐品Ｏ時は２パルス
となる（第ｓ＠ｇ（イ）と（ｂ） 、（ハ）の場合とを
比較して参照されたい。）。こＯ信号りを計数器９＆：
入力し、ｌ水子期間中計数し、水平走査毎Ｏ計数器９に
おけゐ計数値をメモリ１１に記憶する。七〇＠１０判定
を簡単にすゐために、水平走査の最初で計数器９をリセ
ットし、計数器９は水平走査線毎のパルス数を計数する
もＯとする。
波形はある傾斜を持ち、汚れのあ１場合（同図（ロ）参
照）または欠陥がある場合（同図（ハ）参照）は、それ
ぞれ傾斜Ｏ途中で変化した波形となる。１度遅鷺黴分し
た信号ｄは、差動増幅器６の一方の端子および遅延回路
Ｓに加えられる。遅延回路５は、ある時間遅延した信号
Ｃ１−差動増幅器６の他方Ｏ端子に加える。そして、差
動増幅器６で差をとることにより、２度目Ｏ遅駕黴分を
行なう（第３図の波形ｆ参照）。こ０２度の遅延微分に
より、良品と不良品Ｏ信号波形にそれぞれ異なる部分が
あることがわかる。遅延微分を２度行なった信号は、さ
らに、比較器７０一方Ｏ端子に加えられる。比較器７の
他方Ｏ端子には、負の基準レベルｇを加えて比較し、２
値化する。比較器７で２値化した信号は、第３図りで示
される如く良品の時はｌパルス、不嵐品Ｏ時は２パルス
となる（第ｓ＠ｇ（イ）と（ｂ） 、（ハ）の場合とを
比較して参照されたい。）。こＯ信号りを計数器９＆：
入力し、ｌ水子期間中計数し、水平走査毎Ｏ計数器９に
おけゐ計数値をメモリ１１に記憶する。七〇＠１０判定
を簡単にすゐために、水平走査の最初で計数器９をリセ
ットし、計数器９は水平走査線毎のパルス数を計数する
もＯとする。
一方、差動増幅器６０出力ｆを比較器８で正の基準レベ
ルにと比較する。比較器８の出力ｔは、菖３ｇに示され
るように、喪品では２パルス、不嵐品では３パルス以上
となる。このパルス数は前述と同様に、計数器１０によ
り計数され、メモリ１２に記憶される。１画面分だけメ
モ！Ｊｌｌ、１２にパルス数を記憶した後、判定回路１
３（例えば、マイクロコンピュータで構成される。）で
判定し、そＯ結果、不良であれば排出部１４に信号を与
え、錠剤Ｐを不要品収納部に排出する。
ルにと比較する。比較器８の出力ｔは、菖３ｇに示され
るように、喪品では２パルス、不嵐品では３パルス以上
となる。このパルス数は前述と同様に、計数器１０によ
り計数され、メモリ１２に記憶される。１画面分だけメ
モ！Ｊｌｌ、１２にパルス数を記憶した後、判定回路１
３（例えば、マイクロコンピュータで構成される。）で
判定し、そＯ結果、不良であれば排出部１４に信号を与
え、錠剤Ｐを不要品収納部に排出する。
判定回路１３による判定方法は、いくつか考えられるの
で、以下に列記する。
で、以下に列記する。
＠１（１）方法は、メモリ１１のパルス数をしらべ、２
パルス以上となった回数を計数して設定値と比較し、設
定値以上０時は不良と判定するものである。第２０方法
は、メモリ１２のパルス数をしらべて３パルス以上とな
った回数を計数し、該計数値を設定値と比較し、設定値
以上の時不良と判定する。第３の方法は、メモリ１１の
パルス数をしらぺ、各走査線の前後で連続して２パルス
以上となった時０回数を計数し、設定値と比較して該計
数値が設定値以上０時不良と判定する。第４の方法は、
メモリ１２のパルス数をしらべ、各走査線の前後で連続
して３パルス以上となった時の回数を計数して設定値と
比較し、該計数値が設定値以上の時不良と判定する。ま
た、第５の方法は、メモリｌｌｏ／＜ルス数をしらべ、
３パルス以上は不良とする方法であり、また第６０方法
は、メモリ１２０パルス数をしらべ、４パルス以上０場
合は不良とするものである。そして、これらの判定方。
パルス以上となった回数を計数して設定値と比較し、設
定値以上０時は不良と判定するものである。第２０方法
は、メモリ１２のパルス数をしらべて３パルス以上とな
った回数を計数し、該計数値を設定値と比較し、設定値
以上の時不良と判定する。第３の方法は、メモリ１１の
パルス数をしらぺ、各走査線の前後で連続して２パルス
以上となった時０回数を計数し、設定値と比較して該計
数値が設定値以上０時不良と判定する。第４の方法は、
メモリ１２のパルス数をしらべ、各走査線の前後で連続
して３パルス以上となった時の回数を計数して設定値と
比較し、該計数値が設定値以上の時不良と判定する。ま
た、第５の方法は、メモリｌｌｏ／＜ルス数をしらべ、
３パルス以上は不良とする方法であり、また第６０方法
は、メモリ１２０パルス数をしらべ、４パルス以上０場
合は不良とするものである。そして、これらの判定方。
法を適宜組み合わせることにより、微小な欠陥信号でも
確実に判定することができる。
確実に判定することができる。
以上のよ５に、本発明によれば、ＴＶカメラ等で得た信
号を二回微分し、正レベルと負レベルとで比較すること
により二値化し、水平走査線毎のパルス数をそれぞれメ
モリに記憶することによって、二次元的な広がりを持つ
微小信号の欠陥部を確実に判定することができる。
号を二回微分し、正レベルと負レベルとで比較すること
により二値化し、水平走査線毎のパルス数をそれぞれメ
モリに記憶することによって、二次元的な広がりを持つ
微小信号の欠陥部を確実に判定することができる。
なお、本発明はいままで説明した錠剤のほかに、同様な
形のキャラメル、チョコレートなどＯ工業製品にも応用
することができる。また、みかん。
形のキャラメル、チョコレートなどＯ工業製品にも応用
することができる。また、みかん。
りんごなどｏｌｌ脆物の外観検査等にも適用することが
可能である。
可能である。
館１図は検査対象物の二値化友法を説明するためＯ説明
図、９２図は本発明の実施例を示すブロック図、第３図
は第２図における各部波形を示す波形図である。 符号説明 １・・・・・・撮像装置（テレビジョンカメラ）、２・
・・・・・項中回路、３，５・・・・・・遅延囲路、４
，６・・・・・・差動増巾回路、７，８・・・・・・比
較回路、９，１０・・・・・・計数回路、１１，１２・
・・・・・メモリ、１３・・・・・・判定筒路、１４・
・・・・・排出部、Ｐ・・・・・・検査対象物代理人
弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清
図、９２図は本発明の実施例を示すブロック図、第３図
は第２図における各部波形を示す波形図である。 符号説明 １・・・・・・撮像装置（テレビジョンカメラ）、２・
・・・・・項中回路、３，５・・・・・・遅延囲路、４
，６・・・・・・差動増巾回路、７，８・・・・・・比
較回路、９，１０・・・・・・計数回路、１１，１２・
・・・・・メモリ、１３・・・・・・判定筒路、１４・
・・・・・排出部、Ｐ・・・・・・検査対象物代理人
弁理士 並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清
Claims (1)
- 検査対象物を撮像手段により水平、−直滝査して得られ
る撮像信号と該撮像信号を遍蔦させた遍蔦撮像信号とＯ
差を演算する第１０差動増巾手段と、皺増巾手段の出力
信号と＃出力信号を透電させた透電出力信号とｏＩｌｌ
を演算する第２０＠％増中手段と、該第１および菖２０
差動増巾手段からＯ出力を互いに異なる基準レベルと比
較す為ことによりそれぞれ２値化する第１および第２０
比較手段と、該ｊ１１およびｊ１２の比較手段にて２値
化された信号を一水平走査毎にそれぞれ計数する第りお
よび＄１２０計数手段と、該第１および嬉２の針数手Ｒ
ｏｔＢ力をそれぞれ記憶する第１および第２０記憶手段
とを備え、該第１または館２の記憶手段Ｏ内容にもとづ
いて検査対象＊１０良否を判定するようにしたことを特
徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2359582A JPS58142247A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2359582A JPS58142247A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58142247A true JPS58142247A (ja) | 1983-08-24 |
Family
ID=12114939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2359582A Pending JPS58142247A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58142247A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61277038A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Kanai Hiroyuki | カ−ドウエブ測定方法 |
| JPS62249038A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Fuji Electric Co Ltd | 画像２値化処理回路 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669537A (en) * | 1979-11-12 | 1981-06-10 | Fuji Electric Co Ltd | Defect inspection device |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP2359582A patent/JPS58142247A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669537A (en) * | 1979-11-12 | 1981-06-10 | Fuji Electric Co Ltd | Defect inspection device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61277038A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Kanai Hiroyuki | カ−ドウエブ測定方法 |
| JPS62249038A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Fuji Electric Co Ltd | 画像２値化処理回路 |
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