JPS6140341B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6140341B2
JPS6140341B2 JP1180181A JP1180181A JPS6140341B2 JP S6140341 B2 JPS6140341 B2 JP S6140341B2 JP 1180181 A JP1180181 A JP 1180181A JP 1180181 A JP1180181 A JP 1180181A JP S6140341 B2 JPS6140341 B2 JP S6140341B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holes
flow path
hole
substrate
sensor block
Prior art date
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Expired
Application number
JP1180181A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS57125837A (en
Inventor
Toshio Takahara
Shuzo Kawamura
Nobuo Myaji
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Hokushin Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Hokushin Electric Corp filed Critical Yokogawa Hokushin Electric Corp
Priority to JP1180181A priority Critical patent/JPS57125837A/ja
Publication of JPS57125837A publication Critical patent/JPS57125837A/ja
Publication of JPS6140341B2 publication Critical patent/JPS6140341B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/14Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
    • G01N27/18Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被測定ガスが有する熱伝導度を利用
して、ガス分析を行う装置の検出器に関し、さら
に詳しくは、高速ガスクロマトグラフの検出器と
して最適な半拡散形の熱伝導度形検出器に関す
る。
第1図は、従来のガスクロマトグラフの半拡散
形の熱伝導度形検出器の構成説明図である。検出
器は、金属ブロツク25に形成して成る測定室
(測定ガスを満たした室)26及び27内に設置
するフイルラメント28及び29と、これと同一
構成の基準室(キヤリヤガスを満たした室)内に
設置しするフイルラメント(図示せず)とでホイ
ートストンブリツジを構成するようになつてい
る。
ところで、このような検出器は、できるだけ小
形、即ち、測定室26及び27の内容積が小さい
方が、応答性を高めることができるので望まし
い。しかしながら、フイルラメント28及び29
に所定の抵抗値をもたせようとすると、その形状
が大きくなり、どうしても測定室の内容積が大き
くならざるを得ないのが実状である。また、フイ
ルラメント28及じ29を金属ブロツク25で形
成する測定値26及び27に設置しているので、
断線時の交換作業が難しく、時には、検出器全体
を交換することになり、保守コストを高める点に
難点があつた。
本発明は、かかる点り鑑みてなされたものであ
り、本発明は、測定室の内容積を小さく、かつ、
フイルラメントの交換を容易にするために、板面
に貫通穴を形成し、その貫通穴に橋絡状に設置し
て成る抵抗体を有する基板を用いて検出器を構成
するようになつている。
以下、図面を参照し本発明について詳しく説明
する。
第2図〜第4図は、本発明の一実施例によるガ
スクロマトグラフの検出器の構成説明図であり、
第2図は、基板1の斜視図、第3図は、第2図の
A―A断面図、第4図は、検出器の縦断面図であ
る。第2図及び第3図において、基板1は、その
板面に形成して成る貫通穴2,3,4及び5と、
貫通穴3及び5夫々に橋絡状に設置して成る櫛の
歯状の抵抗抗体6及び7とを有する。そして、抵
抗体6及び7の各端部8及び9並びに10及び1
1は、基板1の端部にて、他の抵抗体や回路に接
続し得るようになつている。
次に、上記基板1を用いて構成した検出器につ
いて第4図を参照して説明する。
検出器は、2個の基板1及び基板1に略合同な
形状、即ち、板面に貫通穴13,14,15及び
16を形成して成るスペーサ12(抵抗体を有せ
ず)を有し、貫通穴2と13,3と14、4と1
5、5と16とを夫々一致させて一体化すると共
に、抵抵抗体6と7とでホイートストンブリツジ
を構成して成るセンサブロツクと、板面に、貫通
穴4及び5夫々に対応する位置に貫通穴19及び
20を形成すると共に、センサブロツクに接合す
る面に、貫通穴2,3及び19夫々に連通する流
路18を形成して成る側板17と、板面に、貫通
穴2及び5夫々に対応する位置に貫通穴22及び
24を形成すると共に、センサブロツクに接合す
る面に、貫通穴3,4及び22夫々連通する流路
23を形成して成る側板21と、センサブロツク
のホイートストンブリツジに電力をを供給する電
源(図示せず)とで構成されている。
なお、センサブロツクと側板との一体化は、公
知の手段、例えば、接着剤、ボルト・ナツト(こ
の場合、ボルト貫通用の穴を板面に設ける必要が
ある)等を用いてなされる。
上記の検出器は、貫通穴19→流路18→貫通
穴2→貫通穴13→貫通穴2→貫通穴22で形成
する流路及び貫通穴19→貫通穴4→貫通穴15
→貫通穴4→流路23→貫通穴22で形成する流
路に被測定ガスFmを流しながら、貫通穴3及び
14で形成する測定室に被測定ガスを満たすと共
に、貫通穴5,16,20及び24で形成する基
準室にキヤリヤガスFrを流して、ガスクロマト
グラフの検出器として機能する。
このように、検出器はセンサブロツクの測定室
を、基板1及びスペーサ12の板面に形成した貫
通穴3及び14で構成しているので、測定室の内
容積を小さくすることができる。また、ボルト・
ナツトを用いて一体化した検出器は、その解体が
容易になので、抵抗体や基板の交換が簡単で、保
守性に優れている。
なお、上記実施例は、ガスクロマトグラフの検
出器について説明したが、本発明はこれに限定す
るものではなく、他の分析計、例えば、H2計、
O2計,CO2計等の検出器であつてもよい。
また、上記実施例は、スペーサを介在して2個
の基板を一体化しているが、本発明はスペーサを
必ずしも必要としない。抵抗体が設置されていな
い板面同士を合わせて、2個の基板を一体化し、
測定室及び基準室を形成してもよい。
さらに、側板17及び21は上記実施例に限定
するものではない。要は、側板17はセンサブロ
ツクの一方の面にて、貫通穴4に連結すると共
に、貫通穴2及び3に連結する流路を構成してい
ればよく、側板21はセンサブロツクの他方の面
にて、貫通穴2に連結すると共に、貫通穴3及び
4に連通する流路を構成していればよい。
さらに、上記実施例は、櫛の歯状の抵抗体を用
いているが、本発明はこれに限定するものではな
く、渦巻状の抵抗体であつてもよい。
以上、詳しく説明したように、本発明の熱伝導
度形検出器によれば、板面に貫通穴を形成し、そ
の貫通穴に橋絡状に設置する抵抗体を有する基板
で測定室を構成すようになつているので、測定室
の内容積を小さくすることができ、また、抵抗体
を簡単に交換することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の半拡散形の熱伝導度形検出器
の構成説明図、第2図は、本発明の一実施例によ
る熱伝導度形検出器を構成するエレメント(基
板)の構成説明図、第3図は、第2図のA―A断
面図、第4図は、本発明の一実施例による熱伝導
度計検出器の構成説明図である。 1……基板、2,3,4及び5……貫通穴、6
及び7……抵抗体、12……スペーーサ、17及
び21……側板、19,20,22及び24……
貫通穴、18及び23……流路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 板面に、第1,第2,第3及び第4の貫通穴
    を形成し、該第2及び第4の貫通穴夫々に橋絡状
    に設置して成る抵抗体を有する第1及び第2の基
    板から成り、該第1及び第2の基板の同一番号の
    貫通穴同士を合わせて一体化するとともに、前記
    各抵抗体でホイーストンブリツジを構成して成る
    センサブロツクの一方の面にて、前記基板の第3
    の貫通穴に連結すると共に、第1及び第2の貫通
    穴に連通する第1の流路と、前記センサブロツク
    の他方の面にて、前記基板の第1の貫通穴に連結
    すると共に、第2及び第3の貫通穴に連通する第
    2の流路と、前記ホイートストンブリツジに印荷
    する電源とを具備し、前記第1の流路からの第2
    の流路へ、又は、その逆方向へ測定ガスを流すと
    共に、前記第4の貫通穴を含む室に基準ガスを流
    すか、封じ込んで、前記ホイーストンブリツジの
    出力を測定信号とすることを特徴とする熱伝導度
    形検出器。 2 前記基板の第1及び第4の貫通穴夫々に対応
    する位置を貫通して測定ガス流入口及び基準ガス
    流入口を形成すると共に前記センサブロツクに接
    合する面で前記基板の第2及び第3の貫通穴並び
    に前記測定ガス流入口に夫々連通する流路を形成
    する側板を、前記センサブロツクの他方の面に接
    合・固着して、前記第1の流路が形成されている
    特許請求範囲第1項記載の熱伝導度形検出器。 3 前記基板の第3及び第4の貫通穴夫々に対応
    する位置を貫通して測定ガス流入口及び基準ガス
    流入口を形成すると共に前記センサブロツクに接
    合する面に前記基板の第1及び第2の貫通穴並び
    に前記測定ガス流入口夫々に連通する流路を形成
    する側板を、前記センサブロツクの一方の面に接
    合・固着して、前記第2の流路が形成されている
    特許請求の範囲第1項記載の熱伝導度形検出器。
JP1180181A 1981-01-29 1981-01-29 Heat conductivity type detector Granted JPS57125837A (en)

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