JPS6141907A - 工作物表面形状測定方法 - Google Patents
工作物表面形状測定方法Info
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- JPS6141907A JPS6141907A JP16415384A JP16415384A JPS6141907A JP S6141907 A JPS6141907 A JP S6141907A JP 16415384 A JP16415384 A JP 16415384A JP 16415384 A JP16415384 A JP 16415384A JP S6141907 A JPS6141907 A JP S6141907A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は切削加工において、工作物上に示されろ表面形
状の周期的凹凸の周期を光学的に検出する工作物表面形
状測定方法に関するものである。
状の周期的凹凸の周期を光学的に検出する工作物表面形
状測定方法に関するものである。
従来より工作物上（と示される表面形状の凹凸の周期成
分を求めろ方法として、工作物表面形状を測定して、そ
の形状信号から求めろ方法が種々提案されている。
分を求めろ方法として、工作物表面形状を測定して、そ
の形状信号から求めろ方法が種々提案されている。
この中の主な方法ｆ、【触＃を楚検出Ｕで工作物表面の
断面形状を測定して、その電気的出力信号を計算機シス
テムで周波数シ）析して表面の周期的成分を求める方法
である。
断面形状を測定して、その電気的出力信号を計算機シス
テムで周波数シ）析して表面の周期的成分を求める方法
である。
このようなｕｎｔｉｌノステムを用いて周ｔ１敬分析す
る方法は加工現場で而Ｉｌｌに工作物表面形状の周期的
成分を求めて工作物の良否の判定に使用するには計算機
システムがｒＥ価なため不適当である。
る方法は加工現場で而Ｉｌｌに工作物表面形状の周期的
成分を求めて工作物の良否の判定に使用するには計算機
システムがｒＥ価なため不適当である。
上記に鑑み本発１ｖ１は工作物表面形状の凹凸の周期を
工作物を工ぐｌ磯Ｉ４上に設むしたよ！で簡単に測定で
きろようにしたことを特徴とするものである。
工作物を工ぐｌ磯Ｉ４上に設むしたよ！で簡単に測定で
きろようにしたことを特徴とするものである。
本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。
′！：ＩＩ！ｌの１．Ｔ１つり炙り腎で１４ノ１／悄を
行い工作物の一面形状をｌｓ定した結果法のことが判明
した。
行い工作物の一面形状をｌｓ定した結果法のことが判明
した。
工作物表面に１．を送りマーク （プライスカッター刀
当たりのデープルの送り量によって生じろ切ｎす切刃の
跡）のピッチの凹凸が示されるものと、主軸回転周期と
主軸系固＊ｍ勤周期との位相差に関連して、送りマーク
の数倍（４〜５倍が多い）の長さの幅をピッチとする周
期の凹凸が示されるが示される場合、表面形状が良いの
に対し、この送りマークの数倍の長さの周期的凹凸が示
されろ場合、表面形状が悪い。この送りマークの数倍の
長さの周期的凹凸を機械加工中に検出できれば、工作物
の不良監視に非常に有効である。
当たりのデープルの送り量によって生じろ切ｎす切刃の
跡）のピッチの凹凸が示されるものと、主軸回転周期と
主軸系固＊ｍ勤周期との位相差に関連して、送りマーク
の数倍（４〜５倍が多い）の長さの幅をピッチとする周
期の凹凸が示されるが示される場合、表面形状が良いの
に対し、この送りマークの数倍の長さの周期的凹凸が示
されろ場合、表面形状が悪い。この送りマークの数倍の
長さの周期的凹凸を機械加工中に検出できれば、工作物
の不良監視に非常に有効である。
この目的のため１万当たりのテーブル送り速度の１／２
〜１７５倍の範囲を任意の周期で明滅可能な光源装置を
用いて表面の凹凸周期を求める簡単な検出手法について
検討した。
〜１７５倍の範囲を任意の周期で明滅可能な光源装置を
用いて表面の凹凸周期を求める簡単な検出手法について
検討した。
検出の原理を第１図Ａ、Ｂおよび第２図Ａ、Ｂに示す。
第１図Ａに示すように工作物表６の凹凸に周期性がある
場合、テーブルの明滅周期と一定の関係になると、 ｈ
ｉ図Ｂに示すように各測定点の光景値は同じような値に
なり、隣接する測定点の光量差を求め、そのバラツキの
大きさをマイコノにより標準ＩＩＩ差を求める計算で求
め、その大きさを閾値と比較してＩ？４１／８性の有無
を確認する。
場合、テーブルの明滅周期と一定の関係になると、 ｈ
ｉ図Ｂに示すように各測定点の光景値は同じような値に
なり、隣接する測定点の光量差を求め、そのバラツキの
大きさをマイコノにより標準ＩＩＩ差を求める計算で求
め、その大きさを閾値と比較してＩ？４１／８性の有無
を確認する。
逆に第２図へのように周期性のない場合、同図Ｂのよう
に隣接１゛る測定点の光量差の変化は大きく、隣接する
測定点の光景差の値に一定の閾値を設定することにより
、周期性の無いことを確認する。
に隣接１゛る測定点の光量差の変化は大きく、隣接する
測定点の光景差の値に一定の閾値を設定することにより
、周期性の無いことを確認する。
工作物に周期的凹凸のある場合、これを検出するには、
工作物を載せたテーブルが一定速度で移動した時、検出
される凹凸の周期と光源の明滅周期とを一致させること
が必要である。これには計ｒＬまたは計測によって求め
られた機械主軸系の固有振動９１（ｌｌｚｌ と主軸回
転数ｎ（ｒｐｓ＋）と切刃数２から求めたｌ刀による工
作物の５Ｉ９１／１の転写Ｑ６０ ・Ｉ ／ ｆｎ
Ｌｌ −Ｎｔｈａ （Ｎは整数、ａは端歎で主軸１転周
期と主軸系固有１ｉｌｌＩ周期との位相差に関係する値
で、実験では０１〜０５０間の値が多く、１／ａＸ送り
マーク幅をピッチとする周期的凹凸が工作物上に示され
る。）から求まるａの値を利用して、これとテーブル送
り速度とから光源の明滅周期を設定し、設定値を１／ｌ
Ｏ周期ずつ±５７１０周期まで順次ずらし、周期性の有
無を調べる。工作物上に周期性がある場合、光源の明滅
周期と工作物の凹凸周期が一致すれば明滅周期値から凹
凸の周期が求まる・判定を加工現場で、非接触で簡単に
行うことができるので、切削加工におけろ自動化技術の
センシング手法として有効に使用することができろ。
工作物を載せたテーブルが一定速度で移動した時、検出
される凹凸の周期と光源の明滅周期とを一致させること
が必要である。これには計ｒＬまたは計測によって求め
られた機械主軸系の固有振動９１（ｌｌｚｌ と主軸回
転数ｎ（ｒｐｓ＋）と切刃数２から求めたｌ刀による工
作物の５Ｉ９１／１の転写Ｑ６０ ・Ｉ ／ ｆｎ
Ｌｌ −Ｎｔｈａ （Ｎは整数、ａは端歎で主軸１転周
期と主軸系固有１ｉｌｌＩ周期との位相差に関係する値
で、実験では０１〜０５０間の値が多く、１／ａＸ送り
マーク幅をピッチとする周期的凹凸が工作物上に示され
る。）から求まるａの値を利用して、これとテーブル送
り速度とから光源の明滅周期を設定し、設定値を１／ｌ
Ｏ周期ずつ±５７１０周期まで順次ずらし、周期性の有
無を調べる。工作物上に周期性がある場合、光源の明滅
周期と工作物の凹凸周期が一致すれば明滅周期値から凹
凸の周期が求まる・判定を加工現場で、非接触で簡単に
行うことができるので、切削加工におけろ自動化技術の
センシング手法として有効に使用することができろ。
第１図Ａ、Ｂおよび第２図Ａ、Ｂはそれぞ八本発明の測
定原理についての説明図、第３図は本発明を実施する装
置の構成図であり、 】・・・工作機械送りテーブル ２・・・被削材 ３・・・マイクロコンビ１−タ ４・・・光ｇ［ＩＦＪ減周期の設定醪 ５・・・反射光量の検出器 ６・・・表示値ｄ ７・・・テーブル送り速度の検出器 である。 手続補正ｆｆ（方式） ６５９１Ｌ／２月２Ｎ３ １キ許庁長官 志賀 学 殿 ！、寥１主の表示 昭Ｉロ５９年特許願第１６４１５３号 ２、発明の名称 工作物表面形状測定装置 ３、補正をする者 １／キとの関係 特許出願人 住 所 東京都千代区πが閏１丁ｇ３番１号（
１／４）氏名 工業技術院長 等々力 達４
、指定代理人 １所 広島県呉市広町１５０００＠地昭和６９年１／
月７日 ６、油圧のｔ４象 図面
定原理についての説明図、第３図は本発明を実施する装
置の構成図であり、 】・・・工作機械送りテーブル ２・・・被削材 ３・・・マイクロコンビ１−タ ４・・・光ｇ［ＩＦＪ減周期の設定醪 ５・・・反射光量の検出器 ６・・・表示値ｄ ７・・・テーブル送り速度の検出器 である。 手続補正ｆｆ（方式） ６５９１Ｌ／２月２Ｎ３ １キ許庁長官 志賀 学 殿 ！、寥１主の表示 昭Ｉロ５９年特許願第１６４１５３号 ２、発明の名称 工作物表面形状測定装置 ３、補正をする者 １／キとの関係 特許出願人 住 所 東京都千代区πが閏１丁ｇ３番１号（
１／４）氏名 工業技術院長 等々力 達４
、指定代理人 １所 広島県呉市広町１５０００＠地昭和６９年１／
月７日 ６、油圧のｔ４象 図面
Claims (1)
- 切削加工時の切削送り速度を検出し、加工条件、機械振
動特性にもとづいて計算された送り周期の１／２〜１／
５の周期でファイバー光源を明滅させて工作物表面を照
射し、工作物での反射光量を測定し、その測定値にもと
づいて工作物表面の周期的凹凸の有無と周期の値を検出
することを特徴とする工作物表面形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16415384A JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16415384A JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6141907A true JPS6141907A (ja) | 1986-02-28 |
| JPH031602B2 JPH031602B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=15787743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16415384A Granted JPS6141907A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 工作物表面形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6141907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103322909A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 诚研科技股份有限公司 | 用来侦测透光光栅结构的侦测装置与侦测方法 |
| CN104854425A (zh) * | 2013-03-15 | 2015-08-19 | 诚研科技股份有限公司 | 透明介质检测技术及应用 |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16415384A patent/JPS6141907A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103322909A (zh) * | 2012-03-22 | 2013-09-25 | 诚研科技股份有限公司 | 用来侦测透光光栅结构的侦测装置与侦测方法 |
| TWI464385B (zh) * | 2012-03-22 | 2014-12-11 | Hiti Digital Inc | 用來偵測透光光柵結構之偵測裝置與偵測方法 |
| CN104854425A (zh) * | 2013-03-15 | 2015-08-19 | 诚研科技股份有限公司 | 透明介质检测技术及应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031602B2 (ja) | 1991-01-11 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |