JPS6142284A - 変位拡大装置 - Google Patents
変位拡大装置Info
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- JPS6142284A JPS6142284A JP16414884A JP16414884A JPS6142284A JP S6142284 A JPS6142284 A JP S6142284A JP 16414884 A JP16414884 A JP 16414884A JP 16414884 A JP16414884 A JP 16414884A JP S6142284 A JPS6142284 A JP S6142284A
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- piezoelectric element
- displacement
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 37
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 8
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
瓜二上勿且里豆丘
この発明はVTR装置のトラッキング補正装置などに用
いられる変位拡大装置で、詳し、くけ印加電圧の大きさ
に応じて伸縮量が変化する圧電素子の変位拡大装置に関
する。
いられる変位拡大装置で、詳し、くけ印加電圧の大きさ
に応じて伸縮量が変化する圧電素子の変位拡大装置に関
する。
一芝求曳弦■
例えば回転ヘッド型VTR装置は第6図に示すように磁
気テープ(1)の走行方向に対し回転軸を傾斜させて配
置された回転シリンダ(2)の外周に部分的に磁気ヘッ
ド(3)を取(−1け、回転シリンダ(2)を定速回転
させて走行する磁気テープ(1)に設けられた第7図に
示すような斜め方向の記憶トランク(4)(4)−上に
磁気ヘッド(3)を順次に走査さセて記録の再生を行っ
ている。このVTR装置で磁気テープ(1)走行速度を
2倍、3倍と速くしてピクチャーサーチを行う場合、回
転シリンダ(2)は定速回転するので、そのままでは磁
気ヘッド(3)は第7図点線で示すように記録トランク
(4)(4L−−一上を正確に走査せず位置ずれ走査し
てノイズを発生し、再生画像の乱れ等を招く。そこでピ
クチャーサーチを行う場合には、磁気ヘッド(3)を上
記位置ずれを補正する方向に動かすトラッキング調整を
行っている。
気テープ(1)の走行方向に対し回転軸を傾斜させて配
置された回転シリンダ(2)の外周に部分的に磁気ヘッ
ド(3)を取(−1け、回転シリンダ(2)を定速回転
させて走行する磁気テープ(1)に設けられた第7図に
示すような斜め方向の記憶トランク(4)(4)−上に
磁気ヘッド(3)を順次に走査さセて記録の再生を行っ
ている。このVTR装置で磁気テープ(1)走行速度を
2倍、3倍と速くしてピクチャーサーチを行う場合、回
転シリンダ(2)は定速回転するので、そのままでは磁
気ヘッド(3)は第7図点線で示すように記録トランク
(4)(4L−−一上を正確に走査せず位置ずれ走査し
てノイズを発生し、再生画像の乱れ等を招く。そこでピ
クチャーサーチを行う場合には、磁気ヘッド(3)を上
記位置ずれを補正する方向に動かすトラッキング調整を
行っている。
上記トラッキング補正を行うには8倍速で再生した場合
磁気ヘッドを最大400μm程度変位させる必要があり
、このような補正を行う装置としては圧電横効果を利用
したバイモルフ型圧電素子(圧電セラミック素子)が一
般に使用されている。これは第8図に示すように長尺な
上述バイモルフ型圧電素−f(5)の一端を固定台(6
)に固定し、他端上に磁気ヘッド(3)を固定したもの
で、圧電素子(5)に電圧を印加すると圧電素子(5)
が固定台(6)を支点に反ってM端側の磁気ヘッド(3
)の位置が変位する。この変位量は印加する電圧の大き
さに応じるもので、磁気ヘッド(3)を400μm程度
変位させるには約500■の電圧が必要とされている。
磁気ヘッドを最大400μm程度変位させる必要があり
、このような補正を行う装置としては圧電横効果を利用
したバイモルフ型圧電素子(圧電セラミック素子)が一
般に使用されている。これは第8図に示すように長尺な
上述バイモルフ型圧電素−f(5)の一端を固定台(6
)に固定し、他端上に磁気ヘッド(3)を固定したもの
で、圧電素子(5)に電圧を印加すると圧電素子(5)
が固定台(6)を支点に反ってM端側の磁気ヘッド(3
)の位置が変位する。この変位量は印加する電圧の大き
さに応じるもので、磁気ヘッド(3)を400μm程度
変位させるには約500■の電圧が必要とされている。
ところが、このようなバイモルフ型電圧素子は構造が簡
単な利点を有するが、駆動電圧が最大500v程度と高
く、また駆動の繰り返しで歪みがM積されてヒ;(テリ
シスが大きくなり、そのため同し、印加電圧で同じ変位
量が得られなくなる問題があった。
単な利点を有するが、駆動電圧が最大500v程度と高
く、また駆動の繰り返しで歪みがM積されてヒ;(テリ
シスが大きくなり、そのため同し、印加電圧で同じ変位
量が得られなくなる問題があった。
上記問題点を解決するものとして、バイモルフ型圧電素
子の代りに圧電縦効果を利用した積層型圧電1子を磁気
へラドの変位源に利用したものがある。この積層型圧電
素子は駆動電圧が低く、歪みはほとんど蓋積されないが
、積層型圧電素子自体の変位量は最大で約10μ…と小
さくて変位量の拡大装置を付設しなければVTR装置の
トラッキング補正に利用できない。
子の代りに圧電縦効果を利用した積層型圧電1子を磁気
へラドの変位源に利用したものがある。この積層型圧電
素子は駆動電圧が低く、歪みはほとんど蓋積されないが
、積層型圧電素子自体の変位量は最大で約10μ…と小
さくて変位量の拡大装置を付設しなければVTR装置の
トラッキング補正に利用できない。
上記積層型圧電素子の変位拡大装置として例えば第9図
に示すものがある。この第9図における(7)は圧電縦
効果を利用した積層型圧電(セラミック)素子、(8)
は変位拡大装置で、両端が圧電素子(7)の縦方向の両
端A、Bに固定された山形の板状座屈バネ(9)で構成
される。この座屈バネ(9)の山形頂部に相当する中央
部上に磁気ヘッド(3)が固定される。
に示すものがある。この第9図における(7)は圧電縦
効果を利用した積層型圧電(セラミック)素子、(8)
は変位拡大装置で、両端が圧電素子(7)の縦方向の両
端A、Bに固定された山形の板状座屈バネ(9)で構成
される。この座屈バネ(9)の山形頂部に相当する中央
部上に磁気ヘッド(3)が固定される。
圧電素子(7)は回転シリンダ(2)に縦方向伸縮自在
に取付けられ、圧電素子(7)に電圧を印加すると両端
A、Bが縦方向に動き、この動きで座屈バネ(9)の両
端が開く方向に動き、この動きは拡大されて座屈バネ(
9)の中央部の板厚方向の動きに伝達され、磁気ヘッド
(3)を動かす。
に取付けられ、圧電素子(7)に電圧を印加すると両端
A、Bが縦方向に動き、この動きで座屈バネ(9)の両
端が開く方向に動き、この動きは拡大されて座屈バネ(
9)の中央部の板厚方向の動きに伝達され、磁気ヘッド
(3)を動かす。
ベ しよ゛と る 点
上記変位拡大装置(8)は積層型圧電素子(7)の利点
を生かすものとして有望視されているが、変位拡大率が
低くて、実際にVTR装置のトラッキング補正装置に使
用する場合は圧電素子(7)と座屈バネ(9)の間に、
てこの原理で圧電素子(7)の変位を拡大して座屈バネ
(9)に伝達する別の変位拡大機構を装着する必要があ
って、装置全体が大型化、複雑化する問題を含んでいた
。
を生かすものとして有望視されているが、変位拡大率が
低くて、実際にVTR装置のトラッキング補正装置に使
用する場合は圧電素子(7)と座屈バネ(9)の間に、
てこの原理で圧電素子(7)の変位を拡大して座屈バネ
(9)に伝達する別の変位拡大機構を装着する必要があ
って、装置全体が大型化、複雑化する問題を含んでいた
。
門意、を解決jA太泣豊手段
本発明は上記変位拡大装置の問題点に鑑みてなされたも
ので、この問題点を解決する本発明の技術的手段は圧電
縦効果を利用した積層型圧電素子の縦方向両端に長軸方
向の対向2点が固定されて圧電素子を囲む断面楕円形若
しくは菱形の略楕円状筒形バネ部材と、このバネ部材の
端軸方向の2点の一方を固定する固定手段とで構成し、
前記バネ材の短軸方向の他の一点を変位する遊点として
、ここに磁気ヘッドなどの変位体を装着することである
。
ので、この問題点を解決する本発明の技術的手段は圧電
縦効果を利用した積層型圧電素子の縦方向両端に長軸方
向の対向2点が固定されて圧電素子を囲む断面楕円形若
しくは菱形の略楕円状筒形バネ部材と、このバネ部材の
端軸方向の2点の一方を固定する固定手段とで構成し、
前記バネ材の短軸方向の他の一点を変位する遊点として
、ここに磁気ヘッドなどの変位体を装着することである
。
作朋
上記積層型圧電素子が電圧印加で伸縮すると、この伸縮
変位量はバネ材の短軸方向の2点に各々に拡大されて伝
達されて2点を動かそうとするが、この2点の内の1点
は固定されているので残り1点のみが2点に伝達される
動きの拡大率の2倍の拡大率でもって動き、従来品に無
い拡大率の大なる変位拡大装置が提供できる。
変位量はバネ材の短軸方向の2点に各々に拡大されて伝
達されて2点を動かそうとするが、この2点の内の1点
は固定されているので残り1点のみが2点に伝達される
動きの拡大率の2倍の拡大率でもって動き、従来品に無
い拡大率の大なる変位拡大装置が提供できる。
実流朋
本発明の基本的実施例を第1図及び第2図を基づき説明
すると、(10)は電圧縦効果を利用した1本の角棒状
積層型圧電素子で、図面では2つの積層型圧電素子(1
0a )、(10b )を直列に連結一体化ししたもの
を示す。(11)は本発明による変位拡大装置で、1つ
の無端帯状で断面が略楕円状の筒形バネ部材(12)と
、バネ部材(12)の端軸方向の2点p、、 、P4の
内の1点P3を固定する固定手段(13)で構成される
。
すると、(10)は電圧縦効果を利用した1本の角棒状
積層型圧電素子で、図面では2つの積層型圧電素子(1
0a )、(10b )を直列に連結一体化ししたもの
を示す。(11)は本発明による変位拡大装置で、1つ
の無端帯状で断面が略楕円状の筒形バネ部材(12)と
、バネ部材(12)の端軸方向の2点p、、 、P4の
内の1点P3を固定する固定手段(13)で構成される
。
バネ部材(12)は長軸方向の対向の2点p。
、P2が圧電素子(10)の両端A°、B′にロウ材な
どの固定部材(14)、(14)で固定されて圧電素子
(10)を収容し囲うもので、短軸方向の2点P3 、
p4の内の非固定側の内の】点p 4上が変位体装置位
置で、ここに例えば磁気ヘッド(3)が固足さ、れて、
この変位拡大装置(11)はV TR装置のトランキン
グ補正に用いられ、次の動作を行う。
どの固定部材(14)、(14)で固定されて圧電素子
(10)を収容し囲うもので、短軸方向の2点P3 、
p4の内の非固定側の内の】点p 4上が変位体装置位
置で、ここに例えば磁気ヘッド(3)が固足さ、れて、
この変位拡大装置(11)はV TR装置のトランキン
グ補正に用いられ、次の動作を行う。
バネ部材(12)の固定点P3は固定手段(13)を介
してV T’ R装置の回転シリンダに固定される。而
して、圧電素子(10)に電圧を印加すると圧電素子(
10)は縦方向に伸び、この全体の伸び足を2αとする
と圧電素子(10)は第3図の実線に示すように両端A
”、B”が共にαず一つ伸びる。ここでいまPlと23
間、P3と1)2間、P2と24間、P4とPl間の長
さが夫々同一で一定と考えると、第4図に示すように圧
電素子(10)の伸び量(変位量)2αに応じた変位量
βで圧電素子(10)が点P3側に寄る。この変位量β
はαより大きく、この拡大原理は第9図の変位拡大装置
の拡大原理と同じである。
してV T’ R装置の回転シリンダに固定される。而
して、圧電素子(10)に電圧を印加すると圧電素子(
10)は縦方向に伸び、この全体の伸び足を2αとする
と圧電素子(10)は第3図の実線に示すように両端A
”、B”が共にαず一つ伸びる。ここでいまPlと23
間、P3と1)2間、P2と24間、P4とPl間の長
さが夫々同一で一定と考えると、第4図に示すように圧
電素子(10)の伸び量(変位量)2αに応じた変位量
βで圧電素子(10)が点P3側に寄る。この変位量β
はαより大きく、この拡大原理は第9図の変位拡大装置
の拡大原理と同じである。
一方、バネ部材(12)の磁気ヘッド(3)が固定され
た遊点P4も圧電素子(10)の伸び量2αに応じて同
じ変位量βで変位するが、点P4の場合は圧電素子(1
0)自体がβだけ変位しているので結果的に2βだけ変
位する。従って、本発明品は第9図の従来品に比べ同じ
駆動電圧で磁気ヘッド(3)を2倍の拡大率で変位させ
ることができ、また第9図の従来品と同じ変位で磁気ヘ
ッド(3)を動かす場合はrgA?電圧を少くすること
ができる。
た遊点P4も圧電素子(10)の伸び量2αに応じて同
じ変位量βで変位するが、点P4の場合は圧電素子(1
0)自体がβだけ変位しているので結果的に2βだけ変
位する。従って、本発明品は第9図の従来品に比べ同じ
駆動電圧で磁気ヘッド(3)を2倍の拡大率で変位させ
ることができ、また第9図の従来品と同じ変位で磁気ヘ
ッド(3)を動かす場合はrgA?電圧を少くすること
ができる。
尚、本発明はVTR装置のトラッキング補正用の変位拡
大装置に限らず使用でき、通用装置によってけバネ部材
(12)に真円形のものを使用し、でもよい。また尚更
大の拡大率を必要とする場合は例えば第5図に示すよう
に、バネ部材(12)の芦点P4に長尺な硬質平板(1
5)をその中心より外れた一中、P5で固定し、平板(
15)の!!3.P5に近い方の一端を固定台(16)
に固定し、点P5より遠い方の遊端上に磁気ヘッド等の
変位体(17)を固定する。するとバネ部材(12)の
点P4の変位にて平板(15)が固定台(16〉を支点
に揺動し、てこの原理で点P4の変位が尚更に拡大され
て変位体(17)に伝達される。
大装置に限らず使用でき、通用装置によってけバネ部材
(12)に真円形のものを使用し、でもよい。また尚更
大の拡大率を必要とする場合は例えば第5図に示すよう
に、バネ部材(12)の芦点P4に長尺な硬質平板(1
5)をその中心より外れた一中、P5で固定し、平板(
15)の!!3.P5に近い方の一端を固定台(16)
に固定し、点P5より遠い方の遊端上に磁気ヘッド等の
変位体(17)を固定する。するとバネ部材(12)の
点P4の変位にて平板(15)が固定台(16〉を支点
に揺動し、てこの原理で点P4の変位が尚更に拡大され
て変位体(17)に伝達される。
溌訓μJ九里
本発明によれば略楕円形断面の筒形バネ部材内に圧電素
子を収納固定するだけの小形で簡単な構造で圧電素子の
変位を十分実用に値する拡大率で拡大し得る装置かiI
2供でき、特にVTR装置のトランキング補正装置にお
いて実施効果大なるものが提供できる。
子を収納固定するだけの小形で簡単な構造で圧電素子の
変位を十分実用に値する拡大率で拡大し得る装置かiI
2供でき、特にVTR装置のトランキング補正装置にお
いて実施効果大なるものが提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の一実施例を示す正面図及び
平面図、第3図は第1図装置の動作時の正面図、第4図
は第3図の動作を説明するための動作原理図、第5図は
本発明の応用例を示す斜視図Cある。第6図は回転ヘッ
ド型V ’FR装置の要部概略斜視図、第7図は第6図
の磁気テープ上の記憶トランク概略図、第8図及び第9
図は従来の変位拡大装置の二側を示す各概略正面図であ
る。 (10)−m−積層型圧電素子、(11) 変位拡大
装置、(12)−バネ部材、(1,3)−固定手段。 江 原 秀 。 ・、、′ 1圓ij:、l・−
平面図、第3図は第1図装置の動作時の正面図、第4図
は第3図の動作を説明するための動作原理図、第5図は
本発明の応用例を示す斜視図Cある。第6図は回転ヘッ
ド型V ’FR装置の要部概略斜視図、第7図は第6図
の磁気テープ上の記憶トランク概略図、第8図及び第9
図は従来の変位拡大装置の二側を示す各概略正面図であ
る。 (10)−m−積層型圧電素子、(11) 変位拡大
装置、(12)−バネ部材、(1,3)−固定手段。 江 原 秀 。 ・、、′ 1圓ij:、l・−
Claims (1)
- (1)縦効果を利用する積層型圧電素子、この圧電素子
を略楕円状断面の長軸方向に沿って収容する筒形バネ部
材、及びこのバネ部材をその短軸方向に沿った所定位置
で固定する固定手段を具備したことを特徴とする変位拡
大装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16414884A JPS6142284A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 変位拡大装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16414884A JPS6142284A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 変位拡大装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142284A true JPS6142284A (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=15787654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16414884A Pending JPS6142284A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 変位拡大装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142284A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63277955A (ja) * | 1987-05-09 | 1988-11-15 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 変位拡大駆動装置 |
| JPH01318564A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Omron Tateisi Electron Co | 超音波モータ |
| JPH06310771A (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | Nec Corp | 圧電素子変位増幅機構およびその駆動方法 |
| FR2740276A1 (fr) * | 1995-10-20 | 1997-04-25 | Cedrat Rech | Actionneur piezoactif amplifie a raideur elevee |
| GB2378574A (en) * | 2001-06-15 | 2003-02-12 | Legrand Sa | Freely resonating piezoelectric power generating apparatus |
| JP2008526416A (ja) * | 2005-01-13 | 2008-07-24 | センティエント メディカル リミテッド | 聴覚インプラント |
| JP2009038901A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 圧電モータおよびカメラ装置 |
| US7506967B2 (en) | 2005-03-11 | 2009-03-24 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd | Ink jet head having an electrostatic actuator, ink cartridge, and inkjet printer |
| JP2014204618A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | 樋口 俊郎 | 電磁アクチュエータ |
| US8920496B2 (en) | 2007-03-03 | 2014-12-30 | Sentient Medical Limited | Ossicular replacement prosthesis |
| JP2015101102A (ja) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | 圧電スタックを使用した、led書き込みバー用の動的調整可能焦点 |
| US9417017B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-08-16 | Thermal Corp. | Heat transfer apparatus and method |
| CN108322086A (zh) * | 2018-01-09 | 2018-07-24 | 长春理工大学 | 压电振子 |
| JP2019213401A (ja) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 振動型アクチュエータ、およびパーソナルケア装置 |
| EP2936575B1 (fr) * | 2012-12-20 | 2020-11-04 | Dav | Actionneur piezo-electrique et procede de fabrication associe |
| JP2021145507A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 翔栄システム株式会社 | ピエゾステージ |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16414884A patent/JPS6142284A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63277955A (ja) * | 1987-05-09 | 1988-11-15 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 変位拡大駆動装置 |
| JPH01318564A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Omron Tateisi Electron Co | 超音波モータ |
| JPH06310771A (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | Nec Corp | 圧電素子変位増幅機構およびその駆動方法 |
| FR2740276A1 (fr) * | 1995-10-20 | 1997-04-25 | Cedrat Rech | Actionneur piezoactif amplifie a raideur elevee |
| GB2378574A (en) * | 2001-06-15 | 2003-02-12 | Legrand Sa | Freely resonating piezoelectric power generating apparatus |
| GB2378574B (en) * | 2001-06-15 | 2004-09-22 | Legrand Sa | Improvements in and relating to piezo-active devices |
| US6936953B2 (en) | 2001-06-15 | 2005-08-30 | Legrand | Use of a piezo-active device and an appliance and a system including it |
| JP2008526416A (ja) * | 2005-01-13 | 2008-07-24 | センティエント メディカル リミテッド | 聴覚インプラント |
| US8864645B2 (en) | 2005-01-13 | 2014-10-21 | Sentient Medical Limited | Hearing implant |
| US7910010B2 (en) | 2005-03-11 | 2011-03-22 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Ink jet head having an electrostatic actuator and manufacturing method of the same |
| US7506967B2 (en) | 2005-03-11 | 2009-03-24 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd | Ink jet head having an electrostatic actuator, ink cartridge, and inkjet printer |
| US8920496B2 (en) | 2007-03-03 | 2014-12-30 | Sentient Medical Limited | Ossicular replacement prosthesis |
| JP2009038901A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 圧電モータおよびカメラ装置 |
| US9417017B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-08-16 | Thermal Corp. | Heat transfer apparatus and method |
| EP2936575B1 (fr) * | 2012-12-20 | 2020-11-04 | Dav | Actionneur piezo-electrique et procede de fabrication associe |
| JP2014204618A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | 樋口 俊郎 | 電磁アクチュエータ |
| JP2015101102A (ja) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | 圧電スタックを使用した、led書き込みバー用の動的調整可能焦点 |
| CN108322086A (zh) * | 2018-01-09 | 2018-07-24 | 长春理工大学 | 压电振子 |
| JP2019213401A (ja) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 振動型アクチュエータ、およびパーソナルケア装置 |
| JP2021145507A (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-24 | 翔栄システム株式会社 | ピエゾステージ |
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