JPS6139616B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6139616B2 JPS6139616B2 JP1180281A JP1180281A JPS6139616B2 JP S6139616 B2 JPS6139616 B2 JP S6139616B2 JP 1180281 A JP1180281 A JP 1180281A JP 1180281 A JP1180281 A JP 1180281A JP S6139616 B2 JPS6139616 B2 JP S6139616B2
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- Japan
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- hole
- holes
- plate
- substrate
- sensor block
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- Expired
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被測定ガスが有する熱伝導度を利用
して、ガス分析を行う装置の検出器に関し、さら
に詳しくは、高速ガスクロマトグラフの検出器と
して最適な拡散形の熱伝導度形検出器に関する。
して、ガス分析を行う装置の検出器に関し、さら
に詳しくは、高速ガスクロマトグラフの検出器と
して最適な拡散形の熱伝導度形検出器に関する。
第1図は、従来のガスクロマトグラフの拡散形
の熱伝導度形検出器の構成説明図である。検出器
は、金属ブロツク22に形成して成る測定室(測
定ガスを満たした室)23及び24内に設置する
フイルラメント25及び26と、これと同一構成
の基準室(キヤリヤガスを満たした室)内に設置
するフイルラメント(図示せず)とでホイートス
トンブリツジを構成するようになつている。
の熱伝導度形検出器の構成説明図である。検出器
は、金属ブロツク22に形成して成る測定室(測
定ガスを満たした室)23及び24内に設置する
フイルラメント25及び26と、これと同一構成
の基準室(キヤリヤガスを満たした室)内に設置
するフイルラメント(図示せず)とでホイートス
トンブリツジを構成するようになつている。
ところで、このような検出器は、できるだけ小
形、即ち、測定室23及び24の内容積が小さい
方が、応答性を高めることができるので望まし
い。しかしながら、フイルラメント25及び26
に所定の抵抗値をもたせようとすると、その形状
が大きくなり、どうしても測定室の内容積が大き
くならざるを得ないのが実状である。また、フイ
ルラメント25及び26を金属ブロツク22で形
成する測定室23及び24に設置しているので、
断線時の交換作業が難しく、時には、検出器全体
を交換することになり、保守コストを高める点に
難点があつた。
形、即ち、測定室23及び24の内容積が小さい
方が、応答性を高めることができるので望まし
い。しかしながら、フイルラメント25及び26
に所定の抵抗値をもたせようとすると、その形状
が大きくなり、どうしても測定室の内容積が大き
くならざるを得ないのが実状である。また、フイ
ルラメント25及び26を金属ブロツク22で形
成する測定室23及び24に設置しているので、
断線時の交換作業が難しく、時には、検出器全体
を交換することになり、保守コストを高める点に
難点があつた。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであ
り、本発明は、測定室の内容積を小さく、かつ、
フイルラメントの交換を容易にするために、板面
に貫通穴を形成し、その貫通穴に橋絡状に設置し
て成る抵抗体を有する基板を用いて検出器を構成
するようになつている。
り、本発明は、測定室の内容積を小さく、かつ、
フイルラメントの交換を容易にするために、板面
に貫通穴を形成し、その貫通穴に橋絡状に設置し
て成る抵抗体を有する基板を用いて検出器を構成
するようになつている。
以下、図面を参照し本発明について詳しく説明
する。
する。
第2図〜第4図は、本発明の一実施例によるガ
スクロマトグラフの検出器の構成説明図であり、
第2図は、基板1の斜視図、第3図は、第2図の
A−A断面図、第4図は、検出器の縦断面図であ
る。第2図及び第3図において、基板1は、その
板面に形成して成る貫通穴2,3及び4と、貫通
穴2及び4夫々に橋絡状に設置して成る櫛の歯状
の抵抗体5及び6とを有する。そして、抵抗体5
及び6の各端部7及び8並びに9及び10は、基
板1の端部にて、他の抵抗体が回路に接続し得る
ようになつている。
スクロマトグラフの検出器の構成説明図であり、
第2図は、基板1の斜視図、第3図は、第2図の
A−A断面図、第4図は、検出器の縦断面図であ
る。第2図及び第3図において、基板1は、その
板面に形成して成る貫通穴2,3及び4と、貫通
穴2及び4夫々に橋絡状に設置して成る櫛の歯状
の抵抗体5及び6とを有する。そして、抵抗体5
及び6の各端部7及び8並びに9及び10は、基
板1の端部にて、他の抵抗体が回路に接続し得る
ようになつている。
次に、上記基板1を用いて構成した検出器につ
いて、第4図を参照して説明する。
いて、第4図を参照して説明する。
検出器は、2個の基板1及び基板1に略合同な
形状、即ち、板面に貫通穴12,13、及び14
を形成して成るスペーサ11(抵抗体を有せず)
を有し、貫通穴2と12、3と13、4と14、
とを夫々一致させて一体化すると共に、抵抗体5
と6とでホイートストンブリツジを構成して成る
センサブロツクと、板面に、貫通穴3及び4夫々
に対する位置に貫通穴16及び17を形成して成
る側板15と、板面に、貫通穴4に対応する位置
及び基板1のいずれの貫通穴にも対応しない位置
夫々に貫通穴21及び19を形成すると共に、セ
ンサブロツクに接合する面に、貫通穴2,3及び
19夫々に連通する流路20を形成して成る側板
18と、ホイートストンブリツジに電力を供給す
る電源(図示せず)とで構成されている。
形状、即ち、板面に貫通穴12,13、及び14
を形成して成るスペーサ11(抵抗体を有せず)
を有し、貫通穴2と12、3と13、4と14、
とを夫々一致させて一体化すると共に、抵抗体5
と6とでホイートストンブリツジを構成して成る
センサブロツクと、板面に、貫通穴3及び4夫々
に対する位置に貫通穴16及び17を形成して成
る側板15と、板面に、貫通穴4に対応する位置
及び基板1のいずれの貫通穴にも対応しない位置
夫々に貫通穴21及び19を形成すると共に、セ
ンサブロツクに接合する面に、貫通穴2,3及び
19夫々に連通する流路20を形成して成る側板
18と、ホイートストンブリツジに電力を供給す
る電源(図示せず)とで構成されている。
なお、センサブロツクと側板との一体化は、公
知の手段、例えば、接着剤、ボルト・ナツト(こ
の場合、ボルト貫通用の穴を板面に設ける必要が
ある)等を用いてなされている。また、この一体
化によつて、側板15の板面で、センサブロツク
の一方の面にて貫通穴2を閉塞するようになつて
いる。
知の手段、例えば、接着剤、ボルト・ナツト(こ
の場合、ボルト貫通用の穴を板面に設ける必要が
ある)等を用いてなされている。また、この一体
化によつて、側板15の板面で、センサブロツク
の一方の面にて貫通穴2を閉塞するようになつて
いる。
上記の検出部は、貫通穴16→貫通穴3→貫通
穴13→貫通穴3→流路20→貫通穴19で形成
する流路に被測定ガスFmを流しながら、貫通穴
2及び12で形成する測定室に被測定ガスを満た
すと共に、貫通穴4,14,17及び21で形成
する基準室にキヤリヤガスFrを流して、ガスク
ロマトグラフの検出器として機能する。
穴13→貫通穴3→流路20→貫通穴19で形成
する流路に被測定ガスFmを流しながら、貫通穴
2及び12で形成する測定室に被測定ガスを満た
すと共に、貫通穴4,14,17及び21で形成
する基準室にキヤリヤガスFrを流して、ガスク
ロマトグラフの検出器として機能する。
このように、検出器のセンサブロツクの測定室
は、基板1及びスペーサ12の板面に形成した貫
通穴2及び12で構成しているので、測定室の内
容積を小さくすることができる。また、ボルト・
ナツトを用いて一体化した検出器は、その解体が
容易なので、抵抗体や基板の交換が簡単で、保守
性に優れている。
は、基板1及びスペーサ12の板面に形成した貫
通穴2及び12で構成しているので、測定室の内
容積を小さくすることができる。また、ボルト・
ナツトを用いて一体化した検出器は、その解体が
容易なので、抵抗体や基板の交換が簡単で、保守
性に優れている。
なお、上記実施例は、ガスクロマトグラフの検
出器について説明したが、本発明はこれに限定す
るものではなく、他の分析計、例えば、H2計、
O2計、CO2計等の検出器であつてもよい。
出器について説明したが、本発明はこれに限定す
るものではなく、他の分析計、例えば、H2計、
O2計、CO2計等の検出器であつてもよい。
また、上記実施例は、スペーサを介在して2個
の基板を一体化しているが、本発明はスペーサを
必ずしも必要としない。抵抗体が設置されていな
い板面同士を合せて、2個の基板を一体化し、測
定室及び基準室を形成してもよい。
の基板を一体化しているが、本発明はスペーサを
必ずしも必要としない。抵抗体が設置されていな
い板面同士を合せて、2個の基板を一体化し、測
定室及び基準室を形成してもよい。
さらに、側板15及び18は上記実施例に限定
するものではない。要は、側板15はセンサブロ
ツクの一方の面にて、貫通穴2を閉塞する機能を
持つていればよい、また、側板18はセンサブロ
ツクの他方の面にて、貫通穴2及び3に連通し、
外部の流路に連絡する開口部を持つていればよ
い。
するものではない。要は、側板15はセンサブロ
ツクの一方の面にて、貫通穴2を閉塞する機能を
持つていればよい、また、側板18はセンサブロ
ツクの他方の面にて、貫通穴2及び3に連通し、
外部の流路に連絡する開口部を持つていればよ
い。
さらに、上記実施例は、櫛の歯状の抵抗体を用
いているが、本発明はこれに限定するものではな
く、渦巻状の抵抗体であつてもよい。
いているが、本発明はこれに限定するものではな
く、渦巻状の抵抗体であつてもよい。
以上、詳しく説明したように、本発明の熱伝導
度形検出器によれば、板面に貫通穴を形成し、そ
の貫通穴に橋絡状に設置する抵抗体を有する基板
で測定室を構成するようになつているので、測定
室の内容積を小さくすることができ、また、抵抗
体を簡単に交換することができる。
度形検出器によれば、板面に貫通穴を形成し、そ
の貫通穴に橋絡状に設置する抵抗体を有する基板
で測定室を構成するようになつているので、測定
室の内容積を小さくすることができ、また、抵抗
体を簡単に交換することができる。
第1図は、従来の拡散形の熱伝導度形検出器の
構成説明図、第2図は、本発明の一実施例による
熱伝導度形検出器を構成するエレメント(基板)
の構成説明図、第3図は、第2図のA−A断面
図、第4図は、本発明の一実施例による熱伝導度
形検出器の構成説明図である。 1……基板、2,3及び4……貫通穴、5及び
6……抵抗体、11……スペーサ、15及び18
……側板、16,17,19及び21……貫通
穴、20……流路。
構成説明図、第2図は、本発明の一実施例による
熱伝導度形検出器を構成するエレメント(基板)
の構成説明図、第3図は、第2図のA−A断面
図、第4図は、本発明の一実施例による熱伝導度
形検出器の構成説明図である。 1……基板、2,3及び4……貫通穴、5及び
6……抵抗体、11……スペーサ、15及び18
……側板、16,17,19及び21……貫通
穴、20……流路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 板面に第1、第2及び第3の貫通穴を形成
し、該第1及び第3の貫通穴夫々に橋絡状に設置
して成る抵抗体を有する第1及び第2の基板から
成り、該第1及び第2の基板の同一番号の貫通穴
同士を合せて一体化すると共に、前記各抵抗体で
ホイートストンブリツジを構成して成るセンサブ
ロツクと、該センサブロツクの一方の面にて、前
記第1の貫通穴を閉塞する盲板と、前記センサブ
ロツクの他方の面にて、前記第1の貫通穴と第2
の貫通穴とを連通し、かつ、外部流路に接続する
開口部を有する手段と、前記ホイートストンブリ
ツジに印加する電源とを具備し、前記第2の貫通
穴及び開口部を流入口及び流出口として測定ガス
を流すと共に、前記第3の貫通穴に基準ガスを流
すか、封じ込んで、前記ホイートストンブリツジ
の出力を測定信号とすることを特徴とする熱伝導
度形検出器。 2 前記盲板は、前記センサブロツクの一方の面
に接合して固着する板であつた、前記基板の第2
及び第3の貫通穴夫々に対応する位置を貫通して
成る測定ガス流入口及び基準ガス流入口を有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項の熱伝導
度検出器。 3 前記手段は、前記センサブロツクの他方の面
に接合して固着する板であつて、前記基板の第3
の貫通穴に対応する位置及び該基板のいずれの貫
通穴にも対応しない位置夫々を貫通して成る基準
ガス流出口及び測定ガス流出口と、前記センサブ
ロツクに接合する面に、前記基板の第1及び第2
の貫通穴並びに前記測定ガス流出口に連通する流
路を有することを特徴とする特許請求の範囲第1
項の熱伝導度形検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180281A JPS57125838A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Heat conductivity type detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1180281A JPS57125838A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Heat conductivity type detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57125838A JPS57125838A (en) | 1982-08-05 |
| JPS6139616B2 true JPS6139616B2 (ja) | 1986-09-04 |
Family
ID=11787983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1180281A Granted JPS57125838A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Heat conductivity type detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57125838A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2797373B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1998-09-17 | 株式会社島津製作所 | 熱伝導率式検出器 |
| JPH04136367U (ja) * | 1991-06-12 | 1992-12-18 | 内山工業株式会社 | シールの嵌合構造 |
-
1981
- 1981-01-29 JP JP1180281A patent/JPS57125838A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57125838A (en) | 1982-08-05 |
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