JPS6141527U - 垂直層流型クリンル−ム - Google Patents

垂直層流型クリンル−ム

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Publication number
JPS6141527U
JPS6141527U JP12572984U JP12572984U JPS6141527U JP S6141527 U JPS6141527 U JP S6141527U JP 12572984 U JP12572984 U JP 12572984U JP 12572984 U JP12572984 U JP 12572984U JP S6141527 U JPS6141527 U JP S6141527U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean room
chamber
ceiling
ventilation
rethane
Prior art date
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Pending
Application number
JP12572984U
Other languages
English (en)
Inventor
治郎 柿崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Takenaka Corp
Original Assignee
Takenaka Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Takenaka Corp filed Critical Takenaka Corp
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  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の構成を示す断面図、第２図乃至第５
図は、それぞれ要部の実施例を示す断面図、第６図、第
７図は、それぞれ従来例示す断面図である。 １・・・躯体、２・・・クリンルーム、３・・・天井チ
ャンバ、４・・・レタンチャンバ、５・・・フィルタ天
井、６・・・通風床、７・・・格子状粱、８・・・プレ
フィルタ、９・・・仕切壁、１０・・・レタンチャンバ
、１１・・・外気導入ダクト、１２・・・送風ダクト、
１３・・・レタンロ、２１４・・・通風量調整装置、１
５・・・通風量センサ、１６・・・制御装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリンルーム２の上に天井チャンバ３を、且つ、下にレ
    タンチャンバ４を有し、フィルタ天井５及び通風床６を
    備えて、清浄空気を天井チャンバ３からクリンルーム２
    へ、そして、レタンチャンバ４へと送る層流型クリンル
    ームにおいて、天井フィルタ５の直上の平面全域を複数
    のブロックに区分して、各ブロックにそれぞれ通風量調
    整装置１４・・・を配備する共に、通風量センサ１５・
    ・・を設け、また、それらの通風量センサから検出出力
    を受けてそれらの通風量調整装置を通風量が均等となる
    ようフィードバック制御する制御装置１６を設けたこと
    を特徴とする垂直層流型クリンルーム。
JP12572984U 1984-08-17 1984-08-17 垂直層流型クリンル−ム Pending JPS6141527U (ja)

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JP12572984U JPS6141527U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 垂直層流型クリンル−ム

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JP12572984U JPS6141527U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 垂直層流型クリンル−ム

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JPS6141527U true JPS6141527U (ja) 1986-03-17

Family

ID=30684423

Family Applications (1)

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JP12572984U Pending JPS6141527U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 垂直層流型クリンル−ム

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5714727B2 (ja) * 1978-07-17 1982-03-26

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5714727B2 (ja) * 1978-07-17 1982-03-26

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