JPS6140138U - プラズマ処理終点検出装置 - Google Patents

プラズマ処理終点検出装置

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JPS6140138U
JPS6140138U JP12411784U JP12411784U JPS6140138U JP S6140138 U JPS6140138 U JP S6140138U JP 12411784 U JP12411784 U JP 12411784U JP 12411784 U JP12411784 U JP 12411784U JP S6140138 U JPS6140138 U JP S6140138U
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JP
Japan
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emission intensity
plasma
end point
detection device
point detection
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Pending
Application number
JP12411784U
Other languages
English (en)
Inventor
之雄 星
Original Assignee
東京エレクトロン相模株式会社
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Publication date
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  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本願考案によるプラズマ処理終点検出器の１実
施例を示す概略回路図、第２図はプラズマ処理の進行に
ともなって変化する第１発光強度検出器への入力発光強
度の状態を示すグラフ図、第３図はプラズマ処理の進行
にともなって変化プラズマ発光強度の状態を示すグラフ
図である。 １・・・・・・プラズマ反応管、２・・・・・・赤外線
ランプ、３・・・・・・被処理ウエハー、４・・・・・
・上部電極、５・・・・・・−下部電極、６・・・・・
・第１の発光強度検出器、７・・・・・・第２の発光強
度検出器、８・・・・・・差動増幅器、９・・・・・・
計算機。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. プラズマ装置の外側に赤外線ランプを設けてプラズマ装
    置の内部を照射するようにしたプラズマ装置において、
    プラズマ装置内におけるプラズマ発光強度と赤外線ラン
    プの発光強度とが重畳された光を検出する第１の発光強
    度検出器と、赤外線ランプの発光強度のみを検出する第
    ２の発光強度検出器とを設け、前記第１と第２の発光強
    度検出器の出力を差動増幅器に入力し、該差動増幅器の
    出力を計算機に入力して前記プラズマ装置におけるプラ
    ズマ処理の終点を検出するよう構成したことを特徴とす
    るプラズマ処理終点検出装置。
JP12411784U 1984-08-14 1984-08-14 プラズマ処理終点検出装置 Pending JPS6140138U (ja)

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JP12411784U JPS6140138U (ja) 1984-08-14 1984-08-14 プラズマ処理終点検出装置

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Family

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53100287A (en) * 1977-02-15 1978-09-01 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk Flame sensing method
JPS5515083U (ja) * 1978-07-19 1980-01-30
JPS5627639A (en) * 1979-08-15 1981-03-18 Hitachi Ltd Plasma monitor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53100287A (en) * 1977-02-15 1978-09-01 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk Flame sensing method
JPS5515083U (ja) * 1978-07-19 1980-01-30
JPS5627639A (en) * 1979-08-15 1981-03-18 Hitachi Ltd Plasma monitor

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