JPS6141233Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はウエハ状での半導体素子の電気的特
性を測定するプロービングマシンにおいて、ウエ
ハを吸着した状態における吸着テーブルの位置決
め回転角度を小さくすることによつて吸着テーブ
ルとテスタとを結ぶリード線を極力短くすること
を可能としたウエハ搬送装置に関するものであ
る。

以下図面に従つて本考案の一実施例を説明す
る。第１図はウエハの形状を示すもので、ウエハ
１には方向を規定するためのオリエンテーシヨン
フラツトと通称される基準辺２が設けられてい
る。

第２図はプロービングマシンの概要を説明する
ための平面図で、カセツト３に多数枚収容されて
いる測定前のウエハ１は１枚ずつ搬送ベルト４に
導かれて図の矢印に沿つて搬送されてプリアライ
メント装置５に供給される。プリアライメント装
置５においては、カセツト３から任意な方向をも
つて供給されてきたウエハ１を図の点線で示すよ
うに一定方向に揃え、つまりオリエンテーシヨン
フラツト２を基準板６に接触させた状態で位置決
めされる。

このプリアライメント装置５の機構については
本願出願人に係る特公昭56−34092号公報「ウエ
ハの位置決め装置」に詳細に記載されているので
ここでは、その構造の説明は省略する。

プリアライメント装置５において位置決めされ
たウエハ１はＸ方向に移動可能なウエハ吸着装置
７によつてＡ位置において吸着され、Ｂ位置へ移
動される。Ｂ位置にはウエハ吸着装置７の真下の
位置にＸ−Ｙテーブル８上に固定された吸着テー
ブル９が待機しており、ウエハ吸着装置７から解
放されたウエハを吸着テーブル９上に真空吸着す
るようになつている。なお図においては関係位置
を明確にするために吸着テーブル９はウエハ吸着
装置７の真下にはなくＹ方向に移動した状態で示
されている。

吸着テーブル９上に固定されたウエハはＸ−Ｙ
テーブル８によつて測定エリアであるＣ位置にま
で移動され、図示しないテスターとの接続により
半導体素子の良、不良の測定が行なわれ、不良素
子にはマークが付される。全素子の測定が終了す
ると吸着テーブル９はウエハを載置した状態でＤ
位置まで移動される。Ｄ位置にはＸ方向に移動可
能なウエハ吸着装置１０が吸着テーブル９の真上
に待機しており、測定を完了したウエハを吸着し
ついでＥ位置にまで移動された後解放する。解放
されたウエハ１は搬送ベルト１１によつて図の矢
印に沿つて搬送されウエハ収納カセツト１２に収
容されて測定を完了する。

なお、Ｅ位置から搬送ベルト１１によつてウエ
ハ１を収納カセツト１２に収納する中間位置例え
ば点線で示す１３の位置において、不良素子に付
されたマークを乾燥させるための機構を設け、次
のウエハをＣ位置において測定している間に不良
マークの乾燥を行うようにすることも適宜可能で
ある。

このような構造を有するプロービングマシンに
おいて、Ｃ位置において半導体素子の電気的特性
を測定する場合のウエハの位置決め方向は必ずし
もＡ位置におけるプリアライメント装置５によつ
て位置決めされた方向とは限らない。つまりプリ
アライメント装置５においてはオリエンテーシヨ
ンフラツト２は図において左方向に位置するが、
測定位置Ｃにおいては測定針の電極位置に合せて
オリエンテーシヨンフラツト２を図の上方90゜位
置、右方向180゜位置あるいは下方270゜位置に位
置させて測定しなければならない場合がある。

そこで従来はＢ位置において吸着テーブル９が
ウエハ吸着装置７からウエハを受け取つた段階で
指令によつて吸着テーブル９を90゜，180゜ある
いは270゜等大きく回転させ、次いで測定位置Ｃ
へ移動させるという方式が採られていた。

従つて吸着テーブル９とテスターとを接続する
リード線は吸着テーブル９の大きな回転を許容す
るために長くせざるを得なかつたが、リード線が
長いと半導体素子の電気的特性の測定、特に高周
波領域の測定においては線路インピーダンスが増
加し、これが測定の誤差要因となつていた。ま
た、リード線が長いと吸着テーブル９の回転に際
しリード線が巻き付いたりあるいは断線したりす
るという事故も生じていた。

そこで従来の他の方法として吸着テーブル９の
側面に電極接点を接触させて摺動させることによ
つてリード線を短かくすることも考えられている
が、接触抵抗が一定しないとか、あるいは接点が
摩耗する等の欠点があつた。

この考案は上記従来装置の欠点を解決し、ウエ
ハ吸着装置７を所望角度回転可能に構成すること
によつて、吸着テーブル９は微小角度だけ回転を
行なえばよいようにしてリード線を極力短くした
ことを特徴とするウエハ搬送装置を提供するもの
である。

第３図は第２図の−線の拡大断面図であ
る。図において１４は指令によつて所定角度回転
可能なパルスモータ、１５は前記パルスモータ１
４の軸に固定された回転軸、１６は前記パルスモ
ータ１４の下部に取付けられて前記回転軸１５を
軸支する支持部材、１７は前記回転軸下端に固定
されたノズル部、１８は同じく前記回転軸下端に
固定された円錐状吸着板、１９は前記支持部材１
６に連結され、ウエハ吸着装置７全体を保持する
アームを示す。前記アーム１９には圧縮空気を供
給するための中空孔２０が、また前記回転軸１５
にも前記中空孔２０と連通する中空孔２１が設け
られている。また前記ノズル部１７には供給され
てきた圧縮空気を放射状に噴出するための複数の
小孔２２，２３………が開けられている。

こうして圧縮空気を中空孔２０，２１を通して
小孔２２，２３………から連続して噴出させると
円錐状吸着板１８の内部には負圧を生じ、その作
用によつてウエハ１が吸着され、圧縮空気の供給
を停止するとウエハ１は解放されるよう構成され
ている。

このような構成を有する本考案において、測定
位置Ｃにおいて測定されるウエハ１の位置決め方
向をプリアライメント装置５において位置決めさ
れた方向に対し、90゜，180゜，270゜等大きく変
えなければならない場合においては、ウエハ吸着
装置７がＡ位置においてウエハ１を吸着し、Ｂ位
置へ搬送する間において指令に従つてパルスモー
タ１４を所定角度回転させてその方向を変える。
こうして後吸着テーブル９に真空吸着されたウエ
ハ１は測定方向と一致しているため吸着テーブル
９を回転することなく測定位置Ｃに搬送されて所
定の測定が行なわれる。なお測定針と素子の電極
とを合せるためのさらに精密な位置決めを測定位
置ＣあるいはＢ位置と測定位置Ｃとの間の適宜な
位置で行うために吸着テーブル９を回転させるが
この場合の回転は微小角度であるため、テスター
との接続リード線をそのために特別長くする必要
はない。

以上詳述したように本考案のウエハ搬送装置に
よれば、吸着テーブルを大きく回転させる必要が
ないため吸着テーブルとテスターとを接続するリ
ード線は極力短くすることができ、従つて半導体
素子の電気的諸特性の測定を信頼性高く行うこと
ができ、またリード線が吸着テーブルに巻きつく
とかあるいは断線する等の事故も生ぜず、有益な
装置を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハの形状を表わす平面図、第２図
は本考案の平面図、第３図は第２図の−線断
面図。 １……ウエハ、２……基準辺、５……プリアラ
イメント装置、７……ウエハ吸着装置、９……吸
着テーブル、１４……モータ、１５……回転軸、
１７……ノズル部、１８……円錐状吸着板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハをその基準辺による位置決め位置から吸
   着テーブルまで搬送するウエハ吸着装置を備えた
   ウエハ搬送装置において、該吸着装置のウエハ吸
   着板を、ウエハを吸着した状態で所定角度回転さ
   せるべく該吸着装置に設けたパルスモータの回転
   軸に連結固定してなるウエハ搬送装置。