JPS6141232Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 考案の技術分野 本考案は集積回路測定装置において、従来プロ
ーブカードによつてのみ固定されたプローブニー
ドルを、更に他の支持体に固定して成る当該測定
装置の改良に関する。

(2) 技術の背景 半導体装置の製造工程において、半導体ウエハ
を処理してウエハに多数の半導体デバイスを形成
し、これら各デバイスを個々に切断してそれぞれ
のチツプが形成される。かかるウエハの切断に先
立つて、各デバイスについて電気的試験がなされ
る。

かかる試験に用いられるプローブカードは第１
図にその背面図が示される。同図において、１は
例えば12cm×10cm程度の大きさのプローブカー
ド、２はリング状に形成された例えば樹脂製のプ
ローブニードル固定体、３はプローブニードルを
示す。プローブカードは印刷回路板で（印刷回路
は図示せず）、プローブニードルの一端は印刷回
路にハンダ付けされ、印刷回路は端子４を経てテ
スターに接続されている。

かかるプローブカード１の配置は側断面図で第
２図に示される。なお第２図以下において既に図
示したものと同じ部分は同じ符号を付して示す。
同図において５はステージ６上に配置されたウエ
ハを示す。測定において、ステージ６が上昇して
ウエハ５のあるデバイス部分７（これは後の工程
でチツプとなる部分であるので、以下にはチツプ
と略記する）のパツドをプローブニードル３と接
触させて測定を行う。なお第２図には２本のプロ
ーブニードルしか示されないが実際には更に多く
のプローブニードルが用いられる。測定が終ると
ステージ６が下り、一方向に動き、再度上昇して
次のチツプをプローブニードルと接触させる。

(3) 従来技術と問題点 従来は１個のプローブカードに８〜16本のプロ
ーブニードルが配置されていた。例えば16本のプ
ローブニードルの場合、プローブカードの１側に
４本のプローブニードルを配置すれば足りた。と
ころが、集積回路の高密化が進むにつれて、60本
近くのプローブニードルが用いられるようになつ
てきた。

このような状況の下で、ウエハの端縁部分のチ
ツプについては、プローブニードルでパツドと接
触するものと接触しないものが出るようになつ
た。またプローブニードルのあるものは先端部分
が延びて、すべてのプローブニードルが均一な圧
力でパツドと接触しないこともある。更に、第１
図に３′で示すプローブニードルのように、配置
の関係で特に長く曲げて形成しなければならぬも
のもある。このことは、プローブニードルのすべ
ての先端部分を均等な関係で配置しようとする
と、プローブカードのある１側に他の部分よりよ
り多くのプローブニードルが配置された場合、い
くつかのニードル３′を図示の如く配置しなけれ
ばならぬこともあるからやむを得ない。そうする
と、パツドに加わる圧力が均一でなくなり、測定
に悪影響を与えることになる。またプローブニー
ドルの針先がすべり、傷跡を大きくしパツドとの
接触が悪くなることもある。このような問題は、
前記したように集積回路の高密化が進み、各チツ
プ当りの試験項目が増大するにつれて一層悪化す
ることになる。

(4) 考案の目的 本考案は上記従来の欠点に鑑み、集積回路の測
定装置において、プローブカードに配置されるプ
ローブニードルの数が多い場合でも、これらプロ
ーブニードルの針先がすべて均等な圧力で正確に
チツプのパツドと接触する装置を提供することを
目的とする。

(5) 考案の構成 そしてこの目的は本考案によれば、複数のプロ
ーブニードルをプローブカードに取り付けた固定
体に固定し当該プローブニードルの針先を半導体
ウエハに形成されたデバイスに設けられたパツド
と接触せしめて集積回路の測定をなす装置におい
て、前記プローブカードに固定されたプローブニ
ードルを前記プローブカードに取り付けた固定体
から針先側に離れた位置で該プローブニードルの
針先から等距離にある所において、各プローブニ
ードルに対して連結する、プローブ固定体とは別
体で、かつ、遊離した支持体を設けてなる集積回
路測定装置とすることによつて達成される。

(6) 考案の実施例 以下本考案実施例を図面によつて詳述する。

第３図と第４図は本考案実施例である集積回路
測定装置の第１図と第２図に類似の図である。こ
の実施例において、プローブカード１、固定体
２、プローブニードル３は従来のものと同じであ
り、端子４、ウエハ５、ステージ６、チツプ７は
省略してある。この実施例では、従来の固定体２
に加えて、剛性のある例えば樹脂材料でリング状
に形成した支持体８を用意する。従来技術の場合
と同様にプローブカード１に取り付けた固定体２
によつて固定された各プローブニードル３の先端
部分は、再度支持体８に例えば接着剤により固定
され、しかる後先端部分は従来の如く適宜曲げら
れてその針先がチツプのパツドと接触するように
する。その結果、プローブニードル３のそれぞれ
の固定体２までの長さが不揃いであつたとして
も、固定体２から支持体８までの各プローブニー
ドル３の長さは均一になるから、各針先には均一
な圧力がかかることになり、それはすべてチツプ
のパツドと均一な圧力で接触するから、測定の正
確さが保証されることになる。

なお上記の実施例は、プローブカードの形状が
矩形の場合について説明したが、プローブカード
形状が円形の場合であつても本考案は実施し得る
ものであつて、支持体の形状および機能は全く変
るところがない。

(7) 考案の効果 以上、詳細に説明したように、本考案にかかる
集積回路測定装置においては、支持体８を設ける
ことにより、プローブニードルの数が増大して
も、その針先が均等な圧力でチツプのパツドと接
触することを確実にするので、集積回路測定作業
の能率と信頼性を向上せしめるに効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のプローブカードの背面図、第２
図は第１図のプローブカードを用いる従来の集積
回路測定装置の側断面図、第３図と第４図は本考
案実施例の第１図と第２図に類似の図である。 １……プローブカード、２……固定体、３，
３′……プローブニードル、４……端子、５……
ウエハ、６……ステージ、７……チツプ、８……
支持体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数のプローブニードルをプローブカードに取
   り付けた固定体に固定し、当該プローブニードル
   の針先を半導体ウエハに形成されたデバイスに設
   けられたパツドと接触せしめて集積回路の測定を
   なす装置において、前記プローブカードに固定さ
   れたプローブニードルを前記プローブカードに取
   り付けた固定体から針先側に離れた位置で該プロ
   ーブニードルの針先から等距離にある所において
   各プローブニードルに対して連結する、プローブ
   固定体とは別体で且つ遊離した支持体を設けてな
   ることを特徴とする集積回路測定装置。