JPS6141256U - マスク基板の洗浄装置 - Google Patents

マスク基板の洗浄装置

Info

Publication number
JPS6141256U
JPS6141256U JP1984125314U JP12531484U JPS6141256U JP S6141256 U JPS6141256 U JP S6141256U JP 1984125314 U JP1984125314 U JP 1984125314U JP 12531484 U JP12531484 U JP 12531484U JP S6141256 U JPS6141256 U JP S6141256U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask substrate
substrate cleaning
cleaning equipment
cleaning
cleaning device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1984125314U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS638904Y2 (ja
Inventor
賢吾 矢野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP1984125314U priority Critical patent/JPS6141256U/ja
Publication of JPS6141256U publication Critical patent/JPS6141256U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS638904Y2 publication Critical patent/JPS638904Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案のマスク基板の洗浄装置の一実施例を
示す一部断面側面図、第２図は上記装置の異物付着防止
板を取出して示す斜視図、第３図は従来のマスク基板の
洗浄装置を示し、ａは一部断面側面図、ｂは要部の平面
図、第４図ａ， ｂは従来およびこの考案の一実施例の
装置で各々マスク基板を洗浄した後、マスク基板表面の
異物を調べた結果を示す図である。 １１・・・洗浄容器、１２・・・回転装置、１３・・・
チャック、１４・・・ノズル、１５・・・高圧水発生機
、１６・・・マスク基板、１７・・・異物付着防止板、
１８・・・高圧水。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マスク基板を回転させながら高圧水をマスク基板に噴射
    してマスク基板を洗浄するマスク基板の洗浄装置におい
    て、マスク基板の表面を洗浄した後、裏面を洗浄する際
    に、表面をマスク基板側に位置させてそのマスク基板の
    表面に密着される表面凹状の異物付着防止板を有するこ
    とを特徴とするマスク基板の洗浄装置。
JP1984125314U 1984-08-20 1984-08-20 マスク基板の洗浄装置 Granted JPS6141256U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984125314U JPS6141256U (ja) 1984-08-20 1984-08-20 マスク基板の洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984125314U JPS6141256U (ja) 1984-08-20 1984-08-20 マスク基板の洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6141256U true JPS6141256U (ja) 1986-03-15
JPS638904Y2 JPS638904Y2 (ja) 1988-03-16

Family

ID=30684003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1984125314U Granted JPS6141256U (ja) 1984-08-20 1984-08-20 マスク基板の洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6141256U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS638904Y2 (ja) 1988-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS585039U (ja) 自動現像機用水洗装置
JPS6232533U (ja)
JPS59128976U (ja) 弁装置
JPS638904Y2 (ja)
JPS60194335U (ja) スクラパ−装置
JPS5838304U (ja) ロ−ル冷却装置
JPS60168462U (ja) 焼肉用鉄板の洗浄装置
JPH03106446U (ja)
JPS5855749U (ja) 自動清掃装置
JPS59131275U (ja) レジスト塗布装置
JPS6188235U (ja)
JPS5833263U (ja) エツチングプロセサ−
JPS5981692U (ja) 船底クリ−ナ
JPS5813803U (ja) 熱間圧延用水平上ロ−ルの冷却水水切り装置
JPS59166886U (ja) 洗浄装置
JPS6025141U (ja) 洗浄ノズル
JPS61886U (ja) 洗浄装置
JPS6036360U (ja) ワイパ装置
JPS60161559U (ja) 湿式脱スケ−ル装置
JPS59119379U (ja) 洗浄機の液抜き装置
JPS5829671U (ja) 局部洗浄装置のノズル構造
JPS60168942U (ja) 印刷シリンダの洗浄装置
JPS58105889U (ja) 長ねぎの皮剥機
JPS603153U (ja) 泥土除去装置
JPS60194994U (ja) ねぎ皮剥機における光センサ清掃装置