JPS6141128B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、それぞれ２本の上方及び２本の下方
の、スリツトを設けられた、平行に相互に延びて
いる棒から成立つており、この場合、両方の上方
の棒の相互の間隔が両方の下方の棒に相互の間隔
よりもよりきく、また、４本の棒がそれらの端部
の領域において不動に保持されており、多数の半
導体円板が、それらの縁領域がスリツトの中に突
出するようになつている半導体中板のための石英
ガラス製の担体囲いに関するものである。

前述の特徴を有している担体囲いは、英国特許
第1436503号から公知である。これらの担体囲い
は、実用的に有効であることが実証されている。

本発明の課題は、高価な石英ガラスの使用を節
減の下に、半導体円板を装荷された囲いの確実な
取いを保証し、また、半導体円板の合成樹脂囲い
から石英ガラス囲いの上への速やかな移し換えを
確実にする、簡単に製造されることのできる担体
囲いを得るということにある。その上に、この担
体囲いの応用範囲を拡張することにも、あるもの
である。

この頭初に述べられた種類の担体囲いに対する
課題は、本発明によると、支持体がそれぞれ１本
の石英ガラス管から成立つており、このラス管が
棒に対して横方向に上方及び下方に棒の間に配置
されると共にこれらに融合されることによつて解
決される。

本発明による担体囲いの他の有利な特長が、
「特許請求の範囲」第２項以下に与えられてい
る。

以下、本発明を、その実施例を示す添附図面に
基づいて詳細に説明する。

第１図に示す担体囲いは、６個の構成部材、す
なわち、両方の上方の棒１と、両方の下方の棒２
と、棒１と棒２との間に、それらの端部領域の中
において配置された２個の石英ガラス管３とから
成立つており、これらのガラス管３は、それぞ
れ、上方及び下方の棒１及２に、場所４において
融合されている。棒１及び２は、石英ガラスから
成立つており、また、同じ幅のスリツト７から設
けられており、それらの中に、担体囲いにより支
持される半導体円板の縁領域が突出するようにな
つている。第１図から分かるように、石英ガラス
管３の端部は、下方に斜めに切断されている。な
お、この斜めの切断は、担体囲いが、大抵は円形
炉の形式である熱処理炉の中へ挿入される時に、
その挿入作業を容易とさせることを考慮している
ものである。棒１、２に対して横方向に配置さて
いる石英ガラス管３は装荷された、又は、荷を解
放された担体囲いが保持され且つ輸送されること
のできるフオーク状の取扱い具の歯６を受取るの
に役立つものである。その上、上方の棒１の端部
には、貫通された穴５が設けられており、それら
の穴５は、合成樹脂製担体囲いから、本発明によ
る担体囲いの上への半導体円板の移し換え及びそ
の逆の移し換えの際における位置めの助手段とし
て役立つものである。すなわち、合成樹脂製担体
囲いには、本発明による担体囲いの石英ガラス管
３に設けられれた穴５に対応する位置に突起が設
けられており、両担体囲いの間における半導体円
板の移し換えの際に、前者の突起が後者の穴５の
中に突出するようにすることにより、両方の担体
囲いの間における保持する確実とさせるようにす
ることを、意図しているものである。

第２図に示された本発明による担体囲いの実施
例は、第１図に示されたものとは、上方及び下方
の棒１及び２が、それぞれの棒１，２の端部から
あらかじめ与えられた間隔に、スリツトの無い領
域８を有しており且つこれらの領域のそれぞれ
が、棒１及び２に対して横方向に且つこれらの間
に配置された石英ガラス製の追加の保持管９によ
つて融合されている点において相違している。こ
れによつて、その長さが、単位の担体囲いの２倍
又は４倍（４倍の場合には、より多数の追加の保
持管があらかじめ与えられた間隔に相互に配置さ
れている）である担体囲いが作られることができ
る。

第１及び第２図において使用されている同じ幅
のスリツト７を有している棒１及び２の代わり
に、第３図に示す実施例に示されるような棒１０
も、また、使用されることもできる。この棒１０
は、棒１及び２と違して、同じ幅のスリツト７及
びその幅がスリツト７の幅よりもより大きいスリ
ツト１１を有している。スリツト１１は、周期的
に繰返される間隔１２で棒１０の中に設けられて
いる。これらのスリツト１１は、板状、又は、他
のように形成されたドープ剤源の受取りに役立
ち、一方、スリツト７は、この場合にも、半導体
円板の受取りのために役立つものである。このよ
うに形成された棒１０を有している担体囲いは、
固体元素源の助けによるドープ方法の実施のため
に使用されるが、第１及び第２図に示す棒１及び
２を有する担体囲いは、酸化過程及び温度過程の
ような半導体円板に対する他の処理方法並びにガ
スからのドープに対して使用される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施列の斜視図、第２図は
他の実施例の斜視図、第３図は、スリツトを設け
らた棒の１実施例の正面図である。 １，２……石英ガラス棒、３……石英ガラス
管、７，１１……スリツト、９……追加の支持
管、１０……石英ガラス棒。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ それぞれ、２本の上方及び２本の下方の、ス
   リツトを設けられた、平行に相互に延びている棒
   から成り立つており、この場合、両方の上方の棒
   の相互の間隔が、両方の棒の相互の間隔よりもよ
   り大きく、また、４本の棒が、それらの端部の領
   域において支持体により不動に保持されており、
   多数の半導体円板が、それらの縁領域がスリツト
   の中に突出するようになつている半導体円板に対
   する石英ガラス製の担体囲いにおいて、支持体
   が、棒の各端部領域内において上方及び下方の棒
   の間に棒に対して横方向に配置され且つこれらに
   融合されている各１個の石英ガラス管から成り立
   つていることを特徴とする担体囲い。 ２ すべての棒が、棒の端部からある与えられた
   間隔にスリツトの無い領域を有しており、また、
   上方の棒及び下方の棒の間に配置された石英ガラ
   ス製の追加の保持管が、スリツトの無い領域にお
   いて上方及び下方の棒に融合されている特許請求
   の範囲第１項記載の担体囲い。 ３ 石英ガラス管及び追加の保持管の端部が、下
   方に斜めに切断されている特許請求の範囲第１又
   は２項記載の担体囲い。 ４ 両方の上方の棒が、それらの端部領域の中
   に、それぞれ、貫通孔を有している特許請の範囲
   第１、２又は３項記載の担体囲い。 ５ すべての棒が、周期的に繰り返される間隔
   に、半導体円板に対するスリツトよりもより大き
   な幅を有しているスリツトを有している特許請求
   の範囲第１項〜４項のいずれかに記載の担体囲
   い。